干燥装置 【技术领域】
本发明涉及一种照射微波以使对象物干燥的干燥装置。
背景技术
到目前为止，对含有水分的对象物照射微波，使对象物所含的水分蒸发的干燥装置已为众人所知。例如，专利文献1中公开有一种干燥装置。在该干燥装置中，以粉末状PTFE(聚四氟乙烯)为对象物，微波照射处于湿态PTFE粉末而使PTFE粉末干燥。在该干燥装置中，将湿态PTFE粉末放在托盘上，从上方微波照射托盘中的PTFE粉末。专利文献2中也公开了一种干燥装置。在该干燥装置中，以油炸的食品为对象物，微波照射食品而使食品干燥。在该干燥装置中，将作为对象物的食品放在带式输送机上搬送，从上方微波照射沿水平方向不断移动的食品。
专利文献1：日本公开特许公报特开平11-235720号公报
专利文献2：日本公开特许公报特开平07-274922号公报
-发明要解决的技术问题-
如上所述，上述现有干燥装置，仅从一个方向对要使其干燥的对象物照射微波。因此，从微波的照射位置到对象物的距离变得不一定了，被对象物吸收的微波的能量就有可能因对象物的设置位置的不同而不同。如果对象物对微波的吸收量因对象物的设置位置的不同而不相等，则干燥后的对象物的含水率就会因其设置位置的不同而不同，使所有的对象物都可靠地干燥就会有困难了。
当然，若花费相当长的时间连续微波照射对象物，则对于微波难以到达的位置的对象物，也能够使其含水率充分下降。但是，若通过延长微波的照射时间来解决问题，就会出现对象物干燥所需要的时间增加，干燥处理的效率下降的问题。
【发明内容】
本发明正是为解决上述问题而研究开发出来的。其目的在于：在利用微波使对象物干燥的干燥装置中，一边减少干燥所需要的时间，一边可靠地使所有的对象物全部干燥。
-用以解决上述问题的技术方案-
第一方面的发明以干燥装置为对象，该干燥装置通过微波照射含有水分的对象物，使该对象物干燥。该干燥装置包括：收纳上述含有水分的对象物的主体部20，所述主体部20构成为：从多个方向对已收纳的对象物照射微波。
在第一方面的发明中，湿态对象物收纳在主体部20中。在主体部20中，从多个方向对所收纳的对象物照射微波(亦即，频率在300MHz以上且30GHz以下的电磁波)。对象物中所含的水分吸收从多个方向照射过来的微波而发热，蒸发并释放到空气中。
第二方面的发明是这样的，在上述第一方面的发明中，该干燥装置包括：在上述含有水分的对象物已放入的状态下被收纳在所述主体部20中的搬送用托盘14，所述主体部20包括对所述搬送用托盘14进行搬送的搬送机构25，所述主体部20构成为：随着所述搬送用托盘14移动，照射该搬送用托盘14的微波的照射方向变化。
在第二方面的发明中，湿态对象物盛放在搬送用托盘14上，已盛放有对象物的搬送用托盘14收纳在主体部20中。在主体部20中，已盛放有对象物的搬送用托盘14由搬送机构25进行搬送。在所述主体部20中，随着所述搬送用托盘14的移动，照射该搬送用托盘14地微波的照射方向发生变化。
第三方面的发明是这样的，在所述第一方面的发明中，该干燥装置包括：在上述含有水分的对象物已放入的状态下被收纳在所述主体部20中的搬送用托盘14。所述主体部20包括搬送机构25和微波照射部40、45、…，所述搬送机构25对所述搬送用托盘14进行搬送，所述微波照射部40、45、…有多个，多个所述微波照射部40、45、…中的各个所述微波照射部40、45、…分别对所述搬送用托盘14照射微波。多个所述微波照射部40、45、…布置为：微波的照射方向沿着所述搬送用托盘14的移动方向相互不同。
在第三方面的发明中，已盛放有对象物的搬送用托盘14由搬送机构25进行搬送。在主体部20中，多个微波照射部40、45、…沿着搬送用托盘14的移动方向布置。来自各个微波照射部40、45、…的微波照射方向是每个微波照射部40、45、…相互不同。因此，在主体部20中，随着搬送用托盘14移动，照射搬送用托盘14的微波的照射方向变化。
第四方面的发明是这样的，在上述第三方面的发明中，所述搬送用托盘14形成为矩形，对应于所述搬送用托盘14的各条边各设有一个所述微波照射部40、45、…。
在第四方面的发明中，在主体部20设有四个微波照射部40、45、…。这些微波照射部40、45、…是对应于形成为矩形的所述搬送用托盘14的各条边各设有一个。各个微波照射部40、45、…对着搬送用托盘14的形成边的侧部照射微波。这些微波照射部40、45、…的设置位置是在搬送用托盘14的移动方向上相互错开。因此，照射搬送用托盘14的微波的照射方向随着搬送用托盘14移动变化。
第五方面的发明是这样的，在上述第二、第三或者第四方面的发明中，在所述主体部20中，多个所述搬送用托盘14相互以规定间隔上下布置，所述搬送机构25构成为：在所述搬送用托盘14上下布置的状态下搬送所述搬送用托盘14。
在第五方面的发明中，在主体部20中，上下布置的多个搬送用托盘14由搬送机构25搬送。在主体部20中，微波对着由搬送机构25搬送的搬送用托盘14照射过来，微波的照射方向随着搬送用托盘14移动变化。
第六方面的发明是这样的，在上述第二、第三或者第四方面的发明中，在所述主体部20中，形成有由相互以规定间隔上下布置的多个所述搬送用托盘14构成的托盘组件10；所述搬送机构25构成为：使该托盘组件10沿水平方向移动。
第七方面的发明是这样的，在所述第四方面的发明中，在所述主体部20中，形成有由相互以λ/2以上的间隔上下布置的多个所述搬送用托盘14构成的托盘组件10；所述搬送机构25构成为：使该托盘组件10沿水平方向移动。另一方面，各个所述微波照射部40、45、…包括照射口43、48、…，所述照射口43、48、…在构成所述托盘组件10的各个搬送用托盘14的侧面各设有一个，各个所述微波照射部40、45、…构成为：从各个照射口43、48、…对搬送用托盘14照射微波。
在第六、第七方面的发明中，形成以多枚搬送用托盘14为一组的托盘组件10。在托盘组件10中，多枚搬送用托盘14相互间以规定间隔上下布置。在主体部20中，搬送机构25让托盘组件10沿水平方向移动。也就是说，在主体部20中，构成托盘组件10的多枚搬送用托盘14在以规定的间隔上下布置的状态下沿水平方向移动。在主体部20中，随着托盘组件10沿水平方向移动，照射托盘组件10中的各枚搬送用托盘14的微波的照射方向变化。
而且，在第七方面的发明中，数量与形成一个托盘组件10的搬送用托盘14相等的照射口43、48、…，设在一个微波照射部40、45、…中。一个微波照射部40、45、…所具有的照射口43、48、…对应于形成一个托盘组件10的各枚搬送用托盘14各设置一个。各个照射口43、48、…布置在各自对应的搬送用托盘14的侧面。微波自各个照射口43、48、…从该侧面照射所对应的搬送用托盘14。
第八方面的发明是这样的，在上述第一到第七方面任一方面的发明中，要干燥的对象物是树脂粉末。
在第八方面的发明中，湿态树脂粉末作为对象物放在搬送用托盘14上。若对搬送用托盘14照射微波，微波便被搬送用托盘14上的树脂粉末中所含有的水分吸收，该水分被加热而蒸发。
此外，能够列举出的树脂粉末之例有通用树脂粉末、所谓的工业塑料粉末等。能够列举出的树脂粉末之例具体如下：聚乙烯、聚氯化乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚醋酸乙烯、ABS树脂(丙烯腈-丁二稀-苯乙烯树脂)、AS树脂(丙烯腈-苯乙烯树脂)、甲基丙稀酸树脂、聚缩醛、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚碳酸酯、聚苯醚、聚对苯二甲酸丁二酯、聚芳酯、聚砜、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚醚醚酮、含氟树脂等粉末。
能够列举出的树脂粉末之一种，即含氟树脂粉末如下：由聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯与六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯与全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚三氟氯乙烯(PCTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、乙烯与四氟乙烯共聚物(ETFE)或乙烯与三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)等制备的粉末。
-发明的效果-
在本发明中，从多个方向对收纳在主体部20中的对象物照射微波。因此，与微波仅从一个方向照射对象物的情况相比，能够使每一个对象物设置位置的微波吸收量相同。结果，能够使收纳在主体部20的对象物的含水率相同，从而能够可靠地使所有对象物干燥。
在上述第四方面的发明中，对形成为矩形形状的搬送用托盘14朝着四个侧部中的每一个侧部照射微波。因此，施加给搬送用托盘14上的对象物的微波的能量在搬送用托盘14的各个部分都一样大。结果，根据该发明，能够进一步抑制搬送用托盘14的各个部分上的对象物的含水率的偏差，从而能够进一步可靠地将盛放在搬送用托盘14上的对象物全部干燥。
在第五方面的发明中，对象物已放入的搬送用托盘14上下布置。因此，与将处理对象即搬送用托盘14全部一个一个地沿水平方向摆放的情况相比，本发明中的干燥装置，能够减少收纳搬送用托盘14所需要的占地面积，减少量与上下重叠布置的搬送用托盘14的个数相对应。也就是说，在例如上下重叠布置五枚搬送用托盘14的情况下，收纳搬送用托盘14所需要的占地面积就成为将搬送用托盘14一个一个地沿水平方向摆放的情况下的1/5。而且，若上下布置处理对象即所有的搬送用托盘14，则收纳搬送用托盘14所需要的占地面积，只要有一枚搬送用托盘14的占有面积那么大就够了。因此，根据本发明，能够使收纳搬送用托盘14的主体部20所占有的占地面积大幅度减小，从而能够谋求干燥装置的小型化。
在上述第六、第七方面的发明中，形成由相互以规定间隔上下布置的多枚搬送用托盘14构成的托盘组件10，由搬送机构25使该托盘组件10移动。因此，与上述第五方面的发明一样，根据这些方面的发明，能够大幅度减少收纳搬送用托盘14的主体部20所占有的地板面积，从而能够谋求干燥装置的小型化；根据这些方面的发明，能够一边保持搬送用托盘14之间的间隔，一边很容易地使多枚搬送用托盘14移动。因此，与使多枚搬送用托盘14以上下布置的状态一个一个地移动的情况相比，能够使搬送机构25的结构更加简单。
特别是，在上述第七方面的发明中，对应于构成一个托盘组件10的各枚搬送用托盘14各设置一个照射口43、48、…。因此，能够使施加给搬送用托盘14上的对象物的微波的能量都一样大，从而能够各个使搬送用托盘14上的对象物的含水率一样低。
【附图说明】
图1是表示第一实施方式的制造装置的主视图，但制造装置的一部分省略未示。
图2是表示托盘组件的概略结构的主视图。
图3是表示搬送用托盘的概略结构的立体图。
图4是表示第一实施方式的前级机组的图，但前级机组的一部分省略未示，图4(A)是前级机组的俯视图，图4(B)是前级机组的主视图。
图5是表示第一实施方式中的前级机组的主要部分的放大图，但前级机组的一部分省略未示，图5(A)是前级机组的俯视图，图5(B)是前级机组的主视图。
图6是表示第一实施方式的后级机组的图，但后级机组的一部分省略未示，图6(A)是后级机组的俯视图，图6(B)是后级机组的主视图。
图7是表示第一实施方式的变形例的制造装置的主视图，但制造装置的一部分省略未示。
图8是表示第二实施方式的前级机组的图，但前级机组的一部分省略未示，图8(A)是前级机组的俯视图，图8(B)是前级机组的主视图。
图9是表示第三实施方式的制造装置的主视图，但制造装置的一部分省略未示。
图10是表示第三实施方式的前级机组的图，但前级机组的一部分省略未示，图10(A)是前级机组的俯视图，图10(B)是前级机组的主视图。
图11是表示第四实施方式的制造装置的主视图，但制造装置的一部分省略未示。
图12是表示第四实施方式中的前级机组的主要部分的主视图，但前级机组的一部分省略未示。
图13是表示第四实施方式的变形例1的前级机组的主视图，但前级机组的一部分省略未示。
图14是表示第四实施方式的变形例2的前级机组的主视图，但前级机组的一部分省略未示。
-符号说明-
10-托盘组件，14-搬送用托盘，20-前级机组(主体部)，21-壳体(壳体部件)，25-滚柱式输送机(搬送机构)，40-第一微波照射部，43-照射口，45-第二微波照射部，48-照射口，50-第三微波照射部，53-照射口，55-第四微波照射部，58-照射口。
【具体实施方式】
下面，参考附图详细说明本发明的实施方式。
(发明的第一实施方式)
说明本发明的第一实施方式。本实施方式中的制造装置1是这样的一种装置，在PTFE粉末的制造过程中，为制造出作为最终产品的干燥PTFE粉末，对湿态PTFE粉末进行干燥处理。此外，以下说明中所用的“右”、“左”、“前”、“后”、“跟前”、“里面”都是从正面一侧观看制造装置1时定出的方向。
这里，PTFE粉末是借助在水中的聚合反应而生成的。于是，为得到干燥PTFE粉末，就需要使利用聚合反应生成的湿态PTFE粉末干燥。而且，有时候，PTFE粉末会作挤压成形PTFE制产品之际的原料用。要求用在该用途上的PTFE粉末在挤压成形之际的挤出压力大致一定不变。为满足这一要求，就需要对PTFE粉末进行热处理。因此，本实施方式中的制造装置1进行使湿态PTFE粉末干燥的工序和对已干燥的PTFE粉末进行热处理的工序。
如图1所示，本实施方式中的制造装置1包括前级机组20和后级机组60。前级机组20是微波照射PTFE粉末的组件，与后述的搬送用托盘14一起构成本发明所涉及的干燥装置。后级机组60是利用高温空气对已通过了前级机组20的PTFE粉末加热的组件。在该制造装置1中，前级机组20设置在后级机组60之上。
本实施方式中的制造装置1包括多个图2所示那样的托盘组件10。各个托盘组件10由四枚搬送用托盘14和一个托盘架11构成。
如图3所示，搬送用托盘14是其上面开口的扁平长方体状容器。具体而言，搬送用托盘14包括都是不锈钢制的底板部15和侧板部16。底板部15是大致形成为正方形状的平板。底板部15上有多个直径0.5mm左右的漏水孔，它们以1.0mm左右的间距排列着，未图示。侧板部16是形成为长方形状的平板。在底板部15的每一条边上与底板部15垂直地各设置一个侧板部16。湿态PTFE粉末放在该搬送用托盘14上。
如图2所示，托盘架11包括皆为不锈钢制的框部件12和柱部件13，各四个。四个框部件12皆形成为矩形形状，相互间以规定间隔上下布置。柱部件13形成为棒状，在上下布置的框部件12的各个角上各布置有一根柱部件13。在托盘架11中，各个框部件12上放置一枚搬送用托盘14。所设定的托盘架11中框部件12之间的间隔会保证放在各个框部件12上的搬送用托盘14之间的间隔为一定的值H。也就是说，在托盘架11中，就上下相邻的一对搬送用托盘14而言，位于上方的搬送用托盘14的底板部15的底面与位于下方的搬送用托盘14的侧板部16的上端面之间的距离为一定的值H。
如图4所示，前级机组20包括是壳体部件的壳体21和是搬送机构的滚柱式输送机25。前级机组20包括四个微波照射部40、45、50、55。该前级机组20构成本发明所涉及的干燥装置的主体部。
壳体21形成为两端面被堵起来的剖面为矩形的管(duct)状，设置成其长边方向大致为水平方向。壳体21的内部空间为收纳托盘架11的收纳空间。在壳体21的内部空间沿其长边方向等间隔地竖设有三个分隔用门24。有关分隔用门24的情况后述。
壳体21的内部空间由三个分隔用门24分隔出四个空间。就壳体21中由分隔用门24分隔出的四个空间而言，位于最左侧的空间是第一照射区31；第一照射区31右侧的空间是第二照射区32；第二照射区32右侧的空间是第三照射区33；位于最右侧的空间是第四照射区34。各个照射区31-34大约有能够收纳一个托盘组件10那么大。
分隔用门24是不锈钢制平板，其剖面形状形成为与壳体21的剖面形状相对应的矩形。该分隔用门24通过沿上下方向移动而打开、关闭。分隔用门24一打开，隔着分隔用门24相邻的照射区31-34就相互连通。
在壳体21中设置有搬入用门22和搬出用门23。搬入用门22设置在壳体21的前面且正对第一照射区31的部分，搬入用门22是形成为矩形形状的不锈钢制平板，该搬入用门22通过沿上下方向移动而打开、关闭。搬入用门22一打开，第一照射区31就与壳体21的外部连通。另一方面，搬出用门23设置在壳体21的底面且正对第四照射区34的部分，搬出用门23是形成为矩形形状的不锈钢制平板，该搬出用门23通过沿水平方向移动而打开、关闭。搬出用门23一打开，第四照射区34就与壳体21的外部连通。
滚柱式输送机25收纳在壳体21的内部空间。滚柱式输送机25布置在壳体21的底部，且沿着壳体21的长边方向在壳体21的几乎全长上都设置有该滚柱式输送机25。收纳在壳体21内的托盘组件10放在滚柱式输送机25之上，托盘组件10靠滚柱式输送机25被从左向右搬送。
用以将空气供给各个照射区31-34的供气管36和用以将空气从各个照射区31-34排出去的排气管37连接在壳体21上。在壳体21中，对四个照射区31-34中的各个照射区31、32、33、34各连接有十根供气管36和排气管37。
供气管36连接在壳体21的里面侧侧面(即背面)上，管口朝着相对应的照射区31-34开放。在已将托盘组件10收纳在各个照射区31-34中的状态下，在托盘组件10中的搬送用托盘14之间(三处)、最上层的搬送用托盘14的上侧(一处)及最下层的搬送用托盘14的下侧(一处)，各有两根供气管36敞着口。
排气管37连接在壳体21的跟前一侧的侧面(即前面)上，管口朝着相对应的照射区31-34开放。在已将托盘组件10收纳在各个照射区31-34中的状态下，托盘组件10中的搬送用托盘14之间(三处)、最上层的搬送用托盘14的上侧(一处)及最下层的搬送用托盘14的下侧(一处)，各有两根排气管37敞着口。
各个微波照射部40、45、50、55都包括微波振荡器41、46、51、56和导波管42、47、52、57，各个微波照射部40、45、50、55中的微波振荡器41、46、51、56和导波管42、47、52、57的数量与设在托盘组件10中的搬送用托盘14的数量相等。在本实施方式中，在一个托盘组件10中设置有四枚搬送用托盘14。因此，本实施方式的各个微波照射部40、45、50、55中各设有四个微波振荡器41、46、51、56和四根导波管42、47、52、57。
各个微波振荡器41、46、51、56构成为：产生频率2.45GHz的微波，其输出在1.0kW左右。每根导波管42、47、52、57用以将在微波振荡器41、46、51、56中产生的微波引向照射区31-34，且由剖面为横向长度长的长方形状的金属制管构成。每根导波管42、47、52、57整体形成为“L”字状。在每根导波管42、47、52、57的始端各连接有一个微波振荡器41、46、51、56。
每根导波管42、47、52、57的终端安装在壳体21的侧面上，贯穿该壳体21，终端端口朝着相应的照射区31-34开放。第一微波照射部40的导波管42安装在壳体21的左端面上，其终端成为朝着第一照射区31开放的照射口43；第二微波照射部45的导波管47安装在壳体21的里面侧侧面(即背面)且正对第二照射区32的部分，其终端成为朝着第二照射区32开放的照射口48；第3微波照射部50的导波管52安装在壳体21的跟前一侧的侧面(即前面)且正对第三照射区33的部分，其终端成为朝着第三照射区33开放的照射口53；第四微波照射部55的导波管57安装在壳体21的右端面上，其终端成为朝着第四照射区34开放的照射口58。
各个微波照射部40、45、50、55中都设置了四根的导波管42、47、52、57，各自的终端以规定间隔沿上下方向排成一列。也就是说，在形成在壳体21内的各个照射区31-34中，四个照射口43、48、53、58沿上下方向排列成一列且敞着口。在第一照射区31，照射口43朝着其前后方向的中央部位开放；在第二照射区32，照射口48朝着其左右方向的中央部位开放；在第三照射区33，照射口53朝着其左右方向的中央部开放；在第四照射区34，照射口58朝着其前后方向的中央部位开放。在已将托盘组件10收纳在各个照射区31-34中的状态下，在托盘组件10中的搬送用托盘14之间(三处)和最上层的搬送用托盘14的上侧(一处)各布置有一个照射口43、48、53、58。
在壳体21内的各个照射区31-34各设置有一个用来挡住微波的遮挡用框架部26。遮挡用框架部26沿着壳体21的内侧面、分隔用门24而设，将收纳在照射区31-34中的托盘组件10中最下层的搬送用托盘14的周围包围了起来。遮挡用框架部26中位于分隔用门24的部分与分隔用门24成为一体，上下移动。遮挡用框架部26的剖面形状为长方形状，其内周面与托盘组件10中最下层的搬送用托盘14的侧板部16相向。遮挡用框架部26的高度与搬送用托盘14的高度相等，或者比搬送用托盘14的高度稍微高一些。遮挡用框架部26的材质是金属。
如图5所示，在已将托盘组件10收纳在各个照射区31-34中的状态下，形成各个照射区31-34的壁面与搬送用托盘14间的间隔设定为规定值。此外，图5所示的是托盘组件10收纳在第一照射区31中的状态。
具体而言，设在托盘组件10最上层的搬送用托盘14的侧板部16的上端与壳体21的顶面之间的距离设定为与各枚搬送用托盘14间的间隔相同的值H；就托盘组件10中从上往下数第一层到第三层各层的搬送用托盘14的侧面与壳体21的内壁面的间隔而言，在左右方向上的间隔和在前后方向上的间隔都是相同的值L；托盘组件10最下层的搬送用托盘14的侧面与遮挡用框架部26的内周面之间的间隔绕搬送用托盘14一周是一定值D；搬送用托盘14与遮挡用框架部26之间的间隔D设定为照射搬送用托盘14的微波不能够通过那么大的值。
这里，设各个微波照射部40、45、50、55中的微波振荡器41、46、51、56所产生的微波的频率为λ。在该实施方式的各个照射区31-34中，距离H设定为λ/2以上的值(H≥λ/2)，距离L设定为λ以上的值(H≥λ)。本实施方式中的微波振荡器41、46、51、56所产生的微波，其频率为2.45GHz，其波长为128mm。因此，在本实施方式的各个照射区31-34中，距离H设定在64mm以上，距离L设定在128mm以上。
如图6所示，后级机组60包括壳体61和滚柱式输送机65。
壳体61形成为两端面被堵起来的剖面为矩形的管状，设置成其长边方向大致为水平方向。壳体61的内部空间为收纳托盘架11的收纳空间。后级机组60的壳体61的长度是前级机组20的壳体21的长度的大约1.5倍。六个托盘组件10沿着后级机组60的壳体61的长边方向排成一行，且收纳在壳体61中。
在壳体61的内部空间沿着其长边方向形成有六个区71-74、81、82。在各个区71-74、81、82中各自收纳有一个托盘组件10。不过，这些区71-74、81、82是假想的区，从物理结构上而言，壳体61的内部空间并没有被分隔板等分隔开。
在壳体61中，从右端侧开始数起，四个区是干燥区71-74，剩下的两个区是热处理区81、82。在该壳体61中，第一干燥区71、第二干燥区72、第三干燥区73、第四干燥区74按照从右往左的顺序排成一行。在壳体61中，第四干燥区74的左邻是第一热处理区81，最左的区是第二热处理区82。
在壳体61中设置有搬入用门62和搬出用门63。搬入用门62设置在壳体61上面且正对第一干燥区71的部分，搬入用门62是形成为矩形形状的不锈钢制平板，该搬入用门62通过沿水平方向移动而打开、关闭。搬入用门62一打开，第一干燥区71就与壳体61的外部连通。另一方面，搬出用门63设置在壳体61前面且正对第二热处理区82的部分，搬出用门63是形成为矩形形状的不锈钢制平板，该搬出用门63通过沿水平方向移动而打开、关闭。搬出用门63一打开，第二热处理区82就与壳体61的外部连通。
这里，如上所述，前级机组20放在后级机组60之上。在前级机组20放在后级机组60之上的状态下，设置在前级机组20的壳体21下面的搬出用门23与设置在后级机组60的壳体61上面的搬入用门62相对。此外，在本实施方式中，可以用一个门兼作前级机组20的搬出用门23与后级机组60的搬入用门62。
滚柱式输送机65收纳在壳体61的内部空间。滚柱式输送机65布置在壳体61的底部，且沿着壳体61的长边方向在壳体61的几乎全长上都设置有该滚柱式输送机65。收纳在壳体61内的托盘组件10放在滚柱式输送机65之上，托盘组件10由滚柱式输送机25从右向左搬送。
用以将空气供给各个区71-74、81、82的供气管76、86和将空气从各个区71-74、81、82排出去的排气管77、87连接在壳体61上。在壳体61中，给各个干燥区71-74各设置十根供气管76和排气管77。而且，在壳体61中，给各个热处理区81、82各设置十根供气管86和排气管87。
供气管76、86连接在壳体61的里面一侧的侧面(即背面)上，管口朝着所对应的区71-74、81、82开放。在已将托盘组件10收纳在各个区71-74、81、82中的状态下，在托盘组件10中的搬送用托盘14之间(三处)、最上层的搬送用托盘14的上侧(一处)及最下层的搬送用托盘14的下侧(一处)，各有两根供气管76、86敞着口。
排气管77、87连接在壳体61的跟前一侧的侧面(即前面)上，管口朝着相对应的区71-74、81、82开放。在已将托盘组件10收纳在各个区71-74、81、82中的状态下，托盘组件10中搬送用托盘14之间(三处)、最上层的搬送用托盘14的上侧(一处)及最下层的搬送用托盘14的下侧(一处)，各有两根排气管77、87敞着口。
-运转工作-
说明本实施方式中的制造装置1的运转工作。该制造装置1进行使由聚合反应生成的湿态PTFE粉末干燥的工序和对经过该工序已干燥了的PTFE粉末进行热处理的工序。
需提一下，以下说明中的含水率是用百分率表示的水相对PTFE粉末本身的质量比。具体而言，设湿态PTFE粉末是质量W1的PTFE粉末与质量W2的水的混合物，该湿态PTFE粉末的含水率R将成为由下式得到的值。
R＝(W2/W1)×100
由聚合反应生成的湿态PTFE粉末放在搬送用托盘14上。放在该搬送用托盘14上的PTFE粉末的含水率约为80％。湿态PTFE粉末以很均匀的状态放在搬送用托盘14上。各个托盘架11上各放置有四枚已放有湿态PTFE粉末的搬送用托盘14。如上所述，由一个托盘架11和四枚搬送用托盘14形成一个托盘组件10。每隔15分钟向本实施方式的制造装置1投入一个托盘组件10。
在前级机组20中，每隔15分钟向第一照射区31搬入一个托盘组件10。另一方面，每隔15分钟从第四照射区34搬出一个托盘组件10。在前级机组20中，收纳在第一、第二、第三照射区31、32、33中的托盘组件10每隔15分钟分别被搬向右邻的第二、第三、第四照射区32、33、34。
在前级机组20的各个照射区31-34中，相对应的微波照射部40、45、50、55微波照射收纳在那里的托盘组件10。在各个照射区31-34中，从相对应的微波照射部40、45、50、55照射来的微波到达各搬送用托盘14上的湿态PTFE粉末，被该PTFE粉末中所含有的水分吸收。已吸收了微波的水分发热而蒸发。
在前级机组20中，被加热到60℃-100℃左右的室外空气从供气管36吹到各个照射区31-34。另一方面，含有已蒸发了的水分(水蒸气)的各个照射区31-34内的空气被吸入排气管37中。已被吸入排气管37中的空气全部排向屋外。此外，已被吸入排气管37的空气，在进行了除去有害物质等适当处理后，释放到屋外。
以一个托盘组件10为例说明前级机组20的运转情况。
托盘组件10被搬入前级机组20中。此时，在前级机组20中，搬入用门22打开，托盘组件10被搬入第一照射区31。已被搬入第一照射区31的托盘组件10被放在滚柱式输送机25上。之后，在前级机组20中，搬入用门22、搬出用门23以及分隔用门24全部关闭，由各个微波照射部40、45、50、55开始照射微波。
第一微波照射部40对第一照射区31内的托盘组件10照射微波。在第一微波照射部40的微波振荡器41产生的微波，通过导波管42，从照射口43对着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。也就是说，在第一照射区31中，微波从左侧方照射托盘组件10的各枚搬送用托盘14。在第一照射区31中，各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分由微波加热而蒸发，已蒸发的水分被排气管37吸去。
在前级机组20中，从开始照射微波起15分钟一过，便暂时停止由微波照射部40、45、50、55照射微波。在前级机组20中，分隔用门24打开，托盘组件10被从第一照射区31搬送到第二照射区32。托盘组件10一到达第二照射区32，分隔用门24就关闭，便由微波照射部40、45、50、55重新开始照射微波。
第二微波照射部45对第二照射区32内的托盘组件10照射微波。在第二微波照射部45的微波振荡器46产生的微波，通过导波管47，从照射口48对着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。也就是说，在第二照射区32中，微波从后方朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。在第二照射区32中，各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分由微波加热而蒸发，已蒸发的水分被排气管37吸去。
在前级机组20中，从再次开始照射微波起15分钟一过，便暂时停止由微波照射部40、45、50、55照射微波。在前级机组20中，分隔用门24打开，托盘组件10被从第二照射区32搬送到第三照射区33。托盘组件10一到达第三照射区33，分隔用门24就关闭，便由微波照射部40、45、50、55重新开始照射微波。
第三微波照射部50对第三照射区33内的托盘组件10照射微波。在第三微波照射部50的微波振荡器51产生的微波，通过导波管52，从照射口53照射托盘组件10的各枚搬送用托盘14。也就是说，在第三照射区33中，微波从前方朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。在第三照射区33中，各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分由微波加热而蒸发，已蒸发的水分被排气管37吸去。
在前级机组20中，从再次开始照射微波起15分钟一过，便暂时停止由微波照射部40、45、50、55照射微波。在前级机组20中，分隔用门24打开，托盘组件10被从第三照射区33朝着第四照射区34搬送。托盘组件10一到达第四照射区34，分隔用门24就关闭，便由微波照射部40、45、50、55重新开始照射微波。
第四微波照射部55对第四照射区34内的托盘组件10照射微波。在第四微波照射部55的微波振荡器56产生的微波，通过导波管57，从照射口58照射托盘组件10的各枚搬送用托盘14。也就是说，在第四照射区34中，微波从右侧方朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。在第四照射区34中，各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分由微波加热而蒸发，已蒸发的水分被排气管37吸去。
在前级机组20中，从开始照射微波起15分钟一过，便暂时停止由微波照射部40、45、50、55照射微波。在前级机组20中，搬出用门23打开，托盘组件10被从第四照射区34搬送出去。在从第四照射区34搬出的托盘组件10中，放在各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末的含水率大约降到5％左右。
如上所述，在前级机组20中的各个照射区微波的照射情况是这样的：在第一照射区31，微波从左侧照射搬送用托盘14；在第二照射区32，微波从后方照射搬送用托盘14；在第三照射区33，微波从前方照射搬送用托盘14；在第四照射区34，微波从右侧方照射搬送用托盘14。也就是说，在前级机组20中，随着托盘组件10依次从第一照射区31朝第四照射区34移动，照射搬送用托盘14的微波的照射方向在90度、90度地变化。
从前级机组20的第四照射区34搬出的托盘组件10被搬入后级机组60的第一干燥区71，放在滚柱式输送机65上。在后级机组60中，每隔15分钟向第一干燥区71搬入一个托盘组件10。另一方面，每隔15分钟从第二热处理区82搬出一个托盘组件10。在将托盘组件10搬入第一干燥区71之际，搬入用门62打开；在将托盘组件10从第二热处理区82搬出之际，搬出用门63打开。
在后级机组60中，每隔15分钟，收纳在第一、第二、第三干燥区71、72、73中的托盘组件10就被搬向左邻的第二、第三、第四干燥区72、73、74。而且，在后级机组60中，每隔15分钟，收纳在第四干燥区74中的托盘组件10被搬向第一热处理区81，且每隔15分钟，收纳在第一热处理区81中的托盘组件10被搬向第二热处理区82。
在后级机组60中，被加热到100℃-250℃左右(优选130℃-200℃左右)的规定温度的空气从供气管76吹出到各个干燥区71-74。在各个干燥区71-74中，搬送用托盘14上的PTFE粉末被从供气管76供来的空气加热，含在该PTFE粉末中的水分蒸发掉。含有已蒸发的水分(水蒸气)的各个干燥区71-74内的空气被吸入排气管77中。已被吸入排气管77中的空气，有一部分(例如整体的2％左右)被排向屋外，剩下的与室外空气混合后，经由供气管76被送回各个干燥区71-74。此外，已被吸入排气管77且排向屋外的空气，在进行了除去有害物质等适当处理后，释放到屋外。
在后级机组60中，搬送用托盘14上的PTFE粉末，在托盘组件10从第一干燥区71移动到第四干燥区74的那段时间内(也就是说，约60分钟)，连续暴露在所述规定温度的热风中。托盘组件10在第四干燥区74完成干燥处理时，搬送用托盘14上的PTFE粉末的含水率在0.01％以下左右，是一个非常低的值。
在后级机组60中，被加热到100℃-250℃左右(优选130℃-200℃左右)的规定温度的空气从供气管86吹出到各个热处理区81、82。另一方面，在各个热处理区81、82内的空气被吸入排气管87。已被吸入排气管87的空气全部再次被加热到所述规定温度后，经由供气管86被送回各个热处理区81、82。因此，各个热处理区81、82内的气温保持在与从供气管86吹出来的热风的温度大致相等的温度上，收纳在各个热处理区81、82中的搬送用托盘14上的PTFE粉末也被保持在大致相等的温度上。在后级机组60中，搬送用托盘14上的PTFE粉末，在托盘组件10从第一热处理区81移动到第二热处理区82的那段时间内(也就是说，约30分钟)，其温度保持为100℃以上的高温。
这里，若将含水率几乎降到0％的PTFE粉末的温度保持在某种程度的高温上，则一开始的时候，挤压压力(挤压PTFE粉末成形时所需要的压力)逐渐上升，经过某一定时间后，挤压压力就不会再进一步上升了，而是基本上维持一定不变。于是，在后级机组60中，在到PTFE粉末的挤压压力达到一定值不变所需要的时间以上的那段时间内，将PTFE粉末的温度保持在100℃以上的高温上。进行了热处理工序，对作为最终产品的PTFE粉末的挤压压力就成为在规定的目标范围内的值。
就这样，已投入到本实施方式的制造装置1的搬送托盘上的湿态PTFE粉末依次经过以下各个工序，即成为作为最终产品的已干燥的PTFE粉末。所述各个工序是：在前级机组20的照射区31-34中进行的利用了微波的干燥工序、在后级机组60的干燥区71-74中进行的利用了热风的干燥工序以及在后级机组60的热处理区81、82中进行的利用了热风的热处理工序。
-第一实施方式的效果-
在本实施方式中，构成四枚搬送用托盘14上下布置的托盘组件10，将该托盘组件10投入制造装置1里。因此，就本实施方式中的制造装置1而言，能够使收纳搬送用托盘14所需要的占地面积，是处理对象即搬送用托盘14全部一个一个地沿水平方向排列的情况下所需要的占地面积的1/4左右。因此，根据本实施方式，能够大幅度地减小收纳搬送用托盘14的前级机组20、后级机组60所占有的占地面积，从而能够谋求制造装置1的小型化。
这里，微波等电磁波具有这样的特性，即：不能通过例如金属网的网孔那样的“形成在金属间的、比电磁波的波长窄很多的缝隙”。因此，如果上下布置的金属制搬送用托盘14间的间隔很窄，微波便难以进入相邻搬送用托盘14之间的间隙，也就不能够用微波充分地对搬送用托盘14上的对象物加热。
相对于此，在本实施方式中，各个托盘组件10中放在托盘架11上的搬送用托盘14间的间隔H设定在λ/2以上(参照图5)。而且，该实施方式的前级机组20中金属制壳体21的顶面与托盘组件10中的最上层的搬送用托盘14之间的距离H也设定在λ/2以上(参照图5)。
也就是说，在本实施方式的前级机组20中，充分确保了上下方向的搬送用托盘14之间的间隔H、搬送用托盘14与壳体21之间的距离H。因此，在微波从侧面照射上下布置的金属制搬送用托盘14的情况下，微波也不受搬送用托盘14的干扰，会到达放在搬送用托盘14上的PTFE粉末的水分中。因此，根据本实施方式，确实能够加热各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分，从而确实能够使各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末的含水率下降。
本实施方式的前级机组20中，壳体21的内壁面与各枚搬送用托盘14的侧板部16之间的距离L设定在λ以上。也就是说在本实施方式中，充分确保了微波的照射方向上的壳体21与搬送用托盘14间的间隔。因此，能够让从侧面照射搬送用托盘14的微波扩散，从而能够使微波遍及各枚搬送用托盘14。结果，根据该发明，能够毫无遗漏地加热放在各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中的水分，从而能够使每一枚搬送用托盘14上的PTFE粉末的含水率一样低。
若使搬送用托盘14的材质为微波的透过率较高的树脂等，则即使搬送用托盘14间的间隔、搬送用托盘14与壳体21之间的间隔不那么宽，微波也会到达放在搬送用托盘14上的PTFE粉末的水分中。但是，一般情况下，树脂的强度比金属的强度低，所以，若使搬送用托盘14的材质为树脂，则这时的搬送用托盘14就会比搬送用托盘14的材质为金属时重，树脂制搬送用托盘14在加工处理过程中有可能被碰破。而且，如果搬送用托盘14的碎片混入PTFE粉末中，则会导致PTFE粉末中混入了异物，最终也就有可能导致作为最终产品的PTFE粉末的产品质量下降。
相对于此，本实施方式的制造装置1中，选择金属中的一种即不锈钢作搬送用托盘14的材质。因此，与使搬送用托盘14为树脂制的情形相比，能够使搬送用托盘14自身更轻，也就更容易搬入搬出搬送用托盘14等。而且，因为不锈钢制搬送用托盘14在处理过程中不会被碰破，所以能够防止异物混入而导致PTFE粉末质量下降。
在本实施方式中，从多个方向微波照射收纳在所述前级机组20中的搬送用托盘14。在前级机组20中的各个照射区31-34，照射来的微波逐渐被PTFE粉末中的水分吸收去。因此，在各个照射区31-34内，随着逐渐远离微波的出口即照射口43、48、53、58，到达那里的微波的能量也就逐渐衰减。相对于此，在本实施方式的前级机组20中，微波从多个方向照射搬送用托盘14。因此，根据本实施方式，能够均匀地加热盛放在各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中的水分，从而能够使每一枚搬送用托盘14上的PTFE粉末的含水率很均匀。
在本实施方式的前级机组20中，从前后左右四个方向微波照射大致水平布置的矩形搬送用托盘14。因此，施加给搬送用托盘14上的PTFE粉末中的水分的微波的能量在搬送用托盘14的各个部分确实一样大。结果，根据本实施方式，能够使搬送用托盘14的各个部分上的PTFE粉末的含水率一样低，从而确实能够将放在搬送用托盘14上的PTFE粉末全都干燥。
在本实施方式的前级机组20中，对应于构成一个托盘组件10的各枚搬送用托盘14各设置一个照射口43、48、53、58。因此，能够使施加给搬送用托盘14上的对象物的微波的能量一样大，从而能够使搬送用托盘14上的对象物的含水率一样低。
-第一实施方式的变形例1-
如图7所示，在本实施方式的制造装置1中，可以前后布置前级机组20和后级机组60。
在本变形例的前级机组20中，搬出用门23设在壳体21背面且正对第四照射区34的部分。在本变形例的后级机组60中，搬入用门62设置在壳体61前面且正对第一干燥区71的部分。
在本变形例的制造装置1中，前级机组20和后级机组60以共同的长边方向平行的状态布置好，在前后方向上留有规定间隔。前级机组20与后级机组60以前级机组20的搬出用门23和后级机组60的搬入用门62相互相向的状态布置好。朝后方搬送从前级机组20的第四照射区34搬出的托盘组件10，并搬到后级机组60的第一干燥区71。
-第一实施方式的变形例2-
在本实施方式的制造装置1中，设置在一个托盘组件10中的搬送用托盘14的枚数并不限于四枚，可以任意设定。例如，能够在一个托盘组件10中设置六枚搬送用托盘14。在该情况下，在前级机组20中，是在各个微波照射部各设置六个微波振荡器和六根导波管。而且，各有一个照射口朝着壳体21的内壁面且收纳在各个照射区31-34的托盘组件10中的各枚搬送用托盘14的正上方开放。
在本实施方式的制造装置1可以构成为：对前级组件20、后级组件60一枚一枚地投入搬送用托盘14。在该情况下，不用托盘组件10，盛放有湿态PTFE粉末的搬送用托盘14单独被搬入前级组件20、后级组件60。
(发明的第二实施方式)
说明本发明的第二实施方式。本实施方式是对上述第一实施方式的制造装置1的结构做了变更后得到的。这里，说明本实施方式的制造装置1与上述第一实施方式的制造装置1不同的地方。此外，以下说明中所用的“右”、“左”、“前”、“后”、“跟前”、“里面”都是从正面一侧观看制造装置1时定出的方向。
如图8所示，在该实施方式中，在一个托盘组件10中设置有八枚搬送用托盘14。该托盘组件10的托盘架11包括在上下方向上以规定间隔布置的8个框部件12，该托盘组件10的托盘架11构成为：八枚搬送用托盘14能够以规定间隔H上下布置。
在本实施方式的前级机组20中，壳体21左右方向上的长度大约是第一实施方式的一半。另一方面，壳体21的高度大约是第一实施方式的两倍。在壳体21的内部空间左右方向的中央部位竖设有一个分隔用门24。该内部空间由分隔用门24分隔为两个空间。在壳体21中，分隔用门24左侧的空间成为第一照射区31，分隔用门24右侧的空间成为第二照射区32。各个照射区31-32大约有能够收纳一个托盘组件10那么大。
分隔用门24是不锈钢制平板，其剖面形状形成为与壳体21的剖面形状相对应的矩形形状。该分隔用门24通过沿上下方向移动而打开、关闭。分隔用门24一打开，第一照射区31和第二照射区32就相互连通。
在本实施方式的前级机组20中，也是在壳体21中设置有搬入用门22与搬出用门23。搬入用门22设置在壳体21前面且正对第一照射区31的部分，搬入用门22是形成为矩形不锈钢制平板，搬入用门22通过沿上下方向移动而打开、关闭。搬入用门22一打开，第一照射区31便与壳体21的外部连通。另一方面，搬出用门23设置在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)且正对第二照射区32的部分，搬出用门23是形成为矩形不锈钢制平板，该搬出用门23通过沿上下方向移动而打开、关闭。搬出用门23一打开，第二照射区32就与壳体21的外部连通。
在本实施方式的前级机组20中，也在壳体21上连接有供气管和排气管，但未图示。供气管36连接在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)上。在壳体21的背面且正对第一照射区31的部分和正对第二照射区32的部分各自连接有规定根数的该供气管。排气管连接在壳体21的前面。在壳体21的前面且正对第一照射区31的部分和正对第二照射区32的部分各自连接有规定根数的该排气管。
在本实施方式的前级机组20中设置有四个微波照射部40、45、50、55。各个微波照射部40、45、50、55都包括微波振荡器41、46、51、56和导波管42、47、52、57，且各个微波照射部40、45、50、55中的微波振荡器41、46、51、56和导波管42、47、52、57的数量分别是设在托盘组件10中的搬送用托盘14的数量的一半。在本实施方式中，在一个托盘组件10中设置有八枚搬送用托盘14。因此，本实施方式的各个微波照射部40、45、50、55中各设有四个微波振荡器41、46、51、56和四根导波管42、47、52、57。
第一微波照射部40设置在壳体21的左侧面。具体而言，构成第一微波照射部40的导波管42的终端连接在壳体21的左侧面上。该导波管42的终端构成口朝着第一照射区31敞开的照射口43。在壳体21的内壁面且托盘组件10中从上往下数第一层和第二层搬送用托盘14之间、第三层和第四层搬送用托盘14之间、第五层和第六层搬送用托盘14之间以及第七层和第八层搬送用托盘14之间，各有一个该照射口43敞着口。
第二微波照射部45设置在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)。具体而言，构成第二微波照射部45的导波管47的终端连接在壳体21的背面上。该导波管47的终端构成口朝着第一照射区31敞开的照射口48。在壳体21的内壁面且在托盘组件10中最上层的搬送用托盘14和壳体21的顶面之间、第二层和第三层搬送用托盘14之间、第四层和第五层搬送用托盘14之间以及第六层和第七层搬送用托盘14之间，各有一个该照射口48敞着口。
第三微波照射部50设置在壳体21的前面。具体而言，构成第三微波照射部50的导波管52的终端连接在壳体21的前面上。该导波管52的终端构成口朝着第二照射区32的照射口53。在壳体21的内壁面且在托盘组件10中最上层的搬送用托盘14和壳体21的顶面之间、第二层和第三层搬送用托盘14之间、第四层和第五层搬送用托盘14之间以及第六层和第七层搬送用托盘14之间，各有一个该照射口53敞着口。
第四微波照射部55设置在壳体21的右侧面。具体而言，构成第四微波照射部55的导波管57的终端连接在壳体21的右侧面上。该导波管57的终端构成口朝着第二照射区32敞开的照射口58。在壳体21的内壁面且托盘组件10中从上往下数第一层和第二层搬送用托盘14之间、第三层和第四层搬送用托盘14之间、第五层和第六层搬送用托盘14之间以及第七层和第八层搬送用托盘14之间，各有一个该照射口58敞着口。
在壳体21内且各个照射区31-34也各设置有一个遮挡用框架部26。与上述第一实施方式的情形一样，所设置的遮挡用框架部26将托盘组件10中最下层的搬送用托盘14的周围包围了起来。遮挡用框架部26的内周面与最下层的搬送用托盘14的侧板部16相向。
在本实施方式的前级机组20中，托盘组件10中上下布置的搬送用托盘14之间的间隔H、托盘组件10中最上层的搬送用托盘14与壳体21的顶面之间的距离H，都设定为λ/2以上的值。而且，在前级机组20中，壳体21的内壁面与各搬送用托盘14中的侧板部16之间的距离、分隔用门24与各搬送用托盘14中的侧板部16之间的距离等都设定为λ以上的值。最后，托盘组件10最下层的搬送用托盘14的侧面与遮挡用框架部26的内周面之间的间隔D设定为微波不能通过二者间的间隙那么大的值。
在本实施方式的后级机组60中，壳体61的高度大约是上述第一实施方式的情形下的两倍，但未图示。该壳体61构成为：能够收纳本实施方式中的具有八枚搬送用托盘14的托盘组件10。此外，与上述第一实施方式一样，在本实施方式的后级机组60中，也是在壳体61内，四个干燥区71-74和两个热处理区81、82排列成一行。
-运转工作-
说明本实施方式的前级机组20的工作情况。后级机组60的工作情况与上述第一实施方式的情形一样。
在前级机组20中，每隔30分钟向第一照射区31搬入一个托盘组件10。另一方面，每隔30分钟从第二照射区32搬出一个托盘组件10。在前级机组20中，每隔30分钟收纳在该第一照射区31的托盘组件10便被搬向右邻的第二照射区32。
在前级机组20的各个照射区31、32中，相对应的微波照射部40、45、50、55对收纳在那里的托盘组件10照射微波。在各个照射区31、32，从微波照射部40、45、50、55照射来的微波到达各搬送用托盘14上的湿态PTFE粉末，被该PTFE粉末中所含有的水分吸收。已吸收了微波的水分发热而蒸发。
在前级机组20中，被加热到60℃-100℃左右的室外空气从供气管吹到各个照射区31、32。另一方面，含有已蒸发的水分(水蒸气)的各个照射区31、32内的空气被吸入排气管中。已被吸入排气管中的空气全部排向屋外。此外，已被吸入排气管中的空气在进行了除去有害物质等适当处理后，释放到屋外。
以一个托盘组件10为例说明前级机组20的运转情况。
托盘组件10被搬入前级机组20中。此时，在前级机组20中，搬入用门22打开，托盘组件10被搬入第一照射区31。已被搬入第一照射区31的托盘组件10被放在滚柱式输送机25上。之后，在前级机组20中，搬入用门22、搬出用门23以及分隔用门24全部关闭，由各个微波照射部40、45、50、55开始照射微波。
由第一微波照射部40和第二微波照射部45对第一照射区31内的托盘组件10照射微波。在第一照射区31，已被微波照射了的各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分蒸发，已蒸发的水分被排气管吸去。
具体而言，在第一微波照射部40的微波振荡器41产生的微波，通过导波管42，从照射口43朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。该第一微波照射部40，主要从托盘组件10中从上往下数第二层、第四层、第六层以及第八层的各枚搬送用托盘14的左侧对各枚搬送用托盘14照射微波。
另一方面，在第二微波照射部45的微波振荡器46产生的微波，通过导波管47，从照射口48朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。该第二微波照射部45，主要从托盘组件10中从上往下数第一层、第三层、第五层以及第七层的各枚搬送用托盘14的后方对各枚搬送用托盘14照射微波。
在前级机组20中，微波的照射时间一达到30分钟，便暂时停止由微波照射部40、45、50、55照射微波。在前级机组20中，分隔用门24打开，托盘组件10被从第一照射区31搬送到第二照射区32。托盘组件10一到达第二照射区32，分隔用门24就关闭，便由微波照射部40、45、50、55重新开始照射微波。
由第三微波照射部50和第四微波照射部55对第二照射区32内的托盘组件10照射微波。在第二照射区32，已被微波照射了的各枚搬送用托盘14上的PTFE粉末中所含的水分蒸发，已蒸发的水分被排气管吸去。
具体而言，在第三微波照射部50的微波振荡器51产生的微波，通过导波管52，从照射口53朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。该第三微波照射部50，主要从托盘组件10中从上往下数第一层、第三层、第五层以及第七层的各枚搬送用托盘14的前方对各枚搬送用托盘14照射微波。
另一方面，具体而言，在第四微波照射部55的微波振荡器56产生的微波，通过导波管57，从照射口58朝着托盘组件10的各枚搬送用托盘14照射过来。该第四微波照射部55，主要从托盘组件10中从上往下数第二层、第四层、第六层以及第八层的各枚搬送用托盘14的右侧对各枚搬送用托盘14照射微波。
在前级机组20中，从开始照射微波起30分钟一过，便暂时停止由微波照射部40、45、50、55照射微波。在前级机组20中，搬出用门23打开，托盘组件10被从第二照射区32搬送出去。
就这样，对于托盘组件10中从上往下数第一层、第三层、第五层以及第七层的各枚搬送用托盘14而言，在第一照射区31，微波主要从后方照射过来，在第二照射区32，微波主要从前方照射过来。对于托盘组件10中从上往下数第二层、第四层、第六层以及第八层的各枚搬送用托盘14而言，在第一照射区31，微波主要从左侧照射过来，在第二照射区32，微波主要从右侧照射过来。也就是说，在前级机组20中，随着托盘组件10依次从第一照射区31朝第二照射区32移动，照射搬送用托盘14的微波的照射方向变化180度。
-第二实施方式的效果-
根据本实施方式，能够收到与上述第一实施方式一样的效果。而且，根据本实施方式，还能够收到以下效果。对该效果进行说明。
这里，假设在一个照射区两个照射口相对地敞着，那么，从一个照射口照射过来的微波就会侵入相向一侧的照射口，而有可能损坏连接在该照射口的微波振荡器。
相对于此，在本实施方式的前级机组20中，朝着一个照射区31、32敞开的照射口43、48、53、58相互间的位置关系是在水平方向上相互错开了90度，而且，在上下方向上也是错开的。因此，对一个照射区31、32照射微波的两个微波照射部40、45、50、55而言，能够避免出现另一微波照射部45、55由于从一微波照射部40、50照射过来的微波而损坏的不良现象。因此，根据本实施方式，在从两个微波照射部40、45、50、55对一个照射区31、32照射微波的情况下，也能够确保前级机组20的可靠性。
(发明的第三实施方式)
说明本发明的第三实施方式。这里，说明本实施方式的制造装置1与上述第一实施方式的制造装置1不同的地方。此外，以下说明中所用的“右”、“左”、“前”、“后”、“跟前”、“里面”都是从正面一侧观看制造装置1时定出的方向。
如图9所示，本实施方式的制造装置1包括四个前级机组20和一个后级机组60。四个前级机组20上下叠放。
如图10所示，各个前级机组20的壳体21形成为空心的长方体形状。壳体21的内部空间构成照射区30。
壳体21有能够在四枚搬送用托盘14以一定的间隔H上下布置的状态下收纳该四枚搬送用托盘14那么大。在已将四枚搬送用托盘14收纳在壳体21内的状态下，设置在最上层的搬送用托盘14的侧板部16的上端面与壳体21的顶面之间的间隔设定为与上下布置的搬送用托盘14之间的间隔H相同的值。而且，搬送用托盘14中的各个侧板部16与壳体21的与各个侧板部16相向的各个内壁面之间的距离，绕搬送用托盘14一周都设定为长度L。此外，在本实施方式中，壳体21的材质和搬送用托盘14的材质都是不锈钢。
在前级机组20中设置有用以在照射区30内搬送搬送用托盘14的托盘驱动部，但未图示。该托盘驱动部具有为装载搬送用托盘14而沿水平方向延伸的臂部件。在托盘驱动部中，多个臂部件等间隔地布置。设定臂部件的间隔时，要保证放在各个臂部件上的搬送用托盘14之间的间隔成为规定值H。托盘驱动部，使装载有搬送用托盘14的臂部件移动，而从照射区30的上部朝下部搬送搬送用托盘14。
在各个前级机组20中设置有四个微波照射部40、45、50、55。各微波照射部40、45、50、55由一个微波振荡器41、46、51、56构成。在本实施方式中，也是各个微波振荡器41、46、51、56构成为产生频率2.45GHz的微波，其输出在1.0kW左右。
构成第一微波照射部40的微波振荡器41安装在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)。在壳体21的背面，照射口43朝着最上层的搬送用托盘14与壳体21的顶面间的空间开放。该微波振荡器41经由该照射口43与照射区30连通。
构成第二微波照射部45的微波振荡器46安装在壳体21的右侧面。在壳体21的右侧面，照射口48朝着最上层的搬送用托盘14与从上往下数第二层的搬送用托盘14间的空间开放。该微波振荡器46经由该照射口48与照射区30连通。
构成第三微波照射部50的微波振荡器51安装在壳体21的前面。在壳体21的前面，照射口53朝着从上往下数第二层的搬送用托盘14与第三层的搬送用托盘14间的空间开放。该微波振荡器51经由该照射口53与照射区30连通。
构成第四微波照射部55的微波振荡器56安装在壳体21的左侧面。在壳体21的左侧面，照射口58朝着从上往下数第三层的搬送用托盘14与第四层的搬送用托盘14间的空间开放。该微波振荡器56经由该照射口58与照射区30连通。
在本实施方式的前级机组20中，也在壳体21上连接有供气管和排气管，但未图示。供气管连接在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)上；排气管连接在壳体21的前面。被加热到60℃-100℃左右的室外空气从供气管供到壳体21内的照射区30。从照射区30吸入排气管中的空气全部排向屋外。此外，已被吸入排气管中的空气在进行了除去有害物质等适当处理后，释放到屋外。
在本实施方式的前级机组20中，在照射区30内上下布置的搬送用托盘14之间的间隔H、最上层的搬送用托盘14与壳体21的顶面之间的距离H，都设定为λ/2以上的值。而且，在该前级机组20中，壳体21的内壁面与各搬送用托盘14中的侧板部16之间的距离设定为λ以上的值。此外，在本实施方式的前级机组20中，省略了遮挡用框架部26。
在本实施方式的后级机组60中，壳体61形成为纵向长度长且空心的长方体形状。该壳体61左右方向上的宽度大约是前后方向上的宽度的两倍。在壳体61的内部且其左右方向的中央部位竖设有隔壁66。壳体61的内部空间由该隔壁66分隔为左侧的上升侧空间67和右侧的下降侧空间68。隔壁66的高度比壳体61的内部空间的高度稍低。因此，上升侧空间67和下降侧空间68各自的上端部分相互连通。
在后级机组60的壳体61中且上升侧空间67与下降侧空间68各个空间中，多个搬送用托盘14相互以规定间隔上下布置。后级机组60中设置有在壳体61内搬送搬送用托盘14的托盘驱动部，但未图示。该托盘驱动部具有为装载搬送用托盘14而沿水平方向延伸的臂部件。在托盘驱动部中，多个臂部件等间隔地布置。托盘驱动部，使装载了搬送用托盘14的臂部件移动来搬送搬送用托盘14。具体而言，托盘驱动部使已送到上升侧空间67的搬送用托盘14朝上方移动，使到达上升侧空间67的上端的搬送用托盘14朝下降侧空间68移动，使已送到下降侧空间68的搬送用托盘14朝下方移动。
在后级机组60的壳体61的内部空间形成有干燥区70和热处理区80。具体而言，在壳体61的内部空间，上升侧空间67的全部和下降侧空间68的从上端开始朝下规定距离以内的部分构成干燥区70，下降侧空间68中剩余的部分构成热处理区80。不过，干燥区70和热处理区80都是假想的区，二者并没有由分隔板等物理地分隔开。
后级机组60的壳体61上，连接有与干燥区70连通的供气管和排气管，还连接有与热处理区80连通的供气管和排气管，但未图示。加热到100℃-250℃左右(优选130℃-200℃左右)的规定温度的空气从供气管供给干燥区70。从干燥区70吸入排气管中的空气有一部分排向屋外。此外，该已排向屋外的空气，在进行了除去有害物质等适当处理后，释放到屋外。
已被吸入排气管中的空气的剩余部分与室外空气混合后，再次被加热到所述规定温度，之后经由供气管送回干燥区70。加热到100℃-250℃左右(优选130℃-200℃左右)的规定温度的空气从供气管供给热处理区80。从热处理区80吸入排气管中的空气全部被再次加热到上述规定温度后，经由供气管，送回热处理区80。
-运转情况-
对本实施方式中的制造装置1的运转工作进行说明。
在各个前级机组20中，每隔15分钟，向照射区30的上端部搬入一枚已装载有湿态PTFE粉末的搬送用托盘14。在照射区30内，每隔15分钟，搬送用托盘14朝下方移动一层。而且，在各个前级机组20中，每隔15分钟，从照射区30的下端部搬出一枚搬送用托盘14。
在前级机组20中，各个微波照射部40、45、50、55对收纳在壳体21内的照射区30的搬送用托盘14照射微波。在照射区30，各搬送用托盘14上所装载的湿态PTFE粉末中的水分吸收微波，该水分发热而蒸发。从搬送用托盘14上的PTFE粉末中蒸发掉的水分和照射区30内的空气一起，通过排气管，排向屋外。
以一枚搬送用托盘14为例说明前级机组20的运转情况。
装载有处于被水湿润的状态的PTFE粉末的搬送用托盘14被搬入照射区30的最上层。主要是在第一微波照射部40产生的微波从位于该最上层的搬送用托盘14的后方朝着该搬送用托盘14照射过来。搬送用托盘14被搬入照射区30后，15分钟一过，搬送用托盘14就朝下方移动一层。
主要是在第二微波照射部45产生的微波从由上往下数位于第二层的搬送用托盘14的右侧朝着该搬送用托盘14照射过来。搬送用托盘14移动到第二层后，15分钟一过，搬送用托盘14就再朝下方移动一层。
主要是在第三微波照射部50产生的微波从由上往下数位于第三层的搬送用托盘14的前方朝着该搬送用托盘14照射过来。搬送用托盘14移动到第三层后，15分钟一过，搬送用托盘14就再朝下方移动一层。
主要是在第四微波照射部55产生的微波从位于最下层的搬送用托盘14的左侧朝着该搬送用托盘14照射过来。搬送用托盘14移动到最下层后，15分钟一过，搬送用托盘14就被从壳体21搬出去。从各个前级机组20搬出的搬送用托盘14被搬入后级机组60。
就这样，在前级机组20中，微波是这样照射一层一层地下降下去的搬送用托盘14的：在搬送用托盘14位于最上层的状态下，微波从后方照射过来；在搬送用托盘14位于从上往下数第二层的状态下，微波从右侧照射过来；在搬送用托盘14位于从上往下数第三层的状态下，微波从前方照射过来；在搬送用托盘14位于最下层的状态下，微波从左侧照射过来。也就是说，在前级机组20中，随着托盘组件10依次一层、一层地朝下方移动，照射搬送用托盘14的微波的照射方向在90度、90度地变化。
在本实施方式的制造装置1中，将搬送用托盘14投入各个前级机组20中的时刻分别错开了3分零45秒。结果，从各个前级机组20搬出搬送用托盘14的时刻也分别错开了3分零45秒。从各个前级机组20搬出的搬送用托盘14以3分零45秒的间隔一枚一枚地搬入后级机组60。
在后级机组60的壳体61中，搬送用托盘14被搬入上升侧空间67的下端部。已搬入上升侧空间67的下端部(即干燥区70的始端)的搬送用托盘14在干燥区70内一层一层地朝上方移动。已到达上升侧空间67的最上层的搬送用托盘14被朝着下降侧空间68移送，在下降侧空间68内一层一层地朝下方移动。搬送用托盘14在下降侧空间68内移动了规定层数后，会到达干燥区70的终端。搬送用托盘14在从干燥区70的始端到终端的那段时间内一直暴露在100℃以上的高温热风中。在搬送用托盘14中，放在其上的PTFE粉末中的水分被该热风加热而蒸发掉。
已到达干燥区70的终端的搬送用托盘14再下降一层，便到达热处理区80的始端。已被搬入热处理区80的搬送用托盘14朝下方一层一层地移动，最终到达下降侧空间68的下端部(即热处理区80的终端)。在搬送用托盘14从热处理区80的始端到达终端的那段时间内，搬送用托盘14一直暴露在100℃以上的高温热风中。因此，放在搬送用托盘14上的PTFE粉末中的水分，其温度大致保持在热风的温度上。已到达了下降侧空间68的下端部的搬送用托盘14被从后级机组60的壳体61中搬出。
(发明的第四实施方式)
说明本发明的第四实施方式。这里，本实施方式的制造装置1，是改变了上述第三实施方式中的制造装置1的前级机组20的结构后得到的。此外，后级机组60的结构与上述第三实施方式一样。
如图11所示，本实施方式中的制造装置1包括一个前级机组20和一个后级机组60。这里，说明本实施方式的制造装置1与上述第三实施方式的制造装置1不同的地方。此外，以下说明中所用的“右”、“左”、“前”、“后”、“跟前”、“里面”都是从正面一侧观看制造装置1时定出的方向。
在本实施方式中，前级机组20的壳体21形成为空心的四棱柱状。其设置状态为其长边方向大致为铅直方向。壳体21有能够在16枚搬送用托盘14以一定的间隔H上下布置的状态下收纳该16枚搬送用托盘14那么大。在已将16枚搬送用托盘14收纳在壳体21内的状态下，设置在最上层的搬送用托盘14的侧板部16的上端面与壳体21的顶面之间的间隔设定为与上下布置的搬送用托盘14之间的间隔H相同的值。而且，搬送用托盘14中的各个侧板部16与壳体21的与各个侧板部16相向的各个内壁面之间的距离，绕搬送用托盘14一周都设定为长度L。此外，在本实施方式中，壳体21的材质和搬送用托盘14的材质都是不锈钢。
在前级机组20中设置有用以在照射区30内搬送搬送用托盘14的托盘驱动部，但未图示。该托盘驱动部与上述第三实施方式中的托盘驱动部结构相同。也就是说，托盘驱动部，使装载有搬送用托盘14的臂部件移动，而从壳体21的内部空间的上部朝下部搬送搬送用托盘14。
在前级机组20的壳体21内，设置有三个用来挡住微波的遮挡用框架部26。各个遮挡用框架部26沿着壳体21的内壁面形成，包围了搬送用托盘14的周围。在壳体21中，包围从上往下数第四层的搬送用托盘14的周围的位置、包围从上往下数第八层的搬送用托盘14的周围的位置、包围从上往下数第十二层的搬送用托盘14的周围的位置各设置有一个遮断用框架部26。各个遮断用框架部26，其剖面形状是长方形，其内周面与所对应的搬送用托盘14的侧板部16相向。遮挡用框架部26的高度与搬送用托盘14的高度相等，或者比搬送用托盘14的高度稍高。各个遮挡用框架部26的材质是金属。
壳体21的内部空间，从壳体21的上端到最上层的遮断用框架部26的区域构成第一照射区31；从最上层的遮断用框架部26到第二层的遮断用框架部26的区域构成第二照射区32；从第二层的遮断用框架部26到第三层的遮断用框架部26的区域构成第三照射区33；从第三层的遮断用框架部26到壳体21的下端面的区域构成第四照射区34。各个照射区31-34各收纳一个搬送用托盘14。
在各个前级机组20中设置有四个微波照射部40、45、50、55。各微波照射部40、45、50、55由四个微波振荡器41、46、51、56构成。在本实施方式中，也是各个微波振荡器41、46、51、56构成为产生频率2.45GHz的微波，其输出功率在1.0kW左右。
构成第一微波照射部40的微波振荡器41安装在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)。四个照射口43朝着壳体21的背面且正对第一照射区31的部分敞开。这些照射口43沿上下方向排成一列，在收纳在第一照射区31的各个搬送用托盘14的正上方各设置有一个该照射口43。在该照射口43各安装有一个该微波振荡器41。
构成第二微波照射部45的微波振荡器46安装在壳体21的右侧面。四个照射口48朝着壳体21的右侧面且正对第二照射区32的部分敞开。这些照射口48沿上下方向排成一列，在收纳在第二照射区32的各个搬送用托盘14的正上方各设置有一个该照射口48。在该照射口48各安装有一个该微波振荡器46。
构成第三微波照射部50的微波振荡器51安装在壳体21的前面。四个照射口53朝着壳体21的前面且正对第三照射区33的部分敞开。这些照射口53沿上下方向排成一列，在收纳在第三照射区33的各个搬送用托盘14的正上方各设置有一个该照射口53。在该照射口48各安装有一个该微波振荡器51。
构成第四微波照射部55的微波振荡器56安装在壳体21的左侧面。四个照射口58朝着壳体21的左侧面且正对第四照射区34的部分敞开。这些照射口58沿上下方向排成一列，在收纳在第四照射区34的各个搬送用托盘14的正上方各设置有一个该照射口58。在该照射口58各安装有一个该微波振荡器56。
在本实施方式的前级机组20中，也在壳体21上连接有供气管和排气管，但未图示。供气管连接在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)上。在壳体21的背面且正对各个照射区31-34的部分各自连接有规定根数的供气管。排气管连接在壳体21的前面。在壳体21的前面且正对各个照射区31-34的部分各自连接有规定根数的排气管。被加热到60℃-100℃左右的室外空气从供气管供给前级机组20内的各个照射区31-34。从各个照射区31-34吸入排气管中的空气全部排向屋外。此外，已被吸入排气管中的空气在进行了除去有害物质等适当处理后，释放到屋外。
在本实施方式的前级机组20中，托盘组件10中上下布置的搬送用托盘14之间的间隔H、托盘组件10中最上层的搬送用托盘14与壳体21的顶面之间的距离H，都设定为λ/2以上的值。而且，在前级机组20中，壳体21的内壁面与各搬送用托盘14中的侧板部16之间的距离L设定为λ以上的值。最后，在该前级机组20中，遮断用框架部26的内周面和与遮断用框架部26邻接的搬送用托盘14的侧板部16的间隔D设定为微波不能通过二者间的间隙那么大的值。
-运转工作-
说明本实施方式的前级机组20的工作情况。此外，后级机组60的工作情况与上述第三实施方式的情形一样，省略说明。
在各个前级机组20中，每隔3分零45秒，向第一照射区31的上端部搬入一枚已装载有湿态PTFE粉末的搬送用托盘14。在前级机组20的壳体21内，搬送用托盘14每隔3分零45秒朝下方移动一层。搬送用托盘14从第一照射区31经由第二照射区32和第三照射区33到达第四照射区34。在各个前级机组20中，每隔3分零45秒，从第四照射区34的下端部搬出一枚搬送用托盘14。
在前级机组20中，各个微波照射部40、45、50、55对收纳在壳体21内的搬送用托盘14照射微波。在各个照射区31-34，各搬送用托盘14上所装载的湿态PTFE粉末中的水分吸收微波，该水分发热而蒸发。从搬送用托盘14上的PTFE粉末中蒸发掉的水分和各个照射区31-34内的空气一起，通过排气管，排向屋外。
以一枚搬送用托盘14为例说明前级机组20的运转情况。
装载有湿态PTFE粉末的搬送用托盘14被搬入第一照射区31的最上层，一层一层地朝下方搬送去。在第一微波照射部40产生的微波朝着第一照射区31内的搬送用托盘14从后方照射过来。已到达第一照射区31的下端的搬送用托盘14被搬入第二照射区32内。
在第二照射区32，已搬入的搬送用托盘14一层一层地朝下方搬送去。在第二微波照射部45产生的微波朝着第二照射区32内的搬送用托盘14从右侧照射过来。已到达第二照射区32的下端的搬送用托盘14被搬入第三照射区33。
在第三照射区33，已搬入的搬送用托盘14一层一层地朝下方搬送去。在第三微波照射部50产生的微波朝着第三照射区33内的搬送用托盘14从前方照射过来。已到达第三照射区33的下端的搬送用托盘14被搬入第四照射区34。
在第四照射区34，已搬入的搬送用托盘14一层一层地朝下方搬送去。在第四微波照射部55产生的微波朝着第四照射区34内的搬送用托盘14从左侧照射过来。已到达第四照射区34的下端的搬送用托盘14被从壳体21中搬出去。从壳体21搬出的搬送用托盘14被搬入后级机组60中。
就这样，在前级机组20中，在第一照射区31微波从后方朝着搬送用托盘14照射过来；在第二照射区32微波从右侧朝着搬送用托盘14照射过来；在第三照射区33微波从前方朝着搬送用托盘14照射过来；在第四照射区34微波从左侧朝着搬送用托盘14照射过来。也就是说，在前级机组20中，随着托盘组件10依次从第一照射区31朝着第四照射区34移动，照射搬送用托盘14的微波的照射方向在90度、90度地变化。
-第四实施方式的变形例1-
如图13所示，本实施方式中的前级机组20可以构成为：在各个照射区31-34收纳三枚搬送用托盘14。
在本变形例中的前级机组20中，在其壳体21内收纳有十二枚搬送用托盘14。而且，设置在前级机组20中的四个微波照射部40、45、50、55分别具有三个微波照射部40、45、50。
-第四实施方式的变形例2-
如图14所示，本实施方式中的前级机组20可以构成为：在壳体21内形成有两个照射区31、32。
在本变形例中的前级机组20中，在其上下方向的中央部位只设置有一个遮断用框架部26。壳体21的内部空间的遮断用框架部26上侧的部分构成第一照射区31；遮断用框架部26下侧的部分构成第二照射区32。在各个照射区31、32各自收纳有四枚搬送用托盘14。
两个微波照射部40、45设置在本变形例的前级机组20中。各个微波照射部40、45分别由四个微波振荡器41、46构成。
构成第一微波照射部40的微波振荡器41安装在壳体21的里面一侧的侧面(即背面)。四个照射口43朝着壳体21的背面且正对第一照射区31的部分敞开。这些照射口43沿上下方向排成一列，在收纳在第一照射区31的各个搬送用托盘14的正上方各设置有一个该照射口43。在该照射口43各安装有一个该微波振荡器41。
构成第二微波照射部45的微波振荡器46安装在壳体21的前面。四个照射口48朝着壳体21的前面且正对第二照射区32的部分敞开。这些照射口48沿上下方向排成一列，在收纳在第二照射区32的各个搬送用托盘14的正上方各设置有一个该照射口48。在该照射口48各安装有一个该微波振荡器46。
已搬入前级机组20的壳体21的搬送用托盘14从第一照射区31的最上层朝着第二照射区32的最下层一层一层地朝下方移动去。在第一微波照射部40产生的微波朝着第一照射区31内的搬送用托盘14从后方照射过来；在第二微波照射部45产生的微波朝着第二照射区32内的搬送用托盘14从前方照射过来。
就这样，在前级机组20中，在第一照射区31微波从后方朝着搬送用托盘14照射过来；在第二照射区32微波从前方朝着搬送用托盘14照射过来。也就是说，在前级机组20中，随着托盘组件10依次从第一照射区31朝第二照射区32移动，照射搬送用托盘14的微波的照射方向变化180度。
(其它实施方式)
在上述各个实施方式的前级机组20中，都是以湿态PTFE粉末作处理对象，但该前级机组20的处理对象并不限于PTFE粉末。也就是说，在本实施方式的前级机组20中，例如可以以PTFE以外的树脂构成的粒状体作处理对象，并将其干燥。此外，粒径为几微米左右的微粒子到粒径在几微米以上的小方块都属于这里所说的粒状体。
此外，能够列举出的粒状体材质即树脂之例有通用树脂粉末、所谓的工业塑料粉末等。能够列举出的构成粒状体的树脂之例具体如下：聚乙烯、聚氯化乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚醋酸乙烯、ABS树脂(丙烯腈-丁二稀-苯乙烯树脂)、AS树脂(丙烯腈-苯乙烯树脂)、甲基丙稀酸树脂、聚缩醛、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚碳酸酯、聚苯醚、聚对苯二甲酸丁二酯、聚芳酯、聚砜、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚醚醚酮、含氟树脂等粉末。
能够列举出的含氟树脂如下：聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯与六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯与全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚三氟氯乙烯(PCTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、乙烯与四氟乙烯共聚物(ETFE)或乙烯与三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)等。
在上述各个实施方式中，搬送用托盘14和前级机组20的壳体21等金属制部件的材质都是不锈钢，但这些金属制部件的材质还可以是不锈钢以外的金属(例如钛等)。再就是，在上述各实施方式中，搬送用托盘14的材质也可以是微波的透过率很高的树脂(例如PTFE等)。
需提一下，以上实施方式是本质上优选的示例，以上实施方式并没有限制本发明、其适用对象或者其用途范围等的意图。
-产业实用性-
综上所述，本发明对照射微波以使对象物干燥的干燥装置很有用。