集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统.pdf

1、10申请公布号CN102335534A43申请公布日20120201CN102335534ACN102335534A21申请号201010231019922申请日20100714B01D45/1620060171申请人北大方正集团有限公司地址100871北京市海淀区成府路298号方正大厦5层申请人深圳方正微电子有限公司72发明人卢青徐锋胡海波熊炳辉崔晓娟朱厚华74专利代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司11274代理人申健54发明名称集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统57摘要本发明提供一种集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统，属于真空技术领域，其可解决现有的集尘箱除尘效果不好的问题。本发明的集尘

2、箱包括内有腔室的箱体；具有第一开口和第二开口的伸入腔室内的出气管，该第一开口位于腔室内，第二开口位于腔室外；具有第三开口和第四开口的伸入腔室内的进气管，该第三开口位于腔室内且朝向腔室侧壁，第四开口位于腔室外。本发明的抽真空系统包括上述集尘箱，所述集尘箱的出气管的第二开口连接真空泵。本发明可用在对含有大量粉尘的气体抽真空的工艺过程中。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图4页CN102335543A1/1页21一种集尘箱，包括箱体，其内部具有腔室；出气管，伸入所述腔室内，具有第一开口和第二开口，所述第一开口位于所述腔室内，所述第二开口位于所述腔

3、室外；其特征在于，所述集尘箱还包括进气管，伸入所述腔室内，具有第三开口和第四开口，所述第三开口位于所述腔室内且朝向所述腔室的侧壁，所述第四开口位于所述腔室外。2根据权利要求1所述的集尘箱，其特征在于，所述第三开口所在的平面与所述腔室的底面垂直。3根据权利要求2所述的集尘箱，其特征在于，所述进气管末端部分的轴线与所述腔室的底面平行，所述第三开口所在的平面与所述进气管末端部分的轴线的夹角A大于等于30度且小于等于60度。4根据权利要求3所述的集尘箱，其特征在于，所述夹角A为45度。5根据权利要求1所述的集尘箱，其特征在于，所述第三开口的位置高于所述第一开口的位置。6根据权利要求1所述的集尘箱，其特

4、征在于，所述腔室为圆柱形腔室。7根据权利要求1至6中任意一项所述的集尘箱，其特征在于，所述箱体由不锈钢材料制造。8根据权利要求1至6中任意一项所述的集尘箱，其特征在于，所述箱体上具有真空检测口。9根据权利要求1至6中任意一项所述的集尘箱，其特征在于，所述箱体由箱盖和箱本体组成，所述箱盖和箱本体间设有密封件。10一种抽真空系统，包括真空泵，其特征在于，还包括权利要求1至9中任意一项所述的集尘箱，所述集尘箱的出气管的第二开口连接所述真空泵。权利要求书CN102335534ACN102335543A1/3页3集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统技术领域0001本发明涉及一种集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系

5、统，尤其涉及用在对含有大量粉尘的气体抽真空的工艺过程中的集尘箱和抽真空系统。背景技术0002在CVD化学气相沉积、溅射、化工反应等的工艺过程中，会在工艺腔室中产生大量的粉尘，如果要对这些腔室抽真空则会将粉尘一起抽出，若这些粉尘沉积在真空泵中则会引发真空不良、跳泵等问题。为解决此问题，可在真空泵和工艺腔室间设置集尘箱，现有的集尘箱如图1所示，包括由箱盖11和箱本体12组成的箱体1，箱盖11和箱本体12间通过密封圈13密封，箱体1内有圆柱形腔室2，箱体1底部中心连接出气管3，出气管3竖直向上伸入腔室2内部并具有高于腔室2底面的开口31；箱体1侧壁上有开口41，开口41连接进气管4，开口41的位置高

6、于开口31。抽真空时，携带粉尘的气体从进气管4进入腔室2，由于旋风原理气体中的粉尘逐渐落在腔室2底部，而气体则从出气管3进入真空泵。0003发明人发现现有技术中至少存在如下问题现有的集尘箱进气管位置不合理，不能充分利用旋风原理，除尘效果差。发明内容0004本发明的实施例提供一种集尘箱，其除尘效果好。0005为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案0006一种集尘箱，包括0007箱体，其内部具有腔室；0008出气管，伸入所述腔室内，具有第一开口和第二开口，所述第一开口位于所述腔室内，所述第二开口位于所述腔室外；0009进气管，伸入所述腔室内，具有第三开口和第四开口，所述第三开口位于所述腔室

7、内且朝向所述腔室的侧壁，所述第四开口位于所述腔室外。0010由于本发明的实施例的集尘箱的进气管伸入腔室中，可充分利用旋风原理，故除尘效果好。0011本发明的实施例提供一种抽真空系统，其除尘效果好。0012为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案0013一种抽真空系统，包括真空泵和上述集尘箱，所述集尘箱的出气管的第二开口连接所述真空泵。0014由于本发明的实施例的抽真空系统中具有上述集尘箱，故其除尘效果好。附图说明0015为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书CN102335

8、534ACN102335543A2/3页4发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。0016图1为现有集尘箱的结构示意图；0017图2为本发明实施例一的集尘箱的结构示意图；0018图3为本发明实施例一的集尘箱的箱盖的仰视结构示意图；0019图4为本发明实施例的另一种集尘箱的结构示意图；0020图5为本发明实施例的另一种集尘箱的结构示意图；0021图6为本发明实施例二的抽真空系统的组成示意图。具体实施方式0022下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实

9、施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。0023本发明实施例提供一种集尘箱，包括0024箱体，其内部具有腔室；0025出气管，伸入所述腔室内，具有第一开口和第二开口，所述第一开口位于所述腔室内，所述第二开口位于所述腔室外；0026进气管，伸入所述腔室内，具有第三开口和第四开口，所述第三开口位于所述腔室内且朝向所述腔室的侧壁，所述第四开口位于所述腔室外。0027由于本发明的实施例的集尘箱的进气管伸入腔室中，可充分利用旋风原理，故除尘效果好。0028实施例一0029本发明实施例提供一种集尘箱，如图

10、2所示，其包括箱体1，箱体1由不锈钢材料制造这样有利于减轻其重量和保证真空度，且内部具有圆柱形的腔室2。该箱体1由箱盖11和箱本体12组成，箱盖11和箱本体12可通过任意连接结构相连，且二者相接处设有密封圈13，这种分体结构的箱体1可在使用一段时间后打开以清理沉积的粉尘。在箱体1的侧壁上还可设有真空检测口14，用于在抽真空时检测腔室2的真空度。0030出气管3从箱本体12底部中心竖直向上伸入腔室2中，出气管3位于腔室2内的一端具有第一开口31，位于腔室2外的一端有第二开口32。0031进气管4具有位于腔室2内的第三开口41和位于腔室2外的第四开口42，该进气管4从箱盖11的中心竖直向下进入腔室

11、2，之后弯折，进气管4末端部分的轴线43平行于腔室2的底面即进气管4末端部分水平。第三开口41位于进气管4的水平末端且朝向腔室2的侧壁，其位置高于第一开口31如高出136MM。如图3所示，该第三开口41为斜口，其所在的平面垂直于腔室1的底面且与进气管4末端的轴线43呈夹角A，该夹角A在3060度，优选为45度。0032在第二开口32、第四开口42、真空检测口14处均可设有法兰等连接结构，以用于将集尘箱与真空泵、待抽真空的腔室、真空检测设备等相连接。抽真空时，气体从第二开口42进入进气管4后从第一开口41流入腔室2，由于旋风原理其中的粉尘落在腔室2底部，说明书CN102335534ACN1023

12、35543A3/3页5而经除尘后的气体则通过第三开口31进入出气管3，再通过第四开口32进入真空泵。0033显然，如图4、5所示，上述实施例的集尘箱还可进行许多本领域技术人员公知的变化；例如，箱体1可为整体结构；腔室2可为立方体、圆台形等不同的形状；出气管3和进气管4可从不同的位置伸入腔室2中，且它们的形状、长度、尺寸等均可变化；第一开口31和第三开口41的位置、朝向、尺寸、形状等也可变化例如第一开口31可低于第三开口41，这样会稍微影响抽气效果，但除尘效果更好。总之，不论上述实施例的集尘箱结构如何变化，只要其中出气管3的第一开口31和进气管4的第三开口41均位于腔室2内，且第三开口41朝向腔

13、室2侧壁，即属于本发明的保护范围。0034实施例二0035本发明实施例提供一种抽真空系统，如图6所示，其包括真空泵5和上述实施例一的集尘箱；该集尘箱的出气管3的第二开口32连接所述真空泵5。0036可选的，该集尘箱的进气管4的第四开口42连接待抽真空的腔室6该腔室包括但不限于CVD腔室、溅射腔室、化工反应腔室等，而真空泵5的排气口则连接尾气处理系统7。0037由于本发明的实施例的抽真空系统中具有上述集尘箱，故其除尘效果好。0038以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。说明书CN102335534ACN102335543A1/4页6图1说明书附图CN102335534ACN102335543A2/4页7图2图3说明书附图CN102335534ACN102335543A3/4页8图4说明书附图CN102335534ACN102335543A4/4页9图5图6说明书附图CN102335534A