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1、10申请公布号CN104101373A43申请公布日20141015CN104101373A21申请号201410138031322申请日2014040813/859,49020130409USG01D18/0020060171申请人飞思卡尔半导体公司地址美国得克萨斯72发明人RP塞斯戈PT琼斯SK帕兰孙JD斯坦利WD麦克赫特尔74专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038代理人申发振54发明名称校准包含传感器的器件的方法及设备57摘要本发明涉及校准包含了一个或多个传感器的器件的方法及设备。用于校准包含传感器的器件100,200,372,650,900,1000的系统300的实。
2、施例包括板支撑结构354,630、一个或多个电机356,620、电机控制模块320和校准控制模块318。板支撑结构将校准板370,400,640保持在相对于板支撑结构的固定位置。电机绕808固定坐标系的一个或多个轴旋转板支撑结构。电机控制模块将电机控制信号发送808到电机以使电机通过相对于固定坐标系的一系列取向移动板支撑结构。校准控制模块通过通信结构330将信号发送810到被装载到校准板的多个插座内420的包含传感器的器件。当板支撑结构处于或移向系列取向的每个取向时,信号使包含传感器的器件生成812传感器数据。30优先权数据51INTCL权利要求书3页说明书17页附图8页19中华人民共和国国家。
3、知识产权局12发明专利申请权利要求书3页说明书17页附图8页10申请公布号CN104101373ACN104101373A1/3页21一种用于校准多个包含传感器的器件的系统,所述系统包括板支撑结构,被配置以将校准板保持在相对于所述板支撑结构的固定位置;一个或多个电机,被配置以绕固定坐标系的一个或多个轴旋转所述板支撑结构电机控制模块,被配置以将电机控制信号发送到所述一个或多个电机以使所述一个或多个电机通过相对于所述固定坐标系的一系列取向移动所述板支撑结构;以及校准控制模块,被配置以通过通信结构将信号发送到被装载到所述校准板的多个插座内的所述多个包含传感器的器件,其中当所述板支撑结构处于或移向一系。
4、列取向的每个取向时,所述信号使所述包含传感器的器件生成传感器数据。2根据权利要求1所述的系统,其中所述信号进一步使所述包含传感器的器件使用所述传感器数据计算校准系数,其中所述校准系数是从增益值、增益码、偏移值和偏移码中选择的。3根据权利要求2所述的系统,其中所述信号进一步使所述包含传感器的器件将所述校准系数存储在所述包含传感器的器件的存储器中。4根据权利要求1所述的系统,还包括处理组件,被配置以接收所述传感器数据,以及使用所述传感器数据计算校准系数,其中所述校准系数是从增益值、增益码、偏移值和偏移码中选择的。5根据权利要求4所述的系统,进一步包括耦合于所述板支撑结构的电路板,其中所述处理组件耦。
5、合于所述电路板。6根据权利要求1所述的系统,其中所述校准控制模块进一步被配置以从所述包含传感器的器件接收所述传感器数据,以及使用所述传感器数据计算校准系数,其中所述校准系数是从增益值、增益码、偏移值和偏移码中选择的。7根据权利要求1所述的系统,其中所述校准控制模块的至少一部分耦合于所述板支撑结构。8根据权利要求1所述的系统,进一步包括所述校准板,其中所述校准板包括衬底、所述多个插座、第一连接器以及多个导体,其中所述多个插座的每个插座包括被配置以与包含传感器的器件的相应多个触点连接的多个插座触点,所述多个导体被配置以在所述第一连接器和所述多个插座触点之间传送信号,而且所述第一连接器被配置以耦合于。
6、所述通信结构。9根据权利要求8所述的系统,其中所述多个插座的每个插座是由唯一标识符识别的,以及所述校准控制模块进一步被配置以将所述唯一标识符用作密钥来存储与安装在特定插座内的特定的包含传感器的器件相关的信息。10根据权利要求8所述的系统,进一步包括所述通信结构,其中所述通信结构包括耦合于所述板支撑结构的第二连接器,其中所述校准板被配置以通过使用合理的力连接所述第一和第二连接器而被耦合于所述板支撑结构,并且其中所述校准板被配置以通过使用合理的力断开所述第一和第二连接器而从所述板支撑结构中移除。11根据权利要求1所述的系统,进一步包括被配置以当所述板支撑结构通过一系列取向移动时支撑所述板支撑结构的。
7、基底。权利要求书CN104101373A2/3页312根据权利要求1所述的系统,其中所述板支撑结构进一步被配置以将至少一个额外校准板保持在相对于所述板支撑结构的固定位置;并且所述校准控制模块进一步被配置以通过所述通信结构将所述信号发送到被装载到所述至少一个额外的校准板的多个插座内的多个包含传感器的器件。13一种校准多个包含传感器的器件的方法,所述方法包括以下步骤将电机控制信号发送到一个或多个电机以使所述一个或多个电机通过相对于所述固定坐标系的一系列取向移动所述板支撑结构,其中所述板支撑结构被配置以将所述校准板保持在相对于所述板支撑结构的固定位置,以及所述校准板包括所述多个包含传感器的器件被安装。
8、在其内的多个插座;以及通过通信结构将信号发送到所述多个包含传感器的器件,其中当所述板支撑结构处于或移向所述一系列取向的每个取向时,所述信号使所述包含传感器的器件生成所述传感器数据。14根据权利要求13所述的方法,其中发送所述电机控制信号包括发送所述电机控制信号以使所述一个或多个电机通过包括了至少一个取向的一系列取向移动所述板支撑结构,在所述至少一个取向中,所述包含传感器的器件的器件固定轴与所述固定坐标系的轴对齐,沿所述固定坐标系的轴,存在加速度、力或者场的最大强度。15根据权利要求13所述的方法,其中发送所述电机控制信号包括发送所述电机控制信号以使所述一个或多个电机通过包括了至少一个取向的一系。
9、列取向移动所述板支撑结构,在所述至少一个取向中,所述包含传感器的器件的至少一个器件固定轴从所述固定坐标系的轴成角度偏离,沿所述固定坐标系的轴,存在加速度、力或者场的最大强度。16根据权利要求13所述的方法,其中所述信号进一步使所述包含传感器的器件使用所述传感器数据计算校准系数,其中所述校准系数是从增益值、增益码、偏移值和偏移码中选择的。17根据权利要求16所述的方法,其中所述信号进一步使所述包含传感器的器件将所述校准系数存储在所述包含传感器的器件的存储器中。18根据权利要求13所述的方法,进一步包括从所述多个包含传感器的器件接收所述传感器数据;以及使用所述传感器数据计算校准系数,其中所述校准系。
10、数是从增益值、增益码、偏移值和偏移码中选择的。19根据权利要求13所述的方法,进一步包括在将所述信号发送到所述多个包含传感器的器件之前产生穿过所述板支撑结构的磁场。20根据权利要求13所述的方法,进一步包括,在将所述电机控制信号发送到所述一个或多个电机之前将所述多个包含传感器的器件装载到所述校准板的所述多个插座内;以及通过将所述校准板的第一连接器耦合于所述板支撑系统的第二连接器而将所述校准板安装在所述板支撑结构内。权利要求书CN104101373A3/3页421根据权利要求20所述的方法,进一步包括,在完成通过所述系列取向移动所述板支撑结构之后通过从所述第二连接器断开所述第一连接器而从所述板支。
11、撑结构断开所述校准板;以及使用所述校准板执行老化处理,其中所述多个包含传感器的器件仍然被装载到所述校准板内。22根据权利要求13所述的方法,其中所述多个插座的每个插座是由唯一标识符可识别的,并且其中所述方法进一步包括通过将所述唯一标识符用作密钥来存储与安装在特定插座内的特定的包含传感器的器件相关的信息。权利要求书CN104101373A1/17页5校准包含传感器的器件的方法及设备技术领域0001本发明描述的主题的实施例通常涉及校准包含一个或多个传感器的器件的方法及设备。背景技术0002加速计正在被纳入不断扩大的各种电子系统中。例如,MEMS(微机电系统)加速计目前常用于汽车系统和消费电子以及工。
12、业电子产品。0003在制作MEMS加速计之后,校准处理通常是在工厂中执行的以确定每个加速计传感轴的修整调整值TRIMADJUSTMENT。修整调整值可以随后被存储在器件内的存储器中,其中加速计被最终合并在所述器件内。0004校准加速计的常规方法往往要么是使用昂贵的器件处理和校准设备,要么以低水平的自动化度和/或并行度PARALLELISM(例如,只有单一的器件或少量的器件可以同时被校准)来执行校准。高昂的设备费用和/或自动化和/或并行度中的缺陷不利地影响了加速计的制作成本。加速器制造商通过以较低的利润提供产品和/或通过将其相对较高的制作成本包含在他们的产品定价中,而被迫承担费用,从而潜在地使得。
13、其产品在市场上有较小的竞争力。附图说明0005在结合以下附图考虑的同时,通过参考详细说明书和权利要求,对本发明主题会有更加全面的理解,其中附图中相似的参考符号指示相似的元件。0006图1根据示例实施例,是包含传感器的器件的外形图0007图2根据示例实施例,是包括了多个传感器的器件的简化方框图0008图3根据示例实施例,是器件校准系统的简化方框图;0009图4根据示例实施例,是校准板的顶视图,其中多个包含传感器的器件被安装在所述校准板的插座内;0010图5根据示例实施例,是用于制作和校准多个包含传感器的器件的方法的流程图;0011图6根据示例实施例,是包括了以相对于固定坐标系的第一取向(ORIT。
14、ANTION)而取向的板支撑结构的器件处理系统的外形图;0012图7根据示例实施例,是图6的器件处理系统的外形图,其中板支撑结构以相对于所述固定坐标系的第二取向而取向;0013图8根据示例实施例,是用于校准多个包含传感器的器件的方法的流程图;0014图9根据示例实施例,说明了通过其系统可以将包含传感器器件关于固定坐标系放置的预定序列取向的例子;而且0015图10根据另一个示例实施例,说明了通过其系统可以将包含传感器器件关于固定坐标系放置的预定序列取向的例子。说明书CN104101373A2/17页6具体实施方式0016下面的详细描述本质上仅仅是说明性的,并不旨在限定本发明主题的实施例或这些实施。
15、例的应用或使用。正如本发明所使用的,词语“示例的”指“充当例子、实例或说明”。本发明中所描述的任何作为“示例的”或者“例示”的实施方式或者实施例不必被解释为比其它实施或实施例优先或有利。此外,不旨在被前述技术领域、背景技术、或以下详细描述中的任何明示或暗示的理论所限定。0017本发明描述的主题的实施例包括用于校准(或“修整”)包含了一个或多个传感器的器件(“包含传感器的器件TRANSDUCERINCLUDINGDEVICE”),更具体地说是包含了一个或多个被配置以感测重力、运动(例如,加速、旋转)、电磁场强度、压力等等的传感器SENSOR的器件的方法及设备。例如,本发明讨论的校准方法和设备的各。
16、种实施例可以结合具有一个或多个加速计、陀螺仪、磁强计(或“磁性传感器”)、压力传感器和/或其它类型传感器的任意组合的器件。实施例更具体地说涉及包含在封装器件内的校准传感器,其中所述传感器产生表示相对于一个或多个器件固定轴或表面的各种加速度、力和/或场的大小的电信号。可使用各种校准方法和设备被校准的封装器件的例子结合图1在下面进行讨论。0018更具体地说,图1根据示例实施例,是包含传感器的器件100的外形图。器件100包括封装在封装体内的各种内部电气组件(例如,传感器和其它组件)。例如,正如将要结合图2更详细讨论的,器件100可以包括一个或多个加速计(例如,图2的加速计212214)、陀螺仪(例。
17、如,图2的陀螺仪222224)、磁强计(例如,图2的磁强计232234)、压力传感器和/或其它类型传感器的任意组合。0019封装体由顶面102、底面104和侧面106来定义。暴露在封装体外部的导电触点108有助于内部电气组件和外部电气系统(图1未显示)之间的通信。例如,触点108提供了内部电气组件和外部电气系统之间的各种信号和电压参考(例如,电源和接地)的通信。图1所示的触点108基本上与封装体的侧面106齐平,因而器件100可以被认为是“无引线”封装。然而,各种实施例也可以通过使用带有突出引线的封装(即,带有引线芯片载体的封装)、带有触点阵列的封装(例如,球栅阵列(BGA)封装、针栅阵列(P。
18、GA)封装等等)被实施。此外,虽然触点108被显示为暴露在器件100的侧面106,各种实施例也可以使用具有暴露在任何表面(例如,所有四个侧面106、只有两个侧面106、顶面102和/或底面104)上的触点的封装被实施。最终,器件可以有比图1的示例器件100显示的更多或更少的触点108。0020根据各种实施例,器件100中的传感器可以被配置以产生表示相对于一个或多个器件固定轴(例如方便起见分别任意地标记为“X”、“Y”和“Z”的正交器件固定轴110、112和114)的各种加速度、力、场和/或旋转速度的大小的电信号。器件固定轴110、112和114相对于器件100被固定,根据实施例,每个器件固定轴。
19、110、112、114可以与器件100中的一个或多个传感器的感测轴对齐(例如,图2,X轴110可以与X轴加速计212、X轴陀螺仪222和/或X轴磁强计232的感测轴对齐)。随着器件100在空间内被移动,每个器件固定轴110、112、114可以成角度地偏离惯性坐标系的相应正交轴(例如,固定惯性坐标系120的正交轴“X”、“Y”和“Z”)。在本发明的说明书中,假设地球重力场在惯性坐标系120的Z方向。此外,正如在下面将要更详细解释的,假设器件100被结构(未显示)保持在空间内的固说明书CN104101373A3/17页7定取向,其中所述结构在Z方向给器件100施加了反作用力。因此,当器件100处于。
20、图1中所示的取向时(即,Z轴114和惯性坐标系120的相应的Z轴之间有零角度差),由于在惯性坐标系120的Z方向沿其Z轴114的重力,器件100会经历1G加速度。相反,由于沿其X轴和Y轴110、112的重力器件100会经历0G加速度(即,没有加速度)。0021根据实施例,器件100包括三轴加速计,其中第一加速计(例如,图2的加速计212)被配置以感测沿着X轴110的力的大小,第二加速计(例如,图2的加速计213)被配置以感测沿着Y轴112的力的大小)以及第三加速计(例如,图2的加速计214)被配置以感测沿着Z轴114的力的大小。或者,器件100可以包括单轴或双轴加速计,或根本没有加速计。此外或。
21、或者,在实施例中,器件100可以包括三轴陀螺仪,该三轴陀螺仪包括被配置以感测绕X轴110的旋转速度的第一陀螺仪(例如,图2的陀螺仪222),被配置以感测绕Y轴112的旋转速度的第二陀螺仪(例如,图2的陀螺仪223),以及被配置以感测绕Z轴114的旋转速度的第三陀螺仪(例如,图2的陀螺仪224)。或者,器件100可以包括单轴或双轴陀螺仪,或根本没有陀螺仪。此外或或者,在实施例中,器件100可以包括三轴磁强计,所述三轴磁强计包括被配置以感测沿着X轴110的磁场强度的第一磁强计(例如,图2的磁强计232),被配置以感测沿着Y轴112的磁场强度的第二磁强计(例如,图2的磁强计233)以及被配置以感测沿。
22、着Z轴114的磁场强度的第三磁强计(例如,图2的磁强计234)。或者,器件100可以包括单轴或双轴磁强计,或根本没有磁强计。器件100也可以包括一个或多个另外的或不同类型的传感器(例如,压力传感器、温度传感器、化学传感器等等)。正如本发明所使用的,当指由传感器执行的操作时,术语“感测”意味着传感器产生了表示施加于传感器上的加速度、力或场的大小,或由传感器经历的角加速度(旋转)的速度的电信号。0022图2根据示例实施例,是包括了多个传感器212214、222224、232234的器件200的简化方框图。更具体地说,在实施例中,器件200包括三轴加速计210、三轴陀螺仪220以及三轴磁强计230。。
23、加速计210包括被配置以感测沿着器件200的X轴(例如,图1的X轴110)的加速度大小(例如,由于重力作用)的X轴加速计212,被配置以感测沿着器件200的Y轴(例如,图1的Y轴112)的加速度大小(例如,由于重力作用)的Y轴加速计213,以及被配置以感测沿着器件200的Z轴(例如,图1的Z轴114)的加速度大小(例如,由于重力作用)的Z轴加速计214。加速计210可以起到测量静态加速度(例如,用于量化由器件200经历的倾斜角)和/或动态加速度(例如,用于量化器件200在特定方向的动态加速度)的作用。根据替代实施例,器件200可以包括加速计212214的子集,或可以根本没有加速计。陀螺仪220。
24、包括被配置以感测绕器件200的X轴的旋转速度的X轴陀螺仪222,被配置以感测绕器件200的Y轴的旋转速度的Y轴陀螺仪223以及被配置以感测绕器件200的Z轴的旋转速度的Z轴陀螺仪224。根据替代实施例,器件200可以仅包括陀螺仪222224的子集,或可以根本没有陀螺仪。磁强计230包括被配置以感测沿着器件200的X轴的磁场强度的X轴磁强计232,被配置以感测沿着器件200的Y轴的磁场强度的Y轴磁强计233以及被配置以感测沿着器件200的Z轴的磁场强度的Z轴磁强计234。根据替代实施例,器件200可以仅包括磁强计232234的子集,或可以根本没有磁强计。器件200也可以包括一个或多个另外的或不同。
25、类型传感器(例如,压力传感器、温度传感器、化学传感器等等)。0023根据实施例,器件还包括多路复用器216、226、236、250(MUX、增益和滤波器电路260、模数转换器270(ADC)以及微控制器280(或另外的合适的控制和/或处理组件)。微说明书CN104101373A4/17页8控制器280可以包括存储器282(例如,数据和指令寄存器、闪存存储器、只读存储器(ROM)和/或随机存取存储器(RAM),虽然存储器282的全部或者部分可以在微控制器280的外部。存储器282可以被用于存储各种类型的持久和临时的信息或数据,例如可执行软件指令(例如,与各种实施例的实施相关联的指令)、数据(例如。
26、,基于传感器输出信号所生成的数据(在本发明中是“传感器数据”)、配置系数等等)、器件参数等等。此外,微控制器280可以包括外部接口284,其被配置以有助于微控制器280和外部电气系统(图2中未显示)之间通过暴露在器件200的外部的导电触点292、293、294、295的通信。例如,外部接口284可以包括串行外围接口(SPI)、内部集成电路(I2C)、另一种类型接口、或各种类型接口的组合。器件200还可以包括被配置以将电压参考(例如,电源和地)传送到各个节点和/或器件200的内部电气组件的导电触点290、291。虽然为了举例,六个触点290295在图2中被显示,应理解的是,器件200可以包括更多。
27、或更少的触点290295。0024在微控制器280的控制下,MUX216、226、236、250使得从加速计212214、陀螺仪222224和磁强计232234中每次选择一个信号,并将其提供给增益和滤波器电路260。增益和滤波器电路260被配置以将预定增益应用于所选择的信号(例如,在校准过程中由选定的增益值或码指定),并且对信号进行滤波以消除杂散的、频带外的信号分量,以过滤掉由不期望的机械振动引起的信号分量,和/或过滤掉电噪声(例如,源自器件200的其它电路)。生成的模拟信号被提供给模数转换器ADC270,其采样了模拟信号并将采样转换成数字值序列。每个数字值表示施加于器件200的加速度、力或磁。
28、场的大小(例如,当该值对应于分别源自加速计210或陀螺仪220的信号时),或绕轴的加速度速度(例如,当该值对应于源自磁强计230的信号时)。0025根据实施例,并且正如在后面将要更详细解释的,基于通过一个或多个触点292295(例如,从图3的校准控制器310)接收的命令,微控制器280参与了校准过程,其中微控制器280选择了特定传感器的输出(例如,通过MUX216、226、236、250)并将对应于传感器输出的数字值存储在存储器282中。此外,微控制器280处理了所存储的数字值以确定传感器212214、222224、232234的校准系数(例如,增益和偏移值或码)。根据实施例,微控制器280也。
29、将计算出的校准系数存储在存储器282中。最终,在器件200的正常操作期间(例如,在将器件200并入较大电气系统之后),在校准过程期间确定的增益值或码从存储器282中重新恢复并用于设置由增益和滤波器电路260应用的预定增益。此外,在校准过程期间确定的偏移值或码从存储器282中重新恢复并在正常操作期间用于将0G读数设置为目标值。0026加速计212214可以例如是MEMS加速计。通常,MEMS加速计包括带有第一电极的质量块,其悬挂在相对于加速计衬底被固定的第二电极上。第一电极、第二电极以及第一电极和第二电极之间的气隙形成了电容器,并且电容器的值取决于第一和第二电极之间的距离(即,气隙的宽度)。由于。
30、质量是通过外力(例如,重力)起作用的,第一电极可以移近或远离第二电极,并且因此电容值可以会相应地减小或增加。其它加速计配置也是可以的,包括在其中产生表示了多个电容的信号的配置。根据实施例,每个加速计212214产生了表示这种电容值的电信号。0027根据实施例,器件200包括如前面所提到的MUX216,并且还包括电容电压(CV)转换器218。表示了与加速计212214相关联的电容值的电信号被提供给MUX216,其基于说明书CN104101373A5/17页9源自微控制器280的控制信号可以选择性地将所述电信号之一提供给CV转换器218。CV转换器218被配置以将电容值在线219上转换成电压信号,。
31、其中该电压信号有与由MUX216选择的加速计212214相关联的电容值成正比的幅值。在替代实施例中,器件200可以为每个加速计212214包括CV转换器,并且,替代地,多路复用器MUX可以用于从CV转换器中的一个选择电压信号。0028陀螺仪222224可以例如是MEMS陀螺仪。通常,MEMS陀螺仪包括带有电极(“可移动电极”)的移动质量块,其中所述电极悬挂在相邻于关于陀螺仪衬底被固定的第二电极(“固定电极”)。当衬底绕垂直于移动质量块的运动方向的轴旋转时,所述质量块经历了第三正交方向的幅值为2MV的力,其中M是质量,V是速度,以及是旋转速度。由于这个力,位移将发生,其取决于移动质量块悬架的弹簧。
32、常数。固定电极被放置,以便固定电极和可移动电极之间的距离将由于这个运动而发生改变。例如通过测量电容,力可以从距离变化计算出,以及旋转速度可以随后从力的表达式计算出。质量M通过设计是已知的,并且速度V从为可移动质量块设置的条件和其悬架的设计来确定,其中所述悬架包括通过施加正弦电压将可移动质量块驱动到共振的电极。在替代类型的陀螺仪中,不是利用在一条直线上移动的质量块,而可以使用振荡盘。振荡盘将根据右手定则AX响应于垂直旋转的磁盘轴的衬底旋转,其中A沿着旋转的盘轴,沿着衬底旋转方向。盘下方的电极可以被定位以测量盘和衬底之间的分离,以允许计算类似于上述讨论的用于线性情况的计算的衬底旋转速度。其它陀螺仪。
33、配置也是可以的。0029根据实施例,如前所述,器件200包括MUX226。源自陀螺仪222224的电信号被提供给MUX226,其可以选择性地将其中一个信号提供给MUX250。0030在各种实施例中,磁强计232234可以通过使用霍尔效应器件、磁性膜器件,例如各向异性磁阻(AMR)器件、巨磁电阻器件(GMR)、自旋阀、隧道结器件(MTJ)、洛伦兹力器件或其它类型磁器件被实施。霍尔器件依靠载流子的偏转,其中载流子沿着电阻元件流动以在垂直于流动的方向形成电位。该电压由VIB/(NED)给出的,其中I是电流,B是磁场强度,N是载流子浓度,E是电子电荷,以及D是电阻层的厚度。AMR、GMR、自旋阀和MT。
34、J器件依靠机构的电阻中的变化,所述变化是关于最低电阻优选方向的磁场强度的函数。例如,AMR器件可以包括一类磁材料的膜。GMR器件包括金属膜堆叠,例如,一个磁性膜在上面,一个非磁性膜在中间以及另一个磁性膜在底部。由于磁性层被电流的磁场反并行取向,横向地流经堆叠的电流产生了高阻力。这在接口处产生更多的散射,因此产生更高的电阻。外部磁场的施加克服了电流场,产生了磁化的并行对齐和更低的电阻。在自旋阀的情况下,其中一层具有方向固定的磁化。MTJ器件类似于自旋阀,除了非磁性层是绝缘的并且电流流动是通过隧穿绝缘结的。磁性层本身可以包括不同组分的堆叠。为了便于测量,磁性传感元件通常被排列成桥配置。洛伦兹力器件。
35、依靠由外部磁场施加在电流承载元件(例如导线或者线圈)上的力。通过使用可以移动与所施加的力成正比的MEMS结构,外部磁场的强度可以计算出来。这种MEMS结构通常被该结构的谐振频率下的交变电流驱动以增加移动,从而提高灵敏度。在另一种类型的磁性传感器器件中,永久磁性层代替了导电元件,并且由于外部场产生的力矩,该结构发生了位移。这些结构的位移可以通过电容感测或通过应变仪来测量。0031根据实施例,器件200包括如前所述的MUX236。源自磁强计232234的电信号被提供给MUX236,其可以选择性地给MUX250提供其中一个信号。说明书CN104101373A6/17页100032基于源自微控制器28。
36、0的控制信号,MUX250被配置以选择线219、229、239上的接收的输入中的一个以提供给增益和滤波器电路260。虽然多路复用器的具体配置在图2中被显示以允许从传感器212214、222224、232234中特定的一个选择信号,应了解其它多路复用器配置和电路可以提供相同的功能,包括包括了从源自所有传感器212214、222224、232234的输出信号接收和选择的单一多路复用器的配置。0033如上所述,微控制器280被配置以与外部电气系统进行通信。根据具体实施例,在制作器件200之后,器件200可以被安装在器件校准系统中(例如,图3的系统300)以为了校准器件200(例如,计算增益和偏移值或。
37、码)。结合校准过程,微控制器280可以从使微控制器280选择传感器输出,存储对应于传感器输出的数字值、基于所存储的数字值计算器件校准系数(例如,增益和偏移值或码)以及存储器件校准系数的校准系统接收一个或多个命令。0034现在将描述器件校准系统的各种实施例以及校准多个器件的方法。一些实施例可以被用于校准例如结合图2在上面所讨论的器件。其它实施例可以被用于校准在配置上不同于结合图2所讨论的实施例的器件。例如,但不是作为限定,各种实施例可以被用于校准不包括微控制器(例如,微控制器280)和/或内部存储器(例如,存储器282)的器件。在这种情况下,校准系统的实施例可以直接接收数字传感器输出,并且可以基。
38、于接收的传感器输出计算器件校准系数。在器件包括内部存储器的实施例中,校准系统可以使器件校准系数被存储在器件上。否则,器件校准系数可以随后被存储在电子系统的存储器件中,其中器件最终被包含在所述电子系统中。0035图3根据示例实施例,是器件校准系统300的简化方框图。校准系统300包括校准控制器310、器件处理系统350、以及一个或多个校准板370。正如在下面将要更详细讨论的,每个校准板370包括多个可以在其中插入多个包含传感器的器件372(“TID”)的插座(SOCKET)(例如,图4的插座420)。校准板插座还包括被配置以与包含传感器的器件372的相应触点电连接的导电触点。更具体地说,插座触点。
39、耦合于校准板370上的导体,并且校准板370上的导体最终耦合于使得包含传感器的器件372和校准控制器310之间进行通信的通信结构330。虽然只有一个校准板370在图3中被显示,系统可以包括多个校准板,如下所述,其可以被单个板支撑结构支撑。此外,为了提高并行制作能力,系统可以包括多个器件处理系统350。0036根据实施例,在校准控制器310的控制下,通过一系列的物理取向,器件处理系统350转移了校准板370(并因此转移了包含传感器的器件372)。在此过程中,校准控制器310与包含传感器的器件372进行通信,以便使每个包含传感器的器件372感测相对于一个或多个器件固定轴(例如,图1的轴110、11。
40、2、114)的加速度、场或力的大小和/或感测绕一个或多个器件固定轴的旋转速度。此外,在实施例中,校准控制器310还使每个包含传感器的器件372计算校准系数(例如,增益和偏移值或码),并将校准系数存储在包含传感器的器件372的存储器(例如,图2的存储器282)中。0037为了在校准控制器310和包含传感器的器件372之间进行通信,系统300还包括通信结构330。在实施例中,通信结构330包括多个导体和连接器,其使得各种信号和电压参考(例如,电源和接地)在校准控制器310和包含传感器的器件372之间进行通信。例如,在实施例中,通信结构330可以包括电互连校准控制器310和器件处理系统350的第一结。
41、说明书CN104101373A107/17页11构。例如,该第一结构可以包括第一多导体连接器334、多个导电线336以及第二多导体连接器338。第一结构可以例如是柔性的,其中带有位于电缆任一端的连接器334、338的多导体电缆的形式。在电缆一端的连接器334可以被配置以与校准控制器310的相应的多导体连接器332结合,以及在电缆另一端的连接器338可以被配置以与器件处理系统350的相应的多导体连接器340结合。器件处理系统350和校准板370的其它导体和连接器(例如,连接器342、344)可以完成通信结构330,从而能够使校准控制器310与包含传感器的器件372进行通信。虽然通信结构330的例。
42、子在本发明中的图3中被显示,并且在此被描述,应了解,替代实施例可以包括任何合适的通信结构,包括但不限定于包括了一个或多个无线通信链路的通信结构。因此,给定例子不应当被解释为限定。0038根据实施例,器件处理系统350包括基底352、可旋转板支撑结构354、一个或多个电机356、被配置以与校准控制器310电连接(例如,通过一个或多个额外的连接器332、334、338和导电线336)的第一连接器340、被配置以与校准板370电连接(例如,通过校准板370的相应的连接器344)的第二连接器342以及多个位于第一和第二连接器340、342之间的导体(未编号)。此外,在实施例中,器件处理系统350可以包。
43、括电耦合于第二连接器342的电路板358。电路板358可以包括微控制器360(或其它合适的控制和/或处理元件)、存储器(未显示)和/或其它组件。此外,在另一实施例中,器件处理系统350还可以包括被配置以产生穿过板支撑结构354的磁场的磁场发生器(未显示)。磁场发生器可以在校准包含传感器的器件372之前(或者更具体地说,在校准包含传感器的器件372的磁强计之前)被激活。或者,地球的磁场可以被用于校准包含传感器的器件372的磁强计。0039在实施例中,基底352被配置以在固定的位置支撑一个或多个电机356,并以使得板支撑结构354被电机356绕一个或多个轴旋转的方式支撑板支撑结构354。根据另一实。
44、施例,被安装在基底352的第一电机356可以被用于改变第二电机的取向(例如,双轴万向结构可以被用于使得两个电机356绕多个轴旋转板支撑构造354)。0040根据实施例,板支撑结构354被配置以将校准板370保持在相对其本身的固定位置。因此,由于板支撑结构354被电机356旋转,校准板370也被以相同的角度旋转。进一步,当包含传感器的器件372被安装在校准板370的插座中时,包含传感器的器件372也以相同的角度旋转。换句话说,器件处理系统350被配置以绕一个或多个轴同时旋转板支撑结构354、校准板370和包含传感器的器件372。在任何给定时间,板支撑结构354的取向定义了校准板370的和包含传感。
45、器的器件372的取向。0041如上所述,器件处理系统350包括连接器342,其被配置以与校准板370的相应的连接器344电连接。根据实施例,连接器342、344通过摩擦力被保持在一起,并且操作人员可以通过将校准板370的连接器344和器件处理系统350的连接器342对齐并通过使用施加在校准板370的合理的力将校准板370推向连接器342,而容易地将校准板370插入器件处理系统350。(即校准板370被配置为通过使用合理的力连接连接器342、344而耦合于板支撑结构354)。在另一个实施例中,校准板连接操作可以通过自动化的板处理系统执行,无需操作人员介入(例如,自动化的板处理系统可以拿起校准板3。
46、70,并将其装载到器件处理系统350)。无论哪种方式,一旦连接器342、344被牢固地结合,电连接就在被安装在校准板370的插座内的包含传感器的器件372和校准控制器310之间建立。正如在下面更详细描述的,校准过程可以随后进行。校准过程完成之后,操作人员(或自动化的板处理系说明书CN104101373A118/17页12统)随后可以通过使用合理的力将校准板370拔离连接器342而从器件处理系统350移除校准板370(即,校准板370被配置以通过使用合理的力断开连接器342、344而从板支撑结构354移除)。0042图4根据示例实施例,是校准板400(例如,图3的校准板370)的顶视图,其具有安。
47、装在校准板400的多个插座内的多个包含传感器的器件490例如,图3的包含传感器的器件372。在实施例中,校准板400包括衬底410、多个耦合于衬底410的插座420、边缘连接器430(例如,图3的连接器344)、位于插座420和连接器430之间的多个导体440、442、以及把手(HANDLE)480。虽然把手480不是必需的,把手480可以被包括在内以为了方便负责将校准板400插入器件处理系统(例如,图3的器件处理系统350),并从器件处理系统移除校准板400的操作人员。0043每个插座420被配置以保持包含传感器的器件490,并提供包含传感器的器件490和导体440、442之间的电连接。更具。
48、体地说,每个插座420被设计以便当包含传感器的器件490被安装在插座420内时,包含传感器的器件490的触点(例如,图2的触点290295)对齐并物理连接插座420的相应的触点(未显示)。根据实施例,校准板400包括被排列在行451、452、453、454、455、456、457、458和列461、462、463、464内的插座420的阵列。虽然具有8行451458和4列461464的插座的阵列在图4中被显示,应了解的是,校准板的替代实施例可以包括更多或更少行和/或列的插座,包括少至单行或单列的插座。因此,虽然被配置以保持32个包含传感器的器件490的校准板400在图4中被显示,应了解的是,校。
49、准板可以被设计以保持更多或更少包含传感器的器件。无论哪种方式,根据实施例,每个插座420可以通过在其所在的行和列被确定。或者,每个插座420可以通过一些其它的唯一标识符来识别,其使得校准系统(例如,图3的校准系统300的校准控制模块310)使用唯一插座标识符作为密钥(KEY)来存储与特定的包含传感器的器件相关的信息(例如,错误信息、状态信息、传感器数据、校准系数等等),所述特定的包含传感器的器件安装在特定的插座420内。0044每个导体440、442在插座触点和连接器430的导电元件之间延伸(例如,被配置以分别与另一个连接器,例如图3的连接器342,的相应的引脚插座或引脚结合的引脚或引脚插座)。导体440中的某一些可以被并行连接到给定列461464之内的插座420的相应的触点或校准板400的所有插座420的相应的触点。这些导体440可以在本发明中被称为“多插座导体”440。根据实施例,在多插座导体440上传送的信号或电压参考被同时传送到并行导体440所耦合的所有插座420(以及传送到被安装在这些插座420内的所有包含传感器的器件490)。某些其它导体442可以被连接到仅一个插座420的触点。这些导体442可以在本发明中被称为“单插座导体”442。根据实施例,在单插座导体442上传送的信号被传送到或仅通过被安装在单一插座420内的单一包含传感器的器件490。在图4中,只有一个多插座。