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本发明公开了一种工艺简单、制品纯度高的有机环硅烷的制备方法,其特点是:采用聚二甲基硅烷为原料,在惰性气体保护下,在150500进行蒸馏裂解,然后冷凝并收集冷凝液得到有机环硅烷。本发明利用硅-硅键键能较低(200千卡/克分子)易成环体的特性,在较低温度下易生成各种有机环硅烷(三、四、五、六、多元环),150-500即可蒸出冷凝成液体,而残留在聚二甲基硅烷中的氯化钠在此温度下不会被蒸出,也不会产生结碳。