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1、10申请公布号CN104128162A43申请公布日20141105CN104128162A21申请号201410312379X22申请日20140702B01J20/20200601B01J20/16200601B01J20/08200601B01D53/04200601C01B7/0720060171申请人浙江巨化股份有限公司地址324004浙江省衢州市柯城区浙江巨化股份有限公司72发明人叶向荣陈刚周黎旸叶素芳74专利代理机构宁波奥圣专利代理事务所普通合伙33226代理人程晓明54发明名称一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂及其制备方法57摘要本发明公开了一种用于去除氯化氢气体中氟。
2、化氢的负载型脱氟剂，由多孔载体和负载于多孔载体上的脱氟活性组分组成，脱氟活性组分在多孔载体孔道内部和外表面以01NM5M的颗粒、薄层形式存在，脱氟活性组分与多孔载体的质量比为0000531。本发明还提供该负载型脱氟剂的制备方法。本发明具有制备工艺简单、制备得到的脱氟剂利用率高、脱氟效果好、绿色环保的优点。51INTCL权利要求书1页说明书9页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书9页10申请公布号CN104128162ACN104128162A1/1页21一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，由多孔载体和负载于所述的多孔载体上的脱氟活性组分组成，其特征在于。
3、所述的脱氟活性组分在所述的多孔载体孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在，所述的脱氟活性组分与所述的多孔载体的质量比为0000531。2根据权利要求1所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，其特征在于所述的脱氟活性组分与所述的多孔载体的质量比为02061。3根据权利要求1所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，其特征在于所述的脱氟活性组分为金属氯化物、金属碱式氯化物、氢氧化物、氧化物中的一种。4根据权利要求3所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，其特征在于所述的金属氯化物为氯化钙、氯化锂、三氯化镧中的一种，所述的金属碱式氯化物为碱。
4、式氯化钙、碱式氯化锂、碱式氯化镧中的一种，所述的金属氢氧化物为氢氧化钙、氢氧化锂、氢氧化镧中的一种，所述的金属氧化物为氧化钙、氧化锂、氧化镧中的一种。5根据权利要求1所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，其特征在于所述的多孔载体为颗粒，所述的颗粒为活性炭颗粒、微孔碳颗粒、碳分子筛颗粒、13X分子筛颗粒、活性氧化铝颗粒中的一种。6根据权利要求5所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，其特征在于所述的颗粒平均直径为0005MM20MM，平均比表面积为2003000M2/G。7根据权利要求5或6所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，其特征在于所述的微孔碳颗粒平均孔径为03。
5、2NM，所述的碳分子筛颗粒平均孔径为0282NM，所述的13X分子筛颗粒平均孔径为03100NM，所述的活性氧化铝颗粒平均孔径为05100NM。8权利要求1所述的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂的制备方，其特征在于包括以下步骤A将多孔载体浸渍于质量百分比浓度为0160的脱氟活性组分水溶液中，所述脱氟活性组分水溶液与多孔载体的质量比为0551，得到经浸渍处理的多孔载体；B将步骤A得到的经浸渍处理的多孔载体于50200下干燥148小时后，再于150400下真空脱水148小时，得到负载型脱氟剂产品。权利要求书CN104128162A1/9页3一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂及其制。
6、备方法技术领域0001本发明涉及一种氯化氢的提纯与回收方法，特别涉及一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂及其制备方法。背景技术0002随着氟化工产业的快速发展，大量副产氯化氢气体的综合利用成为迫在眉睫的问题。由于副产氯化氢气体中氟化氢的存在，其利用受到很大限制。目前途径除部分循环利用于氯磺酸、一氯甲烷、氯化钙、氯化钡等的生产外，多吸收成含氟盐酸外售，方法比较单一，不仅经济效益不高，而且盐酸中所含的氟会造成潜在的环境危害。脱除副产氯化氢气体中的氟化氢，将其加工成附加值高、环境效益显著的高纯氯化氢，是实现循环经济和可持续性发展的有效途径。5N纯度99999以上高纯氯化氢广泛应用于电子工业中。
7、的抛光、刻蚀，钝化、外延、清洗等工艺，我国电子工业所用5N以上高纯氯化氢大多是从美、日等国进口，且价格昂贵。3N5N纯度99999999氯化氢则可用于染料、香料、药物、食品、金属表面化学处理、光导纤维生产、激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理等领域。0003中国专利CN1363510公开了一种无水氯化氢的吸附脱氟方法。将氧化铝基吸附剂装载于脱氟塔中，经预活化处理后，在1080，0120MPA下进行吸附脱氟。所得氯化氢纯度高，含氟量小10PPM，但由于吸附剂本身活性和容量的限制，只能适用于无水及低氟氯化氢气体的脱氟。0004美国专利US4092403公开了另一种纯化含氟副产氯化氢的吸附脱氟方法。
8、。在温度高于55最佳为100200，压力为200300PSIG条件下，将含HF的混合气体通过三级低硅含量的活性氧化铝吸附床，HCL气体中HF含量可降至5PPM以下。但该法操作条件苛刻，且多级吸收的设备投资大。0005韩国专利KR2000059438公开了一种将含卤代烃和HF的氯氟烃或氢氯氟烃副产HCL提纯为高纯无水HCL的技术。副产HCL先后以1020H1和100200H1的空间速度通过活性炭和氧化铝吸附柱，卤代烃和HF含量分别降至50PPM以下和1PPM。但该法只能适用于HF含量低的HCL气体脱氟。0006美国专利US4714604公开了一种从HCL中去除HF和SIF4的方法。该发明将HCL。
9、和HF的混合气体与SIO2反应，使HF转化为SIF4，然后用水吸收混合气体生成稀盐酸溶液，再经过通入HCL气体、加入浓HCL或蒸掉部分水，使HCL的浓度增加到高于5，最好在20以上，并使SIF4/HCL的相对挥发度大于1，最后蒸馏釜底50110除去SIF4。该方法可有效去除混合气体中的HF或SIF4，含有2860PPMSIF4的混合气体，经处理后SIF4含量降至0007PPM。不足之处是工艺繁琐，只能适用于HF含量低的HCL气体脱氟。0007美国专利US4317805和US4128626公开了另一种从HCL和HF混合气体中去除HF的方法。US4317805将含有5左右HF的HCL混合气体通过装。
10、有无水碱土金属氯化物如氯化钙颗粒的反应床，气体经冷却器降温至2020，最好为05，再通过第二个无水说明书CN104128162A2/9页4碱土金属氯化物如氯化钙颗粒反应床，混合气体中HF含量降至20PPM以下。不足之处是无水碱土金属氯化物颗粒可迅速为除氟反应产物即碱土金属氟化物所包裹，导致利用率和除氟效率下降，且气体需经多级冷却和吸附，设备投入大，能耗高。0008美国专利US4128626将含015通常2左右HF、70左右卤代烃的HCL混合气体以不同流速通过装有无水氯化钙颗粒的反应床，在温度50120F最佳70100F，压力常压至250PSIG下脱氟，再通过精馏将有机组分分离，得到含HF为21。
11、00PPM的无水HCL，或通过水吸收得到脱氟盐酸。脱氟盐酸所含的少量有机物，可鼓入空气或其它气体驱除，或采用活性炭或分子筛吸附脱除。与US4317805类似，该法不足之处是无水氯化钙颗粒可迅速为除氟反应产物即CAF2所包裹，导致利用率和除氟效率下降。0009日本公开专利JP61036191A公开了一种从三氯三氟乙烷副产氯化氢气体中去除氟化氢的方法。将含2030PPMHF的HCL气体与硅烷或硅烷衍生物的非离子羟基溶液接触反应来去除HF，非离子羟基溶液可选用甲醇、乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇或丙三醇。该方法处理后HCL气体中HF降为23PPM，可重新用于C2CL3F3的生产。不足之处是只能适用于HF。
12、含量低的HCL气体脱氟，且反应后的溶液易产生二次污染。0010日本公开专利JP54040294A公开了一种提纯PTFE副产氯化氢气体的方法。常温常压下，将含氟HCL气体通过装有CAO、CACO3或CAOH2的吸附塔来除去HF。含低于8MOLHF的HCL气体，以50300L/LHR空速通过，HCL气体中HF含量降为5PPM。不足之处是吸附剂利用率较低，除氟效率下降较快，处理能力偏小。0011日本公开专利JP60027604公开了一种提纯氟立昂113副产氯化氢气体的方法。将含20PPMHF的液化HCL气体76克与2001000微米的无水ALCL3颗粒02克一起搅拌，再蒸发得到含6PPMHF的HCL。
13、气体。该法不足之处是不能直接处理HCL气体，只能处理HF含量较低的液化HCL。0012以上发明专利，除通过活性氧化铝、活性炭或分子筛等多孔材料吸附除氟外，多利用非负载型的CACL2、ALCL3、CAO、CAOH2等活性组分颗粒吸附除氟，活性组分颗粒度较大、孔隙率低、有效比表面积小，因此利用率低。共同的缺陷是除氟效率限于PPM级，除氟容量低，多适用于HF含量低的HCL气体脱氟，或脱氟工艺复杂，易产生二次污染。发明内容0013本发明克服了现有技术的缺陷，提供一种工艺简单、利用率高、脱氟效果好、绿色环保的用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂及制备方法。0014为解决上述技术问题，本发明采用的技术。
14、方案为一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂，由多孔载体和负载于所述的多孔载体上的脱氟活性组分组成，所述的脱氟活性组分在所述的多孔载体孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在，所述的脱氟活性组分与所述的多孔载体的质量比为0000531。0015所述的脱氟活性组分与所述的多孔载体的质量比优选为02061。0016所述的脱氟活性组分优选为金属氯化物、金属碱式氯化物、氢氧化物、氧化物中的一种。0017所述的金属氯化物优选为氯化钙、氯化锂、三氯化镧中的一种，所述的金属碱式氯说明书CN104128162A3/9页5化物优选为碱式氯化钙、碱式氯化锂、碱式氯化镧中的。
15、一种，所述的金属氢氧化物优选为氢氧化钙、氢氧化锂、氢氧化镧中的一种，所述的金属氧化物优选为氧化钙、氧化锂、氧化镧中的一种。0018所述的多孔载体优选为颗粒，所述的颗粒优选为活性炭颗粒、微孔碳颗粒、碳分子筛颗粒、13X分子筛颗粒、活性氧化铝颗粒中的一种。0019所述的颗粒平均直径优选为0005MM20MM，平均比表面积优选为2003000M2/G。0020所述的微孔碳颗粒平均孔径优选为032NM，所述的碳分子筛颗粒平均孔径优选为0282NM，所述的13X分子筛颗粒平均孔径优选为03100NM，所述的活性氧化铝颗粒平均孔径优选为05100NM。0021本发明还提供用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型。
16、脱氟剂的制备方，包括以下步骤0022A将多孔载体浸渍于质量百分比浓度为0160的脱氟活性组分水溶液中，所述脱氟活性组分水溶液与多孔载体的质量比为0551，得到经浸渍处理的多孔载体；0023B将步骤A得到的经浸渍处理的多孔载体于50200下干燥148小时后，再于150400下真空脱水148小时，得到负载型脱氟剂产品。0024本发明将作为脱氟活性组分的金属氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物分散并承载于多孔载体，制备得到负载型高分散脱氟剂。本发明公开的用于去除氯化氢气体中氟化氢的脱氟剂，金属氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物在多孔载体孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M。
17、的薄层形式存在，具有制备工艺简单、脱氟剂利用率高、脱氟效果好、绿色环保的优点，可用于HF含量高的HCL气体脱氟，脱氟得到的高纯氯化氢和电子级氯化氢，高纯氯化氢广泛应用于染料、香料、药物、食品等工业，电子级氯化氢则应用于电子工业中的硅外延生长、单晶硅片气相抛光、吸杂、刻蚀和洁净处理等。0025本发明中的多孔载体，具有发达的孔隙结构和高比表面积，能够有效吸附脱氟活性组分，使脱氟活性组分在载体内外表面高度分散成纳米、微米级颗粒，从而确保脱氟活性组分被充分利用，最大限度与待脱氟气体保持接触，增强脱氟效果。本发明中的多孔载体可选用活性炭、微孔碳、介孔碳、大孔碳、碳分子筛、碳纳米管、石墨烯、分子筛、沸石、。
18、活性氧化铝中的一种或几种的混合物，优选为活性炭颗粒、微孔碳颗粒、碳分子筛颗粒、分子筛颗粒、活性氧化铝颗粒中的一种。所述的活性炭颗粒平均直径为0005MM20MM，平均比表面积2003000M2/G。所述的微孔碳颗粒平均直径为0005MM20MM，平均孔径032NM，平均比表面积为5002000M2/G。所述的碳分子筛颗粒平均直径为0005MM20MM，平均孔径为0282NM，平均比表面积为2002000M2/G。所述分子筛颗粒平均直径为0005MM20MM，平均孔径为03100NM，平均比表面积3001000M2/G。所述活性氧化铝颗粒平均直径为0005MM20MM，平均孔径为05100NM，。
19、平均比表面积2001000M2/G。0026本发明中的金属氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物等脱氟活性组分，以纳米、微米级颗粒和薄层的形式高度分散在多孔载体内外表面，当与含HF的HCL气体接触时，可迅速与HF反应，生成难溶无挥发性的金属氟化物并固定在多孔载体内外表面，达到脱除HF的目的。由于活性组分颗粒度小，与含HF的HCL气体有效接触面积增加，活性组分得以充分利用，脱氟效率和容量明显优于非负载性脱氟剂。说明书CN104128162A4/9页60027本发明中所述的金属氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物，可以选用锂、碱土金属或镧系元素的氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物及其组合，其中金属。
20、氯化物、碱式氯化物可以选用无水或带结晶水金属氯化物、碱式氯化物，金属氢氧化物、氧化物可以选用无水或水合氢氧化物、氧化物。所述的金属氯化物为氯化钙、氯化锂、三氯化镧中的一种。所述的金属碱式氯化物为碱式氯化钙、碱式氯化锂、碱式氯化镧中的一种。所述的金属氢氧化物为氢氧化钙、氢氧化锂、氢氧化镧中的一种。所述的金属氧化物为氧化钙、氧化锂、氧化镧中的一种。本发明中将金属氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物配制成溶液用于负载型脱氟剂的制备，所述溶液的质量百分比浓度为0160。0028本发明与现有技术相比具有以下优点00291制备得到的脱氟剂脱氟效率高，氟化氢气体的脱除率可达PPB级；00302制备得到的脱氟。
21、剂适用范围广，操作弹性大，易于工业化，既适用于高氟化氢含量的氯化氢气体脱氟，也适用于含痕量氟化氢的氯化氢气体深度脱氟；00313使用本发明的脱氟剂脱氟得到的高纯氯化氢广泛应用于染料、香料、药物、食品等工业,电子级氯化氢则应用于电子工业中的硅外延生长、单晶硅片气相抛光、吸杂、刻蚀和洁净处理等，具有良好的经济效益；00324制备方法工艺简单，绿色环保，将作为脱氟剂的金属氯化物、碱式氯化物、氢氧化物或氧化物分散并承载于多孔载体，工艺简单，三废少。具体实施方式0033实施例10034称取活性炭颗粒活性炭颗粒平均直径为0005MM，平均比表面积为3000M2/G100G并浸渍于500G质量百分比浓度为6。
22、0的氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性炭颗粒；将经浸渍处理的活性炭颗粒分别于200下干燥、400下真空脱水各1小时，得到负载型高分散无水氯化钙，其在活性炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0035实施例20036称取活性炭颗粒活性炭颗粒平均直径为1MM，平均比表面积1600M2/G100G并浸渍于250G质量百分比浓度为40的氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性炭颗粒；将经浸渍处理的活性炭颗粒分别于90下干燥、300下真空脱水各24小时，得到负载型高分散无水氯化钙，其在活性炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的。
23、颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0037实施例30038称取活性炭颗粒活性炭颗粒平均直径为2MM，平均比表面积200M2/G100G并浸渍于150G质量百分比浓度为20的氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性炭颗粒；将经浸渍处理的活性炭颗粒分别于25下干燥、150下真空脱水各48小时，得到负载型高分散无水氯化钙，其在活性炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0039实施例40040称取活性炭颗粒活性炭颗粒平均直径为1MM，平均比表面积1600M2/G100G并说明书CN104128162A5/9页7浸渍于50G质量百分比浓度为0。
24、1的氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性炭颗粒；将经浸渍处理的活性炭颗粒分别于90C下干燥、300下真空脱水各12小时，得到负载型高分散无水氯化钙，其在活性炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0041实施例50042称取活性炭颗粒活性炭颗粒平均直径为1MM，平均比表面积1600M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为55的氯化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性炭颗粒；将经浸渍处理的活性炭颗粒分别于90下干燥、150下真空脱水各12小时，得到负载型高分散无水氯化锂，其在活性炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M。
25、的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0043实施例60044称取活性炭颗粒活性炭颗粒平均直径为1MM，平均比表面积1600M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为60的三氯化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性炭颗粒；将经浸渍处理的活性炭颗粒分别于90下干燥、350下真空脱水各12小时，得到负载型高分散无水三氯化镧，其在活性炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0045实施例70046称取微孔碳颗粒微孔碳颗粒平均直径为005MM，平均孔道直径2NM，平均比表面积2000M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为60的氯。
26、化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的微孔炭颗粒；将经浸渍处理的微孔碳颗粒分别于90下干燥、350下真空脱水各12小时，得到负载型高分散无水氯化钙，其在微孔炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0047实施例80048称取微孔碳颗粒微孔碳颗粒平均直径为1MM，平均孔道直径1NM，平均比表面积1400M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为40的氯化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的微孔炭颗粒；将经浸渍处理的微孔碳颗粒分别于90下干燥、250下真空脱水各12小时，得到负载型高分散无水氯化锂，其在微孔炭孔道内部和外表面以直径为。
27、01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0049实施例90050称取微孔碳颗粒微孔碳颗粒平均直径为10MM，平均孔道直径03NM，平均比表面积500M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为25的三氯化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的微孔炭颗粒；将经浸渍处理的微孔碳颗粒分别于90下干燥、150下真空脱水各12小时，得到负载型高分散无水三氯化镧，其在微孔炭孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0051实施例100052称取碳分子筛颗粒碳分子筛颗粒平均直径为0005MM，平均孔径2NM，平均比表面积2000M2/G100G并。
28、浸渍于100G质量百分比浓度为40的三氯化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，将碳分子筛颗粒分别于50下干燥、250下真空脱水各24小时，得到负载型高分散无水三氯化镧，其在碳分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度说明书CN104128162A6/9页8为01NM5M的薄层形式存在。0053实施例110054称取碳分子筛颗粒碳分子筛颗粒平均直径为15MM，平均孔径1NM，平均比表面积1200M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为60的氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的碳分子筛颗粒；将经浸渍处理的碳分子筛颗粒分别于90下干燥、350下真空脱水各24小时，得到负载。
29、型高分散无水氯化钙，其在碳分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0055实施例120056称取碳分子筛颗粒碳分子筛颗粒平均直径为20MM，平均孔径028NM，平均比表面积200M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为40的氯化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的碳分子筛颗粒；将经浸渍处理的碳分子筛颗粒分别于90下干燥、200下真空脱水各24小时，得到负载型高分散无水氯化锂，其在碳分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0057实施例130058称取13X分子筛颗粒分子筛颗粒平均直径为1M。
30、M，平均孔径1NM，平均比表面积1200M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为50的氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的13X分子筛颗粒；将经浸渍处理的13X分子筛颗粒分别于90下干燥、400下真空脱水各10小时，得到负载型高分散无水氯化钙，其在分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0059实施例140060称取13X分子筛颗粒分子筛颗粒平均直径为2MM，平均孔径10NM，平均比表面积1000M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为50的氯化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的13X分子筛颗粒；将经浸渍处理。
31、的13X分子筛颗粒分别于50干燥、150真空脱水各24小时，得到负载型高分散无水氯化锂，其在分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0061实施例150062称取13X分子筛颗粒分子筛颗粒平均直径为1MM，平均孔径30NM，平均比表面积1200M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为20的氯化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的13X分子筛颗粒；将经浸渍处理的13X分子筛颗粒分别于50干燥、250真空脱水各24小时，得到负载型高分散无水氯化镧，其在分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0。
32、063实施例160064称取13X分子筛颗粒分子筛颗粒平均直径为1MM，平均孔径50NM，平均比表面积1200M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为20的碱式氯化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的13X分子筛颗粒；将经浸渍处理的13X分子筛颗粒分别于50干燥、250真空脱水各24小时，得到负载型高分散碱式氯化钙，其在分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0065实施例170066称取13X分子筛颗粒分子筛颗粒平均直径为1MM，平均孔径70NM，平均比表面积说明书CN104128162A7/9页91200M2/G100G并浸渍于。
33、100G质量百分比浓度为20的碱式氯化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的13X分子筛颗粒；将经浸渍处理的13X分子筛颗粒分别于50干燥、250真空脱水各24小时，得到负载型高分散碱式氯化锂，其在分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0067实施例180068称取13X分子筛颗粒分子筛颗粒平均直径为10MM，平均孔径100NM，平均比表面积800M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为12的碱式氯化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的13X分子筛颗粒；将经浸渍处理的13X分子筛颗粒分别于50干燥、250真空脱水各24小时。
34、，得到负载型高分散碱式氯化镧，其在分子筛孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0069实施例190070称取活性氧化铝颗粒活性氧化铝颗粒平均直径为1MM，平均孔径13NM，平均比表面积1000M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为010的氧化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性氧化铝颗粒；将经浸渍处理的活性氧化铝颗粒分别于90干燥、400真空脱水各10小时，得到负载型高分散氧化钙，其在活性氧化铝孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0071实施例200072称取活性氧化铝颗粒活性氧化铝颗粒平。
35、均直径为1MM，平均孔径10NM，平均比表面积1000M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为12的氧化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性氧化铝颗粒；将经浸渍处理的活性氧化铝颗粒分别于90干燥、400真空脱水各10小时，得到负载型高分散氧化锂，其在活性氧化铝孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0073实施例210074称取活性氧化铝颗粒活性氧化铝颗粒平均直径为1MM，平均孔径40NM，平均比表面积1000M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为5的氧化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性氧化铝颗粒；将经浸渍。
36、处理的活性氧化铝颗粒分别于90干燥、400真空脱水各10小时，得到负载型高分散氧化镧，其在活性氧化铝孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0075实施例220076称取活性氧化铝颗粒活性氧化铝颗粒平均直径为1MM，平均孔径70NM，平均比表面积1000M2/G100G并浸渍于100G质量百分比浓度为016的氢氧化钙溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性氧化铝颗粒；将经浸渍处理的活性氧化铝颗粒分别于90干燥、400真空脱水各10小时，得到负载型高分散氢氧化钙，其在活性氧化铝孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存。
37、在。0077实施例230078称取活性氧化铝颗粒活性氧化铝颗粒平均直径为5MM，平均孔径100NM，平均比表面积500M2/G100G并浸渍于60G质量百分比浓度为12的氢氧化锂溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性氧化铝颗粒；将经浸渍处理的活性氧化铝颗粒分别于90干燥、400真空脱水各10小时，得到负载型高分散氢氧化锂，其在活性氧化铝孔道内说明书CN104128162A8/9页10部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0079实施例240080称取活性氧化铝颗粒活性氧化铝颗粒平均直径为10MM，平均孔径05NM，平均比表面积600M2/G100G并。
38、浸渍于100G质量百分比浓度为5的氢氧化镧溶液中，待溶液被完全吸收后，得到经浸渍处理的活性氧化铝颗粒；将经浸渍处理的活性氧化铝颗粒分别于90干燥、400真空脱水各10小时，得到负载型高分散氢氧化镧，其在活性氧化铝孔道内部和外表面以直径为01NM5M的颗粒和厚度为01NM5M的薄层形式存在。0081实施例124制备得到的负载型脱氟剂用于去除氯化氢气体中氟化氢的应用实验将制备得到的负载型脱氟剂装于不锈钢吸附柱，常温常压下将含HF的HCL气体从不锈钢吸附柱进口通入吸附柱，与负载型脱氟剂充分接触进行吸收、转化、脱氟，在不锈钢吸附柱出口取样检测，数据见表1。0082表1实施例124制备得到的负载型脱氟剂用于去除氯化氢气体中氟化氢的实验结果00830084说明书CN104128162A109/9页11说明书CN104128162A11。