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1、10申请公布号CN102348556A43申请公布日20120208CN102348556ACN102348556A21申请号201080011534422申请日20100622200916474420090713JPB41F15/42200601B41F15/08200601H05K3/3420060171申请人松下电器产业株式会社地址日本大阪府72发明人田中哲矢74专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人葛飞54发明名称丝网印刷设备和丝网印刷方法57摘要本发明公开一种用于在基板的上表面上和形成在上表面中的凹陷的底部表面上丝网印刷的丝网印刷装置和方法，公开的方法和装置能够有效率地印刷。
2、，同时保证良好印刷质量。设置有第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B的密封橡皮滚压机构13用于丝网印刷中，由此膏印刷到上表面印刷区域上，由此，上表面电极已经形成，底部表面印刷区域设置在凹陷上并且下表面电极已经形成在其中。当正在印刷的区域为底部表面印刷区域12A时，保留在凹陷内的膏通过位于橡皮滚压方向后部的第一滑动接触板44A被铲起并移除。当正在印刷的区域是上表面印刷区域12B时，粘附到上表面的膏通过位于橡皮滚压方向后部的第二滑动接触板44B刮离。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2011091386PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0041532010062287PCT申请。
3、的公布数据WO2011/007502JA2011012051INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书8页附图8页CN102348575A1/2页21一种用于在印刷目标上印刷电子部件接合膏的丝网印刷设备，其中所述印刷目标为上表面印刷区域和底部表面印刷区域，所述上表面印刷区域设置在基板的上表面上并且上表面电极形成在所述上表面印刷区域上，所述底部表面印刷区域设置在开口到所述上表面的凹陷部分的底部表面上，并且底部表面电极形成在所述底部表面印刷区域上，该丝网印刷设备包括丝网掩膜，其包括底部表面印刷区域和上表面印刷区域，其中该底部表面印刷区域具有设置成对应所述底部表面。
4、印刷区域并配合在所述凹陷部分中的配合部分和形成在所述配合部分中以对应底部电极的图案孔，该上表面印刷区域设置成对应所述上表面印刷区域和形成以对应所述上表面电极的图案孔；基板定位单元，其保持从上游侧移送的基板并选择性地对准基板和所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域；和闭合类型橡皮滚压机构，其具有一对面对的滑动接触板，所述滑动接触板从存储膏的主体部分的下表面侧面向下延伸以随着所述面对的滑动接触板向下延伸逐渐缩窄所述面对的滑动接触板之间的距离，滑动接触板的面对方向对齐橡皮滚压方向，并且所述面对的滑动接触板适于在橡皮滚压方向滑动，所述滑动接触板邻接所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域的上表面。
5、，同时挤压存储在主体部分中的膏以使得膏经由设置在所述滑动接触板之间的印刷开口被供应到所述配合部分中或者被充填在所述图案孔中，和其中，在所述闭合类型橡皮滚压机构的一对滑动接触板中，在橡皮滚压操作中在作为印刷目标的底部表面印刷区域上定位在橡皮滚压方向的后侧上的第一滑动接触板铲起保留在所述配合部分的上表面侧面下凹部分中的膏以将其在橡皮滚压操作中从所述下凹部分移除，而在橡皮滚压操作中在作为印刷目标的上表面印刷区域上定位在橡皮滚压方向的后侧上的第二滑动接触在橡皮滚压操作中刮离粘附到所述上表面印刷掩膜的上表面的膏。2如权利要求1所述的丝网印刷设备，其中，所述第一滑动接触板的厚度和材料选择为以使得所述第一滑。
6、动接触板偏斜通过挤压压力变形，通过该挤压压力，闭合类型橡皮滚压机构在橡皮滚压操作中压靠所述底部表面印刷区域的上表面并且其下末端部分借助于偏斜产生的后弹力进入下凹部分中。3如权利要求1所述的丝网印刷设备，其中，所述第二滑动接触板的厚度和材料选择为以使得其下末端部分通过挤压压力紧紧地附连到所述上表面印刷区域的上表面，通过该挤压压力在橡皮滚压操作中闭合类型橡皮滚压机构压靠所述上表面以从所述上表面分离和刮除粘附的膏。4一种用于印刷电子部件接合膏在印刷目标上的丝网印刷方法，其中所述印刷目标为上表面印刷区域和底部表面印刷区域，其中该上表面印刷区域设置在基板的上表面上并且上表面电极形成在该上表面印刷区域上，。
7、底部表面印刷区域设置在开口到所述上表面的凹陷部分的底部表面上并且底部表面电极形成在所述底部表面印刷区域上，所述丝网印刷方法包括采用一种丝网印刷设备，该丝网印刷设备包括丝网掩膜、基板定位单元和闭合类型橡皮滚压机构，其中该丝网掩膜包括底部表面印刷区域和上表面印刷区域，其中该底部表面印刷区域具有设置成对应所述底部表面印刷区域并配合在所述凹陷部分中的配合部分和形成在所述配合部分中以对应底部电极的图案孔，所述上表面印刷区域设置成对应所述上权利要求书CN102348556ACN102348575A2/2页3表面印刷区域和形成以对应上表面电极的图案孔，所述基板定位单元保持从上游侧移送的基板并选择性地对准基板。
8、和所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域，所述闭合类型橡皮滚压机构具有一对面对的滑动接触板，该滑动接触板从存储膏的主体部分的下表面侧面向下延伸以随着所述面对的滑动接触板向下延伸而逐渐缩窄所述面对的滑动接触板之间的距离，滑动接触板的面对方向对齐橡皮滚压方向，并且所述面对的滑动接触板适于在橡皮滚压方向滑动，所述滑动接触板邻接所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域的上表面，同时挤压存储在主体部分中的膏以使得膏经由设置在所述滑动接触板之间的印刷开口被供应到所述配合部分中或者被充填在图案孔中；其中，在作为印刷目标的底部表面印刷区域上的橡皮滚压操作中，保留在配合部分的上表面侧面下凹部分中的膏通过在。
9、橡皮滚压操作中定位在橡皮滚压方向的后侧的闭合类型橡皮滚压机构的一对滑动接触板的第一滑动接触板被铲起以从所述下凹部分移除，而在作为印刷目标的上表面印刷区域上的橡皮滚压操作中，粘附到所述上表面印刷掩膜的上表面的膏通过在橡皮滚压操作中定位在橡皮滚压方向的后侧的闭合类型橡皮滚压机构的一对滑动接触板的第二滑动接触板刮离。权利要求书CN102348556ACN102348575A1/8页4丝网印刷设备和丝网印刷方法技术领域0001本发明涉及用于诸如在基板的上表面和开口到基板上表面的凹陷部分的底部表面这样的印刷目标上印刷电子部件接合膏PASTE的丝网印刷设备和丝网印刷方法。背景技术0002在用于制造其中电子。
10、部件安装在基板上的包装基板的电子部件包装线路中，用于印刷电子部件接合膏在基板上的丝网印刷设备连接到电子部件安装设备的上游侧，所述电子部件安装设备安装电子部件例如半导体在基板上。作为电子部件包装在其上的基板的类型之一，传统地，已知一种腔基板，在其中电极图案形成在基板的上表面上和开口到基板的上表面的凹陷部分的底部表面上，这样的腔基板已经用于各种设备例如轻的高密度的基板中专利文献1。在用于印刷电子部件接合膏在腔基板这样的印刷目标上的丝网印刷中，丝网掩膜被使用，其具有接触基板上表面的平板部分和形成为从平板部分向下突起以配合在凹陷部分中的配合部分。通过采用这样的三维的丝网掩膜，膏可以同时印刷在基板的上表。
11、面和凹陷部分的底部表面上。000300040005专利文献1JPA2008235761发明内容00060007在如上面描述的腔基板这样的印刷目标上的丝网印刷中，存在各种关于使用三维丝网掩膜的限制和问题，并且已经难以高效率地执行印刷工作同时保证良好的印刷质量。例如，尽管膏需要适当地充填在设置在丝网掩膜中的图案孔中以为了在基板上印刷膏而不会在其中产生膏的扩散或者漏印，设置在平板部分中的图案孔中的膏的充填情形实质上不同于设置在配合部分中的图案孔中的膏的充填情形。这样，在相同的丝网印刷机构中，难以保证在平板部分和配合部分二者上的良好的印刷质量。因此，期望具有一种手段，其能够高效率地在腔基板上执行印刷工。
12、作，同时保证良好的印刷质量。0008那么，在如基板上表面和开口到基板上表面的凹陷部分的底部表面这样的印刷目标上的丝网印刷中，本发明的目的是提供一种用于高效率地执行印刷工作同时保证良好印刷质量的丝网印刷设备和丝网印刷方法。00090010本发明的丝网印刷设备是一种用于在印刷目标上印刷电子部件接合膏的丝网印刷设备，其中所述印刷目标为上表面印刷区域和底部表面印刷区域，所述上表面印刷区域设置在基板的上表面上并且上表面电极形成在所述上表面印刷区域上，所述底部表面印刷区域设置在开口到所述上表面的凹陷部分的底部表面上，并且底部表面电极形成在所述底部表面印刷区域上，该丝网印刷设备包括丝网掩膜，其包括底部表面印。
13、刷区域和上表面印说明书CN102348556ACN102348575A2/8页5刷区域，其中该底部表面印刷区域具有设置成对应所述底部表面印刷区域并配合在所述凹陷部分中的配合部分和形成在所述配合部分中以对应底部电极的图案孔，该上表面印刷区域设置成对应所述上表面印刷区域和形成以对应所述上表面电极的图案孔；基板定位单元，其保持从上游侧移送的基板并选择性地对准基板和所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域；和闭合类型橡皮滚压机构，其具有一对面对的滑动接触板，所述滑动接触板从存储膏的主体部分的下表面侧面向下延伸以随着所述面对的滑动接触板向下延伸逐渐缩窄所述面对的滑动接触板之间的距离，而它们的面对方向对。
14、齐橡皮滚压方向，并且所述面对的滑动接触板适于在橡皮滚压方向滑动，而所述滑动接触板开始邻接所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域的上表面，同时挤压存储在主体部分中的膏以使得膏经由设置在所述滑动接触板之间的印刷开口被供应到所述配合部分中或者被充填在所述图案孔中，其中，在所述闭合类型橡皮滚压机构的成对滑动接触板中，在橡皮滚压操作中定位在作为印刷目标的底部表面印刷区域上在橡皮滚压方向的后侧上的第一滑动接触板铲起保留在所述配合部分的上表面侧面下凹部分中的膏以将其在橡皮滚压操作中从所述下凹部分移除，而在橡皮滚压操作中定位在作为印刷目标的上表面印刷区域上在橡皮滚压方向的后侧上的第二滑动接触板在橡皮滚压操。
15、作中刮离粘附到所述上表面印刷掩膜的上表面的膏。0011一种用于印刷电子部件接合膏在印刷目标上的丝网印刷方法，其中所述印刷目标为上表面印刷区域和底部表面印刷区域，其中该上表面印刷区域设置在基板的上表面上并且上表面电极形成在该上表面印刷区域上，底部表面印刷区域设置在开口到所述上表面的凹陷部分的底部表面上并且底部表面电极形成在所述底部表面印刷区域上，所述丝网印刷方法的特征在于其采用一种丝网印刷设备，该丝网印刷设备包括丝网掩膜、基板定位单元和闭合类型橡皮滚压机构，其中该丝网掩膜包括底部表面印刷区域和上表面印刷区域，其中该底部表面印刷区域具有设置成对应所述底部表面印刷区域并配合在所述凹陷部分中的配合部分。
16、和形成在所述配合部分中以对应底部电极的图案孔，所述上表面印刷区域设置成对应所述上表面印刷区域和形成以对应上表面电极的图案孔，所述基板定位单元保持从上游侧移送的基板并选择性地对准基板和所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域，所述闭合类型橡皮滚压机构具有一对面对的滑动接触板，该滑动接触板从存储膏的主体部分的下表面侧面向下延伸以随着所述面对的滑动接触板向下延伸而逐渐缩窄所述面对的滑动接触板之间的距离，滑动接触板的面对方向对齐橡皮滚压方向，并且所述面对的滑动接触板适于在橡皮滚压方向滑动，而所述滑动接触板开始邻接所述底部表面印刷区域或者所述上表面印刷区域的上表面，同时挤压存储在主体部分中的膏以使得膏。
17、经由设置在所述滑动接触板之间的印刷开口供应到所述配合部分中或者充填在图案孔中；其中，在作为印刷目标的底部表面印刷区域上的橡皮滚压操作中，保留在配合部分的上表面侧面下凹部分中的膏通过在橡皮滚压操作中定位在橡皮滚压方向的后侧的闭合类型橡皮滚压机构的成对滑动接触板的第一滑动接触板被铲起以从所述下凹部分移除，而在作为印刷目标的上表面印刷区域上的橡皮滚压操作中，粘附到所述上表面印刷掩膜的上表面的膏通过在橡皮滚压操作中定位在橡皮滚压方向的后侧的闭合类型橡皮滚压机构的成对滑动接触板的第二滑动接触板被刮离。0012说明书CN102348556ACN102348575A3/8页60013根据本发明，在诸如上表面。
18、印刷区域和底部表面印刷区域的印刷目标上的电子部件接合膏的丝网印刷中，所述上表面印刷区域设置在所述基板的上表面上并且上表面电极形成在上表面印刷区域上，所述底部表面印刷区域设置在开口到上表面的所述凹陷部分的底部表面上并且通过相同的闭合类型的橡皮滚压机构下表面电极形成在底部表面印刷区域上，在底部表面印刷区域作为印刷目标的橡皮滚压操作中，保留在配合部分的上表面侧面下凹部分中的膏通过定位在橡皮滚压方向的后部侧面上的闭合类型的橡皮滚压机构的一对滑动接触板的第一滑动接触板在橡皮滚压操作中被铲起以从下凹部分移除，而在上表面印刷区域作为印刷目标的橡皮滚压操作中，粘到上表面印刷掩膜的上表面的上表面的膏通过定位在橡。
19、皮滚压方向的后部侧面上的闭合类型的橡皮滚压机构的滑动接触板的第二滑动接触板在橡皮滚压操作中被刮除，由此，印刷工作可以高效率地执行，同时保证良好的印刷质量。附图说明0014图1是本发明的实施例的丝网印刷设备的部分平面视图。0015图2是本发明的实施例的丝网印刷设备的剖视图。0016图3A、B是构成本发明的实施例的丝网印刷设备的印刷目标的基板的构型的示意图。0017图4A、B是设置在本发明的实施例的丝网印刷设备上的丝网掩膜的局部剖视图。0018图5是用于本发明的实施例的丝网印刷设备中的闭合类型的橡皮滚压机构的构型的示意图。0019图6A、B是本发明的实施例的丝网印刷设备的操作的示意图。0020图7。
20、A、B、C是本发明的实施例的操作的示意图。0021图8A、B是本发明的实施例的丝网印刷设备的操作的示意图。具体实施方式0022接着，参照附图，将描述本发明的实施例的丝网印刷设备1。首先，参照图1，2，将描述丝网印刷设备1的整体构型。丝网印刷设备1用于在如腔基板这样的印刷目标上进行丝网印刷，在所述腔基板中，电极图案形成在基板的上表面和开口到基板的上表面的凹陷部分的底部表面上并具有在电极上丝网印刷膏的功能。0023在图1，2中，丝网印刷设备1配置为以使得用于执行丝网印刷的丝网印刷单元3布置在底座2的中心部分上，用于移送构成印刷目标的基板5到丝网印刷单元3的基板移送机构44布置成沿着X方向延伸。基板。
21、移送机构4包括馈入传送器4A、印刷传送器4B和馈出传送器4C。馈入传送器4A接收从丝网印刷设备1的上游侧馈入的基板5，并移送基板5到印刷传送器4B。印刷传送器4B移送如此移送到那里的基板5到印刷位置，在那里由丝网印刷单元3进行印刷。馈出传送器4C被给予基板5，在基板上由丝网印刷单元3进行的印刷工作已经通过印刷传送器4B完成，馈出传送器移送基板5到丝网印刷设备1的下游侧。0024在图2中，具有保持基板5以将其定位在印刷位置的功能的基板定位单元30布置说明书CN102348556ACN102348575A4/8页7在底座2的上表面上。基板定位单元30配置为以使得Y轴台31、X轴台32和轴台33一个。
22、堆叠在另一个之上，第一升降板35和另一第二升降板36重叠在固定到轴台33的底座板34上方。底座板34在X方向、Y方向和B方向通过驱动Y轴台31、X轴台32和轴台33而移动。第一升降板35和第二升降板36每个包括它自己的升高驱动机构。第一升高板35相对于底座板34上下升降，第二升降板36相对于第一升降板35上下升降。夹持构件38布置在与第一升降板35一起上下升降的升降轴35A的上端部分上以从两侧在印刷传送器4B和构成基板移送机构4的印刷传送器4B上方在Y方向夹持基板5。0025下支撑构件37固定到第二升降板36的上表面。通过升降第二升降板36，下支撑构件37邻接已经通过印刷传送器4B移送的基板5。
23、的下表面侧面从而保持基板5在印刷高度位置。基板5被保持从而在该状态下固定在夹持构件38之间的适当位置。在该状态下通过升降第一升降板25，构成印刷目标的基板5从其下表面侧面邻接丝网掩膜，这将在下面进行描述。当这发生时，通过驱动基板定位单元30，构成印刷目标的基板5可以在X，Y和B方向对准丝网掩膜12。0026构成丝网印刷单元的丝网掩膜12以水平姿态布置在基板定位单元30上方。丝网掩膜12伸展跨过正方形掩膜框11，掩膜框架11通过在X方向布置为彼此面对的一对掩模保持器10保持着。在这个实施例中，两个印刷区域设置在丝网掩膜12上。如图1所示，在丝网掩膜12中，底部表面印刷区域12A形成在中心线路CL。
24、的一侧图1中的上侧上，而上表面印刷区域12B形成在中心线CL的另一侧图1中的下侧上。0027在此，将通过参照图3A，B和4A描述构成丝网印刷设备1的印刷目标的基板5以及基板5和上述印刷区域之间的关系。在这个实施例中，基板5采取其中基板5具有印刷表面高度不同的两种类型的形式。也就是，如图3所示，多个在这个实施例中两个上表面印刷区域5D设置在基板5的中心部分的上表面5A上，其中每个上表面印刷区域上形成多个上表面电极6A。进一步地，具有高度位置低于上表面5A的高度位置的底部表面5C的凹陷部分5B形成在基板5的每个边角部分附近，多个底部表面电极6B形成在底部表面印刷区域5E上，所述底部表面印刷区域5E。
25、设置在底部表面5C上。在这个实施例中所示的丝网印刷设备1单独地印刷电子部件接合膏在位于凹陷部分5B内的底部表面印刷区域5E上和位于上表面5A上的上表面印刷区域5D上。0028在丝网掩膜12中，对应于底部表面印刷区域5E的掩膜图案设置在底部表面印刷区域12A上，以及对应于上表面印刷区域5D的掩膜图案设置在上表面印刷区域12B上。也就是，如图4A所示，每个具有使得配合部分12C能够配合在相应的凹陷部分5B中的形状的配合部分12C设置在底部表面印刷区域12A上以从丝网掩膜12突出到其下表面侧面，以使得对应基板5上的凹陷部分5B的配置。每个配合部分12C的上表面从丝网掩膜12下陷到下凹部分12E中。图。
26、案孔12D形成在下凹部分12E的内部以对应凹陷部分5B内底部表面电极6B的配置。此外，如图4B所示，图案孔12F形成在上表面印刷区域12B中以对应基板5的上表面5A上的上表面电极6A的配置。0029也就是，在这个实施例中，掩膜丝网12包括底部表面印刷区域12A，该底部表面印刷区域12A具有配合部分12C，该配合部分被设置成以对应底部表面印刷区域5E并且配合在凹陷部分5B以及形成在配合部分12C中的图案孔12D中，以对应底部电极6B和上表面印刷区域12B，该上表面印刷区域设置成对应上表面印刷区域5D并具有形成为对应上表面说明书CN102348556ACN102348575A5/8页8电极6A的图。
27、案孔12F。从上游侧移送并由基板定位单元30保持的基板5通过驱动基板定位单元选择性地对准底部表面印刷区域12A或者上表面印刷区域12B。0030由照相机X轴台9X和照相机Y轴台9Y形成的照相机移动机构9布置在位于丝网掩膜12的侧面的底座2的上表面的适当位置。照相机单元8安装在照相机X轴台9X上，照相机单元8通过驱动照照相机移动机构9在X方向和Y方向移动。如图2所示，照相机单元8包括两个照相机基板识别照相机8A和掩膜识别照相机8B，它们的图像捕获方向分别向下和向上。通过定位被定位在由基板定位单元30所保持的基板5上方的掩膜识别照相机8B和基板识别照相机8A，形成在基板5上的识别标记的图像可以通过。
28、基板识别照相机8A俘获，基板5的位置通过识别处理图像捕获操作的结果而进行检测。此外，通过定位掩膜识别照相机8B在分别设置在底部表面印刷区域12A和上表面印刷区域12B上的识别标记下方，这些识别标记的图像可以被俘获，并且底部表面印刷区域12A和上表面印刷区域12B的位置通过识别处理图像捕获操作的结果而进行检测。0031闭合类型的橡皮滚压机构13，其是橡皮滚压单元，布置在丝网掩膜12上方以通过橡皮滚压移动机构20自由移动。闭合类型的橡皮滚压机构13包括由连接构件15保持的印刷单元14和存储在印刷单元14内部的膏P，该膏由圆筒16挤压以充填在配合部分12C的下凹部分12E中或者丝网掩膜12的图案孔1。
29、2F中。在构成印刷目标的底部表面印刷区域12A和上表面印刷区域12B的情形中，如图2所示，闭合类型的橡皮滚压机构13在分别由箭头A和箭头B表示的方向从中心线CL移动。0032接着，参照图5，将描述闭合类型的橡皮滚压机构13和橡皮滚子移动机构20的构型。橡皮滚子移动机构20包括用于在Y方向在橡皮滚压操作方向运动移动板22的Y轴移动机构21和设置在移动板22的上表面上的橡皮滚子升降机构23。橡皮滚子升降机构23包括气筒，闭合类型橡皮滚压机构13连接到从橡皮滚子升降机构23经由连接构件15向下延伸的升降轴23A的下端部分。通过驱动橡皮滚子升降机构23，闭合类型橡皮滚压机构13相对于丝网掩膜12上下升。
30、降，并且闭合类型橡皮滚压机构13可以通过特定挤压力被按压抵靠着丝网掩膜12。0033将描述Y轴移动机构21的构型。螺母构件26连接到移动板22的下表面，旋拧通过螺母构件26的馈送螺杆25通过电机27受到驱动而旋转。移动板22通过驱动所述电机27而水平移动，由此，连接到橡皮滚子升降机构23的闭合类型橡皮滚压机构13同样水平移动。在闭合类型橡皮滚压机构13下降或者降低的状态中，闭合类型橡皮滚压机构13通过驱动所述电机27在丝网掩膜12上水平移动。也就是，电机27、馈送螺杆25和螺母构件26构成Y轴移动机构21，其在丝网掩膜12上水平移动闭合类型橡皮滚压机构13。0034印刷单元14设置在适于邻接丝。
31、网掩膜12的表面以充填膏P在图案孔中的闭合类型橡皮滚压机构13的下部上。构成印刷单元14的主体部分40是块状构件，其在丝网掩膜12的宽度方向为长型的。主体部分40的纵向尺度设置为覆盖构成印刷目标的基板5的横向尺度。存储膏P在其中的盒41可拆卸地安装在主体部分40中。0035预定量的膏P预先存储在盒41中，并且用于将膏P压入盒41内部的挤压板42配合在盒41的上表面的开口中。挤压板42连接到布置在其上的圆筒16的杆16A，通过驱动圆筒16，挤压板42在盒41内向上或者向下移动。在盒41内的膏P通过用预定压力驱动圆筒16箭头C通过挤压板42以预定压力被向下挤压。说明书CN102348556ACN1。
32、02348575A6/8页90036盒41的底部表面构成丝网板41A，膏P被迫通过该丝网板，多个开口41B设置在丝网板41A中。通过用圆筒16向下挤压挤压板42，在盒41内的膏P被挤压并强迫地通过丝网板41A中的开口41B，同时被挤榨以被向下推出。通过以上述方式挤榨的膏P，膏P的粘性降低，以使得膏P被改性以具有适于丝网印刷的属性。0037一对面对的滑动接触板第一滑动接触板44A，第二滑动接触板44B从主体部分40的下表面侧面向下和向内倾斜延伸以使得缩窄面对的滑动接触板之间的距离，而它们面对方向对齐橡皮滚压方向在Y方向。第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B每个是板状构件并构成印刷空间45的。
33、在橡皮滚压方向观看的前壁和后壁。在闭合类型的橡皮滚压机构13降低的状态中，第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B在它们的下末端部分邻接丝网掩膜12的表面。0038在丝网印刷中，在盒41内的膏P通过挤压板42受到挤压，膏P然后被迫地通过丝网板41A，抵达限定在主体部分40下方的空间，即由第一滑动接触板44A、第二滑动接触板44B和主体部分40的下表面围绕的印刷空间45。然后，让具有充填在印刷空间45中的膏P的闭合类型橡皮滚压机构13在丝网掩膜12上滑动。通过这样做，在印刷空间45中的膏P经由设置在第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B之间的印刷开口充填在配合部分12C的下凹部分12E中或。
34、者丝网掩膜12的图案孔12F中。0039然后，膏P通过移动闭合类型橡皮滚压机构13而顺次充填在图案孔12F中。也就是，通过允许在橡皮滚压方向滑动并且第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B邻接底部表面印刷区域12A或者上表面印刷区域12B的上表面同时挤压存储在主体部分40中的膏P，闭合类型橡皮滚压机构13具有经由形成在第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B之间的印刷开口充填膏P在配合部分12D的凹陷部分12E中或者丝网掩膜12的图案孔12F中的功能。0040在此，在这个实施例中所要求的第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B的功能不同，并且第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B的材。
35、料和厚度因功能而不同。即，在作为印刷目标的底部表面印刷区域12A下面在底部表面印刷区域5E上的橡皮滚压操作中，第一滑动接触板44A布置在这样的位置关系中，其中第一滑动接触板44A在橡皮滚压方向定位在后部侧面以为了铲起在该橡皮滚压操作中保持在配合部分12C的上表面中的下凹部分12E内的多余的膏，从而将其从下凹部分12E移除。0041因此，富有挠性的材料，例如树脂材料例如聚氨酯树脂，被选取用于第一滑动接触板44A以使得第一滑动接触板44A的下端部分进入下凹部分12E从而当第一滑动接触板44A通过下凹部分12E时当它在丝网掩膜12上滑动时发挥擦去膏的功能。除了材料的选择之外，第一滑动接触板44A的厚。
36、度尺度适当地设置以使得第一滑动接触板44A通过挤压压力以期望的偏斜形式变形，通过所述挤压压力主体部分40被压靠着丝网掩膜12。通过以上面描述的方法适当地选择富有挠性的材料以及适当地选择厚度尺度，第一滑动接触板44A被允许不仅在它向下倾斜延伸的方向而其在纵向X方向变形。通过该构型，当第一滑动接触板44A通过下凹部分12E时，第一滑动接触板44A的下端部分进入对应下凹部分12E在X方向的范围的横向范围WIDTHWISERANGE内的下凹部分12E中。0042与这相反，在作为印刷目标的上表面印刷区域12B下面的上表面5A上的橡皮滚压操作中，第二滑动接触板44B以这样的位置关系布置其中第二滑动接触板4。
37、4B定位在橡皮说明书CN102348556ACN102348575A7/8页10滚压方向的后侧以为了以确保的方式刮除掉粘附到上表面印刷区域12B的上表面12G的多余的膏。因此，具有大刚度的材料，例如金属材料例如不锈钢，被选取用于第二滑动接触板44B以使得当第二滑动接触板44B在丝网掩膜12上滑动时第二滑动接触板44B的下端部分压靠下表面12G从而紧紧地附连到其上。除材料的选择之外，第二滑动接触板44B的厚度尺度适当地设置以使得通过挤压压力第二滑动接触板44B以期望的偏斜形式变形，其中通过所述挤压压力主体部分40压靠丝网掩膜12。0043在通过丝网印刷设备1在作为印刷目标的基板5上的丝网印刷中，。
38、基板5顺次地对准丝网掩膜12的底部表面印刷区域12A和上表面印刷区域12B，并且膏P通过闭合类型橡皮滚压机构13印刷在那上面。将参照图6，7和8描述在这两个印刷区域上的丝网印刷。首先，图6A示出在作为印刷目标的底部表面印刷区域12A上的印刷操作。在这种情况中，基板定位单元30对准底部表面印刷区域12A的下表面侧面，由下支撑构件37从其下方支撑的基板5从其下表面侧面邻接丝网掩膜12。0044通过这样做，如图7A所示，丝网掩膜12的配合部分12C配合在基板5的凹陷部分5B中。然后，在这个状态下，闭合类型橡皮滚压机构13下降箭头F，第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B邻接丝网掩膜12。此后，闭。
39、合类型橡皮滚压机构13在橡皮滚压方向箭头G移动。当这发生时，闭合类型橡皮滚压机构13的移动方向设置为以使得第一滑动接触板44A在橡皮滚压方向定位在后部侧面上。0045图7B，C示出当第一滑动接触板44A通过下凹部分12E时它的表现。即，通过在挤压压力F的作用下压靠着丝网掩膜12的主体部分40，在第一滑动接触板44A中箭头H产生偏斜，在该状态下印刷单元14执行橡皮滚压操作。然后，当印刷单元14行进并且第一滑动接触板44A移动到下凹部分12E中时，因为第一滑动接触板44A由富有挠性的材料制成，如图7C所示，下端部分44E在它进入下凹部分12E的方向借助于由偏斜变形产生的后弹力从如图7B所示的状态变。
40、形。通过该变形，保留在下凹部分12E中的膏P通过第一滑动接触板44A被铲起以从那里移除。即，在这个实施例中，第一滑动接触板44A的材料和厚度选择为以使得第一滑动接触板44A偏斜以通过挤压压力变形，其中该挤压压力在橡皮滚压操作中挤压闭合类型橡皮滚压机构13抵靠底部表面印刷区域12A，并且下端部分44E借助于偏斜变形的后弹力进入下凹部分12E中。0046接着，图6B示出在作为印刷目标的上表面印刷区域12B上的印刷操作。在这种情况中，基板定位单元30对准上表面印刷区域12B的下表面侧面，由下支撑构件37从其下方支撑的基板5从其下表面侧面邻接丝网掩膜12。由于基板5邻接丝网掩膜12，如图8A所示，丝网。
41、掩膜12中的下凹部分12E对准基板5上的上表面电极6A。然后，在这个状态下，闭合类型橡皮滚压机构13降低箭头J，第一滑动接触板44A和第二滑动接触板44B邻接丝网掩膜12。此后，闭合类型橡皮滚压机构13在橡皮滚压方向箭头K移动。当这发生时，闭合类型橡皮滚压机构13的移动方向设置为以使得第二滑动接触板44B在橡皮滚压方向定位在后侧。0047图8B示出当第二滑动接触板44B在丝网掩膜12的上表面12G上滑动时它的表现。即，通过用挤压压力F压靠丝网掩膜12的主体部分40，在第二滑动接触板44B箭头I中产生偏斜，印刷单元14在该状态下执行橡皮滚压操作。然后，当印刷单元14行进以继续橡皮滚压，因为第二滑。
42、动接触板44B由具有刚性的材料制成，第二滑动接触板44B的下端说明书CN102348556ACN102348575A8/8页11部分44E借助由对应挤压压力F的由偏斜产生的反作用力压靠上表面12G，由此，下端部分44EI5紧紧地附连到上表面12G。通过该变形，保留在下凹部分12E中的膏P通过第一滑动接触板44A被铲起从而将其从那里移除。即，在这个实施例中，第一滑动接触板44A的材料和厚度选择为以使得第一滑动接触板44A偏斜以通过挤压压力变形，该挤压压力在橡皮滚压操作中挤压闭合类型橡皮滚压机构13抵靠底部表面印刷区域12A的上表面，并且下端部分44E依靠偏斜变形的后弹力进入下凹部分12E中。00。
43、48通过下端部分44E到上表面12G的紧密附连，粘附到上表面12G的膏P通过第二滑动接触板44B分离并刮离上表面12G。即，在这个实施例中，第二滑动接触板44B的厚度和材料选择为以使得在橡皮滚压操作中，第二滑动接触板44B的下端部分44E通过挤压压力紧紧地附连到上表面12G，通过所述挤压压力闭合类型橡皮滚压机构13压靠上表面印刷区域12B的上表面12G，并且粘附到上表面12G的膏P分离并刮离上表面12G。0049以这种方法，在用于在上表面印刷区域和底部表面印刷区域上印刷电子部件接合膏的丝网印刷方法中，其中所述上表面印刷区域设置在基板的上表面上并且上表面电极形成在该上表面印刷区域上，所述底部表面。
44、印刷区域设置在开口到作为印刷目标的上表面的凹陷部分的底部表面上，在作为印刷目标的底部表面印刷区域12A上的橡皮滚压操作中，保留在配合部分12C的上表面侧面上的下凹部分12E中的膏P在橡皮滚压操作中通过位于橡皮滚压方向的后侧的闭合类型橡皮滚压机构13的成对滑动接触板的第一滑动接触板44A被刮起以从下凹部分12E移除膏P。此外，在作为印刷目标的上表面印刷区域12B上的橡皮滚压操作中，粘附到上表面印刷区域12B的膏P通过位于橡皮滚压方向的后侧的闭合类型橡皮滚压机构13的成对滑动接触板的第二滑动接触板44B在橡皮滚压操作中刮离。0050通过采用如此的丝网印刷方法，在诸如腔基板的印刷目标上的传统的丝网印。
45、刷中固有的各种限制和问题得以解决，并且在诸如基板上表面和开口到上表面的凹陷部分的底部表面的印刷目标上的丝网印刷中，可以高效率地执行印刷工作，同时保证良好的印刷质量。0051该专利申请基于在2009年7月13日提交的日本专利申请NO2009164744，该日本专利申请的全部内容在此通过参考引入。00520053本发明的丝网印刷设备和丝网印刷方法具有的优点是在诸如基板的上表面和开口到上表面的凹陷部分的底部表面的印刷目标上的丝网印刷中，印刷工作可以高效率地执行同时保证良好的印刷质量，并且本发明的丝网印刷设备和丝网印刷方法在这样的领域中是有效的，即其中电子部件接合膏印刷在诸如腔基板的印刷目标上，其中印。
46、刷区域高度不同。005400551丝网印刷设备；2底座；3丝网印刷单元；4基板移送机构；5基板；5B凹陷部分；5E底部表面印刷区域；6A上表面电极；6B底部表面电极；12丝网掩膜；12A底部表面印刷区域；12B上表面印刷区域；12C配合部分；12D图案孔；12E下凹部分；13闭合类型橡皮滚压机构；14印刷单元；20橡皮滚压移动机构；30基板定位单元；44A第一滑动接触板；44B第二滑动接触板。说明书CN102348556ACN102348575A1/8页12图1说明书附图CN102348556ACN102348575A2/8页13图2说明书附图CN102348556ACN102348575A3/8页14图3说明书附图CN102348556ACN102348575A4/8页15图4说明书附图CN102348556ACN102348575A5/8页16图5说明书附图CN102348556ACN102348575A6/8页17图6说明书附图CN102348556ACN102348575A7/8页18图7说明书附图CN102348556ACN102348575A8/8页19图8说明书附图CN102348556A。