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1、(10)申请公布号 CN 102258933 A (43)申请公布日 2011.11.30 CN 102258933 A *CN102258933A* (21)申请号 201110132142.X (22)申请日 2011.05.21 B01D 53/74(2006.01) C01B 6/06(2006.01) (71)申请人 南京中锗科技股份有限公司 地址 211165 江苏省南京市江宁开发区将军 大道 718 号 (72)发明人 赵立奎 柯尊斌 黄兴灯 (74)专利代理机构 南京知识律师事务所 32207 代理人 张苏沛 (54) 发明名称 一种锗烷生产系统尾气的处理方法 (57) 摘要 。
2、本发明针对锗烷生产系统尾气成分为氢气和 微量锗烷的特点， 提供了一种尾气处理方法， 将 锗烷生产系统的尾气经由进气口 （1） 流入分解室 （2） 、 收集室 （3） 和液封瓶 （4） 组成的尾气处理装 置， 最后由出气口 （5） 连接排放系统排放。尾气流 过已预加热的分解室时， 所含锗烷受热分解形成 金属锗粉， 分解形成的超细锗金属粉被气流带入 收集室收集， 经处理的尾气最后通过装有液体介 质的液封瓶吸收掉微量锗粉后排放， 实现尾气达 标排放和锗的回收。本方法成本低， 工艺简单， 去 除锗烷的效率高， 易于实现工业化。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明。
3、专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 CN 102258944 A1/1 页 2 1. 一种锗烷生产系统尾气的处理方法， 其特征在于 ： 将锗烷生产系统的尾气依次流经 一套尾气处理装置的分解室、 收集室和液封瓶实现尾气处理和锗回收过程 ； 分解室预加热， 尾气流过分解室， 其中的锗烷受热分解形成锗金属粉 ； 尾气流经收集室， 随气流流入收集室 的锗金属粉被收集 ； 尾气通过液封瓶时， 未收集完全的微量锗金属粉被液体介质进一步吸 收。 2. 如权利要求 1 所述的一种锗烷生产系统尾气的处理方法， 其特征在于 ： 所述分解室 预加热的温度范围在 280 450。 3. 如权利。
4、要求 1 所述的一种锗烷生产系统尾气的处理方法， 其特征在于 ： 所述液体介 质为浓硫酸。 权 利 要 求 书 CN 102258933 A CN 102258944 A1/2 页 3 一种锗烷生产系统尾气的处理方法 技术领域 0001 本发明涉及一种锗烷生产系统尾气的处理方法， 具体涉及一种将锗烷生产系统的 尾气加热， 使其中所含微量锗烷受热分解， 然后收集分解形成的金属锗粉， 实现尾气达标排 放和锗回收的方法。 背景技术 0002 高纯锗烷是一种重要的半导体工业用原料气体， 已逐步应用于金属有机化合物气 相外延 （MOVPE） ， 用于制备含锗半导体材料或器件， 如锗硅薄膜太阳能电池。 0。
5、003 锗烷的制造方法有以下几类 ： 锗合金与酸或氨水解法 ； 二氧化锗的碱性溶液电解 法 ； 锗盐或锗的氧化物的还原法。 0004 上述方法生产锗烷均会产生副产物氢气， 因此锗烷生产系统尾气主要成分为氢 气， 通常含有微量锗烷。按环保规定， 氢气可导入高空直接排放。锗烷生产系统尾气需除去 微量锗烷气体后， 才能符合排放要求。锗为稀散金属， 价格昂贵， 尾气中锗的回收非常有必 要。 因此需要对锗烷生产系统尾气中的锗烷作回收处理， 确保尾气达标排放的同时， 又能实 现锗的回收， 减少浪费。 发明内容 0005 针对现有技术中存在的问题， 本发明的目的是提供一种锗烷生产系统尾气的处理 方法， 所述。
6、方法是将锗烷生产系统的尾气加热， 使其中所含微量锗烷受热分解， 然后收集分 解形成的锗金属粉， 实现尾气达标排放和锗的回收。 0006 本发明所述方法通过以下技术方案来实现 ： 一种锗烷生产系统尾气的处理方法， 将锗烷生产系统的尾气依次流经一套尾气处理装置的分解室、 收集室和液封瓶实现尾气处 理和锗回收过程 ； 分解室预加热， 尾气流过分解室， 其中的锗烷受热分解形成锗金属粉 ； 尾 气流经收集室， 随气流流入收集室的锗金属粉被收集 ； 尾气通过液封瓶， 未收集完全的微量 锗金属粉被液体介质进一步吸收。 0007 所述分解室预加热的温度范围在 280 450 ； 所述液体介质为浓硫酸。 000。
7、8 本发明具有的有益效果是 ： 本发明利用锗烷受热易分解成锗和氢气的性质， 将锗 烷生产系统尾气加热使其中的微量锗烷分解实现去除锗烷的目的， 同时设置收尘室和液封 瓶收集锗烷分解形成的金属锗粉， 实现尾气达标排放和锗的回收。本方法成本低， 工艺简 单， 去除锗烷的效率高， 易于实现工业化。 附图说明 0009 图 1 是锗烷生产系统尾气处理装置示意图。 0010 图中 ： 1- 进气口， 2- 分解室， 3- 收集室， 4- 液封瓶， 5- 出气口。 说 明 书 CN 102258933 A CN 102258944 A2/2 页 4 具体实施方式 0011 以下结合附图和具体实施例对本发明创。
8、造作进一步详细阐述。 0012 将锗烷生产系统的尾气经由进气口1流入分解室2、 收集室3和液封瓶4组成的尾 气处理装置， 最后由出气口 5 连接排放系统排放。尾气流过已预加热的分解室 2 时， 所含锗 烷受热分解形成金属锗粉， 分解形成的超细锗金属粉被气流带入收集室 3 收集， 经处理的 尾气最后通过装有液体介质的液封瓶 4 吸收掉微量锗粉后排放。 0013 实施例 1 ： 锗烷生产系统尾气中锗烷含量 31ppm， 分解室预加热并控制温度在 280， 将尾气以 5L/min 流量经由进气口通入尾气处理装置， 流经分解室、 收集室和液封瓶后从出气口排放。 检测出气口所排气体成分， 其中含锗烷 2。
9、0ppb， 含粉尘 0.003mg/m3。 0014 实施例 2 ： 将实施例 1 中分解室温度控制在 360， 其它处理条件相同， 检测出气口所排气体成 分， 其中含锗烷 12ppb， 含粉尘 0.005mg/m3。 0015 实施例 3 ： 将实施例 1 中分解室温度控制在 450， 其它处理条件相同， 检测出气口所排气体成 分， 其中含锗烷 9ppb， 含粉尘 0.006mg/m3。 0016 虽然本发明创造已以较佳实施例公开如上， 但实施例和附图并不是用来限定本发 明创造， 任何熟悉此技艺者， 在不脱离本发明创造之精神和范围内， 自当可作各种变化或润 饰， 但同样在本发明创造的保护范围之内。因此本发明创造的保护范围应当以本申请的权 利要求所界定的为准。 说 明 书 CN 102258933 A CN 102258944 A1/1 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 102258933 A 。