压电制动器的接线连接结构、压电制动器、以及磁头悬架 【技术领域】
本发明总体上涉及一种具有压电元件的压电制动器，其可响应于所施加的电能弯曲(warp)以相对于基底部微小地移动对象部。特别地，本发明涉及能够在不破坏压电元件或其可靠性的前提下实现与该压电元件的连线的接线连接结构。本发明还涉及压电制动器和使用该压电制动器的磁头悬架。
背景技术
小型化、精密信息设备的发展十分迅速，并且对于能够执行非常短距离的定位控制的微型制动器的需求日益增长。例如在用于校正聚焦和倾角的光学系统、用于控制喷墨头的喷墨打印机、以及用于控制磁头的磁盘驱动器中都非常需要上述的微型制动器。
本发明的申请人已经在日本待审专利申请公开No.2002-50140中提出了一种磁盘驱动器的磁头悬架，该磁头悬架具有基底板、与基底板相连并且具有比基底板更薄的铰链的连接板、与该连接板相连的承载梁、与该承载梁相连并且具有滑块的弯曲部、以及一对压电元件。
上述现有技术使用了双制动器系统，出于精确定位的目的，该双制动器系统包括音圈马达和例如由PZT(锆钛酸铅)制成的压电元件。该压电元件形成了可微小地驱动承载梁的前端或是仅在磁头悬架的宽度方向(摇摆方向)上驱动滑块的压电制动器。与仅使用音圈马达的单个制动器系统相比较，使用音圈马达和压电制动器的双制动器系统可更加精确地定位与磁头悬架的前端相连的磁头。
使用双制动器系统的磁头悬架所存在的一个重要问题在于，如何向压电元件供电。
在日本待审专利申请公开No.2003-61371(具体的，图9和图10)中公开了一种解决上述问题的技术。上述现有技术在磁头悬架上设置了一对配线，其中一条配线通过配线接合法(wire bonding)连接到基底电极，并且另一条配线通过配线接合法连接到各压电元件的顶面上的暴露部分。
上述现有技术存在压电元件破裂的危险，这是由于在对压电元件进行配线接合时会对容易破裂的压电元件施加局部应力以便确保接合的强度。
如果使用不会破裂压电元件的减小的力执行配线接合处理，则接合强度又会不充分以至于破坏与压电元件的电连接的可靠性。
以上述方式，难以在不破坏压电元件的前提下，执行和压电元件的线连接。
【发明内容】
本发明的目的在于，提供一种压电制动器的接线连接结构，其能够实现与压电制动器的压电元件配线连接的同时，不会破损压电元件或是破坏其可靠性。
为了实现上述目的，本发明的一个方面提供了一种具有压电元件的压电制动器的接线连接结构，所述压电元件被设置在具有基底部和移动部的对象(object)上，根据所述压电元件响应于对其所施加的电功率产生的变形，相对于所述基底部微小地移动所述移动部。所述接线连接结构包括：端子，其具有电绝缘层和配线层，所述电绝缘层朝向压电元件的电极表面，并且所述配线层形成于没有朝向电极表面的绝缘层的表面上并且用于向电极表面供电；通孔，其形成在所述端子当中并且至少经过所述绝缘层；第一液体塞子，其设置在所述电极表面和端子之间的间隙中的通孔周围；液体存留弯，其设置在邻近所述第一液体塞子的位置处；以及在所述通孔中填充的导电粘合剂，当向所述通孔中填充时，所述导电粘合剂是液态地。所述导电粘合剂使得所述电极表面和所述配线层彼此之间电连接。所述液体存留弯具有用于接受多余的导电粘合剂的存留空间，所述多余的导电粘合剂是在向所述通孔填充导电粘合剂时产生。
根据本发明的这个方面，所述电极表面和所述配线层通过导电粘合剂彼此之间电连接。所述液体存留弯具有用于接受多余的导电粘合剂的存留空间，所述多余的导电粘合剂是在向所述通孔填充液体粘合剂时所形成的。
在电极表面和端子之间的间隙中存在第一液体塞子(liquid stopper)，以限定出缩短的间隙。当向通孔填充液体导电粘合剂时，粘合剂在缩短的间隙中展现出毛细现象，以使粘合剂渗入并且分散到该缩短的间隙中。
对于通过第一液体塞子限定的缩短的间隙当中的电极表面和端子之间的间隙，不出现毛细现象，由此液体导电粘合剂不会渗入或是分散到第一液体塞子外面的间隙当中。
即，液体粘合剂不会溢出到第一液体塞子的外边缘之外。第一液体塞子的外边缘起到了将粘合剂保持在第一液体塞子的外边缘内的保护堤的作用。结果，本发明的这个方面可确保压电元件的电极表面和端子之间的电连接具有充分的接合强度，同时不会对压电元件施加机械应力。
根据本发明的上述方面，液体存留弯具有用于接受多余的液体粘合剂的存留空间，所述多余的导电粘合剂是在向所述通孔填充液体粘合剂时所形成的。即使所施加的液体粘合剂的量相对大，仍可防止粘合剂溢出。
因此，上述方面可执行与压电元件的配线连接，同时不会损坏压电元件或是破坏它的可靠性。
【附图说明】
图1是示出了根据本发明实施例的磁头悬架的透视图；
图2是示出了在图1的磁头悬架中嵌入的压电制动器的透视图；
图3是沿着图2中的线A-A看去的截面图；
图4是示出了图1的磁头悬架的底面图；
图5A和图5B是示出了图1的磁头悬架的配线部件的示意图，其中图5A是从磁头悬架的下方看去的示意图，而图5B是从磁头悬架中嵌入的压电元件看去的示意图；
图6A和图6B是示出了根据本发明的实施例1的端子的示意图，其中图6A是从压电元件侧看去的前视图，而图6B是沿着图4中的线B-B看去的连接状态下的截面图；
图7A和图7B是示出了将实施例1中的端子连接到压电元件的处理的截面图；
图8A和图8B是示出了根据本发明的实施例2的端子的示意图，其中图8A是从压电元件侧看去的前视图，而图8B是沿着图4中的线B-B看去的连接状态下的截面图；
图9A和图9B是示出了根据本发明的实施例3的端子的示意图，其中图9A是从压电元件侧看去的前视图，而图9B是沿着图4中的线B-B看去的连接状态下的截面图；
图10A是示出了根据本发明的实施例1的变形例1的端子的示意图；
图10B是示出了根据本发明的实施例1的变形例2的端子的示意图；
图11A是示出了根据本发明的实施例3的变形例1的端子的示意图；
图11B是示出了根据本发明的实施例3的变形例2的端子的示意图；
图12是示出了根据本发明的实施例1的变形例3的端子的示意图；以及
图13是示出了根据本发明的变形例的磁头悬架的总体示意图。
【具体实施方式】
下面参考附图详细地说明根据本发明实施例的压电制动器的接线连接结构、压电制动器、以及磁头悬架。
首先，说明根据本发明实施例的磁头悬架。
图1是示出了根据本发明实施例的磁头悬架31的透视图。
磁头悬架31包括：具有可根据施加的电压变形的压电元件13的压电制动器11、对应于权利要求书中指明的“基底部”的基底板33、承载梁35、以及起到铰链功能的连接板37等。
基底板33具有可嵌入压电元件13的开口43。压电元件13响应于所施加的电压而变形，以便在摇摆方向上、即承载梁35的水平方向上，移动承载梁35的前端。
基底板33弹性地支撑承载梁35并且是由具有例如大约150至200μm厚度的不锈钢薄板制成的。
基底板33具有一对都呈U形的挠性部件41a和41b、用于容纳压电元件13的开口43、以及实质上呈圆形的突起45。挠性部件41a和41b在对应于压电元件13的侧面的位置处各自向外弯曲。
基底板33被固定到制动器的臂的前端(未示出)，并且通过音圈马达(未示出)驱动和转动。
基底板33可由诸如铝合金等轻金属和包括轻金属和不锈钢的复合材料制成。这样的轻材料可降低基底板33的惯量，提高摇摆方向上的磁头悬架31的谐振频率，并且改善磁头悬架31的寻迹性能。
除了为基底板33提供挠性部件41a和41b以及开口43之外，还可使用具有挠性部件41a和41b以及开口43的制动器板34。在这种情况下，将制动器板34的后端布置到基底板33上并且通过诸如激光焊接等合适的固定方式将其固定。
也就是说，本发明不仅包括具有基底板33和制动器板34两者的磁头悬架，并且还包括仅具有基底板33的磁头悬架。
在下面的说明中，认为制动器板34和基底板33是一体的，这是出于方便说明的考虑。
承载梁35具有弯曲部39。弯曲部39的前端支撑具有磁头的滑块(未示出)。承载梁35可由大约30至150μm厚的不锈钢板制成并且用于将负载施加到滑块上。
弯曲部39具有用于向压电元件13的电极提供电能并且用于传送从磁头发送的读信号/发送到磁头的写信号的配线部件55。弯曲部39可由不锈钢薄板弹簧制成并且比承载梁35更薄并且更精确。
承载梁35具有可改善承载梁35的硬度的、在长度方向上弯折的边缘36a和36b。承载梁35的后端是与连接板37一体的。
承载梁35可由诸如铝合金等轻金属和包括轻金属和不锈钢的复合材料制成。这样的轻材料可降低承载梁35的惯量，提高摇摆方向上的磁头悬架31的谐振频率，并且改善磁头悬架31的寻迹性能。
连接板37可由大约30μm厚的弹性金属板制成。连接部37的一部分具有用于降低厚度方向上的硬度的孔47。在孔47的两侧上，分别具有在厚度方向上弯折的铰链49a和49b。将连接板37的后端布置到基底板33的前端的底面上并且通过诸如激光焊接等合适的固定方式将其固定。
下面将会说明在磁头悬架31中嵌入的压电制动器11。
图2是示出了压电制动器11的透视图，而图3是沿着图2中的线A-A看去的截面图。
在图2和图3中，压电制动器11具有实质上呈矩形形状的压电元件13。压电元件13响应于所施加的电压变形，并且压电制动器11相应地驱动对象部(承载梁35)。当对压电元件13施加电压时，或是当停止对压电元件13施加电压时、或是根据对压电元件13施加的电压等级，发生压电元件13的变形。
压电元件13包括：设置在公共板上并且彼此之间间隔预定距离的第一和第二电极15和17、与第一和第二电极15和17相对的公共电极19、以及在第一和第二电极15和17与公共电极19之间设置的压电材料21。
第一和第二电极15和17以及公共电极19可由诸如金(Au)的具有低接触电阻的金属制成。
第一和第二电极15和17实质上具有相同的形状和大小。公共电极19在大小和形状上与第一和第二电极15和17的组合实质上相同。
压电材料21包括：根据对第一电极15施加的电压而变形的第一压电材料21a和根据对第二电极17施加的电压而变形的第二压电材料21b。将第一和第二压电材料21a和21b设置成使它们产生相反的极化。第一和第二压电材料21a和21b可由例如压电陶瓷制成，该压电陶瓷在极性方向上彼此相差180度。
下面将会说明压电制动器11的操作。在图2中，标记有“X”的压电元件13的侧面是固定侧面，标记有“Y”的侧面是驱动侧面，第一和第二电极15和17接地，并且公共电极19接收电压。
当接收到电压时，压电元件13变形成为一梯形，该梯形具有收缩的第一电极15的端面23和伸长的第二电极17的端面25。
结果，压电元件13在Z方向上移动非常小的距离，从而移动与压电元件13的驱动侧面Y相连接的部件(承载梁35)。
当公共电极19接地并且第一和第二电极15和17接收到电压时，压电元件13在Z方向上(与Z方向相反的方向)移动微小的距离，从而移位(displace)与压电元件13的驱动侧面Y相连接的部件(承载梁35)。
压电制动器11需要第一和第二电极15和17以及公共电极19所需的三个电系统。这样的配置可以简化与压电元件13的连线并且确保压电元件13的可靠性。
压电制动器11具有单个的压电元件13，以便减少部件的个数，最小化部件设置，并且降低磁头悬架31的成本。
下面进一步说明磁头悬架31。
图4是示出了图1中的磁头悬架31的底视图。
如图1和图4所示，在磁头悬架31的基底板33形成的开口43中嵌入有压电元件13，从而使得第一和第二电极位于顶面，而使公共电极19位于底面。基底板33的顶面与压电元件13的顶部电极表面齐平。
开口43的外围边缘的前端和后端都被部分地刻蚀以改善非导电的粘合剂51的粘性。部分刻蚀形成了支撑体33a1和33a2。支撑体33a1和33a2中的每一个都具有用于支撑压电元件13的公共电极19的表面。
在压电元件13的公共电极19和支撑体33a1、33a2之间，设置了具有合适厚度的一层非导电粘合剂51。该粘合剂层有效地将压电元件13的变形(移位)传递给承载梁35并且确保了公共电极19和基底板33(支撑体33a1和33a2)之间的电绝缘。
基底板33与连接板37重叠的部分对应于压电制动器11的驱动侧面Y。
接下来，将会说明根据本发明实施例的压电制动器的接线连接结构。
图5A和图5B是示出了图1中的磁头悬架31的配线部件55，其中图5A是从磁头悬架31的下方看去的示意图，而图5B是从磁头悬架31中嵌入的压电元件13看去的示意图。图6A和图6B是示出了根据本发明的实施例1的端子57-1的示意图，其中图6A是从压电元件13侧看去的前视图，而图6B是沿着图4中的线B-B看去的连接状态下的截面图。
当组装磁头悬架31时，相对于开口43的内圆周来定位压电元件13，以使压电元件13的公共电极19(对应于权利要求书中指明的“电极表面”)朝向弯曲部39的配线部件55的端子57，如图4、图5A和图5B所示。在弯曲部39的端子57和压电元件13的公共电极19之间，存在一个几十微米宽的间隙(gap)。在这个间隙中，设置了接线连接结构以确保端子57和公共电极19之间的电连接。
首先，将会说明根据本发明的接线连接结构的基本形态。接线连接结构的基本形态包括：端子57、通孔67、第一液体塞子69、液体存留弯73、以及导电粘合剂79。
如图5A所示，端子57(配线部件55)具有：导电基底59(弯曲部39的不锈钢基底)、在导电基底上形成的电绝缘层61、以及例如由绝缘层61上布置的铜配线制成的配线63。导电基底59、绝缘层61、以及配线63在公共电极19侧依次连续地形成叠层。
如图5B所示，朝向压电元件13的公共电极19的端子57(配线部件55)的区域65不具有导电基底。即，在区域65中，通过刻蚀去除了导电基底59，以便防止在公共电极19和导电基底59之间形成短路故障。结果，绝缘层61朝向区域65中的公共电极19。配线63向公共电极19供电。
经过绝缘层61和端子57的配线63形成有通孔67。至少经过端子57的绝缘层61来形成通孔67，这是因为当至少经过绝缘层61形成通孔67时可确保公共电极19和配线63之间的电连接。
第一液体塞子69与公共电极19和端子57之间的间隙中环绕通孔67形成第一液体塞子69。当在通孔67中填充液体状态下的导电粘合剂79时，第一液体塞子69可缩短公共电极19和端子57之间的间隙，以便限定出缩短的间隙并且使得在缩短的间隙中出现毛细现象。可使第一液体塞子69与导电基底层59分离并且可将第一液体塞子69与端子57和公共电极19的表面的其中之一相连。
第一液体塞子69必须是可阻挡液体导电粘合剂79的固体阻挡物，因此第一液体塞子69可由诸如金属和树脂等不会被粘合剂79腐蚀或溶解的合适材料制成。
液体存留弯73具有存留空间77，当向通孔67填充粘合剂79时，该存留空间77用于接收多余的液体导电粘合剂79。当向通孔67注入液体导电粘合剂79时，需要将液体导电粘合剂79保持为液态，之后使其慢慢地丧失液态性并且固化。靠近第一液体塞子69的位置处设置液体存留弯73。导电粘合剂79可以例如是银的浆糊或是其他合适的粘合剂。
通过导电粘合剂79使得公共电极19和配线63彼此之间电连接。液体存留弯73的存留空间77接受当向通孔67填充液态下的粘合剂79时出现的多余的导电粘合剂79。
在基底板33与压电元件13的第一和第二电极15、17之间，如图1所示地施加导电粘合剂53a和53b，以确保电极15、17和基底板33之间的电连接。
以上述方式，接线连接结构的基本形态可通过导电粘合剂79使得公共电极19和配线63彼此之间电连接，并且如果需要还可设置用于保留多余的导电粘合剂79的具有存留空间77的液体存留弯73。
当液体导电粘合剂79充满了通孔67时，在公共电极19和端子57之间的间隙中存在第一液体塞子69，以便形成缩短的间隙。该缩短的间隙产生毛细现象以分散在该缩短的间隙中的导电粘合剂79。
与第一液体塞子69限定出的缩短的间隙相比较，在电极19和端子57之间的相对宽的间隙中，不会出现毛细现象，因此粘合剂79不会渗入或是分散到宽的间隙中。
即，粘合剂79不会溢出到第一液体塞子69的外边缘之外。第一液体塞子69的外边缘起到使粘合剂79保留在其中的防护堤的作用。结果，接线连接结构的基本形态确保了压电元件13的公共电极19与端子57之间的电连接，并且无需对压电元件13施加机械应力即可使其具有充分的接合强度。
液体存留弯73具有用于当向通孔67填充粘合剂79时可保留多余的粘合剂79的存留空间77。即使所施加的液体粘合剂79的量相对较大，粘合剂79仍不会溢出到外面。
因此，接线连接结构可执行与压电元件13的配线连接，同时不会破坏压电元件13或是影响压电元件13的可靠性。
然而，接线连接结构的基本形态具有如下危险，即如果通孔67中填充了量过多的导电粘合剂79则导电粘合剂79就会溢出。如果粘合剂79溢出，则它会破坏磁头悬架31的硬度平衡和振荡特性，并会造成公共电极19和磁头悬架31的任何导电部件之间的短路。
可通过图6A和图6B所示的实施例1的端子57-1的接线连接结构来解决上述问题。
在图6A中，根据实施例1的端子57-1具有第一液体塞子69-1。第一液体塞子69-1具有实质上具有的环形形状的塞子部71和与塞子部71一体的液体存留弯73。
第一液体塞子69-1的塞子部71具有用于将多余的液体导电粘合剂79引导到液体存留弯73的切口75。即，切口75将多余的液体导电粘合剂79引入到液体存留弯73的存留空间77中。
与切口75相比，存留空间77具有延伸的空间。即使充满了通孔67的粘合剂79造成相对大的余量，仍可将该余量引入到宽的存留空间77当中，从而防止了粘合剂79溢出。
通过当刻蚀掉区域65(图5B)中的导电基底59时部分地留下环绕通孔67的导电基底59不被刻蚀的方式来形成第一液体塞子69-1。在这种情况下，第一液体塞子69-1必须与导电基底59的剩余部分电绝缘，从而避免公共电极19和导电基底59之间出现短路。
可选的，还可完全地刻蚀掉区域65(图5B)中的导电基底59，随后环绕通孔67设置与导电基底59分离的第一液体塞子69-1。在图6B中，使用覆盖层81完全地覆盖配线63，从而避免导电粘合剂79和配线被氧化。
下面将会参考图7A和图7B说明如何使端子57-1连接压电元件13，其中图7A说明了端子57-1的第一连接处理，而图7B说明了端子57-1的第二连接处理。
在图7A中，端子57-1和通孔67的开口位置颠倒，通孔67的开口位于顶部。在这种状态下，液体状态下的导电粘合剂79填充到通孔67当中。
之后，再次颠倒端子57-1成为图7A所示的状态，以使端子57-1的绝缘层61朝向压电元件13的公共电极19。之后，如图7B所示，将端子57-1放置到公共电极19之上。
此时，第一液体塞子69-1可防止导电粘合剂79向外流出。如果存在多余的导电粘合剂79，则将其引入到液体存留弯73的存留空间77当中，从而防止多余的导电粘合剂79向外溢出。
当液体导电粘合剂79充满通孔67时，在根据实施例1的接线连接结构的端子57-1和公共电极19之间的间隙中具有第一液体塞子69-1，以便限定出如图6B所示的缩短的间隙。该缩短的间隙可产生毛细现象以使导电粘合剂79分散到该缩短的间隙当中。
与第一液体塞子69-1限定出的缩短的间隙相比较，在电极19和端子57-1之间的相对宽的间隙中，不会出现毛细现象，因此粘合剂79不会渗入或是分散到宽的间隙中。
即，粘合剂79不会溢出到第一液体塞子69-1的外边缘之外。第一液体塞子69-1的外边缘起到使粘合剂79保留在其中的防护堤的作用。结果，根据实施例1的接线连接结构确保了压电元件13的公共电极19与端子57-1的配线63之间的电连接，并且无需对压电元件13施加机械应力即可使其具有充分的接合强度。
如果在公共电极19和端子57-1之间的间隙中不存在液体塞子，则不需要用于防止液体粘合剂79流散的防护堤。
随后，通孔67中充满的液体粘合剂79可在公共电极19和端子57-1之间自由地流散。
这会导致如下问题的出现：1)很难控制填充到通孔67当中的液体粘合剂的量并且很难自动化向通孔67的粘合剂填充操作，2)破坏了磁头悬架31的硬度平衡和振荡特性，以及3)液体粘合剂的余量会导致公共电极19和磁头悬架31的任何导电部件之间出现短路。
为了解决上述问题，根据实施例1的接线连接结构在公共电极19和端子57-1之间的间隙中插入了液体塞子69-1，从而防止了通孔67中填充的液体导电粘合剂79在公共电极19和端子57-1之间自由地散开。
实施例1能够：1)方便地控制填充到通孔67当中的液体粘合剂的量并且自动化向通孔67的粘合剂填充操作，2)正确地保持磁头悬架31的硬度平衡和振荡特性，以及3)防止导电粘合剂79在公共电极19和端子57-1之间自由地散开，从而避免了公共电极19和磁头悬架31的任何导电部件之间出现短路。
如果通孔67中填充的液体粘合剂79过量，则多余的液体粘合剂79被引入到液体存留弯73的存留空间77当中，以便防止余量溢出。即，即使液体粘合剂79过量，余量也不会溢出到外面。
相应地，实施例1可执行与压电元件13的配线连接的同时，不会损坏压电元件13或是破坏它的可靠性。
下面将会说明根据实施例2的压电制动器的接线连接结构。这种接线连接结构使用了如图8A和图8B所示的端子57-2，其中图8A是从压电元件13侧看去的前视图，而图8B是沿着图4的线B-B看去的连接状态下的截面图。
根据实施例2的端子57-2包括第一液体塞子69-2，该第一液体塞子69-2具有环绕公共电极19和端子57-2之间的间隙中的通孔67的环形形状。环绕第一液体塞子69-2，设置了环形的第二液体塞子101，第二液体塞子101的直径不同于第一液体塞子69-2的直径并且与第一液体塞子69-2呈同心圆。第一和第二液体塞子69-2和101之间的环形凹陷限定了液体存留弯73的存留空间77。
如果通孔67中填充的液体导电粘合剂79过量并且如果余量溢出了第一液体塞子69-2，则将余量引入到液体存留弯73的存留空间77当中，即第一和第二液体塞子69-2和101之间的环形凹陷。即，即使通孔67中填充的粘合剂79过量，也可将余量引入到液体存留弯73的存留空间77当中，从而防止了余量溢出到外面。
当刻蚀掉区域65(图5B)中的导电基底59时通过部分地留下通孔61周围的导电基底59形成第一和第二液体塞子69-2和101。在这种情况下，液体塞子69-2和101必须与导电基底59的剩余部分电绝缘，从而避免公共电极19和导电基底59之间出现短路。
可选的，还可完全地刻蚀掉区域65(图5B)中的导电基底59，随后环绕通孔67设置与导电基底59分离的液体塞子69-2和101。
根据实施例2，第一和第二液体塞子69-2、101的外边缘起到了双层防护堤的作用。如果液体导电粘合剂79溢出第一液体塞子69-2的外边缘，则可在第二液体塞子101的外边缘当中容纳溢出的粘合剂。结果，实施例2可确保公共电极19和端子57-2的配线63之间的电连接具有合适的接合强度，同时不会给压电元件13带来机械应力。
如果通孔67中填充的液体导电粘合剂79过量，则多余的液体导电粘合剂79会被引入液体存留弯73的存留空间77当中，即第一和第二液体塞子69-2和101之间的环形凹陷，从而防止余量从凹陷当中溢出。也就是说，即使液体粘合剂79过量，余量也不会溢出到外面。
相应地，实施例2可执行与压电元件13的配线连接，而不会损坏压电元件13或是破坏它的可靠性。
下面将会说明根据本发明的实施例3的压电制动器的接线连接结构。这种接线连接结构使用了如图9A和图9B所示的端子57-3，其中图9A是从压电元件13侧看去的前视图，而图9B是沿着图4中的线B-B看去的连接状态下的截面图。
根据实施例3的端子57-3包括在公共电极19和端子57-3之间的间隙中在通孔67周围的具有环形形状的第一液体塞子69-3。环绕第一液体塞子69-3，设置了环形的第二液体塞子101，第二液体塞子101的直径不同于第一液体塞子69-3的直径并且与第一液体塞子69-3呈同心圆。第一液体塞子69-3的圆周部分具有实施例3所特有的切口103。
第一和第二液体塞子69-2和101之间的环形凹陷限定了液体存留弯73的存留空间77。
如果通孔67中填充的液体导电粘合剂79过量，则将余量通过切口103引入到液体存留弯73的存留空间77当中，即第一和第二液体塞子69-3和101之间的环形凹陷。也就是说，即使通孔67中填充的粘合剂79过量，也可将余量引入到液体存留弯73的存留空间77当中，从而防止了余量溢出到外面。
当刻蚀掉区域65(图5B)中的导电基底59时通过部分地留下通孔67周围的导电基底59来形成第一和第二液体塞子69-3和101。在这种情况下，液体塞子69-3和101必须与导电基底59的剩余部分电绝缘，从而避免公共电极19和导电基底59之间出现短路。
可选的，还可完全地刻蚀掉区域65(图5B)中的导电基底59，随后环绕通孔67设置与导电基底59分离的液体塞子69-3和101。
根据实施例3，第一和第二液体塞子69-3、101的外边缘起到了双层防护堤的作用。如果液体导电粘合剂79溢出第一液体塞子69-3的外边缘或是切口103，则可在第二液体塞子101的外边缘当中容纳溢出的粘合剂。结果，实施例3可确保公共电极19和端子57-3的配线63之间的电连接具有合适的接合强度，同时不会给压电元件13带来机械应力。
如果通孔67中填充的液体导电粘合剂79过量，则多余的液体导电粘合剂79会被引入液体存留弯73的存留空间77当中，即第一和第二液体塞子69-3和101之间的环形凹陷，从而防止余量从凹陷当中溢出。也就是说，即使液体粘合剂79过量，余量也不会溢出到外面。
相应地，实施例3可执行与压电元件13的配线连接，而不会损坏压电元件13或是破坏它的可靠性。
返回图1至图4，说明磁头悬架31的操作。假设压电元件13的第一和第二电极15和17接地并且它们的公共电极19接收预定的电压。
如图2所示，第一电极15的端面23收缩并且第二电极17的端面25伸长，由此压电元件变形成为梯形。
也就是说，压电元件13在方向Z上微小地移动，从而在摇摆方向(磁头悬架31的宽度方向)上移动驱动侧面Y上的承载梁35。
如果公共电极19接地并且第一和第二电极15和17接收预定的电压，则压电元件13在方向Z上微小地移动，从而在相对的摇摆方向上移动驱动侧面Y上的承载梁35。
包括压电制动器11的磁头悬架31需要第一和第二电极15、17和压电元件13的公共电极19的三个电系统。这样的配置使得与压电元件13的配线连接变得简单和可靠。
基底板33在开口43中容纳压电元件13并且从下方支撑该压电元件13。基底板33的开口43环绕压电元件13，从而可以方便地定位压电元件13并且保护易损的压电元件13不受损坏。
彼此相对的公共电极19和端子57通过单一的连接(导电粘合剂79)彼此相连。这样的配置减少了弯曲部39上的配线的个数并且增多了一块材料上可产生的弯曲部的个数。
尽管通过实施例已经说明本发明，但是这些实施例并不用于限制本发明。在不脱离权利要求书和说明书所指明或暗示的本发明的范围和技术精神的前提下，可以对实施例作出修改。根据这些修改的压电元件的接线连接结构、压电制动器、以及磁头悬架都落入本发明的范围之内。
例如，除了基底板33之外，本发明还包括在制动器板34上具有可挠性部件41a和41b以及开口43(图1)的磁头悬架。
权利要求书中所提及的“基底部”包括基底板33和制动器板34。相应地，权利要求书中所提及的“基底部”还可是“基底板”或“制动器板”。
根据本发明的实施例1，端子57-1的第一液体塞子69-1具有两者一体的环形塞子部件71和单个液体存留弯73。这并不限制本发明。
图10A是示出了根据实施例1的变形例1的端子57-1A的示意图，而图10B是示出了根据实施例1的变形例2的端子57-1B的示意图。
在图10A中，端子57-1A具有彼此一体的环形塞子部71以及两个液体存留弯73a和73b。在图10B中，端子57-1B具有彼此一体的环形塞子部71以及三个液体存留弯73a、73b和73c。
邻近环形塞子部71设置的液体存留弯73的个数是可选的并且可根据设计条件等来确定。
根据本发明的实施例3，端子57-3的第一液体塞子69-3具有单个切口103。这并不限制本发明。
图11A是示出了根据实施例3的变形例1的端子57-3A的示意图，而图11B是示出了根据实施例3的变形例2的端子57-3B的示意图。
在图11A中，端子57-3A具有环形形状的第一液体塞子部69-3和两个切口103a和103b。在图11B中，端子57-3B具有环形形状的第一液体塞子部69-3以及三个切口103a、103b和103c。
环形的第一液体塞子的个数是可选的并且可根据设计条件等来确定。
根据本发明的实施例和变形例，通过端子57的电绝缘层61和配线63来形成通过67。这并不限制本发明。
图12是根据本发明的实施例1的变形例3的端子57-1X的示意图。
在图12中，端子57-1X包括没有通孔的配线63。配线63具有朝向压电元件13的公共电极19并且与经过端子57-1X的绝缘层61形成的通孔67中填充的导电粘合剂79接触的表面区域63a，由此确保了公共电极19和配线63之间的电连接。
根据本发明的实施例和变形例，在基底板33和承载梁35之间插入了压电制动器。这并不限制本发明。
本发明可应用于固定到用于移动磁头悬架的磁头的托架臂上的磁头悬架。在这种情况下，可在基底部和磁头之间插入压电制动器，以便微小地移动磁头悬架、或是磁头滑块、或是磁头。
根据本发明的实施例和变形例，第一和第二液体塞子69和101是环形的并且被同心圆地设置。这并不限制本发明。
例如，还可采用具有图6A所示的液体存留弯73的液体塞子69-1和例如图8A所示的环形第二液体塞子101的组合。
根据本发明的实施例和变形例，压电制动器11使用了一个应用根据本发明的接线连接结构的压电元件13。这并不限制本发明。
图13是示出了根据本发明的变形例的磁头悬架的示意图。
在图13中，压电制动器113使用了一对压电元件111a和111b，并且压电元件111a和111b中的每一个都使用了本发明的接线连接结构。