《具有弹性波导开关体的光学装置及相关方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《具有弹性波导开关体的光学装置及相关方法.pdf（17页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 103443676 A (43)申请公布日 2013.12.11 CN 103443676 A *CN103443676A* (21)申请号 201280015382.4 (22)申请日 2012.03.02 13/076,563 2011.03.31 US G02B 6/35(2006.01) (71)申请人 贺利实公司 地址 美国佛罗里达州 (72)发明人 劳伦斯韦恩沙克莱特 格伦罗伊魏玛 迈克尔雷蒙德韦瑟斯庞 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 代理人 刘媛媛 (54) 发明名称 具有弹性波导开关体的光学装置及相关方法 (57)。
2、 摘要 本发明涉及一种光学装置， 其可包含衬底及 由所述衬底承载且其中具有凹口的光学波导， 所 述凹口在所述凹口的相对纵向侧上界定馈送光学 波导及纵向光学波导区段。所述光学装置还可包 含横向光学波导区段， 所述横向光学波导区段由 所述衬底承载且邻近所述凹口与所述馈送光学波 导横向对准。所述光学装置可进一步包含弹性波 导开关体， 所述弹性波导开关体经配置以在位于 所述凹口内且操作以将光从所述馈送光学波导切 换到所述纵向光学波导区段的第一位置与从所述 凹口移除且操作以将光从所述光学波导切换到所 述横向光学波导区段的第二位置之间移动。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2013.。
3、09.26 (86)PCT申请的申请数据 PCT/US2012/027604 2012.03.02 (87)PCT申请的公布数据 WO2012/134708 EN 2012.10.04 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 9 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书6页 附图9页 (10)申请公布号 CN 103443676 A CN 103443676 A *CN103443676A* 1/1 页 2 1. 一种光学装置， 其包括 ： 衬底 ； 光学波导， 其由所述衬底承载且其中具有凹口， 所述凹口在所述凹口的相对纵。
4、向侧上 界定馈送光学波导及纵向光学波导区段 ； 横向光学波导区段， 其由所述衬底承载且邻近所述凹口与所述馈送光学波导横向对 准 ； 及 弹性波导开关体， 其经配置以在位于所述凹口内且操作以将光从所述馈送光学波导切 换到所述纵向光学波导区段的第一位置与从所述凹口移除且操作以将光从所述馈送光学 波导切换到所述横向光学波导区段的第二位置之间移动。 2. 根据权利要求 1 所述的光学装置， 其中所述凹口包括 V 形凹口。 3. 根据权利要求 1 所述的光学装置， 其中所述凹口包括具有在所述馈送光学波导及所 述纵向光学波导区段的端部上的凸面的 V 形凹口。 4. 根据权利要求 1 所述的光学装置， 其进。
5、一步包括由所述衬底承载且耦合到所述弹性 波导开关体的致动器。 5. 根据权利要求 1 所述的光学装置， 其中所述弹性波导开关体及所述光学波导具有在 彼此的 10内的相应折射率。 6. 根据权利要求 1 所述的光学装置， 其中所述弹性波导开关体及所述光学波导具有在 彼此的 10内的相应梯度折射率。 7. 一种在光学装置内切换光的方法， 所述光学装置包括 ： 光学波导， 其由衬底承载且 其中具有凹口， 所述凹口在所述凹口的相对纵向侧上界定馈送光学波导及纵向光学波导区 段 ； 及横向光学波导区段， 其由所述衬底承载且邻近所述凹口与所述馈送光学波导横向对 准， 所述方法包括 ： 使弹性波导开关体在位于。
6、所述凹口内且操作以将光从所述馈送光学波导切换到所述 纵向光学波导区段的第一位置与从所述凹口移除且操作以将光从所述馈送光学波导切换 到所述横向光学波导区段的第二位置之间移动。 8. 根据权利要求 7 所述的方法， 其中使用由所述衬底承载且耦合到所述弹性波导开关 体的致动器来使所述弹性波导开关体移动。 9. 根据权利要求 7 所述的方法， 其中使所述弹性波导开关体移动包括使具有在所述光 学波导的 10内的相应折射率的弹性波导开关体移动。 10. 根据权利要求 7 所述的方法， 其中使所述弹性波导开关体移动包括使具有在所述 光学波导的 10内的相应梯度折射率的弹性波导开关体移动。 权 利 要 求 书。
7、 CN 103443676 A 2 1/6 页 3 具有弹性波导开关体的光学装置及相关方法 技术领域 0001 本发明涉及光学的领域， 且更明确地说， 涉及光学开关及相关方法。 背景技术 0002 光纤通常用于电信中以用于在短距离及长距离两者上传递数据信号。 相对于例如 金属线的其它通信媒体， 光纤是有利的， 这是因为信号以较少损耗沿着光纤行进且其还较 不易受电磁干扰影响。光纤还可具有相对高带宽。光纤还可用于其它应用中， 例如， 举例来 说， 传感器及激光。 0003 光纤矩阵开关可用于多种网络切换应用， 且更明确地说， 用于使用光纤的切换应 用。此些开关通常是从基本构建块组装， 例如 ( 举。
8、例来说 ) 可将一输入定向到 N 个输出中 的任一者的 1N 开关。 0004 通常， 对于特定应用中的光学矩阵开关， 可考虑损耗、 串扰、 反射及切换速度。 还可 考虑功率消耗。成本及工作循环是在选择光学矩阵开关时可考虑的其它因素。 0005 通常， 相对大矩阵开关 (MN) 使用基于呈二维 (2D) 或三维 (3D) 配置的微机电系 统 (MEMS) 镜的光束偏转或反射光学器件。相对大矩阵开关通常需要 3D 几何形状。另外， 相对大矩阵开关使用自由空间光传播及一种形式的准直光学器件且通常具有因将光重新 捕获到光纤波导中的损耗。 然而， 此类型的矩阵开关可是有利的， 这是因为可在不通过任何 。
9、介入切换元件的情况下将光从任一输入端口定向到任一输出端口， 且因此所述光可是固有 地无阻挡的。然而， 所述矩阵开关通常需要持续电力来操作。 0006 举例来说， 颁予哈达 (Hatta) 等人的第 6,873,754 号美国专利揭示光学开关。光 学开关包含其中具有线性延伸的光学波导的聚合物薄片， 及将聚合物薄片保持于其之间的 压紧板。所述聚合物薄片具有横切光学波导的凹口， 且压紧板在对应于凹口的位置处各自 具有开口。 0007 颁予麦克唐纳 (MacDonald) 的第 6,005,993 号美国专利揭示光学矩阵开关。所述 光学矩阵开关包含相对于另一玻璃块移动以路由光的玻璃块。 所述玻璃块经由。
10、弹性体折射 率匹配元件彼此接触。 发明内容 0008 鉴于前述背景， 因此本发明的目标是提供相对低损耗光学开关。 0009 根据本发明的此及其它目标、 特征及优点通过光学装置来提供， 所述光学装置包 含衬底及光学波导， 所述光学波导由所述衬底承载且其中具有凹口， 所述凹口在所述凹口 的相对纵向侧上界定馈送光学波导及纵向光学波导区段。 所述光学装置还包含由所述衬底 承载且邻近所述凹口与所述馈送光学波导横向对准的横向光学波导区段。 所述光学装置进 一步包含弹性波导开关体， 所述弹性波导开关体经配置以在位于所述凹口内且操作以将光 从所述馈送光学波导切换到所述纵向光学波导区段的第一位置与从所述凹口移除。
11、且操作 以将光从所述馈送光学波导切换到所述横向光学波导区段的第二位置之间移动。因此， 所 说 明 书 CN 103443676 A 3 2/6 页 4 述光学装置以减小的信号损耗在所述馈送光学波导与所述纵向波导区段或所述横向光学 波导之间切换光。 0010 一方法方面涉及一种在光学装置内切换光的方法， 所述光学装置包括由衬底承载 且其中具有凹口的光学波导， 所述凹口在所述凹口的相对纵向侧上界定馈送光学波导及纵 向光学波导区段。 所述光学装置还包含由所述衬底承载且邻近所述凹口与所述馈送光学波 导横向对准的横向光学波导区段。 所述方法包含使弹性波导开关体在位于所述凹口内且操 作以将光从所述馈送光学。
12、波导切换到所述纵向光学波导区段的第一位置与从所述凹口移 除且操作以将光从所述馈送光学波导切换到所述横向光学波导区段的第二位置之间移动。 附图说明 0011 图 1 是根据本发明的光学装置的示意图。 0012 图 2 是图 1 中的光学装置的一部分的横截面图， 其中弹性波导开关体在第二位置 中。 0013 图 3 是图 1 中的光学装置的一部分的横截面图， 其中弹性波导开关体在第一位置 中。 0014 图 4 是根据本发明的另一实施例的弹性波导开关体的经放大横截面图。 0015 图 5 是根据本发明的光学装置的另一实施例的一部分的横截面图。 0016 图 6 是根据本发明的具有多个其它凹口及弹性。
13、波导开关体的光学装置的示意图。 0017 图 7 是根据本发明的其中弹性波导开关体在第一位置中的光学装置的另一实施 例的一部分的横截面图。 0018 图 8 是根据本发明的其中弹性波导开关体在第一位置中的光学装置的另一实施 例的一部分的横截面图。 0019 图 9 是根据本发明的其中弹性波导开关体在第一位置中的光学装置的另一实施 例的一部分的横截面图。 具体实施方式 0020 现在将参考其中展示本发明的优选实施例的附图在下文中更全面地描述本发明。 然而， 本发明可以许多不同形式体现且不应解释为限于本文中所陈述的实施例。 而是， 可提 供这些实施例以使得本发明将是透彻的及完整的且将把本发明的范围。
14、完全传达给所属领 域的技术人员。 通篇中， 相似编号指代相似元件， 且使用撇号符号来指示替代实施例中的类 似元件。 0021 首先参考图 1 到 3， 说明性地， 光学装置 20 包含衬底 21 及由所述衬底承载的光学 波导22。 举例来说， 光学波导22可为石英光纤或平面波导(石英或聚合物的)。 另外， 光学 波导 22 可为圆形或方形的， 如所属领域的技术人员将了解。更进一步， 光学波导 22 可为多 模式光学波导或可为单模式光学波导。光学波导 22 包含具有芯折射率的芯 33( 例如， 经掺 杂石英玻璃芯 ) 及环绕所述芯且具有包层折射率的相应包层 34。缓冲层 35 环绕包层 34。 。
15、缓冲层 35 是任选的。 0022 衬底 21 可是具有未展示的其它电子组件的电路板， 例如， 举例来说， 印刷电路板 (PCB)。 光学波导22中具有凹口23， 所述凹口界定馈送光学波导24及与所述馈送光学波导 说 明 书 CN 103443676 A 4 3/6 页 5 成直线且在所述凹口的侧上的纵向光学波导区段 25。凹口 23 可使用常规技术形成， 例如， 举例来说， 模制、 锯割及激光烧蚀。 说明性地， 凹口23为V形的， 但可为其它形状。 如所属领 域的技术人员将了解， 将凹口 23 切成平坦面 26 以界定镜表面。换句话说， 所述凹口的平坦 面26是成角度的以产生如由光学波导22。
16、与空气之间的界面所导致的接近全内反射(TIR)。 凹口 23 可为另一形状， 只要所述凹口的平坦面 26 将光从馈送光学波导 24 的端部朝向横向 光学波导区段 27 反射即可， 所述横向光学波导区段由衬底 21 承载且邻近凹口 23 与馈送光 学波导 24 横向对准。 0023 举例来说， 横向光学波导区段27可借助粘合剂28固定到光学波导22。 明确地说， 如果光学波导 22 的横截面形状为圆形， 那么所述光学波导可经抛光以形成平坦表面以与 横向光学波导区段 27 耦合。 0024 横向光学波导区段 27 可是聚合物主体， 例如， 举例来说， 弹性聚合物主体， 例如， 在对应于代理人档案号。
17、码 GCSD-2324 且受让于本申请案的受让人的申请案中所描述的聚 合物主体， 所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。如果横向光学波导区段 27 是 聚合物主体， 那么可不需要对光学波导 22 进行抛光。 0025 弹性波导开关体 36 经配置以在位于凹口 23 内以使得将光从馈送光学波导 24 切 换到纵向光学波导区段 25 的第一位置 ( 图 3) 与从所述凹口移除以使得将光从馈送光学波 导切换到横向光学波导区段 27 的第二位置 ( 图 2) 之间移动。说明性地， 弹性波导开关体 36 的横截面形状为三角形， 但可为匹配凹口 23 的形状的另一形状。 0026 弹性波导开关体36。
18、优选地具有在光学波导22的有效折射率的10内且更优选 地在 1内的折射率。更明确地说， 对于单模式光学波导， 弹性波导开关体 36 可具有在 单模式光学波导的有效折射率的 0.5内的折射率。弹性波导开关体 36 可由不同单体 以相对量形成以使得经固化弹性聚合物波导开关体36具有在光学波导22的有效折射率的 10内且更优选地在 1内的折射率。 0027 弹性波导开关体36有利地经匹配以使得原本将从平坦面26反射的光替代地以减 小的光学损耗通过平坦面到达纵向光学波导区段 25。通过将弹性波导开关体 36 润湿附着 到光学波导 22 来减小弹性波导开关体 36 与光学波导 22 的平坦面 26 之间。
19、的大气， 这是因 为空气可致使来自光学波导的光反射或散射， 因此导致增加的光学损耗。弹性波导开关体 36 有利地引导光且可充当光学波导 22 的延伸部。 0028 致动器37还耦合到弹性波导开关体36以使开关体在第一位置与第二位置之间移 动。弹性波导开关体 36 的预设位置可经由致动器 37 的配置来设定以使得其从凹口 23 移 除 ( 即， 第二位置 ) 或在所述凹口内 ( 即， 第一位置 )。 0029 举例来说， 致动器 37 可是压电致动器或螺线管。有利地， 可将致动器配置为双稳 态致动器以使得其仅使用电力来在第一位置与第二位置之间移动。当致动器 37 是双稳态 致动器时， 光学开关 。
20、20 可实施为锁存开关。致动器 37 可是另一类型的切换装置且可包含 其它协作组件， 举例来说， 偏压装置。 0030 现在参考图 4， 说明性地， 弹性波导开关体 36的另一实施例包含光学装置芯 41， 举例来说， 玻璃棱镜。光学装置芯 41可是另一材料或材料组合。光学装置芯 41 涂覆有弹性聚合物材料外部层 42。弹性聚合物材料外部层在邻近馈送光学波导 24 及纵 向光学波导区段 25 的弹性波导开关体 36的两个面上是特别有利的。 说 明 书 CN 103443676 A 5 4/6 页 6 0031 现在参考图5， 在光学装置20的另一实施例中， 弹性波导开关体36“包含弹性光 学聚合。
21、物或由弹性聚合物材料涂覆的光学器件。更明确地说， 弹性波导开关体 36的内部 部分53“或芯具有第一折射率且与光学波导22的芯33“光学对准。 所述第一折射率有利 地在光学波导 22的芯 33的折射率的 10内且优选地在 1内。即， 弹性波导开关 体内部部分 53的折射率经挑选以大致与光学波导 22的芯 33的折射率相同。 0032 弹性波导开关体 36“ 还具有环绕弹性体内部部分 53的外部部分或包层 54“ 且 具有第二折射率。外部部分或包层 54“ 与光学波导 22的包层 34“ 光学对准。外部部分 54有利地在光学波导 22的包层 34的折射率的 10内且优选地在 1内。即， 弹 性波。
22、导开关体外部部分 54的折射率经挑选以大致与光学波导 22的包芯层 34的折射 率相同。换句话说， 弹性波导开关体 36及光学波导 22优选地将具有在彼此的 1内 的相应梯度折射率。 0033 横向光学波导区段 27“ 还包含还具有第一折射率的横向光学波导区段内部部分 或芯 44“ 且与光学波导 22的芯 33“ 光学对准。横向光学波导区段内部部分 44的第一 折射率有利地在光学波导 22的芯 33的折射率的 10内。 0034 横向光学波导区段27“还包含横向光学波导区段外部部分或包层45“且具有第二 折射率。外部部分 45“ 与光学波导 22的包层 34“ 光学对准。外部部分 45“ 有利。
23、地在光学 波导 22的包层 34的折射率的 10内且优选地在 1内。 0035 现在参考图 6， 说明性地， 1N 光学开关包含在对应凹口内的弹性波导开关体 36a到 36n。更明确地说， 光沿着光学波导 22行进通过 N 个端口， 即， N 个弹性 波导开关体 36a到 36n， 直到遇到在第二位置中的弹性波导开关体为止。换句话 说， 1N 光学开关是顺序开关。当遇到弹性波导开关体 36a到 36n时， 光被切换到 对应横向光学波导分接头 27。 0036 如所属领域的技术人员将了解， 尚未考虑此类型的现有技术光学开关用于高 N 值， 这是因为光必须传播穿过所有切换端口 (1 到 N-1) 。
24、才到达第 N 个端口。每一端口处的 损耗及背面反射是附加的， 且因此， 经由 N 个端口的损耗及背面反射可能太高。如所属领域 的技术人员将了解， 弹性波导开关体 36有利地在其配合表面上 “润湿” 以减小 “光学界 面” 的存在且减小附加损耗。 0037 现在参考图 7， 在光学装置 20的另一实施例中， 说明性地为梯形形状的弹性 波导开关体 36包含由弹性聚合物材料涂覆的嵌入式光学波导。更明确地说， 弹性波导 开关体36的内部部分53或芯具有第一折射率且与光学波导22的芯33光 学对准。所述第一折射率有利地在光学波导 22的芯 33的折射率的 10内且优 选地在 1内。即， 弹性波导开关体内。
25、部部分 53的折射率经挑选以大致与光学波导 22的芯 33的折射率相同。 0038 外部部分或包层 54与光学波导 22的包层 34光学对准。外部部分 54有利地在光学波导 22的包层 34的折射率的 10内且优选地在 1 内。即， 波导开关体外部部分 54的折射率经挑选以大致与光学波导 22的包芯层 34的折射率相同。还将每一弹性聚合物材料层的相应部分 ( 内部及外部 ) 形成为在内 部部分53及外部部分54两者以及光学波导22的折射率的10内且优选地 在 1内。换句话说， 包含弹性聚合物材料的波导开关体 36及光学波导 22优选 说 明 书 CN 103443676 A 6 5/6 页 7。
26、 地将具有在彼此的 1内的相应梯度折射率。 0039 在一些实施例中， 弹性波导开关体 36可为石英光纤， 且可在其端部上具有弹 性涂层。举例来说， 所述涂层可小于 100 微米， 且还可包含芯及环绕所述芯的包层。 0040 如所图解说明， 弹性波导开关体 36相对于弹性波导体的其它实施例是相对较 大的。增加的大小可促进搬运及组装。此外， 弹性波导开关体 36的增加的质量可减缓 切换速度。 0041 现在参考图 8， 在光学装置 20的又一实施例中， 弹性波导开关体 36 耦合到纵向光学波导区段 25的端部或尖端且其在第二位置中远离衬底 21 而弯折。弹性波导开关体 36的内部部分 53或芯具。
27、有第一折射率且与光学 波导 22的芯 33光学对准。所述第一折射率有利地在光学波导 22的 芯 33的折射率的 10内且优选地在 1内。即， 弹性波导开关体内部部分 53的折射率经挑选以大致与光学波导 22的芯 33的折射率相同。 0042 弹性波导开关体 36包含环绕芯 53的外部部分或包层 54且具 有第二折射率。外部部分或包层 54与光学波导 22的包层 34光学对 准。外部部分 54有利地在光学波导 22的包层 34的折射率的 10内 且优选地在 1内。即， 波导开关体外部部分 54的折射率经挑选以大致与光学波 导22的包芯层34的折射率相同。 换句话说， 波导开关体36及光学波导 2。
28、2有利地将具有在彼此的 1内的相应梯度折射率。 0043 说明性地， 在端部处包含波导开关体 36的纵向光学波导区段 25在 第二位置中远离衬底21而弯折。 弯折设计有利地减小沿着光路径的干扰的数目及与 其相关联的损耗。如所属领域的技术人员将了解， 纵向光学波导区段 25可通过如本 文中所描述的致动器 ( 未展示 ) 在第一位置与第二位置之间移动。 0044 现在参考图 9， 在光学装置 120 的又一实施例中， 弹性波导开关体 136 弯曲以界定 凹形端面。光学波导 122 中界定有对应弯曲凹口， 且更明确地说， 所述凹口经弯曲以界定光 学波导 124、 125 的凸形端面或端部表面。界定凹。
29、口的光学波导 122 的凸表面相对于横向光 学波导区段 127 对称地定位。光学波导 122、 124 及 125 的凸形端面有利地有助于将光聚焦 于横向光学波导区段 127 的芯 144 上。 0045 举例来说， 横向光学波导区段 127 还可经弯曲以界定 “筒形” 或抛物线形状。如所 属领域的技术人员将了解， 此形状可形成非成像光学器件， 所述非成像光学器件可将斜光 线重定向成与横向光学波导区段 127 越来越平行的轴。在弯曲横向光学波导区段 127 的情 况下， 可期望相对低折射率环绕材料(未展示)。 或者， 举例来说， 横向光学波导区段127可 包含 GRIN 透镜。 0046 弹性。
30、波导开关体 136 的内部部分 153 或芯具有第一折射率且与光学波导 122 的芯 133 光学对准。第一折射率有利地在光学波导 122 的芯 133 的折射率的 10内且优选地 在1内。 即， 弹性波导开关体内部部分153的折射率经挑选以大致与光学波导122的芯 153 的折射率相同。 0047 弹性波导开关体 136 包含环绕芯 153 的外部部分或包层 154 且具有第二折射率。 外部部分或包层 154 与光学波导 122 的包层 134 光学对准。外部部分 154 有利地在光学波 导 122 的包层 134 的折射率的 10内且优选地在 1内。即， 波导开关体外部部分 154 说 明。
31、 书 CN 103443676 A 7 6/6 页 8 的折射率经挑选以大致与光学波导 122 的包层 134 的折射率相同。换句话说， 波导开关体 136 及光学波导 122 优选地将具有在彼此的 1内的相应梯度折射率。 0048 确实， 尽管所图解说明实例图解说明步阶式折射率， 但可使用渐变折射率。 在其中 光学主体的厚度或更明确地说光学路径的长度大约等于或小于光学波导22的芯33的宽度 的设计中， 光学开关 20 或光学主体可不包含芯及环绕所述芯的包层。替代地， 光学开关 20 可具有在光学波导 22 的芯 33 的折射率的 10内且优选地在 1内的均匀折射率。 0049 光学开关 20。
32、 有利地可不依赖于自由空间传播， 且具有由将光保持在引导光学器 件内导致的减小的损耗。 光学开关20还可具有减小的振动敏感度。 另外， 开关20可具有减 小的功率消耗及相对减小的成本。 此外， 光学装置20或N个光学装置在微机电系统(MEMS) 型装置中且更明确地说在光学微机电系统 (MOEMS) 装置中可是特别有利的。 0050 一方法方面涉及一种在光学装置 20 内切换光的方法， 所述光学装置 20 包括光学 波导22， 所述光学波导由衬底21承载且其中具有凹口23， 所述凹口在所述凹口的相对侧上 界定馈送光学波导 24 及纵向光学波导区段 25。光学装置 20 还包含横向光学波导区段 2。
33、7， 其由衬底 21 承载且邻近凹口 23 与馈送光学波导 24 横向对准。所述方法包含使弹性波导 开关体 36 在位于凹口 23 内以使得将光从馈送光学波导 24 切换到纵向光学波导区段 25 的 第一位置与从所述凹口移除以使得将光从馈送光学波导切换到横向光学波导区段 27 的第 二位置之间移动。 0051 应注意， 尽管说明性地， 光从邻近馈送光学波导 24 的源行进 ( 即， 从左到右 )， 但 光可沿其它方向行进。举例来说， 所述源可邻近横向光学波导区段 27 或纵向光学波导区段 25。可在同在申请中的申请案 12 610， 432 中发现光学开关的进一步细节， 所述申请案受 让于本申。
34、请案的受让人， 且其全部内容以引用的方式并入本文中。 说 明 书 CN 103443676 A 8 1/9 页 9 图 1 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 9 2/9 页 10 图 2 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 10 3/9 页 11 图 3 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 11 4/9 页 12 图 4 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 12 5/9 页 13 图 5 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 13 6/9 页 14 图 6 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 14 7/9 页 15 图 7 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 15 8/9 页 16 图 8 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 16 9/9 页 17 图 9 说 明 书 附 图 CN 103443676 A 17 。