一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201110051519.9

申请日:

20110303

公开号:

CN102178426B

公开日:

20130731

当前法律状态:

有效性:

有效

法律详情:

IPC分类号:

A47G19/22,A01N59/16,A01P3/00,C23C14/14,C23C14/34

主分类号:

A47G19/22,A01N59/16,A01P3/00,C23C14/14,C23C14/34

申请人:

江苏希诺实业有限公司

发明人:

张碧峰

地址:

226146 江苏省南通市海门市树勋工业园区希诺路一号

优先权:

CN201110051519A

专利代理机构:

上海申汇专利代理有限公司

代理人:

周濂堂

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内容摘要

一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺,属日用器具制造技术和纳米技术领域,确切地说是纳米技术在日用器具真空杯上的应用技术。其特点是:杯体内表面有分布均匀、排列紧密地覆盖着纳米银抗菌膜层,其制作工艺:分别由外壳、盖、底成型和内胆镀银制作组成;其内胆制作,由以下步骤组成:粗胚洗净、烘干;杯胆内表面清洗、烘干;电极清洗;在真空室内杯胆移入杯用夹具,调整杯胆内表面与电极间位置;密闭真空室,并逐级抽真空;加电溅射真空电镀。其积极效果是:为市场提供了一种具有抗菌功能的真空杯。这种真空杯对大肠杆菌、白色念珠菌、金黄色葡萄球菌等数十种致病微生物都有强烈的抑制和杀灭作用,是一种很实用的家用器具。

权利要求书

1.一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺,分别由外壳、盖、底成型和内胆镀银制作组成;其内胆制作,由以下步骤组成:粗胚洗净、烘干;杯胆内表面清洗、烘干;靶材电极清洗;在真空室内,杯胆移入杯用夹具,调整杯胆内表面与靶材电极间位置;密闭真空室,并逐级抽真空;加高电压二极溅射镀膜,其特征是:所述杯胆内表面清洗是杯胆内表面超声波清洗,这是由超声波除油三道过水清洗、超声波除腊六道过水清洗、超声波过水再三道过水清洗并进烘箱120℃,20分钟烘干;所述靶材电极清洗是靶材电极的放电清洗;所述调整杯胆内表面与靶材电极间位置是圆柱状银质靶材电极,其外形与杯内胆的内形状相似,靶材电极深入杯内胆的深度和同心度满足靶材电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距离相同;所述加高电压二极溅射镀膜是电极为99.9%纯度的银作负极,杯胆内表面作阳极,两极与工艺装置中的恒压、恒流源相连接;所述逐级抽真空是达到真空室真空度优于5.0~9.0×10Pa,温度100~300℃,在负极和阳极之间加电压3.5~6KV,电流90~250mA实施溅射镀膜10~60分钟。 2.根据权利要求1所述的一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺,其特征是:所述杯用夹具是两个等直径圆片(8,10),上、下等间隔平行放置,由三根定位支柱(9)固定,上下两圆片中心有穿过圆柱状靶材电极(6)的孔,上定位板绕中心有带内螺纹的上凸圆环构成的定位螺套(7);所述夹具中的杯胆是杯口朝下、垂直安置、杯口螺套在杯用夹具上凸圆环构成的定位螺套(7)上。 3.根据权利要求1所述的一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺,其特征是:所述垂直距离是10~25毫米。

说明书

技术领域

属日用器具制造技术和纳米技术领域,确切地说是纳米技术在日用器具真空杯上 的应用技术。

背景技术

抗菌是利用外部手段如通过物理、化学或生物等手段,破坏细菌的繁殖能力, 实现破坏和抑制细菌的增长,从而达到卫生消毒的目的。随着真空保温杯技术 的发展,目前市场上销售的已实现了较好的保温功能,但杯子本身并不具备 抗菌功能。市场上有用纯银打造的杯子,有一些抗菌效果,但用银量多,成 本很高,普通消费者很难接受。

发明内容

本发明提供用银量少又有抗菌功能的一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺。

本发明采用的技术方案:

一种纳米银抗菌真空杯,杯体内表面有分布均匀、排列紧密、粘贴牢固地覆 盖着纳米银抗菌膜层,其

制作工艺,分别由外壳、盖、底成型和内胆镀银制作组成;其内胆制作, 由以下步骤组成:粗胚洗净、烘干;杯胆内表面清洗、烘干;靶材电极清洗; 在真空室内杯胆移入杯用夹具,调整杯胆内表面与靶材电极间位置;密闭真 空室,并逐级抽真空;加电溅射真空电镀,其制作工艺方案是:所述杯胆内 表面清洗是杯胆内表面超声波清洗,这是由超声波除油三道过水清洗、超声 波除腊六道过水清洗、超声波过水再三道过水清洗并进烘箱120℃,20分钟烘干; 所述电极清洗是电极的物理清洗然后放电清洗;所述调整杯胆内表面与靶材 电极电极间位置是圆柱状银质靶材电极,其靶材电极外形与杯内胆的内形状 相似,靶材电极深入杯内胆的深度和同心度满足靶材电极上表面各点与杯内 胆表面对应点的垂直距离相同;所述加电溅射是电极为99.9%纯度的银作负 极,杯胆内表面作阳极,两极与工艺装置中的恒压、恒流源相连接;所述真 空电镀是真空室真空度优于5.0~9.0×10-3Pa,温度250℃,在负极和阳极之 间加650~1000伏电压实施溅射镀膜10~60分钟。

实施本发明后的积极效果是:

为市场提供了一种具有抗菌功能的真空杯。这是由于纳米银(Nano Silver) 是将粒径做到纳米级的金属银单质,纳米银粒径大多在25纳米左右,对大肠杆 菌、淋球菌、沙眼衣原体等数十种致病微生物都有强烈的抑制和杀灭作用,而且 不会产生耐药性。早在《本草纲目》中记载:生银,无毒;美国公共卫生局1990 年《关于银毒性的调查报告》中说明:银对人体无明显毒副作用;纳米银是局部 用药,银含量少,是最安全的用药方式。经试验考察发现小鼠在口服最大耐受量 925mg/kg,即相当于临床使用剂量的4625倍时,上无任何毒性反应,在兔的皮 肤刺激实验中,也没有发现任何刺激反应。同时,它对受损上皮细胞还具有促进 修复作用。值得一提的是,该产品遇水抗菌效果愈发增强,更利于疾病的治疗。

纳米银颗粒直接进入菌体与氧代谢酶(-SH)结合,使菌体窒息而死的独特 作用机制,可杀死与其接触的大多数细菌、真菌、霉菌、孢子等微生物。经国内 八大权威机构研究发现:其对耐药病原菌如耐药大肠杆菌、耐药金葡萄球菌、耐 药绿脓杆菌、化脓链球菌、耐药肠球菌,厌氧菌等有全面的抗菌活性;对烧烫伤 及创伤表面常见的细菌如金黄色葡萄球菌、大肠杆菌、绿脓杆菌、白色念珠菌及 其它G+、G-性致病菌都有杀菌作用;对沙眼衣原体、引起性传播性疾病的淋球 菌也有强大的杀菌作用

本发明利用前沿纳米技术,将银纳米化,并运用真空溅射镀膜技术,在不锈 钢真空杯内胆镀一层纳米银(简称纳米银真空杯),使真空杯内胆上形成一层纳米 银薄膜,纳米银薄膜具有纳米银颗粒同样的杀菌效果。

将欲沉积的银材料(99.9%银)制成板材——靶,固定在阴极上。不锈钢 真空杯罩在正对靶面的阳极上,距靶20-25毫米。系统抽至高真空后(真空度 4.0~1.0×10-1Pa)充入10~1帕的气体(通常为氩气),在阴极和阳极间加 650~1000伏电压,两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用 下飞向阴极,与靶表面银原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的银原子称为溅射原 子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射银原子在真空杯内胆表面沉积成膜。

不锈钢真空杯口径小且内胆很深,纳米银镀在内胆上,在已知范围内尚属首 次;在不锈钢真空杯行业第一次推出纳米银抗菌真空杯的应用,特别是应用于 镀在口径小且内胆很深技术难题中,取得了成功。

附图说明

图1、为纳米银抗菌真空杯结构示意图

图2、为杯用夹具立体示意图

图3、为镀膜时结构示意图

具体实施方式

现结合附图对本发明作进一步说明

一种纳米银抗菌真空杯1,由开口的、隔层为真空的杯体2,与开口处可密 合的杯盖3和支撑杯体的外壳4所组成,其构成是:杯体内表面覆盖着分布均匀、 排列紧密的纳米银抗菌膜层5,它的

制作工艺,分别由外壳、盖、底成型和内胆镀银制作组成;其内胆制作, 由以下步骤组成:粗胚洗净、烘干;杯胆内表面清洗、烘干;电极清洗;在 真空室内杯胆移入杯用夹具也称镀膜夹具,调整杯胆内表面与电极间位置; 密闭真空室,并逐级抽真空;加电溅射真空电镀,其构成是:所述杯胆内表 面清洗是杯胆内表面超声波清洗,这是由超声波除油三道过水清洗、超声波 除腊六道过水清洗、超声波过水再三道过水清洗并进烘箱120℃,20分钟烘干; 所述电极清洗是电极的物理清洗然后放电清洗;所述调整杯胆内表面与电极 间位置是圆柱状银电极,其电极外形与杯内胆的内形状相似,电极深入杯内 胆的深度和同心度满足电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距离相 同;所述二极溅射是靶材为99.9%纯度的银作负极,杯胆内表面作阳极,两 极与工艺装置中的恒压、恒流源相连接;所述真空电镀是真空室真空度优于 5.0~9.0×10-3Pa,温度100~300℃,在负极和阳极之间加3.5~6.0(KV) 电压,电流90~250(mA)实施溅射镀膜10~60分钟。

一种纳米银抗菌真空杯的镀膜夹具,包含夹具中的杯胆和靶材构成的电 极,其构成是:所述夹具是两个等直径圆片(8,10),上、下等间隔平行放 置,由三根定位支柱9固定,上下两圆片中心有穿过圆柱状靶材电极6的孔, 上定位板绕中心有带内螺纹的上凸圆环构成的定位螺套7;所述夹具中的杯 胆是杯口朝下、垂直安置、杯口螺套在杯用夹具上凸圆环构成的定位螺套7 上;所述靶材构成的电极是外形与杯内胆的内形状相似,靶材电极深入杯内 胆的深度和同心度满足靶材电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距 离相同。

所述垂直距离是10~25毫米。

本工艺的原理说明

本工艺是将欲沉积的银材料(99.9%银)制成板材——靶,固定在阴极上。 不锈钢真空杯罩在正对靶面的阳极上,距靶20-25毫米。系统抽至高真空后 (真空度4.0~1.0×10-1Pa)充入10~1帕的气体(通常为氩气),在阴极和 阳极间加650~1000伏电压,两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在 电场作用下飞向阴极,与靶表面银原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的银原子称 为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射银原子在真空杯内胆表面 沉积成膜。

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1、(10)授权公告号 CN 102178426 B (45)授权公告日 2013.07.31 CN 102178426 B *CN102178426B* (21)申请号 201110051519.9 (22)申请日 2011.03.03 A47G 19/22(2006.01) A01N 59/16(2006.01) A01P 3/00(2006.01) C23C 14/14(2006.01) C23C 14/34(2006.01) (73)专利权人 江苏希诺实业有限公司 地址 226146 江苏省南通市海门市树勋工业 园区希诺路一号 (72)发明人 张碧峰 (74)专利代理机构 上海申汇专利代理。

2、有限公司 31001 代理人 周濂堂 CN 2574477 Y,2003.09.24, JP 昭 59-83765 A,1984.05.15, JP 特开 2005-340225 A,2005.12.08, CN 101189971 A,2008.06.04, (54) 发明名称 一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺 (57) 摘要 一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺, 属日用 器具制造技术和纳米技术领域, 确切地说是纳米 技术在日用器具真空杯上的应用技术。 其特点是 : 杯体内表面有分布均匀、 排列紧密地覆盖着纳米 银抗菌膜层, 其制作工艺 : 分别由外壳、 盖、 底成 型和内胆镀银制作组成 ; 其内。

3、胆制作, 由以下步 骤组成 : 粗胚洗净、 烘干 ; 杯胆内表面清洗、 烘干 ; 电极清洗 ; 在真空室内杯胆移入杯用夹具, 调整 杯胆内表面与电极间位置 ; 密闭真空室, 并逐级 抽真空 ; 加电溅射真空电镀。其积极效果是 : 为市 场提供了一种具有抗菌功能的真空杯。这种真空 杯对大肠杆菌、 白色念珠菌、 金黄色葡萄球菌等数 十种致病微生物都有强烈的抑制和杀灭作用, 是 一种很实用的家用器具。 (51)Int.Cl. (56)对比文件 审查员 刘子菡 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 权利要求书1页 说明书3页 附图2页。

4、 (10)授权公告号 CN 102178426 B CN 102178426 B *CN102178426B* 1/1 页 2 1. 一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺, 分别由外壳、 盖、 底成型和内胆镀银制作组成 ; 其内胆制作, 由以下步骤组成 : 粗胚洗净、 烘干 ; 杯胆内表面清洗、 烘干 ; 靶材电极清洗 ; 在 真空室内, 杯胆移入杯用夹具, 调整杯胆内表面与靶材电极间位置 ; 密闭真空室, 并逐级抽 真空 ; 加高电压二极溅射镀膜, 其特征是 : 所述杯胆内表面清洗是杯胆内表面超声波清洗, 这是由超声波除油三道过水清洗、 超声波除腊六道过水清洗、 超声波过水再三道过水清洗 并进烘箱。

5、 120, 20 分钟烘干 ; 所述靶材电极清洗是靶材电极的放电清洗 ; 所述调整杯胆内 表面与靶材电极间位置是圆柱状银质靶材电极, 其外形与杯内胆的内形状相似, 靶材电极 深入杯内胆的深度和同心度满足靶材电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距离相 同 ; 所述加高电压二极溅射镀膜是电极为 99.9纯度的银作负极, 杯胆内表面作阳极, 两 极与工艺装置中的恒压、 恒流源相连接 ; 所述逐级抽真空是达到真空室真空度优于 5.0 9.010-3Pa, 温度 100 300, 在负极和阳极之间加电压 3.5 6KV, 电流 90 250mA 实 施溅射镀膜 10 60 分钟。 2. 根据权利要求 。

6、1 所述的一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺, 其特征是 : 所述杯用夹 具是两个等直径圆片 (8, 10), 上、 下等间隔平行放置, 由三根定位支柱 (9) 固定, 上下两圆 片中心有穿过圆柱状靶材电极 (6) 的孔, 上定位板绕中心有带内螺纹的上凸圆环构成的定 位螺套 (7) ; 所述夹具中的杯胆是杯口朝下、 垂直安置、 杯口螺套在杯用夹具上凸圆环构成 的定位螺套 (7) 上。 3. 根据权利要求 1 所述的一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺, 其特征是 : 所述垂直距 离是 10 25 毫米。 权 利 要 求 书 CN 102178426 B 2 1/3 页 3 一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺。

7、 技术领域 0001 属日用器具制造技术和纳米技术领域, 确切地说是纳米技术在日用器具真空杯上 的应用技术。 背景技术 0002 抗菌是利用外部手段如通过物理、 化学或生物等手段, 破坏细菌的繁殖能力, 实现 破坏和抑制细菌的增长, 从而达到卫生消毒的目的。 随着真空保温杯技术的发展, 目前市场 上销售的已实现了较好的保温功能, 但杯子本身并不具备抗菌功能。市场上有用纯银打造 的杯子, 有一些抗菌效果, 但用银量多, 成本很高, 普通消费者很难接受。 发明内容 0003 本发明提供用银量少又有抗菌功能的一种纳米银抗菌真空杯的制作工艺。 0004 本发明采用的技术方案 : 0005 一种纳米银抗。

8、菌真空杯, 杯体内表面有分布均匀、 排列紧密、 粘贴牢固地覆盖着纳 米银抗菌膜层, 其 0006 制作工艺, 分别由外壳、 盖、 底成型和内胆镀银制作组成 ; 其内胆制作, 由以下步骤 组成 : 粗胚洗净、 烘干 ; 杯胆内表面清洗、 烘干 ; 靶材电极清洗 ; 在真空室内杯胆移入杯用夹 具, 调整杯胆内表面与靶材电极间位置 ; 密闭真空室, 并逐级抽真空 ; 加电溅射真空电镀, 其制作工艺方案是 : 所述杯胆内表面清洗是杯胆内表面超声波清洗, 这是由超声波除油三 道过水清洗、 超声波除腊六道过水清洗、 超声波过水再三道过水清洗并进烘箱 120, 20 分 钟烘干 ; 所述电极清洗是电极的物理。

9、清洗然后放电清洗 ; 所述调整杯胆内表面与靶材电极 电极间位置是圆柱状银质靶材电极, 其靶材电极外形与杯内胆的内形状相似, 靶材电极深 入杯内胆的深度和同心度满足靶材电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距离相同 ; 所述加电溅射是电极为 99.9纯度的银作负极, 杯胆内表面作阳极, 两极与工艺装置中的 恒压、 恒流源相连接 ; 所述真空电镀是真空室真空度优于5.09.010-3Pa, 温度250, 在 负极和阳极之间加 650 1000 伏电压实施溅射镀膜 10 60 分钟。 0007 实施本发明后的积极效果是 : 0008 为市场提供了一种具有抗菌功能的真空杯。这是由于纳米银 (Nano 。

10、Silver) 是将 粒径做到纳米级的金属银单质, 纳米银粒径大多在 25 纳米左右, 对大肠杆菌、 淋球菌、 沙眼 衣原体等数十种致病微生物都有强烈的抑制和杀灭作用, 而且不会产生耐药性。 早在 本草 纲目 中记载 : 生银, 无毒 ; 美国公共卫生局 1990 年 关于银毒性的调查报告 中说明 : 银对 人体无明显毒副作用 ; 纳米银是局部用药, 银含量少, 是最安全的用药方式。经试验考察发 现小鼠在口服最大耐受量 925mg/kg, 即相当于临床使用剂量的 4625 倍时, 上无任何毒性反 应, 在兔的皮肤刺激实验中, 也没有发现任何刺激反应。同时, 它对受损上皮细胞还具有促 进修复作用。

11、。值得一提的是, 该产品遇水抗菌效果愈发增强, 更利于疾病的治疗。 0009 纳米银颗粒直接进入菌体与氧代谢酶 (-SH) 结合, 使菌体窒息而死的独特作用机 说 明 书 CN 102178426 B 3 2/3 页 4 制, 可杀死与其接触的大多数细菌、 真菌、 霉菌、 孢子等微生物。 经国内八大权威机构研究发 现 : 其对耐药病原菌如耐药大肠杆菌、 耐药金葡萄球菌、 耐药绿脓杆菌、 化脓链球菌、 耐药肠 球菌, 厌氧菌等有全面的抗菌活性 ; 对烧烫伤及创伤表面常见的细菌如金黄色葡萄球菌、 大 肠杆菌、 绿脓杆菌、 白色念珠菌及其它 G+、 G- 性致病菌都有杀菌作用 ; 对沙眼衣原体、 引。

12、起 性传播性疾病的淋球菌也有强大的杀菌作用 0010 本发明利用前沿纳米技术, 将银纳米化, 并运用真空溅射镀膜技术, 在不锈钢真空 杯内胆镀一层纳米银 ( 简称纳米银真空杯 ), 使真空杯内胆上形成一层纳米银薄膜, 纳米银 薄膜具有纳米银颗粒同样的杀菌效果。 0011 将欲沉积的银材料(99.9银)制成板材靶, 固定在阴极上。 不锈钢真空杯罩 在正对靶面的阳极上, 距靶 20-25 毫米。系统抽至高真空后 ( 真空度 4.0 1.010-1Pa) 充入 10 1 帕的气体 ( 通常为氩气 ), 在阴极和阳极间加 650 1000 伏电压, 两极间即产 生辉光放电。 放电产生的正离子在电场作用。

13、下飞向阴极, 与靶表面银原子碰撞, 受碰撞从靶 面逸出的银原子称为溅射原子, 其能量在 1 至几十电子伏范围。溅射银原子在真空杯内胆 表面沉积成膜。 0012 不锈钢真空杯口径小且内胆很深, 纳米银镀在内胆上, 在已知范围内尚属首次 ; 在 不锈钢真空杯行业第一次推出纳米银抗菌真空杯的应用, 特别是应用于镀在口径小且内胆 很深技术难题中, 取得了成功。 附图说明 0013 图 1、 为纳米银抗菌真空杯结构示意图 0014 图 2、 为杯用夹具立体示意图 0015 图 3、 为镀膜时结构示意图 具体实施方式 0016 现结合附图对本发明作进一步说明 0017 一种纳米银抗菌真空杯 1, 由开口的。

14、、 隔层为真空的杯体 2, 与开口处可密合的杯 盖 3 和支撑杯体的外壳 4 所组成, 其构成是 : 杯体内表面覆盖着分布均匀、 排列紧密的纳米 银抗菌膜层 5, 它的 0018 制作工艺, 分别由外壳、 盖、 底成型和内胆镀银制作组成 ; 其内胆制作, 由以下步骤 组成 : 粗胚洗净、 烘干 ; 杯胆内表面清洗、 烘干 ; 电极清洗 ; 在真空室内杯胆移入杯用夹具也 称镀膜夹具, 调整杯胆内表面与电极间位置 ; 密闭真空室, 并逐级抽真空 ; 加电溅射真空电 镀, 其构成是 : 所述杯胆内表面清洗是杯胆内表面超声波清洗, 这是由超声波除油三道过 水清洗、 超声波除腊六道过水清洗、 超声波过水。

15、再三道过水清洗并进烘箱 120, 20 分钟烘 干 ; 所述电极清洗是电极的物理清洗然后放电清洗 ; 所述调整杯胆内表面与电极间位置是 圆柱状银电极, 其电极外形与杯内胆的内形状相似, 电极深入杯内胆的深度和同心度满足 电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距离相同 ; 所述二极溅射是靶材为 99.9纯 度的银作负极, 杯胆内表面作阳极, 两极与工艺装置中的恒压、 恒流源相连接 ; 所述真空电 镀是真空室真空度优于 5.0 9.010-3Pa, 温度 100 300, 在负极和阳极之间加 3.5 6.0(KV) 电压, 电流 90 250(mA) 实施溅射镀膜 10 60 分钟。 说 明 书 。

16、CN 102178426 B 4 3/3 页 5 0019 一种纳米银抗菌真空杯的镀膜夹具, 包含夹具中的杯胆和靶材构成的电极, 其构 成是 : 所述夹具是两个等直径圆片 (8, 10), 上、 下等间隔平行放置, 由三根定位支柱 9 固定, 上下两圆片中心有穿过圆柱状靶材电极 6 的孔, 上定位板绕中心有带内螺纹的上凸圆环构 成的定位螺套 7 ; 所述夹具中的杯胆是杯口朝下、 垂直安置、 杯口螺套在杯用夹具上凸圆环 构成的定位螺套 7 上 ; 所述靶材构成的电极是外形与杯内胆的内形状相似, 靶材电极深入 杯内胆的深度和同心度满足靶材电极上表面各点与杯内胆表面对应点的垂直距离相同。 0020 。

17、所述垂直距离是 10 25 毫米。 0021 本工艺的原理说明 0022 本工艺是将欲沉积的银材料 (99.9银 ) 制成板材靶, 固定在阴极上。不锈 钢真空杯罩在正对靶面的阳极上, 距靶 20-25 毫米。系统抽至高真空后 ( 真空度 4.0 1.010-1Pa) 充入 10 1 帕的气体 ( 通常为氩气 ), 在阴极和阳极间加 650 1000 伏电 压, 两极间即产生辉光放电。 放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极, 与靶表面银原子碰 撞, 受碰撞从靶面逸出的银原子称为溅射原子, 其能量在 1 至几十电子伏范围。溅射银原子 在真空杯内胆表面沉积成膜。 说 明 书 CN 102178426 B 5 1/2 页 6 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 102178426 B 6 2/2 页 7 图 3 说 明 书 附 图 CN 102178426 B 7 。

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