对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法.pdf

摘要
申请专利号：	CN201410266771.5	申请日：	2014.06.16
公开号：	CN104120382A	公开日：	2014.10.29
当前法律状态：	驳回	有效性：	无权
法律详情：	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C 14/12申请公布日:20141029\|\|\|实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/12申请日:20140616\|\|\|公开
IPC分类号：	C23C14/12	主分类号：	C23C14/12
申请人：	杭州江南电机有限公司
发明人：	韩潮军
地址：	311201 浙江省杭州市萧山区衙前镇四翔村
优先权：
专利代理机构：	杭州杭诚专利事务所有限公司 33109	代理人：	俞润体;沈相权
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内容摘要

本发明涉及一种涂覆方法，尤其涉及一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，用于电机的定子铁芯。按以下步骤进行：对二甲苯热汽化→对二甲苯裂解→沉积聚合成薄膜→薄膜涂覆→检测。一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，提高生产效率，提升产品质量。

权利要求书

1.  一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，其特征在于按以下步骤进行：
（1）、对二甲苯热汽化：
在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为120-150℃的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；
（2）、对二甲苯裂解：
在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650℃的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；
  （3）、沉积聚合成薄膜：
在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；
（4）、薄膜涂覆：
  采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC 220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705×680Hmm，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/min,油式1000 L/min，冷却水需求为流量3-7L/min，压力为2-4kg/cm??，温度为18-30℃，氮气N2需求：压力为0.5-1kg/cm??,稀释流量0-60 L/min，密封流量为0-20 L/min，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度5×10ˉ??Torr，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0.001mm-0.05mm，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；
（5）、检测：
  扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为0.1%-0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2%。

说明书

对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法
技术领域
   本发明涉及一种涂覆方法，尤其涉及一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，用于电机的定子铁芯。
背景技术
  目前现有技术中，一般采用浸绝缘漆的方式来处理电机定子铁芯以防止电机定子的锈蚀，此种方法容易产生绝缘漆厚度不均，容易产生死角，切口位置容易锈蚀，不能很好地保证电机定子铁芯的防锈蚀能力，特别对于卫生间用的浴霸，换气扇类的产品所用电机，对防潮能力和防锈蚀能力有比较高的要求。
发明内容
   本发明主要是解决现有技术中存在的不足，提供一种提高定子品质，操作简便的对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法。
   本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行：
（1）、对二甲苯热汽化：
在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为120-150℃的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；
（2）、对二甲苯裂解：
在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650℃的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；
  （3）、沉积聚合成薄膜：
在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；
（4）、薄膜涂覆：
  采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC 220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705×680Hmm，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/min,油式1000 L/min，冷却水需求为流量3-7L/min，压力为2-4kg/cm??，温度为18-30℃，氮气N2需求：压力为0.5-1kg/cm??,稀释流量0-60 L/min，密封流量为0-20 L/min，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度5×10ˉ??Torr，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0.001mm-0.05mm，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；
（5）、检测：
  扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为0.1%-0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2%。
  优点：
1.     具有极高的绝缘强度。
2.     极高的体积电阻率和表面电阻率。
3.     绝缘性能不会受环境温，湿度的影响。
4.     介电常数和介电损耗均非常低且不受潮气的影响。
   因此，本发明的对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，提高生产效率，提升产品质量。
具体实施方式
下面通过实施例，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1：一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行：
（1）、对二甲苯热汽化：
在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为120℃的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；
（2）、对二甲苯裂解：
在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650℃的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；
  （3）、沉积聚合成薄膜：
在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；
（4）、薄膜涂覆：
  采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC 220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705×680Hmm，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/min,油式1000 L/min，冷却水需求为流量3-7L/min，压力为2-4kg/cm??，温度为18-30℃，氮气N2需求：压力为0.5kg/cm??,稀释流量0 L/min，密封流量为0 L/min，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度5×10ˉ??Torr，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0.001mm，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；
（5）、检测：
  扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为0.1%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2%。

实施例2：一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行：
（1）、对二甲苯热汽化：
在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为140℃的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；
（2）、对二甲苯裂解：
在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650℃的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；
  （3）、沉积聚合成薄膜：
在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；
（4）、薄膜涂覆：
  采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC 220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705×680Hmm，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/min,油式1000 L/min，冷却水需求为流量3-7L/min，压力为2-4kg/cm??，温度为18-30℃，氮气N2需求：压力为0.8kg/cm??,稀释流量30 L/min，密封流量为10 L/min，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度5×10ˉ??Torr，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0.03mm，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；
（5）、检测：
  扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为0.3%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2%。
实施例3：一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行：
（1）、对二甲苯热汽化：
在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为150℃的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；
（2）、对二甲苯裂解：
在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650℃的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；
  （3）、沉积聚合成薄膜：
在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；
（4）、薄膜涂覆：
  采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC 220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705×680Hmm，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/min,油式1000 L/min，冷却水需求为流量3-7L/min，压力为2-4kg/cm??，温度为18-30℃，氮气N2需求：压力为1kg/cm??,稀释流量60 L/min，密封流量为20 L/min，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度5×10ˉ??Torr，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0.05mm，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；
（5）、检测：
  扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2%。

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1、10申请公布号CN104120382A43申请公布日20141029CN104120382A21申请号201410266771522申请日20140616C23C14/1220060171申请人杭州江南电机有限公司地址311201浙江省杭州市萧山区衙前镇四翔村72发明人韩潮军74专利代理机构杭州杭诚专利事务所有限公司33109代理人俞润体沈相权54发明名称对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法57摘要本发明涉及一种涂覆方法，尤其涉及一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，用于电机的定子铁芯。按以下步骤进行对二甲苯热汽化对二甲苯裂解沉积聚合成薄膜薄膜涂覆检测。一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄。

2、膜涂覆方法，提高生产效率，提升产品质量。51INTCL权利要求书1页说明书4页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书4页10申请公布号CN104120382ACN104120382A1/1页21一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，其特征在于按以下步骤进行（1）、对二甲苯热汽化在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为120150的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；（2）、对二甲苯裂解在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；（3）、沉积聚合成薄膜在设备的沉积室内，气态活性单体在室。

3、温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；（4）、薄膜涂覆采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705680HMM，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/MIN,油式1000L/MIN，冷却水需求为流量37L/MIN，压力为24KG/CM，温度为1830，氮气N2需求压力为051KG/CM,稀释流量060L/MIN，密封流量为020L/MIN，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度510TORR，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐。

4、的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0001MM005MM，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；（5）、检测扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内BEU的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为0105，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2。权利要求书CN104120382A1/4页3对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法技术领域0001本发明涉及一种涂覆方。

5、法，尤其涉及一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，用于电机的定子铁芯。背景技术0002目前现有技术中，一般采用浸绝缘漆的方式来处理电机定子铁芯以防止电机定子的锈蚀，此种方法容易产生绝缘漆厚度不均，容易产生死角，切口位置容易锈蚀，不能很好地保证电机定子铁芯的防锈蚀能力，特别对于卫生间用的浴霸，换气扇类的产品所用电机，对防潮能力和防锈蚀能力有比较高的要求。0003发明内容本发明主要是解决现有技术中存在的不足，提供一种提高定子品质，操作简便的对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法。0004本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤。

6、进行（1）、对二甲苯热汽化在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为120150的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；（2）、对二甲苯裂解在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；（3）、沉积聚合成薄膜在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；（4）、薄膜涂覆采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705680HMM，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/MIN,油式1000L/MIN，冷却。

7、水需求为流量37L/MIN，压力为24KG/CM，温度为1830，氮气N2需求压力为051KG/CM,稀释流量060L/MIN，密封流量为020L/MIN，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度510TORR，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0001MM005MM，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；（5）、检测扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内BEU的所有。

8、元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为说明书CN104120382A2/4页40105，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2。0005优点1具有极高的绝缘强度。00062极高的体积电阻率和表面电阻率。00073绝缘性能不会受环境温，湿度的影响。00084介电常数和介电损耗均非常低且不受潮气的影响。0009因此，本发明的对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，提高生产效率，提升产品质量。具体实施方式0010下面通过实施例，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。0011实施例1一种对电机定子。

9、铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行（1）、对二甲苯热汽化在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为120的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；（2）、对二甲苯裂解在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；（3）、沉积聚合成薄膜在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；（4）、薄膜涂覆采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705680HMM，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/M。

10、IN,油式1000L/MIN，冷却水需求为流量37L/MIN，压力为24KG/CM，温度为1830，氮气N2需求压力为05KG/CM,稀释流量0L/MIN，密封流量为0L/MIN，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度510TORR，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为0001MM，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；（5）、检测扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区。

11、内BEU的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为01，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2。0012实施例2一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行（1）、对二甲苯热汽化在设备材料室一区内的真空条件下，在温度为140的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；说明书CN104120382A3/4页5（2）、对二甲苯裂解在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；（3）、沉积聚合成薄膜在设备的沉积室。

12、内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；（4）、薄膜涂覆采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705680HMM，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/MIN,油式1000L/MIN，冷却水需求为流量37L/MIN，压力为24KG/CM，温度为1830，氮气N2需求压力为08KG/CM,稀释流量30L/MIN，密封流量为10L/MIN，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度510TORR，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生。

13、死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为003MM，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；（5）、检测扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内BEU的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为03，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2。0013实施例3一种对电机定子铁芯表面进行纳米薄膜涂覆方法，按以下步骤进行（1）、对二甲苯热汽化在设备材料室一区内的真空。

14、条件下，在温度为150的环境中，将固态粉末状的对二甲苯的二聚物加热汽化；（2）、对二甲苯裂解在设备的材料室二区内真空环境下，在温度为650的环境下，气化状的对二甲苯的二聚物，裂解为对二甲苯的活性单体；（3）、沉积聚合成薄膜在设备的沉积室内，气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜；（4）、薄膜涂覆采用K750气相沉积系统设备，该设备采用三相/AC220V/30A的电力，使用数位LED真空机显示终极及工作真空度，沉降室容积705680HMM，高温降解炉的功率为2000W，排气速度为干式1600L/MIN,油式1000L/MIN，冷却水需求为流量37L/MIN，压力为24KG/CM，温度为。

15、1830，氮气N2需求压力为1KG/CM,稀释流量60L/MIN，密封流量为20L/MIN，对二甲苯以活性分子在真空的条件下，真空度510TORR，以气相沉积的方式于电机定子表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装在任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角，缝隙内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的披覆在产品的任何部位，薄膜厚度为005MM，厚度均匀，致密无针孔，透明无应力，不含助剂，不损工件，有优异的电绝缘性和防护性；说明书CN104120382A4/4页6（5）、检测扫描电子显微镜能得到高质量的图像和分析结果；能谱仪能快速、同时对各种试样的微区内BEU的所有元素，元素定性、定量分析，即可完成，对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果，能谱所需探针电流小，检测限为05，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差为2。说明书CN104120382A。

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