一种连接SISUB3/SUBNSUB4/SUB陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201110192243.6

申请日:

2011.07.11

公开号:

CN102357696A

公开日:

2012.02.22

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情:

专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):B23K 1/008变更事项:专利权人变更前:江苏科技大学变更后:江苏科技大学变更事项:地址变更前:212003 江苏省镇江市梦溪路2号变更后:212028 江苏省镇江市丹徒新城工业园区瑞山东路9号|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):B23K 1/008申请日:20110711|||公开

IPC分类号:

B23K1/008; B23K1/19; B23K1/20

主分类号:

B23K1/008

申请人:

江苏科技大学

发明人:

邹家生; 许祥平; 高飞; 严铿

地址:

212003 江苏省镇江市梦溪路2号

优先权:

专利代理机构:

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人:

楼高潮

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内容摘要

本发明公开了一种连接Si3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法,其中间层组件依顺序由Ti箔、Ag-Cu钎料箔、Ni箔和Ag-Cu钎料箔紧贴组成。本发明的连接方法是先将待连接的Si3N4陶瓷试样和中间层组件磨平、磨光和清洗;然后按Si3N4陶瓷、Ti、Ag-Cu、Ni、Ag-Cu、不锈钢的顺序紧接安装并置于真空炉中进行钎焊。本发明能缓解陶瓷与不锈钢接头残余应力,提高接头强度,工艺简单,实施方便。

权利要求书

1: 一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件, 其特征在于 : 该中间层组件依顺序由 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔、 Ni 箔和 Ag-Cu 钎料箔紧贴组成。
2: 根据权利要求 1 所述的连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件, 其特征在于 : 所述的 Ti 箔的纯度为 99.8%以上, 厚度为 5-10μm 的工业级产品 ;
3: 根据权利要求 1 所述的连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件, 其特征在于 : 所 述的 Ag-Cu 钎料箔按质量百分比含量由组分 : Ag 为 72.0 %, Cu 为 28.0 %组成, 厚度为 100-150μm 的工业级产品。
4: 根据权利要求 1 所述的连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件, 其特征在于 : 所述的 Ni 箔的纯度为 99.8%以上, 厚度为 600-800μm 的工业级产品。
5: 一种如权利要求 1 所述的连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件的连接方法, 其特 征在于, 包括如下步骤 : (1) 准备阶段 : 先将待连接的 Si3N4 陶瓷试样端面用金刚石研磨膏磨平, 再将 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔、 Ni 箔和不锈钢用 5 号金相砂纸磨光, 然后一起置于丙酮中进行超声波清洗 10 分钟 ; (2) 装配步骤 : 将经磨光的 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔、 Ni 箔、 不锈钢和经磨平的 Si3N4 陶瓷按 Si3N4 陶瓷、 Ti、 Ag-Cu、 Ni、 Ag-Cu、 不锈钢的顺序紧贴安装在专用夹具中 ; 同时在待连接件上 放置一小砝码以产生 0.020-0.029MPa 的压力 ; (3) 连接阶段 : 将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊, 真空炉先以 10-15K/ min 的速率升温至 923K, 保温 30min ; 再以 10-15K/min 的速率升温至 1113-1153K, 保温 -3 10-30min ; 然后以 6-10K/min 的速率冷至 873K ; 真空度小于 10 Pa ; 自然冷却至室温时开炉 门取样。
6: 根据权利要求 5 所述一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件的连接方法, 其特 征在于, 所述不锈钢为 1Cr18Ni9Ti。

说明书


一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法

    技术领域 :
     本发明涉及异种材料的连接, 更具体地说, 是涉及一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的 中间层组件及连接方法, 属于焊接技术领域。 背景技术 :
     结构陶瓷材料具有强度高、 耐高温、 耐腐蚀等独特性能, 但其脆性大、 强度分散和 加工困难等缺点, 限制了它作为整体机构在工程中的应用。 实现结构陶瓷与金属的连接, 对 扩展陶瓷的应用领域具有重要意义。
     陶瓷与金属的连接主要是活性钎焊和扩散焊, 此外还有部分瞬间液相连接和二次 PTLP 等新方法。由于陶瓷和金属的物理化学性能存在较大差异, 特别是两种材料间的热膨 胀系数差别较大, 接头在冷却过程中由于收缩不均匀造成较大的残余应力, 使连接强度大 大降低。
     严重者自行开裂, 甚至成为结构损坏的直接或间接原因, 因此, 实现陶瓷与金属之 间的可靠连接是 Si3N4 陶瓷得以广泛工业应用的重要前提和保证。
     活性钎料的研究与开发是发展陶瓷 / 金属钎焊的一项重要内容。国内熊柏青、 楚 建新等研究表明添加中间层可有效控制残余热应力对 Si3N4/ 金属钎焊接头性能的影响 ; 翟 阳、 任家烈等使用非晶态合金作中间层扩散连接 Si3N4 与 40Cr 钢, 但连接强度不高 ; 何鹏、 冯 吉才、 钱乙余等研究了 Si3N4 陶瓷与不锈钢材料扩散连接接头的残余应力的分布特征及中 间层的作用, 但接头强度较低。以上对 Si3N4 与金属的连接能有效减低接头残余应力, 但均 存在接头强度低而无法满足工程实际应用的要求。 发明内容 :
     技术问题 : 本发明的目的是针对现有技术存在的缺陷, 解决 Si3N4 陶瓷与不锈钢连 接所存在的残余应力过大, 接头强度低等问题, 提供一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层 组件及连接方法。本发明是使用 Ag-Cu 钎料箔、 Ti 箔、 Ni 箔作为复合中间层组件, 在真空中 钎焊连接。本发明能缓解陶瓷与不锈钢接头残余应力, 提高接头强度。
     技术方案 : 为了实现上述目的, 本发明解决问题所采取的技术方案是 :
     一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件, 依顺序由 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔、 Ni 箔 和 Ag-Cu 钎料箔紧贴组成, 其中, 所述的 Ti 箔的纯度为 99.8%以上, 厚度为 5-10μm 的工业 级产品 ; 所述的 Ag-Cu 钎料箔按质量百分比含量由组分 : Ag 为 72.0%, Cu 为 28.0%组成, 厚度为 100-150μm 的工业级产品 ; 所述的 Ni 箔的纯度为 99.8%以上, 厚度为 600-800μm 的工业级产品。
     为了实现上述目的, 本发明解决问题所采取的另一个技术方案是 :
     一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件的连接方法, 包括如下步骤 :
     1、 准备阶段 : 先将待连接的 Si3N4 陶瓷试样端面用金刚石研磨膏磨平, 再将 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔、 Ni 箔和不锈钢用 5 号金相砂纸磨光, 然后一起置于丙酮中进行超声波清洗 10分钟 ; 2、 装配步骤 : 将经磨光的 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔、 Ni 箔、 不锈钢和经磨平的 Si3N4 陶 瓷按 Si3N4 陶瓷、 Ti、 Ag-Cu、 Ni、 Ag-Cu、 不锈钢的顺序紧贴安装在专用夹具中 ; 同时在待连接 件上放置一小砝码以产生 0.020-0.029MPa 的压力 ;
     3、 连接阶段 : 将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊, 真空炉先以 10-15K/ min 的速率升温至 923K, 保温 30min ; 再以 10-15K/min 的速率升温至 1113-1153K, 保温 -3 10-30min ; 然后以 6-10K/min 的速率冷至 873K ; 真空度小于 10 Pa ; 自然冷却至室温时开炉 门取样。
     上述所述不锈铜为 1Cr18Ni9Ti。
     有益效果 : 本发明与现有技术相比较, 所具有的优点和有益效果主要体现在以下 几方面 :
     (1) 由于 Ti 箔、 Ag-Cu 钎料箔对陶瓷表面的润湿性能好, 所以陶瓷与不锈钢连接强 度高。
     (2) 由于本发明中采用的中间层材料中 Ni 箔没有完全熔化, 起到了梯度作用, 缓 解了接头中存在的内应力, 接头不会出现开裂现象 ;
     (3) 本发明获得的 Si3N4 陶瓷与不锈钢接头性能稳定可重复再现 ;
     (4) 本 发 明 工 艺 简 单、 实 施 方 便、 解 决 了 陶 瓷 连 接 钎 料 的 成 型 问 题, 与 Ti-Zr-Ni-Cu、 41Ni-34Cr-25Pd 和 Au-Ni-Cr-Fe-Mo 等钎料相比成本低。
     附图说明
     图 1 为本发明的一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的中间层组件的构造示意图。 图 2 为本发明的一种连接 Si3N4 陶瓷与不锈钢的工艺曲线图。 图1中: 1.Si3N4 陶瓷, 2.Ti 箔, 3.Ag-Cu 箔, 4.Ni 箔, 5. 不锈钢。具体实施方式 :
     下面结合附图 1 和附图 2, 通过具体实施方式对本发明的一种连接 Si3N4 陶瓷与不 锈钢的中间层组件及连接方法作进一步详细说明。
     实施例 1 :
     一、 中间层组件的选用 :
     1、 Ti 箔 2 的纯度为 99.7%, 厚度 10μm ;
     2、 Ag-Cu 钎料箔 3 的组分和含量按质量百分比为 : Ag : 72.0%, Cu : 28.0%, 厚度为 150μm ;
     3、 Ni 箔 4 的纯度为 99.9%, 厚度 600μm。
     二、 连接步骤及方法 :
     (1) 将待连接的 Si3N4 陶瓷 1 试样端面用 3.5um 金刚石研磨膏磨平, 并将 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4 和不锈钢 5 用 5 号金相砂纸磨光。然后一起置于丙酮中进行超声 波清洗 10 分钟 ;
     (2) 将 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4、 不锈钢 5 和 Si3N4 陶瓷 1 按 Si3N4 陶瓷 1、 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4、 Ag-Cu 钎料箔 3、 不锈钢 5 的顺序紧贴安装在专用夹具中,如图 1 所示 ; 同时在待连接件上放置一小砝码以产生 0.029MPa 的压力 ;
     (3) 将安装好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊, 真空炉先以 10-15K/min 的速率 升温至 923K, 保温 30min ; 再以 10-15K/min 的速率升温至 1153K, 保温 30min ; 然后以 6-10K/ -3 min 的速率冷至 873K ; 真空度小于 10 Pa, 如图 2 所示 ; 自然冷却至室温时开炉门取样。
     本实施例采用的中间层组件连接 Si3N4 与不锈钢的接头未出现由于残余应力导致 的开裂现象, 接头室温四点弯曲强度为 283MPa。
     实施例 2 :
     一、 中间层组件的选用 :
     1、 Ti 箔 2 的纯度为 99.7%, 厚度 5μm ;
     2、 Ag-Cu 钎料箔 3 的组分和含量按质量百分数比为 : Ag : 72.0%, Cu : 28.0%, 厚度 为 100μm ;
     3、 Ni 箔的纯度为 99.7%, 厚度 800μm。
     二、 连接步骤及方法 :
     (1) 将待连接的 Si3N4 陶瓷试样端面用 3.5um 金刚石研磨膏磨平, 并将 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4 和不锈钢 5 用 5 号金相砂纸磨光 ; 然后一起置于丙酮中进行超声波 清洗 10 分钟 ;
     (2) 将 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4、 不锈钢 5 和 Si3N4 陶瓷 1 按 Si3N4 陶瓷 1、 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4、 Ag-Cu 钎料箔 3、 不锈钢 5 的顺序紧贴安装在专用夹具中, 如图 1 所示 ; 同时在焊接件上放置一小砝码以产生 0.020MPa 的压力 ;
     (3) 将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊, 真空炉先以 10-15K/min 的速率 升温至 923K, 保温 30min ; 再以 10-15K/min 的速率升温至 1113K, 保温 10min ; 然后以 6-10K/ -3 min 的速率冷至 873K ; 真空度小于 10 Pa, 如图 2 所示 ; 自然冷却至室温时开炉门取样。
     本实施例采用的中间层组件连接 Si3N4 与不锈钢的接头未出现由于残余应力导致 的开裂现象, 获得的接头其室温强度为 267MPa。
     实施例 3 :
     一、 中间层组件的选用 :
     1、 Ti 箔 2 的纯度为 99.7%, 厚度 8μm ;
     2、 Ag-Cu 钎料箔 3 的组分和含量按质量百分比为 : Ag : 72.0%, Cu : 28.0%, 厚度为 120μm ;
     3、 Ni 箔的纯度为 99.7%, 厚度 600μm。
     二、 连接步骤及方法 :
     (1) 将待连接的 Si3N4 陶瓷试样端面用 3.5um 金刚石研磨膏磨平, 并将 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4 和不锈钢 5 用 5 号金相砂纸磨光 ; 然后一起置于丙酮中进行超声波 清洗 10 分钟 ;
     (2) 将 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4、 不锈钢 5 和 Si3N4 陶瓷 1 按 Si3N4 陶瓷 1、 Ti 箔 2、 Ag-Cu 钎料箔 3、 Ni 箔 4、 Ag-Cu 钎料箔 3、 不锈钢 5 的顺序紧贴安装在专用夹具中 ; 同时在焊接件上放置一小砝码以产生 0.027MPa 的压力 ;
     (3) 将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊, 真空炉先以 10-15K/min 的速率 升温至 923K, 保温 30min ; 再以 10-15K/min 的速率升温至 1133K, 保温 30min ; 然后以 6-10K/min 的速率冷至 873K ; 真空度小于 10-3Pa, 如图 2 所示 ; 自然冷却至室温时开炉门取样。
     本实施例采用的中间层组件连接 Si3N4 与不锈钢的接头未出现由于残余应力导致 的开裂现象, 获得的接头其室温强度为 273MPa。

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1、10申请公布号CN102357696A43申请公布日20120222CN102357696ACN102357696A21申请号201110192243622申请日20110711B23K1/008200601B23K1/19200601B23K1/2020060171申请人江苏科技大学地址212003江苏省镇江市梦溪路2号72发明人邹家生许祥平高飞严铿74专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200代理人楼高潮54发明名称一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法57摘要本发明公开了一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法,其中间层组件依顺序由TI箔、AGCU钎料箔。

2、、NI箔和AGCU钎料箔紧贴组成。本发明的连接方法是先将待连接的SI3N4陶瓷试样和中间层组件磨平、磨光和清洗;然后按SI3N4陶瓷、TI、AGCU、NI、AGCU、不锈钢的顺序紧接安装并置于真空炉中进行钎焊。本发明能缓解陶瓷与不锈钢接头残余应力,提高接头强度,工艺简单,实施方便。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书4页附图1页CN102357706A1/1页21一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件,其特征在于该中间层组件依顺序由TI箔、AGCU钎料箔、NI箔和AGCU钎料箔紧贴组成。2根据权利要求1所述的连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组。

3、件,其特征在于所述的TI箔的纯度为998以上,厚度为510M的工业级产品;3根据权利要求1所述的连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件,其特征在于所述的AGCU钎料箔按质量百分比含量由组分AG为720,CU为280组成,厚度为100150M的工业级产品。4根据权利要求1所述的连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件,其特征在于所述的NI箔的纯度为998以上,厚度为600800M的工业级产品。5一种如权利要求1所述的连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件的连接方法,其特征在于,包括如下步骤1准备阶段先将待连接的SI3N4陶瓷试样端面用金刚石研磨膏磨平,再将TI箔、AGCU钎料箔、NI箔和不锈钢用5。

4、号金相砂纸磨光,然后一起置于丙酮中进行超声波清洗10分钟;2装配步骤将经磨光的TI箔、AGCU钎料箔、NI箔、不锈钢和经磨平的SI3N4陶瓷按SI3N4陶瓷、TI、AGCU、NI、AGCU、不锈钢的顺序紧贴安装在专用夹具中;同时在待连接件上放置一小砝码以产生00200029MPA的压力;3连接阶段将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊,真空炉先以1015K/MIN的速率升温至923K,保温30MIN;再以1015K/MIN的速率升温至11131153K,保温1030MIN;然后以610K/MIN的速率冷至873K;真空度小于103PA;自然冷却至室温时开炉门取样。6根据权利要求5所述一种连接S。

5、I3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件的连接方法,其特征在于,所述不锈钢为1CR18NI9TI。权利要求书CN102357696ACN102357706A1/4页3一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法技术领域0001本发明涉及异种材料的连接,更具体地说,是涉及一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法,属于焊接技术领域。背景技术0002结构陶瓷材料具有强度高、耐高温、耐腐蚀等独特性能,但其脆性大、强度分散和加工困难等缺点,限制了它作为整体机构在工程中的应用。实现结构陶瓷与金属的连接,对扩展陶瓷的应用领域具有重要意义。0003陶瓷与金属的连接主要是活性钎焊和扩散焊,此外还有部。

6、分瞬间液相连接和二次PTLP等新方法。由于陶瓷和金属的物理化学性能存在较大差异,特别是两种材料间的热膨胀系数差别较大,接头在冷却过程中由于收缩不均匀造成较大的残余应力,使连接强度大大降低。0004严重者自行开裂,甚至成为结构损坏的直接或间接原因,因此,实现陶瓷与金属之间的可靠连接是SI3N4陶瓷得以广泛工业应用的重要前提和保证。0005活性钎料的研究与开发是发展陶瓷/金属钎焊的一项重要内容。国内熊柏青、楚建新等研究表明添加中间层可有效控制残余热应力对SI3N4/金属钎焊接头性能的影响;翟阳、任家烈等使用非晶态合金作中间层扩散连接SI3N4与40CR钢,但连接强度不高;何鹏、冯吉才、钱乙余等研究。

7、了SI3N4陶瓷与不锈钢材料扩散连接接头的残余应力的分布特征及中间层的作用,但接头强度较低。以上对SI3N4与金属的连接能有效减低接头残余应力,但均存在接头强度低而无法满足工程实际应用的要求。发明内容0006技术问题本发明的目的是针对现有技术存在的缺陷,解决SI3N4陶瓷与不锈钢连接所存在的残余应力过大,接头强度低等问题,提供一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法。本发明是使用AGCU钎料箔、TI箔、NI箔作为复合中间层组件,在真空中钎焊连接。本发明能缓解陶瓷与不锈钢接头残余应力,提高接头强度。0007技术方案为了实现上述目的,本发明解决问题所采取的技术方案是0008一种连接SI。

8、3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件,依顺序由TI箔、AGCU钎料箔、NI箔和AGCU钎料箔紧贴组成,其中,所述的TI箔的纯度为998以上,厚度为510M的工业级产品;所述的AGCU钎料箔按质量百分比含量由组分AG为720,CU为280组成,厚度为100150M的工业级产品;所述的NI箔的纯度为998以上,厚度为600800M的工业级产品。0009为了实现上述目的,本发明解决问题所采取的另一个技术方案是0010一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件的连接方法,包括如下步骤00111、准备阶段先将待连接的SI3N4陶瓷试样端面用金刚石研磨膏磨平,再将TI箔、AGCU钎料箔、NI箔和不锈钢用5号金相。

9、砂纸磨光,然后一起置于丙酮中进行超声波清洗10说明书CN102357696ACN102357706A2/4页4分钟;00122、装配步骤将经磨光的TI箔、AGCU钎料箔、NI箔、不锈钢和经磨平的SI3N4陶瓷按SI3N4陶瓷、TI、AGCU、NI、AGCU、不锈钢的顺序紧贴安装在专用夹具中;同时在待连接件上放置一小砝码以产生00200029MPA的压力;00133、连接阶段将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊,真空炉先以1015K/MIN的速率升温至923K,保温30MIN;再以1015K/MIN的速率升温至11131153K,保温1030MIN;然后以610K/MIN的速率冷至873K;真。

10、空度小于103PA;自然冷却至室温时开炉门取样。0014上述所述不锈铜为1CR18NI9TI。0015有益效果本发明与现有技术相比较,所具有的优点和有益效果主要体现在以下几方面00161由于TI箔、AGCU钎料箔对陶瓷表面的润湿性能好,所以陶瓷与不锈钢连接强度高。00172由于本发明中采用的中间层材料中NI箔没有完全熔化,起到了梯度作用,缓解了接头中存在的内应力,接头不会出现开裂现象;00183本发明获得的SI3N4陶瓷与不锈钢接头性能稳定可重复再现;00194本发明工艺简单、实施方便、解决了陶瓷连接钎料的成型问题,与TIZRNICU、41NI34CR25PD和AUNICRFEMO等钎料相比成。

11、本低。附图说明0020图1为本发明的一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件的构造示意图。0021图2为本发明的一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的工艺曲线图。0022图1中1SI3N4陶瓷,2TI箔,3AGCU箔,4NI箔,5不锈钢。具体实施方式0023下面结合附图1和附图2,通过具体实施方式对本发明的一种连接SI3N4陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法作进一步详细说明。0024实施例10025一、中间层组件的选用00261、TI箔2的纯度为997,厚度10M;00272、AGCU钎料箔3的组分和含量按质量百分比为AG720,CU280,厚度为150M;00283、NI箔4的纯度为999,厚度。

12、600M。0029二、连接步骤及方法00301将待连接的SI3N4陶瓷1试样端面用35UM金刚石研磨膏磨平,并将TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4和不锈钢5用5号金相砂纸磨光。然后一起置于丙酮中进行超声波清洗10分钟;00312将TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4、不锈钢5和SI3N4陶瓷1按SI3N4陶瓷1、TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4、AGCU钎料箔3、不锈钢5的顺序紧贴安装在专用夹具中,说明书CN102357696ACN102357706A3/4页5如图1所示;同时在待连接件上放置一小砝码以产生0029MPA的压力;00323将安装好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊,真空炉先以。

13、1015K/MIN的速率升温至923K,保温30MIN;再以1015K/MIN的速率升温至1153K,保温30MIN;然后以610K/MIN的速率冷至873K;真空度小于103PA,如图2所示;自然冷却至室温时开炉门取样。0033本实施例采用的中间层组件连接SI3N4与不锈钢的接头未出现由于残余应力导致的开裂现象,接头室温四点弯曲强度为283MPA。0034实施例20035一、中间层组件的选用00361、TI箔2的纯度为997,厚度5M;00372、AGCU钎料箔3的组分和含量按质量百分数比为AG720,CU280,厚度为100M;00383、NI箔的纯度为997,厚度800M。0039二、连。

14、接步骤及方法00401将待连接的SI3N4陶瓷试样端面用35UM金刚石研磨膏磨平,并将TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4和不锈钢5用5号金相砂纸磨光;然后一起置于丙酮中进行超声波清洗10分钟;00412将TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4、不锈钢5和SI3N4陶瓷1按SI3N4陶瓷1、TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4、AGCU钎料箔3、不锈钢5的顺序紧贴安装在专用夹具中,如图1所示;同时在焊接件上放置一小砝码以产生0020MPA的压力;00423将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊,真空炉先以1015K/MIN的速率升温至923K,保温30MIN;再以1015K/MIN的速率升温至1。

15、113K,保温10MIN;然后以610K/MIN的速率冷至873K;真空度小于103PA,如图2所示;自然冷却至室温时开炉门取样。0043本实施例采用的中间层组件连接SI3N4与不锈钢的接头未出现由于残余应力导致的开裂现象,获得的接头其室温强度为267MPA。0044实施例30045一、中间层组件的选用00461、TI箔2的纯度为997,厚度8M;00472、AGCU钎料箔3的组分和含量按质量百分比为AG720,CU280,厚度为120M;00483、NI箔的纯度为997,厚度600M。0049二、连接步骤及方法00501将待连接的SI3N4陶瓷试样端面用35UM金刚石研磨膏磨平,并将TI箔2。

16、、AGCU钎料箔3、NI箔4和不锈钢5用5号金相砂纸磨光;然后一起置于丙酮中进行超声波清洗10分钟;00512将TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4、不锈钢5和SI3N4陶瓷1按SI3N4陶瓷1、TI箔2、AGCU钎料箔3、NI箔4、AGCU钎料箔3、不锈钢5的顺序紧贴安装在专用夹具中;同时在焊接件上放置一小砝码以产生0027MPA的压力;00523将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊,真空炉先以1015K/MIN的速率升温至923K,保温30MIN;再以1015K/MIN的速率升温至1133K,保温30MIN;然后以610K/说明书CN102357696ACN102357706A4/4页6MIN的速率冷至873K;真空度小于103PA,如图2所示;自然冷却至室温时开炉门取样。0053本实施例采用的中间层组件连接SI3N4与不锈钢的接头未出现由于残余应力导致的开裂现象,获得的接头其室温强度为273MPA。说明书CN102357696ACN102357706A1/1页7图1图2说明书附图CN102357696A。

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