基板运送装置以及基板运送方法.pdf

一种基板运送装置，具有：单张运送基板的主输送器、从上述主输送器水平地分支的分支输送器、在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板(P)浮起且支承该基板(P)的支承部、在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地交接被该支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。根据该基板运送装置，能够使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。

1.  一种基板运送装置，具有：
单张运送基板的主输送器、
从上述主输送器水平地分支的分支输送器、
在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板浮起而支承该基板的支承部、
在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地交接由该支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。

2.  如权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，上述基板交接部具有把持部件，该把持部件能够把持上述基板的外缘且向上述分支输送器的上述基板的运送方向移动。

3.  如权利要求2所述的基板运送装置，其特征在于，上述支承部使用压缩空气而使上述基板浮起而支承基板。

4.  一种基板运送方法，被主输送器单张运送的基板在上述主输送器上被浮起而被支承，
在上述主输送器上浮起而被支承的状态的上述基板维持浮起而被支承的状态而不使姿态发生变化地被交接至从上述主输送器水平地分支的分支输送器上。

5.  一种基板运送方法，基板在相对于主输送器水平地分支的分支输送器上被浮起而被支承，
在上述分支输送器上为浮起状态的上述基板维持浮起而被支承的状态而不使姿态发生变化地被交接至上述主输送器上。

基板运送装置以及基板运送方法
技术领域
本发明涉及一种用于单张运送例如半导体晶片及平板显示器用玻璃板等的基板的基板运送装置以及基板运送方法。
本发明基于2006年9月11日在日本提出申请的特愿2006-246134号而主张优先权，并在此引用其内容。
背景技术
在设置在制造半导体装置的工厂及制造液晶装置、PDP、EL装置等的平板显示器的工厂等的基板运送装置中，运送半导体晶片及玻璃板等的基板且使用装载器或机械手臂等在薄膜形成装置、蚀刻装置、试验装置等的各种处理装置和运送经路之间进行基板的交接。在这样的基板运送装置中，基板一般是在收纳在能够收纳多张基板的盒中的状态下进行运送的。
于是，近年随着液晶电视等的平板显示器的大画面化等而将基板大型化。因此，使收纳基板的盒等也大型化、重量化，随之使运送速度降低，其结果例如导致制品库存的增大等，难以进行高效率地运送。
因此，高速地一张张地运送基板的单张运送受到关注(参照专利文献1)。
专利文献1：特开平9-58844号公报
但是，在单张运送基板时，与借助盒运送时相比增加了运送的个体数。因此，为了实现和以往相同或在以往之上的处理速度而必须更高速地运送基板。
特别是在主输送器和从该主输送器水平地分支的分支输送器之间的基板的交接速度，在使基板的高速运送实现时变得非常重要。因此，期待一种使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升的技术。
发明内容
本发明是鉴于上述的问题点而提出的，目的在于使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。
为了达成上述目的，本发明的基板运送装置的特征为，具有：主输送器，单张运送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；支承部，在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板浮起且支承该基板；基板交接部，在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地交接由该支承部浮起支承的上述基板。
根据该基板运送装置，基板被支承部浮起支承在主输送器上以及分支输送器上，且在该状态下不使姿态发生变化地交接基板。
因此，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下在主输送器和分支输送器之间被交接。
此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：上述基板交接部具有把持部件，该把持部件把持上述基板的外缘且能够向上述分支输送器的上述基板的运送方向移动。
此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：上述支承部使用压缩空气使上述基板浮起而支承基板。
接着，本发明的基板运送方法的特征为，被主输送器单张运送的基板在上述主输送器上被浮起而被支承，在上述主输送器上浮起而被支承的上述基板维持浮起而被支承的状态而不使姿态发生变化地被交接至相对于上述主输送器水平地分支的分支输送器上。
根据该基板运送方法，基板在主输送器上被浮起而被支承，维持该状态而不使姿态发生变化地被交接至分支输送器上。
因此，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下被从主输送器交接至分支输送器上。
接着，本发明的基板运送方法的特征为，在相对于主输送器水平地分支的分支输送器上被浮起而被支承的基板，维持浮起而被支承的状态而不使姿态发生变化地被交接至上述主输送器上。
根据该基板运送方法，基板在分支输送器上被浮起而被支承，维持该状态而不使姿态发生变化地被交接至主输送器上。
因此，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下被从分支输送器交接至主输送器上。
根据本发明，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下在主输送器和分支输送器之间被交接。因此，即使在高速化交接速度时也不会产生由于施加冲击而导致的基板的损伤。
因此，根据本发明，能够使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的基板运送装置的示意图。
图2是表示主输送器的详细构成的图。
图3是表示分支输送器的板交接部的构成的图。
附图标记说明
P  玻璃板(基板)
1  基板运送装置
10 主输送器
12 空气浮起单元(支承部)
15 输送部
20 分支输送器
40 板交接部(基板交接部)
44 把持部件
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的基板运送装置以及基板运送方法的一实施方式。另外，以下的附图中，为了令各部件为能够识别的大小而将各部件的比例尺进行了适宜地变更。
图1是表示本实施方式的基板运送装置1的示意图。
基板运送装置1是在制造液晶装置、PDP、EL装置等的平板显示器的工厂中一张张地单张运送玻璃板P的装置，具有：主输送器10、相对于主输送器10在水平面内分支的多个分支输送器20、总括地控制这些的未图示的控制部等。
主输送器10是水平地载置玻璃板P且在一定的速度下将其向沿着其表面的方向运送的装置，包括利用空气使玻璃板P浮起而非接触地支承玻璃板的空气浮起单元12(支承部)和输送部15等(参照图2以及图3)。即，在本实施方式中，本发明中的支承部的功能被组装入主输送器10的一部分中。
主输送器10被大致直线状地配置在工厂的清洁室内的地板面上。并且，在主输送器10的多个位置上相对于主输送器10大致垂直且水平地连结有分支输送器20的一端。
分支输送器20是与主输送器10相同地水平地载置玻璃板P且在一定的速度下将其向沿着其表面的方向运送的装置，包括空气浮起单元12和输送部15等。即在本实施方式中，本发明中的支承机构的功能也被组装入分支输送器10的一部分中。
进而，分支输送器20为了将在主输送器10上运送的玻璃板P交接至分支输送器20，或相反地将在分支输送器20上运送的玻璃板P交接至主输送器10，而具有在主输送器10和分支输送器20之间进行玻璃板P的交接的板交接部40(基板交接部)。
在分支输送器20的另一端侧上配置/连结有薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等各种处理装置。在薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等各种处理装置上分别平行地配置有两个分支输送器20。
例如，与薄膜形成装置5连结的分支输送器21、22(分支输送器20)中，分支输送器21是用于将玻璃板P运入至薄膜形成装置5中的输送器，分支输送器22是用于将玻璃板P从薄膜形成装置5中运出的输送器。
同样，分支输送器23、25(分支输送器20)是用于将玻璃板P运入至蚀刻装置6、试验装置7中的输送器，分支输送器24、26(分支输送器20)是用于将玻璃板P从蚀刻装置6、试验装置7中运出的输送器。
另外，将玻璃板P运入至各种处理装置中的分支输送器21、23、25相对于将玻璃板P从各种处理装置中运出的分支输送器22、24、26而配置在主输送器10的上游侧。
图2是表示主输送器10的详细构成的图。
主输送器10如上所述，是借助空气使玻璃板P浮起且将其向水平方向上的一个方向运送的装置，包括多个空气浮起单元12和输送部15等。
空气浮起单元12是具有平面状的上表面的部件，在其上表面(载置面)上以大致均等的密度设置喷出压缩空气的多个流体喷出孔13。空气浮起单元12被形成为俯视矩形状，且以其长度方向与玻璃板P的运送方向一致的方式设置。此外，空气浮起单元12的横向方向(宽度方向)形成为比玻璃板P的宽度方向(与运送方向垂直的方向)稍窄。
并且，压缩空气被从未图示的压缩空气供给装置供给至空气浮起单元12，从而使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。从而，借助从各流体喷出孔13喷出的压缩空气使载置在空气浮起单元12上的玻璃板P浮起而能够非接触地支承玻璃板P。
输送部15具有多个辊16和安装在该多个辊16周围的带17。此外，在带17的表面上沿着带17的长度方向(主输送器10的运送方向)以均等的间隔设置有多个突起18。
输送部15沿着玻璃板P的运送方向配置在空气浮起单元12的两侧。并且，一对的输送部15的配置间隔(距离)与玻璃板P的宽度大致相同。
输送部15的各辊16的上端以位于同一水平面内的方式配置，从而设置在带17的表面上的突起18配置为位于比空气浮起单元12的上表面稍稍靠上方的位置。并且，突起18与载置在空气浮起单元12上的玻璃板P的下表面的外缘(宽度方向的两端侧)抵接。
输送部15的各辊16借助未图示的马达等而以同一的旋转速度向同一方向旋转。从而，能够借助空气浮起单元12非接触地支承玻璃板P且能够借助输送部15沿着空气浮起单元12运送玻璃板P。
此外，输送部15构成为能够借助未图示的升降装置向上下方向移动。
在借助升降装置使输送部15上升时，各突起18位于比空气浮起单元12的上表面稍稍靠上方的位置。此时，输送部15的突起18与玻璃板P的下表面抵接且能够运送玻璃板P。
另一方面，在使输送部15下降时，各突起18位于比空气浮起单元12的上表面靠下方的位置。此时，输送部15(各突起18)从玻璃板P分离，玻璃板P处于被完全地非接触支承在空气浮起单元12上的状态。因此，只要不对玻璃板P施加外力，玻璃板P就能够在停止在空气浮起单元12上的状态下被保持。
并且，主输送器10构成为连结多个空气浮起单元12和输送部15。即，使各空气浮起单元12和各输送部15相互地接近而沿着水平方向并列配置。此时，各空气浮起单元12的上表面(载置面)调整为位于同一水平面内。
图3是表示分支输送器20的构成的图。
如该图所示，分支输送器20与主输送器10相同地具有空气浮起单元12和输送部15，且如上所述，具有在主输送器10和分支输送器20之间交接玻璃板P的板交接部40。
板交接部40包括一对的线性促动器42、和被各线性促动器42连结驱动而往复移动的把持部件44等。一对的线性促动器42沿着输送部15而被平行地配置在分支输送器20的空气浮起单元12和输送部15之间。此外，板交接部40，各把持部件44能够在与分支输送器20的空气浮起单元12的上表面大致为同一高度的水平面内从分支输送器20的一端向另一端侧向分支输送器20的玻璃板P的运送方向(玻璃板P的宽度方向)移动与玻璃板P的宽度方向同一长度的量。
并且，在分支输送器20的空气浮起单元12的长度方向(玻璃板P的运送方向)中，一对的把持部件44被控制为总是位于同一位置。
把持部件44构成为，能够把持玻璃板P的外缘部分，具体而言能够把持玻璃板P的宽度方向的一边附近。可以借助吸附保持玻璃板P的侧表面而把持玻璃板P，也可以借助夹持玻璃板P的上表面和下表面而把持玻璃板P。
根据这样的构成，板交接部40，借助一对的把持部件44把持玻璃板P的外缘，并且借助在分支输送器20的一端附近的往复移动而能够在主输送器10和分支输送器20之间不使姿态发生变化地交接玻璃板P。
如此，在本实施方式中，本发明的基板交接部(板交接部40)被组装入至分支输送器20中。
接着，说明基板运送装置1的动作(基板运送方法)。
说明将在主输送器10上运送的玻璃板P交接至分支输送器20上的情况(分支输送器21、23、25的动作)。
首先，将压缩空气供给到主输送器10以及分支输送器20的各空气浮起单元12，使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。此外，驱动输送部15，使各辊16以一定的旋转速度旋转。此时，借助未图示的升降装置使各输送部15上升。
并且，在主输送器10的上游侧，一张张地载置玻璃板P，从而玻璃板P被单张运送。另外，玻璃板P例如以使其长度方向与运送方向相一致的方式被载置在主输送器10上。
若被载置在主输送器10上的玻璃板P移动到与分支输送器20的分支部分，则板交接部40的把持部件44移动到分支输送器20的一端，把持主输送器10上的玻璃板P的外缘。与此同时，主输送器10以及分支输送器20的输送部15借助未图示的升降装置下降。
并且，使把持部件44沿着分支输送器20移动，而玻璃板P被从主输送器10上运送至分支输送器20上。
若玻璃板P被运送至分支输送器20上，则主输送器10以及分支输送器20的输送部15借助未图示的升降装置再次上升。与此同时，基于板交接部40的把持部件44的玻璃板P的把持被解除，而玻璃板P被分支输送器20向从主输送器10分离的方向运送。
并且，玻璃板P被分支输送器20运送而被交接至薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等各种处理装置中。
被交接至各处理装置(薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等)中的玻璃板P，在各种处理装置中实施既定的处理之后被向各处理装置的外部运出。
如此，在将在主输送器上被运送的玻璃板P交接至分支输送器20上时，玻璃板P在主输送器10上被浮起而被支承，且维持该状态且不使姿态发生变化地将玻璃板P交接至分支输送器20上。
因此，玻璃板P在等同于没有摩擦阻力的状态下被从主输送器10交接至分支输送器20上。
接着，说明将玻璃板P从分支输送器20交接至主输送器10的情况(分支输送器22、24、26的动作)。
将玻璃板P从分支输送器20交接至主输送器10的动作是使将玻璃板P从主输送器10交接至分支输送器20的动作大致反转的动作。
首先，将压缩空气供给至主输送器10以及分支输送器20的各空气浮起单元12，使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。此外，驱动输送部15，使各辊16在一定的旋转速度下旋转。此时，借助未图示的升降装置使输送部15上升。
接着，玻璃板P被从薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置交接至分支输送器20上。玻璃板P被分支输送器20运送，移动到分支输送器20的端部。与此同时，板交接部40的把持部件44把持分支输送器20上的玻璃板P的外缘(与运送方向相反侧的侧表面附近)。
接着，沿着分支输送器20移动把持部件44且移动到分支输送器20的一端，而玻璃板P被从分支输送器20上运送至主输送器10上。
并且，解除借助把持部件44的玻璃板P的把持。与此同时，主输送器10以及分支输送器20的输送部15借助未图示的升降装置上升。
由此，主输送器10的输送部15的突起18与玻璃板P的下表面的宽度方向两端抵接，玻璃板P被交接至主输送器10上而被单张运送。
如此，在将玻璃板P从分支输送器20交接至主输送器20上时，玻璃板P在分支输送器20上被浮起而被支承，且维持该状态且不使姿态发生变化地将玻璃板P交接至主输送器10上。
因此，玻璃板P在等同于没有摩擦阻力的状态下被从分支输送器20交接至主输送器10上。
如以上说明那样，本实施方式的基板运送装置1具有：主输送器10，单张运送玻璃板P；分支输送器20，相对于该主输送器10水平地分支；空气浮起单元12，在主输送器10上以及分支输送器20上使玻璃板P浮起而支承该玻璃板P；板交接部40，在主输送器10和分支输送器20之间不使姿态发生变化地交接被该空气浮起单元12浮起支承的玻璃板P。
根据这样的本实施方式的基板运送装置1，玻璃板P在等同于没有摩擦阻力的状态下在主输送器10和分支输送器20之间被交接。因此，即使在高速化了交接速度时，也不会产生由施加冲击而导致的玻璃板P的损伤。
因此，根据本实施方式的基板运送装置1，能够使主输送器10和分支输送器20之间的玻璃板P的交接速度提升。
另外，上述实施方式所示的各构成部件的诸多形状或组合或者动作顺序等是一例，在不脱离本发明的宗旨的范围内能够基于设计要求等进行种种变更。
例如，在上述实施方式中，说明了使用压缩空气使玻璃板P浮起且支承玻璃板P的情况，但是并不限定于此。例如，也可以借助将在空间内传播的振动波施加在玻璃板P上而使玻璃板P浮起而支承玻璃板P。
此外，在上述实施方式中，输送部15构成为，借助未图示的升降装置下降，从而在主输送器10和分支输送器20之间交接玻璃板P时，能够防止玻璃板P与输送部15接触。但是，本发明并不限定于此，也可以代替输送部15下降而借助空气浮起单元12上升来防止玻璃板P与输送部15发生接触。此时，交接侧的输送器的空气浮起单元12的上表面位于与上升后的空气浮起单元12的上表面为同一面的位置。
在上述实施方式中，说明了单张运送玻璃板P的情况，但是运送的对象并不限定于此。例如，如果是半单体晶片等薄的板状部件也能够运送。
在上述实施方式中，说明了在分支输送器20的另一端侧配置/连结薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置的情况，但是各种装置的配置并不限定于此。例如，也可以是在分支输送器20的下游侧(另一端侧)还连结分支输送器20的情况。
此外，除了薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置之外，也可以配置暂时地保存多个玻璃板P等的基板的储料器。
在上述的实施方式中，说明了在薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置上配置运入玻璃板P的分支输送器21、23、25和运出玻璃板P的分支输送器22、24、26的情况，但是上述装置的配置并不限定于此。例如，也可以是一个分支输送器20进行玻璃板P的运入/运出的情况。
产业上的利用可能性
根据本发明，例如在单张运送半导体晶片及平板显示器用玻璃板等的基板时，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下在主输送器和分支输送器之间被交接。因此，即使在高速化了交接速度时，也不会产生由施加冲击而导致的基板的损伤。因此，能够使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。