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1、10申请公布号CN101934559A43申请公布日20110105CN101934559ACN101934559A21申请号201010251675522申请日20100812B28D7/0020060171申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址065201河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号72发明人种宝春靳永吉张为强74专利代理机构石家庄新世纪专利商标事务所有限公司13100代理人张贰群54发明名称具有压力调节机构的砂浆供给装置57摘要本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。包括电机、。
2、泵，其主要特征在于其泵体的出口通过连管和浆罐联通，浆罐上设有浆出口，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。其泵体具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时可达到大大提高送浆的连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图2页CN101934559A1/1页21一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机27、。
3、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构泵体的出口通过连管33和罐体31连通，罐体31上设有砂浆出口37，罐体31上具有机械式压力自动调节结构。2根据权利要求1所述的具有压力补偿结构的砂浆供给装置，其特征在于所述的机械式压力自动调节结构为罐体31上口外沿安装紧固有弹性隔膜30，弹性隔膜30的上方设有保护弹性隔膜30的盖式压套22，盖式压套22套在罐体31上，盖式压套22和弹簧复位及调整机构相连。3根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的盖式压套22具有向内凸的球冠面35。4根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的盖式压套22具有轴向滑。
4、动时避开浆出口的长条孔20。5根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的弹簧复位及调整机构的结构为盖式压套22上具有至少和3个固定在罐体31连接板32上的导柱23滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套22下部的导孔板上，导柱23上在导孔板和导柱23上的限位固定板25之间设有压力弹簧24。6根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的罐体31为圆筒状，底部为倒圆台状，连管33和倒圆台的顶部联通。7根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的泵体具有内腔为圆柱形的泵桶10，内腔为圆柱形的泵桶10中设有具有螺旋槽。
5、绞龙式结构的转轮11。8根据权利要7所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11内安装有矩形方块13，矩形方块13内设有与转轴12配合连接的方形孔，转轴12设有矩形方块13及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11的限位结构。9根据权利要求7所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的泵体的固定座2内安装有用于定位固定转轴12的轴承17，轴承17分别由压盖5、轴承垫圈7、8固定；内腔为圆柱形的泵桶10与固定座2焊接。权利要求书CN101934559A1/3页3具有压力调节机构的砂浆供给装置技术领域0001本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由。
6、晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。背景技术0002由于多线锯切割机加工半导体晶棒或晶锭切割成晶片，具有加工效率较高，成品率较高的特点，所以得到了广泛使用。然而，砂浆流量的不均匀性逐渐暴露出来，砂浆流量的不均匀性影响着成品率的进一步提高。造成流量的不均匀的主要原因有砂浆泵的转轮提升砂浆过程中有波动性和压力的变化。随着半导体晶棒或晶锭尺寸的增大，材料本身价值的不断提高，通过提高或保证加工成品率来降低加工成本，减少经济损失，已成为一个急待解决的问题。发明内容0003本发明的目的是提供一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，用该装置可以将多线切割机切割使用。
7、的砂浆供送时提高连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。0004本发明装置的主要技术方案是一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构泵体的出口通过连管和罐体连通，罐体上设有砂浆出口，罐体上具有机械式压力自动调节结构。0005所述的机械式压力自动调节结构可为罐体上口外沿安装紧固有弹性隔膜，弹性隔膜的上方设有保护弹性隔膜的盖式压套，盖式压套套在罐体上，盖式压套和弹簧复位及调整机构相连。其密封性很好，工作非常稳定、可靠。0。
8、006所述的机械式压力自动调节结构也可活塞式结构等，活塞杆和盖式压套绞联。0007所述的盖式压套具有向内凸的球冠面较佳，更有利于提高弹性隔膜的耐用性和寿命和保证其正常工作。具有其他形状的面也可，但不及向内凸的球冠面为好。0008所述的盖式压套可具有轴向滑动时避开浆出口的长条孔。0009所述的弹簧复位及调整机构的结构可以为盖式压套上具有至少3个与固定在罐体连接板上的导柱滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套下部的导孔板上，导柱上在导孔板和导柱上的限位固定板之间设有压力弹簧。0010所述的弹簧复位及调整机构的结构也可以用拉力弹簧式结构等。0011所述的罐体为圆筒状较好，底部为倒圆台状，连管和倒圆台的顶部。
9、联通。其体积紧凑、浆流更顺畅。0012所述的泵体最好具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。0013所述的具有螺旋槽绞龙式结构的转轮内安装最好具有有矩形方块，矩形方块内设说明书CN101934559A2/3页4有与转轴配合连接的方形孔，转轴设有矩形方块及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮的限位结构。0014所述的泵体的固定座内安装有用于定位固定转轴的轴承，轴承分别由压盖、轴承垫圈固定；内腔为圆柱形的泵桶与固定座焊接。0015本发明的积极效果是本发明解决了现有技术中一直存在的人们想解决而又一直未能解决的问题；利用该装置，可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时提高连续性、。
10、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率。本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升，也可应用于其他需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。0016本发明专利将螺旋槽结构应用到砂浆泵提升砂浆的转轮上，使砂浆在提升过程中具有连续性，减小波动性，同时增加了具有随着压力变化而体积能够膨胀和收缩的装置来吸收压力的波动，使压力均匀，保证流量均匀。0017以下结合一个较好的实施例及其附图作详述，但本实施例不能作为对本发明的限定。附图说明0018图1为本发明一个较好的实施例的结构示意图。0019图2为图1的俯视图。0020图3为图2中的AA旋转剖视图。0021图4为图1中具有螺旋槽绞龙。
11、式结构的转轮11的立体结构示意图。0022图5为图4中转轮11的BB剖面图。0023图6为图1中矩形方块13的剖面图。0024图中标号说明1机架板，2固定座，3螺栓，4联轴器，5压盖，6轴承座，7、8轴承垫圈，9螺钉，10内腔为圆柱形的泵桶，11具有螺旋槽绞龙式结构的转轮，12转轴，13矩形方块，14螺母，15腔体，16连接嘴，17轴承，18螺钉，19锁母，20长条孔，21螺母，22盖式压套，23导柱，24压力弹簧，25限位固定板，26螺钉，27电机，28螺钉，29环形压套，30弹性隔膜，31罐体，32连接板，33连管，34螺旋槽，35向内凸的球冠面，36螺栓，37砂浆出口。具体实施方式002。
12、5参见图1图5，该具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机27、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构泵体的出口通过连管33和罐体31连通，罐体31上设有砂浆出口37，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。机械式压力自动调节结构为罐体31上口外沿安装紧固有弹性隔膜30，弹性隔膜30的上方设有保护弹性隔膜30的盖式压套22，盖式压套22套在罐体31上，盖式压套22和弹簧复位及调整机构相连。盖式压套22具有向内凸的球冠面35。弹簧复位及调整机构的结构为盖式压套22上具有至少和3个固定在罐体31连接板32上的导柱23滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套22下部的导孔板上，导柱23上在导孔板和导柱23上。
13、的限位固定板25之间设有压力弹簧24。罐体31为圆筒状，底部为倒圆台状，连管33和倒圆台的顶部联通。盖式压套22具有轴向滑动时避开浆出口的长条孔20。所述的泵体具有内腔为圆柱形的泵桶10，内腔为圆柱形的泵桶10中设说明书CN101934559A3/3页5有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11。具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11内安装有矩形方块13，矩形方块13内设有与转轴12配合连接的方形孔，转轴12设有矩形方块13及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11的限位结构。泵体的固定座2内安装有用于定位固定转轴12的轴承17，轴承17分别由压盖5、轴承垫圈7、8固定；内腔为圆柱形的泵桶10与固定座2焊接。0026其他。
14、结构说明如下机架板1通过螺钉紧固安装电机27，电机27安装联轴器4与转轴12连接，机架板1经螺栓3紧固连接固定座2，固定座2内经螺钉9紧固连接轴承座6，轴承座6内安装了轴承17和轴承垫圈7和轴承垫圈8并经压盖5和螺钉18固定连接。转轴12经锁母19与轴承17紧固连接，内腔为圆柱形的泵桶10与固定座2焊接，转轮11内紧密安装矩形块13，转轴12经螺母14将转轮11和矩形块13安装成一体，转轮11被内腔为圆柱形的泵桶10包含，并形成腔体15，连接嘴16与内腔为圆柱形的泵桶10连接并与腔体15相通，连管33与连接嘴16和锥形罐体31连接，锥形罐体31经螺栓36和螺母21与机架板1紧固连接，导柱23与。
15、螺栓36连接，限位固定板25经螺钉26与导柱23紧固连接，压簧24套在导柱23上，由固定板25定位。盖式压套22有孔安装在导柱23由压簧24下端面推压。由环形压套29及螺钉26将弹性隔膜30紧固压装于锥形罐体31上端面。盖式压套22在压簧24及自重作用下，压在弹性隔膜30上，弹性隔膜30经环形压套28紧固连接在锥形罐体31上，当罐体内的流体压力大时，弹性隔膜30受到压力作用，可变形膨胀，推动盖式压套22向上移动，压簧24受到盖式压套22的作用力而收缩存储能量，当腔体内的压力降低时，压簧24释放能量，推压盖式压套22补充锥形罐体31内流体的压力。0027附图中显示的具有特定代表性实施例描述本发明的结构。本发明的结构和方法能够有效的将高粘度、高密度的流体如多线切割机切割使用的砂浆进行提升并且保持连续性、降低波动性，同时保证压力的一致性。本发明的具有压力补偿结构的砂浆供给装置及其使用方法能够应用到半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升同时也可应用到其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业。0028以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。说明书CN101934559A1/2页6图1图2说明书附图CN101934559A2/2页7图3图4图5图6说明书附图。