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本发明提供了一种氯甲酸甲酯的尾气处理工艺,氯甲酸甲酯的合成:先在反应塔中加入甲醇,然后甲醇从酯化塔底部一侧进入酯化塔,而光气从另一侧进入酯化塔,保持光气对甲醇的摩尔比为(1.051.1)1,后用氮气进行赶尾气;一次捕集:将尾气通过管道送入到捕集塔内,且尾气从捕集塔的一侧底端进入,然后从捕集塔的顶端输出;二次捕集:将一次捕集后的尾气再通入到捕集釜内,且尾气从捕集釜的一侧底端进入,通入尾气破坏系统。本。