集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统 技术领域 本发明涉及一种集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统， 尤其涉及用在对含有大量 粉尘的气体抽真空的工艺过程中的集尘箱和抽真空系统。
背景技术 在 CVD( 化学气相沉积 )、 溅射、 化工反应等的工艺过程中， 会在工艺腔室中产生大 量的粉尘， 如果要对这些腔室抽真空则会将粉尘一起抽出， 若这些粉尘沉积在真空泵中则 会引发真空不良、 跳泵等问题。为解决此问题， 可在真空泵和工艺腔室间设置集尘箱， 现有 的集尘箱如图 1 所示， 包括由箱盖 11 和箱本体 12 组成的箱体 1， 箱盖 11 和箱本体 12 间通 过密封圈 13 密封， 箱体 1 内有圆柱形腔室 2， 箱体 1 底部中心连接出气管 3， 出气管 3 竖直 向上伸入腔室 2 内部并具有高于腔室 2 底面的开口 31 ； 箱体 1 侧壁上有开口 41， 开口 41 连 接进气管 4， 开口 41 的位置高于开口 31。抽真空时， 携带粉尘的气体从进气管 4 进入腔室 2， 由于旋风原理气体中的粉尘逐渐落在腔室 2 底部， 而气体则从出气管 3 进入真空泵。
发明人发现现有技术中至少存在如下问题 ： 现有的集尘箱进气管位置不合理， 不 能充分利用旋风原理， 除尘效果差。
发明内容 本发明的实施例提供一种集尘箱， 其除尘效果好。
为达到上述目的， 本发明的实施例采用如下技术方案 ：
一种集尘箱， 包括 ：
箱体， 其内部具有腔室 ；
出气管， 伸入所述腔室内， 具有第一开口和第二开口， 所述第一开口位于所述腔室 内， 所述第二开口位于所述腔室外 ；
进气管， 伸入所述腔室内， 具有第三开口和第四开口， 所述第三开口位于所述腔室 内且朝向所述腔室的侧壁， 所述第四开口位于所述腔室外。
由于本发明的实施例的集尘箱的进气管伸入腔室中， 可充分利用旋风原理， 故除 尘效果好。
本发明的实施例提供一种抽真空系统， 其除尘效果好。
为达到上述目的， 本发明的实施例采用如下技术方案 ：
一种抽真空系统， 包括真空泵和上述集尘箱， 所述集尘箱的出气管的第二开口连 接所述真空泵。
由于本发明的实施例的抽真空系统中具有上述集尘箱， 故其除尘效果好。
附图说明 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本
发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以 根据这些附图获得其它的附图。
图 1 为现有集尘箱的结构示意图 ；
图 2 为本发明实施例一的集尘箱的结构示意图 ；
图 3 为本发明实施例一的集尘箱的箱盖的仰视结构示意图 ；
图 4 为本发明实施例的另一种集尘箱的结构示意图 ；
图 5 为本发明实施例的另一种集尘箱的结构示意图 ；
图 6 为本发明实施例二的抽真空系统的组成示意图。 具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例的技术方案进行清楚、 完整 地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其 它实施例， 都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种集尘箱， 包括 ： 箱体， 其内部具有腔室 ；
出气管， 伸入所述腔室内， 具有第一开口和第二开口， 所述第一开口位于所述腔室 内， 所述第二开口位于所述腔室外 ；
进气管， 伸入所述腔室内， 具有第三开口和第四开口， 所述第三开口位于所述腔室 内且朝向所述腔室的侧壁， 所述第四开口位于所述腔室外。
由于本发明的实施例的集尘箱的进气管伸入腔室中， 可充分利用旋风原理， 故除 尘效果好。
实施例一
本发明实施例提供一种集尘箱， 如图 2 所示， 其包括箱体 1， 箱体 1 由不锈钢材料制 造 ( 这样有利于减轻其重量和保证真空度 )， 且内部具有圆柱形的腔室 2。该箱体 1 由箱盖 11 和箱本体 12 组成， 箱盖 11 和箱本体 12 可通过任意连接结构相连， 且二者相接处设有密 封圈 13， 这种分体结构的箱体 1 可在使用一段时间后打开以清理沉积的粉尘。在箱体 1 的 侧壁上还可设有真空检测口 14， 用于在抽真空时检测腔室 2 的真空度。
出气管 3 从箱本体 12 底部中心竖直向上伸入腔室 2 中， 出气管 3 位于腔室 2 内的 一端具有第一开口 31， 位于腔室 2 外的一端有第二开口 32。
进气管 4 具有位于腔室 2 内的第三开口 41 和位于腔室 2 外的第四开口 42， 该进 气管 4 从箱盖 11 的中心竖直向下进入腔室 2， 之后弯折， 进气管 4 末端部分的轴线 43 平行 于腔室 2 的底面 ( 即进气管 4 末端部分水平 )。第三开口 41 位于进气管 4 的水平末端且 朝向腔室 2 的侧壁， 其位置高于第一开口 31( 如高出 13.6mm)。如图 3 所示， 该第三开口 41 为斜口， 其所在的平面垂直于腔室 1 的底面且与进气管 4 末端的轴线 43 呈夹角 a， 该夹角 a 在 30 ～ 60 度， 优选为 45 度。
在第二开口 32、 第四开口 42、 真空检测口 14 处均可设有法兰等连接结构， 以用于 将集尘箱与真空泵、 待抽真空的腔室、 真空检测设备等相连接。抽真空时， 气体从第二开口 42 进入进气管 4 后从第一开口 41 流入腔室 2， 由于旋风原理其中的粉尘落在腔室 2 底部，
而经除尘后的气体则通过第三开口 31 进入出气管 3， 再通过第四开口 32 进入真空泵。
显然， 如图 4、 5 所示， 上述实施例的集尘箱还可进行许多本领域技术人员公知的 变化 ； 例如， 箱体 1 可为整体结构 ； 腔室 2 可为立方体、 圆台形等不同的形状 ； 出气管 3 和进 气管 4 可从不同的位置伸入腔室 2 中， 且它们的形状、 长度、 尺寸等均可变化 ； 第一开口 31 和第三开口 41 的位置、 朝向、 尺寸、 形状等也可变化 ( 例如第一开口 31 可低于第三开口 41， 这样会稍微影响抽气效果， 但除尘效果更好 )。总之， 不论上述实施例的集尘箱结构如何变 化， 只要其中出气管 3 的第一开口 31 和进气管 4 的第三开口 41 均位于腔室 2 内， 且第三开 口 41 朝向腔室 2 侧壁， 即属于本发明的保护范围。
实施例二
本发明实施例提供一种抽真空系统， 如图 6 所示， 其包括真空泵 5 和上述实施例一 的集尘箱 ； 该集尘箱的出气管 3 的第二开口 32 连接所述真空泵 5。
可选的， 该集尘箱的进气管 4 的第四开口 42 连接待抽真空的腔室 6( 该腔室包括 但不限于 CVD 腔室、 溅射腔室、 化工反应腔室等 )， 而真空泵 5 的排气口则连接尾气处理系统 7。
由于本发明的实施例的抽真空系统中具有上述集尘箱， 故其除尘效果好。
以上所述， 仅为本发明的具体实施方式， 但本发明的保护范围并不局限于此， 任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内， 可轻易想到的变化或替换， 都应 涵盖在本发明的保护范围之内。因此， 本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为 准。