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1、(10)申请公布号 CN 103424839 A (43)申请公布日 2013.12.04 CN 103424839 A *CN103424839A* (21)申请号 201310320167.1 (22)申请日 2013.07.26 G02B 7/00(2006.01) G02B 27/28(2006.01) (71)申请人 华中科技大学 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路 1037 号 (72)发明人 刘世元 谷洪刚 陈修国 张传维 李伟奇 杜卫超 (74)专利代理机构 华中科技大学专利中心 42201 代理人 朱仁玲 (54) 发明名称 一种复合波片光轴对准方法 (57) 摘要。
2、 本发明公开了一种复合波片光轴对准方法， 首先， 将待对准的复合波片中的一个单波片固定 不动， 将另外一个单波片与旋转装置相连， 使两个 单波片之间产生相对转动 ； 然后将偏振光垂直投 射在待对准复合波片上， 并用探测器探测从待对 准复合波片上出射的光强信号， 分析得到复合波 片的等效光谱参数， 与设计的理想值进行比较， 得 到其差值的波动曲线 ； 最后转动旋转装置， 使两 个单波片产生相对转动， 检测等效光谱参数与理 想值之间差值的波动幅度变化， 直至波动消失或 者波动幅值小于限定值， 则可认为完成了复合波 片光轴对准。该方法可以实现对复合波片光轴进 行高精度对准， 原理简单， 容易操作， 。
3、并且对准精 度可控。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 5 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书7页 附图5页 (10)申请公布号 CN 103424839 A CN 103424839 A *CN103424839A* 1/1 页 2 1. 一种复合波片的光轴对准方法， 用于实现复合波片中多个波片光轴的精确对准， 其 中， 对于任意相邻的两波片， 其光轴对准方法包括 ： 将两波片的其中一波片固定， 另一波片与固定波片平行布置的步骤， 其中该另一波片 相对固定波片可绕中心轴线转动 ； 将偏振光垂直入射到该固定波片。
4、上， 并依次经过固定波片和可相对转动的波片后出射 的步骤 ； 探测出射光束的光强信号， 并对光强信号进行分析， 以得到由固定波片和旋转波片组 成的复合波片的光谱信息的步骤 ； 以及 比较所得到的复合波片光谱信息与理想光谱信息以得到两者差值的步骤 ； 其特征在于， 通过旋转调整旋转波片相对固定波片绕中心轴线转动的角度， 使得复合 波片的光谱信息与理想光谱信息之差值小于设定值， 即可完成两波片光轴的对准。 2. 根据权利要求 1 所述的一种复合波片的光轴对准方法， 其特征在于， 所述复合波片 的光谱信息包括等效相位延迟量 Pe()、 等效方位角 e() 和等效旋光角 e()， 具体 通过如下公式计。
5、算得到 ： 其 中， mij表 示 由 矩 阵 M(1,1) 和 M(2,2) 相 乘 后 得 到 的 结 果 矩 阵 中 的 4 个 元 素， M(1,1) 和 M(2,2) 分 别 为 两 个 波 片 的 特 性 矩 阵， rij表 示 由 矩 阵 和相乘后得到的结果 矩阵中的 4 个元素， i=1 或 2， j=1 或 2， 1和 2分别为固定波片和可转动波片的相位延迟 量， 1和 2分别为固定波片和可转动波片竖直放置时各自光轴与水平方向的夹角。 3.根据权利要求1或2所述的一种复合波片的光轴对准方法， 其特征在于， 所述复合波 片的光谱信息通过椭偏仪探测得到， 优选是双旋转补偿器穆勒矩。
6、阵椭偏仪。 4. 根据权利要求 1-3 中任一项所述的一种复合波片的光轴对准方法， 其特征在于， 所 述两波片设置在位于椭偏仪的起偏臂 （2） 和检偏臂 （3） 之间的样品台 （5） 上， 该起偏臂 （2） 出射的光束垂直投射到复合波片后通过所述检偏臂 （3） ， 从而被探测得到光谱信息。 5. 根据权利要求 4 所述的一种复合波片的光轴对准方法， 其特征在于， 所述可相对转 动的波片设置在一固定在样品台 （5） 上的高精度旋转台上， 在其驱动下实现该波片在中心 轴线上的旋转。 6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种复合波片的光轴对准方法， 其特征在于， 所述复合 波片包括三个或三个以上的波。
7、片， 所述固定波片为光轴已对准的多个波片组成的复合固定波片。 权 利 要 求 书 CN 103424839 A 2 1/7 页 3 一种复合波片光轴对准方法 技术领域 0001 本发明属于复合波片技术领域， 具体涉及一种复合波片光轴对准方法， 适用于复 合波片中两片或多片晶片的光轴的精确对准与标定。 背景技术 0002 波片是光学仪器设计与光学测量领域中常用的光学元件， 又叫光学相位延迟片， 它能够使得偏振光的两个垂直分量产生附加光程差 （或成为相位差） ， 从而改变偏振光的偏 振态， 或者用于检查光波的偏振态。 波片通常由单轴或者双轴晶体材料制成， 所以也可以成 为晶片， 用于制作波片的材料。
8、通常有石英、 氟化镁、 云母、 石膏、 蓝宝石等。由单个晶片组成 的波片称为单波片， 由两片或者多片晶片组成的波片称为复合波片。 0003 复合波片是由若干片晶片组合而成， 且各晶片的光轴互成一定的角度， 通常光轴 之间互相垂直布置。其中， 双波片是最简单最常见的一种复合波片， 由两片同种材料或者 不同材料的晶片按照光轴互相垂直组合而成。由两片同种材料晶片构成的双波片复合波 片， 当光轴垂直布置时， 与同材料的单波片具有同样的相位延迟效果， 两个晶片的厚度之差 为复合波片的等效光程， 这样可以克服单波片由于太薄而难以加工等缺点， 从而改善波片 的精度。而由不同种材料的两片晶片组合而成的双波片复。
9、合波片可用于消除波片本身的 色差， 称为消色差复合波片。复合波片的这种改善波片精度及消除波片本身色差的性能是 单片晶片所不能达到的， 因此使得复合波片在光学仪器设计与光学测量中获得了广泛的应 用。 在实际应用中， 为了在较宽波段范围实现相位延迟量的消色差效果， 通常会设计制作更 复杂的消色差复合波片， 这些复合波片由多片同种材料或者不同材料的晶片组合而成， 而 各单片光轴之间的夹角为优化设计的角度值。 0004 在实际应用中， 为了保证复合波片的总相位延迟精度以及仪器测量的精度， 往往 要求组成复合波片的各片晶片的光轴按照设计的夹角严格对准标定。 从一些波片生产公司 来看， 实际生产应用中对于。
10、复合波片的对准多采用手动方式凭经验进行对准， 即首先固定 其中的一片晶片， 然后手动转动另外一片晶片， 通过肉眼比较复合波片的实际相位延迟与 理想相位延迟之间的差别。 当复合波片的实际相位延迟与理想相位延迟之间的差别达到可 以接受的程度即认为复合波片已经对准完毕。 这种手动对准方式， 虽然操作过程相对简单， 但是对准精度难以保证， 对于一些对复合波片对准精度要求较高的应用场合往往难以满足 测量的精度要求。另外一种波片对准方式是消光法， 这种方法将波片放在两个垂直布置的 偏振片之间， 这样根据光路出射光的消光现象进行判断波片光轴是否对准。消光法的缺点 是， 消光通常发生在一个波长点下， 而通过一。
11、个波长点的消光很难判断波片光轴是否对准， 为此需要换不同波长的激光光源， 并调整光路， 操作复杂， 而且对准精度不高。 0005 美国宾夕法尼亚州立大学的柯林斯等人 (R.W.Collins et al.,J.Opt.Soc. Am.A,Vol.18,pp.1980-1985,2001) 将待对准复合波片安装在一高精度旋转台上， 然后将高 精度旋转台置于旋转检偏器式椭偏仪的样品台上， 并将旋转检偏器式椭偏仪的起偏臂和检 偏臂对打以测量偏振光透过复合波片之后的振幅比值。在对准过程中， 由高精度旋转台来 说 明 书 CN 103424839 A 3 2/7 页 4 控制晶片的转动， 通过观察椭偏仪。
12、所测得的偏振光透过复合波片之后振幅比值的高频振动 幅值的大小来实现复合波片的对准。 这种对准方法尽管较传统手动对准方式的对准精度要 高， 但是复合波片的对准过程相对复杂， 且最终的对准精度与操作人员的经验有较大的相 关性。 目前也有一种通过检测和控制复合波片相位延迟量光谱曲线中波动幅值的大小来指 导复合波片对准的方法， 该方法从理论上能够对复合波片进行高精度对准， 但是由于复合 波片相位延迟量光谱曲线的波动对复合波片间的对准误差不是十分敏感， 当相位延迟量检 测设备的精度不够时， 复合波片的对准精度就无法得到保证。 发明内容 0006 本发明的目的在于提供一种复合波片的光轴对准方法， 该方法通。
13、过检测并消除复 合波片光谱信息中的波动， 从而实现对复合波片中两片或多片晶片的光轴进行精确对准。 0007 实现本发明目的所采用的具体技术方案如下。 0008 一种复合波片的光轴对准方法， 用于实现复合波片中多个波片光轴的精确对准， 其中， 对于任意相邻的两波片， 其光轴对准包括 ： 0009 将两波片的其中一波片固定， 另一波片与固定波片沿光轴方向平行布置的步骤， 其中该另一波片可相对固定波片绕中心轴线转动 ； 0010 将偏振光垂直入射到该固定波片上， 并依次经过固定波片和可转动的波片后出射 的步骤 ； 0011 探测出射光束的光强信号， 并对光强信号进行分析， 以得到由固定波片和旋转波 。
14、片组成的复合波片光谱信息的步骤 ； 以及 0012 比较得到的复合波片光谱信息与理想光谱信息， 以得到两者差值的步骤 ； 0013 通过旋转调整所述另一波片相对固定波片绕中心轴线转动的角度， 使得所述复合 波片的光谱信息与理想光谱信息之差值小于预定值， 即可完成两波片光轴的对准。 0014 作为本发明的进一步优选， 所述复合波片的光谱信息包括等效相位延迟量 Pe()、 等效方位角 e() 和等效旋光角 e()， 具体通过如下公式计算得到 ： 0015 0016 0017 0018 其 中， mij表 示 由 矩 阵 M(1,1) 和 M(2,2) 相 乘 后 得 到 的 结 果 矩 阵 中 的。
15、 4 个元素， M(1,1) 和 M(2,2) 分别为两个波片的特性矩阵， rij表示由矩阵 和相乘后得到的结果 矩阵中的 4 个元素， i=1 或 2， j=1 或 2， 1和 2分别为固定波片和可转动波片的相位延迟 量， 1和 2分别为该固定波片和可转动波片竖直放置时其光轴与水平方向之间的夹角。 说 明 书 CN 103424839 A 4 3/7 页 5 0019 作为本发明的进一步优选， 所述复合波片的光谱信息通过椭偏仪探测得到， 优选 是双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪。 0020 作为本发明的进一步优选， 所述两波片设置在位于椭偏仪的起偏臂和检偏臂之间 的样品台上， 该起偏臂出射的光束垂。
16、直投射到复合波片后通过检偏臂， 从而被探测得到光 谱信息。 0021 作为本发明的进一步优选， 所述可相对转动的波片设置在一固定在样品台上的高 精度旋转台上， 在其驱动下实现该波片相对于固定波片沿中心轴线的旋转。 0022 作为本发明的进一步优选， 所述复合波片包括三个或三个以上的波片， 所述固定 波片为光轴已对准并固定的多个波片组成的复合固定波片。 0023 通常情况下， 人们只关心波片的相位延迟量， 一般的检测设备也只能检测相位延 迟量的大小。相位延迟量曲线波动幅度对复合波片对准误差的灵敏度不高， 当检测设备精 度有限时， 使用相位延迟量波动曲线来对准复合波片的对准精度不能保证。本发明的方。
17、法 通过穆勒矩阵椭偏仪等设备可以同时检测复合波片的等效相位延迟量、 等效方位角和等效 旋光角光谱曲线中的波动， 尤其是等效方位角和等效旋光角光谱曲线中的波动对复合波片 对准误差的灵敏度高， 因此本方法可以在光谱信息检测设备精度有限的条件下， 仍能实现 对复合波片的精确对准。 0024 本发明中， 将待对准的复合波片的一个单波片固定在光路中， 称为固定波片， 将待 对准的复合波片的另外一个单波片与旋转装置相连， 称为旋转波片， 保证旋转波片与固定 波片平行。 这样， 旋转波片能够在旋转装置带动下相对于固定波片连续旋转， 偏振光垂直投 射在固定波片上， 并经过固定波片、 旋转波片， 最后从旋转波片。
18、射出。利用探测器探测旋转 波片出射光束的光强信号， 并对光强信号进行分析， 得到由固定波片和旋转波片组成的复 合波片光谱信息 (Pe(),e(),e()。 0025 本 发 明 中，如 果 差 值 (Pe(),e(),e() 大 于 设 定 值 （该 设 定 值 是 在 所 要 求 的 对 准 精 度 下 允 许 差 值 (Pe(),e(),e() 波 动 的最大值， 可根据实际精度需求具体确定） ， 则旋转旋转波片， 重复上述步骤， 观察 (Pe(),e(),e() 波动幅值的变化 ： 如果波动幅值变小， 则继续向相 同的方向旋转旋转波片 ； 如果波动幅值变大， 则向相反的方向旋转旋转波片。。
19、直到 (Pe(),e(),e() 波动消失或者波动幅值降至允许的范围内， 则双波片复 合波片的对准过程完成。 0026 本发明中， 如果复合波片包含多个单波片， 则可按照所设计的单波片复合顺序， 先 将其中两个单波片进行对准， 然后将对准好的两个单波片当作一个波片与下一个单波片进 行对准， 依次进行， 直至所有的单波片都对准完毕即可完成复合波片的对准。 0027 与现有复合波片光轴对准方法相比， 本发明所提供的对准方法依据复合波片的等 效模型， 通过光学检测和分析系统检测并控制复合波片的三个等效光谱参数 （包括等效相 位延迟量、 等效方位角、 等效旋光角） 的波动幅度， 可实现对复合波片光轴的。
20、高精度对准， 操 作简单， 对准精度可控， 在光学仪器设计及光学测量领域中将会有广泛的应用前景。 附图说明 0028 图 1 单波片示意图 ； 说 明 书 CN 103424839 A 5 4/7 页 6 0029 图 2 双波片复合波片示意图 ； 0030 图 3 是石英双波片复合波片存在对准误差时 (=0.1 ,0.5 ,1.0 )， 复合波片等效旋光角与设计理想值之差 Pe() 随波长的波动曲线 ； 0031 图 4 是石英双波片复合波片存在对准误差时 (=0.1 ,0.5 ,1.0 )， 复合波片等效旋光角与设计理想值之差 e() 随波长的波动曲线 ； 0032 图 5 是石英双波片复。
21、合波片存在对准误差时 (=0.1 ,0.5 ,1.0 )， 复合波片等效旋光角与设计理想值之差 e() 随波长的波动曲线 ； 0033 图 6 本发明提供的复合波片光轴对准方法流程图 ； 0034 图 7 是双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪结构示意图 ； 0035 图 8 是本发明实施例中利用双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪对复合波片进行对准 的结构示意图。 具体实施方式 0036 为了使本发明的目的、 技术方案及优点更加清楚明白， 以下结合附图， 对本发明进 行进一步详细说明。 此处说明若涉及到具体实例时仅仅用以解释本发明， 并不限定本发明。 0037 为了更清楚的阐述本发明所述复合波片光轴对准方法的实。
22、施过程， 本实施例中优 选采用双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪对波片的光谱信息进行检测。 0038 单波片的示意图如图 1 所示， 在 x-o-y 坐标系中， 波片的快轴 （F 轴） 与 x 轴之间的 夹角为 ， 波片的相位延迟量为 ， 则波片的传输特性可以用式 (1) 表示 ： 0039 0040 其中， i 表示虚数单位， 可以用式 (2) 得到 ： 0041 0042 其中， 为波长， dn 为波长 时的制作波片材料的双折射率， d 为波片的厚度。 0043 对于光轴夹角为任意值的双波片复合波片而言， 可以用式(3)所示的等效模型 表达 0044 0045 其中， e,e和 Pe分别表示双波片。
23、复合波片的等效相位延迟量、 等效快轴与 x 轴 之间的夹角和复合波片可能出现的等效旋光角。 0046 由于上述双波片复合波片是由两个单波片复合而成， 如图2所示， 所以有(4)式所 表达的关系 ： 0047 0048 其中， 1和 2分别为双波片的第一个波片和第二个波片 （按照光路传播方 说 明 书 CN 103424839 A 6 5/7 页 7 向）的相位延迟量， 1和 2分别双波片的第一个波片和第二个波片 （按照光路传播方 向） 的光轴 （F1和 F2） 与 x 轴之间的夹角， 则两个波片的光轴 （F1和 F2） 夹角 =|2-1|， mij(i=1,2;j=1,2) 表示由矩阵 M(1。
24、,1) 和 M(2,2) 相乘后得到的结果矩阵中的 4 个元 素， 其中 M(1,1) 和 M(2,2) 分别由式 (1) 得到的两个波片的特性矩阵。 0049 联立式 (3) 和式 (4) 可以得到 e,e和 Pe的表达式， 首先解得 Pe和 e如式 (5) 和 (6) 所示 ： 0050 0051 0052 将式 (4)-(6) 代入式 (3) 可得 ： 0053 0054 则可解得 e为 ： 0055 0056 其 中， rij(i=1,2;j=1,2) 表 示 由 矩 阵 和相乘后得到的结果矩阵中的 4 个元素。 0057 当两个波片光轴垂直时， 即当 =|2-1|=90时， 由式 (。
25、5)-(8) 的推导可知， Pe=0,e=1,e=1-2。所以， 当双波片复合波片光轴完全对准时， 即双波片复合波片中 的两个单波片光轴之间成 90时， 复合波片的等效光谱参数 (Pe(),e(),e() 是 由两个单波片的特性决定的。 而当双波片复合波片的两个单波片光轴之间存在一定的对准 误差， 即=|2-1|=90+时， 复合波片等效光谱参数(Pe(),e(),e()与 设计的理想值 (Pe0(),e0(),e0() 之间的差值 (Pe(),e(),e() 会有一定的波动， 而这波动幅值的大小与对准误差 成正相关。图 3-5 给出了石英双波 片复合波片存在不同的对准误差时 (=0.1 ,0。
26、.5 ,1.0 )， 其等效光谱参数与 理想值之间的差值在 0.4-1.0um 波段范围内的波动情况， 两个石英单波片的厚度分别为 506.14um 和 500um， 理想对准情况下， 两个石英单波片的光轴互相垂直， 其中图 3 为等效旋 光角差值 Pe() 的波动曲线， 图 4 为等效光轴方位角差值 e() 的波动曲线， 图 5 为 等效相位延迟量差值 e() 的波动曲线。 0058 从 图 3- 图 5 可 以 看 出， 等 效 旋 光 角 差 值 Pe() 光 谱 曲 线 的 波 动 幅 值 说 明 书 CN 103424839 A 7 6/7 页 8 A(Pe() 大约为对准误差 的 。
27、4 倍， 等效方位角差值 e() 光谱曲线的波动幅值 A(e() 大约为对准误差 的 3-5 倍， 而等效相位延迟量差值 e() 光谱曲线的 波动幅值A(e()仅为对准误差的0.04-0.1倍， 因此， 等效旋光角差值Pe()和 等效方位角差值 e() 光谱曲线的波动对复合波片对准误差的灵敏度比等效相位延迟 量差值e()光谱曲线的波动对复合波片对准误差的灵敏度要高很多。 根据以上分析， 通过检测并控制复合波片等效光谱参数(Pe(),e(),e()中波动幅值的大 小， 可以实现复合波片的精确对准， 其对准精度比单独检测相位延迟量曲线波动的方法高， 在检测设备精度有限的情况下， 仍能实现复合波片的。
28、精确对准。 0059 图 7 为穆勒矩阵椭偏仪的一般配置， 包括光源 1、 起偏臂 2、 检偏臂 3、 探测器 4、 样 品台5和计算机6。 其中起偏臂1和检偏臂3各包括一个偏振器和一个旋转补偿器及其他装 置， 起偏臂 1 中偏振器在前， 旋转补偿器在后， 检偏臂 3 中旋转补偿器在前， 偏振器在后。光 源 1 发出的光为非偏振光， 经过起偏臂中偏振器后变成线偏振光， 线偏振光经过起偏臂旋 转补偿器调制后投射到样品台 5 上的待测样品， 偏振光经过待测样品后偏振态发生改变， 这样待测样品的信息就耦合在了偏振光光强信号中， 从待测样品出射的光经过检偏臂旋转 补偿器的调制， 最后经过检偏臂偏振器后。
29、被探测器 4 所探测， 计算机 6 对探测器 4 探测的光 强信号进行分析， 可以解出待测样品的光谱信息。 0060 下面以双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪为例对具体的实施过程进行详细说明。 0061 (1) 将双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪调整到直通式 （透射式） 测量方式， 如图 8 所 示， 光源 1、 起偏臂 2、 检偏臂 3 和探测器 4 在一条直线上。打开光源， 调整光路， 保证从起偏 臂 2 出射的光束能进入检偏臂 3 并被探测器 4 探测到， 此时起偏臂 2 和检偏臂 3 光路对打， 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪处于直通式测量方式。 0062 (2) 将待对准的复合波片中的一个单波片固定在。
30、样品台 5 上， 构成固定波片 7， 让 从起偏臂 2 出射的光束垂直投射在该固定波片 7 上。 0063 (3) 将待对准复合波片的另外一个单片与高精度旋转台 9 相连， 构成旋转波片 8， 高精度旋转台放置在样品台 5 上， 保证该旋转波片 8 与固定波片 7 平行， 都垂直光束。高精 度旋转台 9 为中空结构， 这样从待对准复合波片出射的光束可以入射到检偏臂 3 中。高精 度旋转台 9 与步进电机 10 相连， 步进电机控制 11 可以控制步进电机 10 带动高精度旋转台 9 进行高精度高分辨率的转动， 从而使旋转波片 8 与固定波片 7 之间产生相对转动。 0064 (4) 利用双旋转。
31、补偿器穆勒矩阵椭偏仪对待对准复合波片进行测量， 即用计算机 6 对探测器 4 探测的光强信号进行分析， 并根据 (3)-(8) 式建立的复合波片的等效模型， 最 终得到复合波片的光谱信息 (Pe(),e(),e()。 0065 (5) 将 第 (4) 步 得 到 的 复 合 波 片 光 谱 信 息 (Pe(),e(),e() 与 设 计 的 理 想 光 谱 (Pe0(),e0(),e0() 进 行 比 较，计 算 其 差 值 (Pe(),e(),e()。 0066 (6) 通 过 步 进 电 机 控 制 器 11 控 制 步 进 电 机 10， 使 高 精 度 旋 转 台 9 带 动 旋 转 。
32、波 片 8 相 对 于 固 定 波 片 7 旋 转 一 定 的 角 度，重 复 (4)-(5) 步，观 察 (Pe(),e(),e() 波动幅值的变化 ： 如果波动幅值变小， 则向相同的方向继 续旋转旋转波片 8 ； 如果波动幅值变大， 则向相反的方向旋转旋转波片 8。 0067 (7) 不断的重复步骤 (6)， 直至 (Pe(),e(),e() 波动现象消失或 说 明 书 CN 103424839 A 8 7/7 页 9 者波动幅值小于限定值， 则可以认为双波片复合波片已经对准完毕。 0068 上文在叙述具体的操作步骤时仅以由两片单波片组成的复合波片为例。如果复 合波片由多片单波片组成， 则。
33、将其中两个单波片按照上述步骤 (1)-(7) 进行对准， 然后将 其粘合固定。接下来将粘合固定好的波片当做一个单波片与下一个单波片继续按步骤 (1)-(7) 对准， 直至所有的单波片都按照设计顺序对准完毕， 则可认为复合波片对准完成。 0069 本发明不仅局限于上述具体实施方式， 本领域一般技术人员根据本发明公开的内 容， 可以采用其它多种具体实施方式实施本发明， 如换用其他能够测量波片光谱信息的设 备或者换用其他能够使两个波片产生相对转动的装置， 因此， 凡是采用本发明的设计方法 原理和思路， 做一些简单的变化或更改的设计， 都落入本发明保护的范围。 说 明 书 CN 103424839 A 9 1/5 页 10 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 103424839 A 10 2/5 页 11 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 103424839 A 11 3/5 页 12 图 5 说 明 书 附 图 CN 103424839 A 12 4/5 页 13 图 6 说 明 书 附 图 CN 103424839 A 13 5/5 页 14 图 7 图 8 说 明 书 附 图 CN 103424839 A 14 。