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1、10申请公布号CN104121872A43申请公布日20141029CN104121872A21申请号201310150620922申请日20130426G01B11/3020060171申请人通用电气公司地址美国纽约州72发明人谢广平贾明翟梓融保罗查劳瑞凯文G哈丁宋桂菊74专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人张贵东54发明名称表面粗糙度测量装置57摘要本发明涉及一种表面粗糙度测量装置，该装置包括含有一根主发射光纤及若干收集光纤的光纤束、一根副发射光纤、一个用于容置该光纤束及副发射光纤且开设有接触待测物体的测量口的光学腔、容置于光学腔内的主副反射镜、及外部电路。该主反射镜用于将该主。
2、发射光纤发射的光线反射至该测量口的一个测试点上，还用于将待测物体反射后的光线反射至该收集光纤中。该副反射镜用于将该副发射光纤发射的光线反射至该测量口的该测试点上。该外部电路用于选择性将一束激光发射至该主发射光纤及副发射光纤，用于接收该若干收集光纤收集的光线，及用于根据接收的光线计算该待测物体的表面粗糙度。51INTCL权利要求书3页说明书9页附图11页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书3页说明书9页附图11页10申请公布号CN104121872ACN104121872A1/3页21一种表面粗糙度测量装置，其特征在于该装置包括一个光纤束，该光纤束包括一根主发射光纤及若干收。
3、集光纤；一根第一副发射光纤；一个用于容置该光纤束及第一副发射光纤的光学腔，该光学腔开设一个接触待测物体的测量口；一个容置于该光学腔内的主反射镜，用于将该主发射光纤发射的光线反射至该测量口的一个测试点上，还用于将待测物体反射后的光线反射至该收集光纤中；一个容置于该光学腔内的第一副反射镜，用于将该第一副发射光纤发射的光线反射至该测量口的该测试点上；及一个外部电路，用于选择性将一束激光发射至该主发射光纤及第一副发射光纤，用于接收该若干收集光纤收集的光线，及用于根据接收的光线计算该待测物体的表面粗糙度。2如权利要求1所述的表面粗糙度测量装置，其中该外部电路包括一个激光发生器，用于产生该束激光；一个光电。
4、探测器，用于接收该若干收集光纤收集的光线并将其转换成电子信号；及一个信号处理器，用于根据该转换的电子信号计算该待测物体的表面粗糙度。3如权利要求2所述的表面粗糙度测量装置，其中该表面粗糙度的计算基于预设的一个比率值与粗糙度之间的关系曲线得出的，该比率值为该主发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度与该第一副发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度之间的比例关系。4如权利要求3所述的表面粗糙度测量装置，其中该比率值R可通过以下公式计算得出RMIAI/MIAI。其中，MI为该主发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度，AI为该第一副发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集。
5、的光线的光强度。5如权利要求2所述的表面粗糙度测量装置，其中该外部电路还包括一个光束切换器，用于选择性地将该束激光发射至该主发射光纤或该第一副发射光纤。6如权利要求2所述的表面粗糙度测量装置，其中该外部电路还包括一个电荷藕合器件图像传感器；及一个分光器，用于将由该收集光纤收集到的光线分别传送至该光电探测器及该电荷藕合器件图像传感器。7如权利要求1所述的表面粗糙度测量装置，其中该主发射光纤位于该光纤束的中心。8如权利要求1所述的表面粗糙度测量装置，其中该光学腔的一端设有开口，该光纤束与该第一副发射光纤的末端穿过该开口容置固定在该光学腔内部。9如权利要求8所述的表面粗糙度测量装置，其中该主反射镜设。
6、置于该光学腔的内部，并且其反射镜面呈45度角朝向该光纤束设置。10如权利要求9所述的表面粗糙度测量装置，其中该第一副反射镜设置于该光学腔的内部，并且其反射镜面呈小于45度角朝向该第一副发射光纤设置，该第一副发射光纤与该第一副反射镜之间的距离小于该光纤束与该主反射镜之间的距离。11如权利要求1所述的表面粗糙度测量装置，其中该外部电路包括一个激光发生器，用于产生该束激光；权利要求书CN104121872A2/3页3一个光电探测器阵列，包括若干光电探测器，分别用于接收该若干收集光纤收集的光线并将其转换成电子信号；及一个信号处理器，用于根据该转换的电子信号显示与表面粗糙度相对应的光强度图像。12如权利。
7、要求1所述的表面粗糙度测量装置，其中该装置进一步包括一根设于该光学腔内的第二副发射光纤；及一个容置于该光学腔内的第二副反射镜，用于将该第二副发射光纤发射的光线反射至该测量口的该测试点上；该外部电路还用于选择性将该束激光发射至该第二副发射光纤。13如权利要求12所述的表面粗糙度测量装置，其中该表面粗糙度的计算基于预设的一个比率值与粗糙度之间的关系曲线得出的，该比率值为该主发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度与该第一或第二副发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度之间的比例关系。14如权利要求13所述的表面粗糙度测量装置，其中该比率值R可通过以下公式计算得出RMIAI/MI。
8、AI。其中，MI为该主发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度，AI为该第一或第二副发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度。15如权利要求12所述的表面粗糙度测量装置，其中该主发射镜的反射光与该第一副反射镜的反射光形成的平面与该主发射镜的反射光与该第二副反射镜的反射光形成的平面垂直。16如权利要求15所述的表面粗糙度测量装置，其中该第二副发射光纤的设置在光纤束上与该第一副反射光纤的设置相差90度。17如权利要求12所述的表面粗糙度测量装置，其中该外部电路还包括一个光束切换器，用于选择性地将该束激光发射至该主发射光纤或该第一副发射光纤或该第二副发射光纤。18一种表面粗糙度测。
9、量装置，其特征在于该装置包括一个光纤束，该光纤束包括一根主发射光纤及若干收集光纤；若干副发射光纤；一个用于容置该光纤束及副发射光纤的光学腔，该光学腔开设一个接触待测物体的测量口；一个容置于该光学腔内的主反射镜，用于将该主发射光纤发射的光线反射至该测量口的一个测试点上，还用于将待测物体反射后的光线反射至该收集光纤中；若干容置于该光学腔内的副反射镜，分别用于将该若干副发射光纤发射的光线反射至该测量口的该测试点上；及一个外部电路，用于选择性将一束激光发射至该主发射光纤及该若干副发射光纤，用于接收该若干收集光纤收集的光线，及用于根据接收的光线计算该待测物体的表面粗糙度。19如权利要求18所述的表面粗糙。
10、度测量装置，其中该表面粗糙度的计算基于预设的一个比率值与粗糙度之间的关系曲线得出的，该比率值为该主发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度与该若干副发射光纤之一发射激光后该若干收集光纤收集权利要求书CN104121872A3/3页4的光线的光强度之间的比例关系。20如权利要求19所述的表面粗糙度测量装置，其中该比率值R可通过以下公式计算得出RMIAI/MIAI。其中，MI为该主发射光纤发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度，AI为该若干副发射光纤之一发射激光后该若干收集光纤收集的光线的光强度。权利要求书CN104121872A1/9页5表面粗糙度测量装置技术领域0001本发明涉及。
11、一种表面粗糙度测量装置。背景技术0002表面粗糙度是描述表面微观形貌最常用的参数之一，是表面品质的直接反映，它在很大程度上影响和决定着零部件的使用性能，这种影响作用在机械、电子、生物医学和光学等诸多领域都有重要体现。近几十年来表面粗糙度测量问题一直是学术界重要的研究课题之一，随着产业发展的推动和新技术的引入，各领域内发展出许多新的测量方法。0003现有的测量方法按类型分包括接触式测量方法与非接触式测量方法。但是，现有的测量方法大部分仅仅用于测量物体外部较大表面上的粗糙度，而对于一些物体的内部表面粗糙度或其他难进入的区域进行表面粗糙度的测量则很困难，尤其对于一些小尺寸元件或其上的窄槽部分进行测量。
12、则更加困难。目前最大的问题是表面粗糙度测量装置的小型化问题。另外，若待测物体的表面很光滑，现有的测量方法很难找出该待测物体表面上加工纹理的方向，故测试的准确度可能不满足要求。再者，现有的测试方法可能无法消除一些参数变化带来的测试影响，例如材料反射率的变化、测试时产生的振动变化等都会影响测试的准确性。0004所以，需要提供一种新的表面粗糙度测量装置来至少解决上述问题。发明内容0005现在归纳本发明的一个或多个方面以便于本发明的基本理解，其中该归纳并不是本发明的扩展性纵览，且并非旨在标识本发明的某些要素，也并非旨在划出其范围。相反，该归纳的主要目的是在下文呈现更详细的描述之前用简化形式呈现本发明的。
13、一些概念。0006本发明的一个方面在于提供一种表面粗糙度测量装置。该装置包括0007一个光纤束，该光纤束包括一根主发射光纤及若干收集光纤；0008一根第一副发射光纤；0009一个用于容置该光纤束及第一副发射光纤的光学腔，该光学腔开设一个接触待测物体的测量口；0010一个容置于该光学腔内的主反射镜，用于将该主发射光纤发射的光线反射至该测量口的一个测试点上，还用于将待测物体反射后的光线反射至该收集光纤中；0011一个容置于该光学腔内的第一副反射镜，用于将该第一副发射光纤发射的光线反射至该测量口的该测试点上；及0012一个外部电路，用于选择性将一束激光发射至该主发射光纤及第一副发射光纤，用于接收该若。
14、干收集光纤收集的光线，及用于根据接收的光线计算该待测物体的表面粗糙度。0013本发明的另一方面在于提供一种表面粗糙度测量装置。该装置包括0014一个光纤束，该光纤束包括一根主发射光纤及若干收集光纤；说明书CN104121872A2/9页60015若干副发射光纤；0016一个用于容置该光纤束及副发射光纤的光学腔，该光学腔开设一个接触待测物体的测量口；0017一个容置于该光学腔内的主反射镜，用于将该主发射光纤发射的光线反射至该测量口的一个测试点上，还用于将待测物体反射后的光线反射至该收集光纤中；0018若干容置于该光学腔内的副反射镜，分别用于将该若干副发射光纤发射的光线反射至该测量口的该测试点上；。
15、及0019一个外部电路，用于选择性将一束激光发射至该主发射光纤及该若干副发射光纤，用于接收该若干收集光纤收集的光线，及用于根据接收的光线计算该待测物体的表面粗糙度。0020相较于现有技术，本发明表面粗糙度测量装置，在一个光学腔内同时设置主副发射光纤及主副反射镜，并分别在主发射光纤发射激光及副发射光纤发射激光后接收由收集光纤接收的反射光线数据，并根据该两组反射光线的数据对物体的表面粗糙度进行测量。由于应用了两组反射光线的数据，故在计算表面粗糙度时可自动补偿材料反射率的影响，因此可大大方便测量。另外，由于本发明是应用光纤进行测量，故测量装置的尺寸可设计的非常小，方便测量一些不容易进入的区域。此外，。
16、本发明应用两组反射光线的数据来计算表面粗糙度还可降低由于振动或移动产生的测量偏差，并可方便寻找待测物体上加工纹理的方向，使测量精度大大提高。再有，在无法寻找加工纹理的方向的情况下，还可提供两组或以上的测量数据来提高测量精度。附图说明0021通过结合附图对于本发明的实施方式进行描述，可以更好地理解本发明，在附图中0022图1为本发明表面粗糙度测量装置的较佳实施方式的立体示意图。0023图2为图1表面粗糙度测量装置的局部平面透视图。0024图3为图1表面粗糙度测量装置中光纤束的横截面示意图。0025图4A为图1表面粗糙度测量装置第一测量状态的示意图。0026图4B为图1表面粗糙度测量装置第二测量状。
17、态的示意图。0027图5A为本发明表面粗糙度测量装置的较佳实施方式的方框图。0028图5B为本发明表面粗糙度测量装置的另一较佳实施方式的方框图。0029图6A为仅应用一个主发射光纤测量两个不同材料反射率物体的粗糙度产生的光强度与粗糙度之间的曲线关系图。0030图6B为仅应用一个副发射光纤测量两个不同材料反射率物体的粗糙度产生的光强度与粗糙度之间的曲线关系图。0031图6C为同时应用主副发射光纤测量两个不同材料反射率物体的粗糙度产生的一个比率值与粗糙度之间的曲线关系图。0032图7A为仅应用一个主发射光纤测量物体的粗糙度产生的振动位移与表征光强度的电压之间的曲线关系图。0033图7B为仅应用一个。
18、副发射光纤测量物体的粗糙度产生的振动位移与表征光强度说明书CN104121872A3/9页7的电压之间的曲线关系图。0034图7C为同时应用主副发射光纤测量物体的粗糙度产生的振动位移与粗糙度之间的曲线关系图。0035图8A为本发明表面粗糙度测量装置测量过程中显示三个不同测试位置的示意图。0036图8B为本发明表面粗糙度测量装置测试过程中不同测试位置角度与光强度之间的曲线关系图。0037图9A为本发明表面粗糙度测量装置的再一较佳实施方式的方框图。0038图9B为图9A表面粗糙度测量装置计算得出的表示四组不同表面粗糙度的四组光强度图像。0039图10为本发明表面粗糙度测量装置的另一较佳实施方式的立。
19、体示意图。具体实施方式0040以下将描述本发明的具体实施方式，需要指出的是，在这些实施方式的具体描述过程中，为了进行简明扼要的描述，本说明书不可能对实际的实施方式的所有特征均作详尽的描述。应当可以理解的是，在任意一种实施方式的实际实施过程中，正如在任意一个工程项目或者设计项目的过程中，为了实现开发者的具体目标，为了满足系统相关的或者商业相关的限制，常常会做出各种各样的具体决策，而这也会从一种实施方式到另一种实施方式之间发生改变。此外，还可以理解的是，虽然这种开发过程中所作出的努力可能是复杂并且冗长的，然而对于与本发明公开的内容相关的本领域的普通技术人员而言，在本公开揭露的技术内容的基础上进行的。
20、一些设计，制造或者生产等变更只是常规的技术手段，不应当理解为本公开的内容不充分。0041除非另作定义，权利要求书和说明书中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属技术领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“一个”或者“一”等类似词语并不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同元件，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者。
21、“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电气的连接，不管是直接的还是间接的。0042请参考图1，为本发明表面粗糙度测量装置10的较佳实施方式的立体示意图。该表面粗糙度测量装置10包括一个线缆适配器11、一个光纤束12、一根副发射光纤13、一个光学腔14、一个主反射镜15及一个微型的副反射镜16。为方便示意出位于该光学腔14的元件安排，图1、图2、图4A、图4B、图10中的光学腔14均是以透明形式示意的，但是在一些实施方式中，该光学腔14为不透明设计。例如，在一个实施方式中，该光学腔14为不锈钢材料制成。0043在一些实施方式中，该线缆适配器11被设计成但不限于圆柱形，用。
22、于提供一个通信介面，以实现该光学腔14内部的光纤与外部电路之间的通信，外部电路将在后续段落中详细说明。该光纤束12包括一根主发射光纤122及若干根收集光纤124，该主发射光纤122说明书CN104121872A4/9页8位于该光纤束12的中心位置处。同样，为了方便示意出光纤束12的内部结构，在图1中仅示意出少量的收集光纤124，实际上该收集光纤124的数量可能更多，参见图3所示意的光纤束12的横截面示意图。在不同实施方式中，该收集光纤124的数量可以根据实际测量的要求作适应性的调整，例如，可以设置为126根。在示意图中，该光纤束12中的光线通过一个光纤束外壳包裹住。0044在本实施方式中，该副。
23、发射光纤13设置于该光纤束12的上方并与其相邻，并且与该主发射光纤122具有相同的光发射方向。在其他实施方式中，该副发射光纤13也可以设置在该光纤束12的内部，作为其内部光纤中的其中一根。为了测量一些难进入的区域，该光纤束12的尺寸可以设计的很小。例如，该光纤束12的直径可以设计为大约21毫米，并且该光纤束12内的光纤数量为127根。0045请继续参考图2，为图1表面粗糙度测量装置10的局部平面透视图。为方便说明，图2中还示意了一个待测物体20。在一些实施方式中，该光学腔14设计为但不限定于圆柱形，且在一端开设一个开口141。该光纤束12与该副发射光纤13的末端穿过该光学腔14的开口141并容。
24、置固定在该光学腔14内部的一部分。在一些实施方式中，该光学腔14的直径被设置为大约3毫米，以方便测量难以进入的区域。该主反射镜15设置于该光学腔14的内部，并且其反射镜面呈45度角朝向该光纤束12设置。在一些实施方式中，该主反射镜15的反射区域等于或者大于该光纤束12的横截面积，以使该光纤束12内的收集光纤124可以收集充足的经该主反射镜15反射的反射光线，用以获得充足的数据来计算待测物体20的表面粗糙度。0046该副反射镜16也设置于该光学腔14的内部，并且在本实施方式中其反射镜面呈小于45度角朝向该副发射光纤13设置，例如角度设置为2535度。该副发射光纤13与该副反射镜16之间的距离小于。
25、该光纤束12与该主反射镜15之间的距离。0047该光学腔14还开设了一个测量口142，直接位于该主反射镜15的反射镜面的下方，且与主反射镜15呈45度角设置。也就是说，当一束激光A从该主发射光纤122发射至该主反射镜15后，该主反射镜15将该束激光A反射后垂直传输至该测量口142。另外，该副反射镜16的设置需要满足以下要求当一束激光B从该副发射光纤13发射至该副主反射镜16后，该副反射镜16将该束激光B反射后同样传输至该测量口142，且传输至该测量口142的位置与该主反射镜15反射该束激光A至该测量口142的位置基本相同。0048换句话说，当将该表面粗糙度测量装置10的测量口142接触该待测物。
26、体20的测量表面时，该两束反射光A及B将分别传输至该待测物体20的测量表面的同一个测量点上。该副反射镜16的反射镜面的倾斜角度可根据该副反射镜16在该光学腔14内部的实际安排进行设计，只要满足上述要求即可。由于本发明表面粗糙度测量装置10的尺寸设计的非常小（例如仅3MM左右），故可测量一些难以进入的区域，如测量小零件的内孔或内槽的表面粗糙度。其他实施方式中，该光学腔14、光纤束12、主反射镜15及副反射镜16的几何形状设计可根据不同需要进行设计，不拘泥上述实施方式给出的例子。0049请再次参考图3，该光纤束12中包括若干收集光纤124及一个位于该收集光纤124中心的主发射光纤122。在其他实施。
27、方式中，该一个主发射光纤122也可包括多根主发射光纤，例如一圈主发射光纤同时发射激光束以提高光强。另外，图3中光纤排列方式及形说明书CN104121872A5/9页9状仅仅为一个例子，在其他实施方式中限于该例子。0050请参考图4A，为该表面粗糙度测量装置10的第一测量状态的示意图。在该示意图中，示意了当该主发射光纤122发射一束激光A后，并依次经该主反射镜15、该待测物体20的表面、该主反射镜15的反射后传输至该收集光纤124内部的反射光C。图4A中仅示意出了该反射光C中的两束光线，实际上该反射光C可能包含更多束的光线。一般说来，当该待测物体20的表面粗糙度越大时，该反射光C包含的光线的数量。
28、就越多；反之，当该待测物体20的表面粗糙度越小时，该反射光C包含的光线的数量就越少。该若干根收集光纤124用于收集反射后的光线C，以进行后续的粗糙度计算处理。0051请参考图4B，为该表面粗糙度测量装置10的第二测量状态的示意图。在该示意图中，示意了当该副发射光纤13发射一束激光B后，并依次经该副反射镜16、该待测物体20的表面、该主反射镜15的反射后传输至该收集光纤124内部的反射光D。图4A中仅示意出了该反射光D中的两束光线，实际上该反射光D可能包含更多束的光线。一般说来，当该待测物体20的表面粗糙度越大时，该反射光D包含的光线的数量就越多；反之，当该待测物体20的表面粗糙度越小时，该反射。
29、光D包含的光线的数量就越少。该若干根收集光纤124还用于收集反射后的光线D，以进行后续的粗糙度计算处理。0052请参考图5A，为本发明表面粗糙度测量装置10的较佳实施方式的方框图，也即与该光学腔14内部的光纤进行通信的外部电路的方框图。该外部电路包括一个激光发生器41、一个光束切换器42、一个光电探测器43、一个信号处理器44及一个显示器45。0053该激光发生器41用于产生一束激光，其可通过该信号处理器44向该激光发生器41发送驱动信号以触发其产生激光。该光束切换器42用于将该激光发生器41产生的激光选择性的切换至该主发射光纤122或该副发射光纤13，即选择性地切换发射光线A或B，其可通过该。
30、信号处理器44向该光束切换器42发送切换信号以实现切换功能。在其他实施方式中，也可以应用两个激光发生器分别发送激光至该主发射光纤122及该副发射光纤13，此时可去掉该光束切换器42。0054该光电探测器43用于侦测由该收集光纤124收集的经由待测物体20反射后再经该主反射镜15反射的反射光C及D，并将该反射光C及D转换成电子信号（如电压信号），用于后续信号处理。在本实施方式中，该光电探测器43为一个单一的光电探测器，在其他实施方式中，也可设置两个或多个光电探测器来提供冗余功能或每一个光电探测器对应接收每一个反射光C及D。0055该信号处理器22用于接收经该光电探测器43转换后的电子信号，然后根。
31、据该电子信号计算出该待测物体20的探测点处的表面粗糙度。该信号处理器22可以包括一个或多个处理器及关联的存储器，以存储数据同时进行相应的数据处理。计算出来的数据或结果还可储存起来并建立相应的数据库，以提供后续数据处理的参考。0056该显示器45用于将计算出来的表面粗糙度的值进行显示。本实施方式中通过显示器45进行表面粗糙度值的显示，其他实施方式中，可将计算出来的结果直接传输至其他的设备上，例如网络监控器上进行监控。在另一些实施方式中，计算出来的结果还可直接与一预设的阈值进行比较，若小于或等于该阈值，这表明该结果符合要求，反之则不符合要求。对数据处理的方式不限于上述给出的例子。0057请参考图5。
32、B，为本发明表面粗糙度测量装置10的另一较佳实施方式的方框图。说明书CN104121872A6/9页10相较于图5A的实施方式，图5B的实施方式进一步增加了一个电荷藕合器件图像传感器（CHARGECOUPLEDDEVICE,CCD）46及一个分光器47。该分光器47用于将由该收集光纤124收集到的光线（C或D）进行分光处理，即分成两个传播路径，一个仍传输至该光电探测器43，进行后续处理，这里不再赘述；另一个则传输至该CCD46，并通过该CCD46将接收到光线进行直接的显示，测试人员可根据该CCD46显示的图像对该待测物体20的表面粗糙度的程度进行初步的判断，在一些测试要求不高或仅作初步判断时可。
33、应用该方法。0058请参考图6A，为仅应用该主发射光纤122测量两个不同材料反射率物体的粗糙度产生的光强度与粗糙度RA之间的曲线关系图，其中该光强度即为由该收集光纤124收集到的光线C的光强度数据。图6A中的曲线61对应具有第一材料反射率的物体20，曲线62对应具有第二材料反射率的物体20，该不同材料反射率的物体可以是相同材料制成的物体但具有不同的材料反射率，也可以是不同材料制成的物体且具有不同的材料反射率。由于该材料反射率的不同，则对应的光强度与粗糙度之间的关系曲线61及62也相应的不同。换句话说，若仅应用该主发射光纤122发射光线来测量多个具有不同材料反射率的物体时，则需要事先计算出多个对。
34、应的光强度与粗糙度之间的关系曲线（如61及62），这就要花费时间进行相应的计算，大大降低了效率，也就是测量粗糙度要受到材料反射率这一参数的影响。0059请参考图6B，为仅应用该副发射光纤13测量两个不同材料反射率物体的粗糙度产生的光强度与粗糙度RA之间的曲线关系图，其中该光强度即为由该收集光纤124收集到的光线D的光强度数据。图6B中的曲线63对应具有第一材料反射率的物体20，曲线64对应具有第二材料反射率的物体20，该不同材料反射率的物体可以是相同材料制成的物体但具有不同的材料反射率，也可以是不同材料制成的物体且具有不同的材料反射率。由于该材料反射率的不同，则对应的光强度与粗糙度之间的关系曲。
35、线63及64同样也相应的不同。换句话说，若仅使用该副发射光纤13发射光线来测量多个具有不同材料反射率的物体时，也需要事先计算出多个对应的光强度与粗糙度之间的关系曲线（如63及63），同样要花费时间进行相应的计算，大大降低了效率，并使表面粗糙度测量装置失去实用价值，因测量粗糙度要受到材料反射率这一参数的影响。0060请参考图6C，为同时应用该主发射光纤122及副发射光纤13测量两个不同材料反射率物体的粗糙度产生的一个比率值与粗糙度之间的曲线关系图。其中，该比率值分别为该具有第一材料反射率和第二反射率的物体20的主反射和副反射的光强按照一定的比例关系公式得到，具体的比例关系公式后面会给出一个具体的。
36、例子。也就是说，图6C中的一个比率曲线65是根据上述曲线61及63计算得出的，而另一个比率曲线66是根据上述曲线62及64计算得出的。在一些实施方式中，该比率值R可通过以下公式计算得出RKMIKAI/KMIKAIMIAI/MIAI。其中，K为材料反射率，MI为反射光线C产生的光强度，AI为反射光线D产生的光强度。图6C中的比率曲线65即是根据上述公式并基于曲线61及63计算得出的，而比率曲线66即是根据上述公式并基于曲线62及64计算得出的。0061在上述公式RKMIKAI/KMIKAIMIAI/MIAI中，该材料反射率K被消掉了，也就是说补偿掉了材料反射率的影响，因此计算出来的比率曲线65及。
37、66几乎重合。也就是说，无论物体20的材料反射率如何变化，它们对应的比率曲线65及66几乎是相同说明书CN104121872A107/9页11的，那么只要事先计算出其中的一个比率曲线即可，如此可大大提高效率，不需要在对不同的材料反射率的物体测量时进行校准。例如，当该比率曲线65在测量之前被确定后，在测量任何物体20时，分别计算出反射光线C及D产生的光强度再带入上述公式即可计算出对应的比率值，然后根据曲线65即可得出物体20的表面粗糙度的值，而不需考虑物体20的材料反射率这一参数对测量的影响。换句话说，本发明表面粗糙度测量装置10可自动补偿由材料反射率变化引起的表面粗糙度的测量值的影响。0062。
38、请参考图7A，为仅应用该主发射光纤122待测物体20的粗糙度产生的振动位移STANDOFFDISTANCE与表征光强度的电压之间的曲线关系图。也就是说，应用上述曲线61或62来计算粗糙度时，测试时产生的振动或移动可能会导致的测量结果发生偏差，图7A中用表征光强度的电压来说明计算后的粗糙度值，从图7A中的曲线71上可以看出，当振动位移发生变化时，对应的表征光强度的电压将也随之变化，也就是计算后的粗糙度值也随之变化。图7A中由于振动造成的结果偏差大概在12左右，可能达不到测试精度要求。这里的振动位移是指该装置10的测量口142与待测物体20的感兴趣测量区域之间的距离。0063请参考图7B，为仅应用。
39、该副发射光纤13待测物体20的粗糙度产生的振动位移与表征光强度的电压之间的曲线关系图。也就是说，应用上述曲线63或64来计算粗糙度时，测试时产生的振动或移动可能会导致的测量结果发生偏差，图7B中用表征光强度的电压来说明计算后的粗糙度值，从图7B中的曲线72上可以看出，当振动位移发生变化时，对应的表征光强度的电压将也随之变化，也就是计算后的粗糙度值也随之变化。图7B中由于振动造成的结果偏差大概在17左右，同样可能达不到测试精度要求。0064请参考图7C，为同时应用该主发射光纤122及副发射光纤13待测物体20的粗糙度产生的振动位移与计算出的粗糙度之间的曲线关系图。也就是说，应用上述曲线65或66。
40、来计算粗糙度时，测试时产生的振动或移动也可能会导致的测量结果发生偏差，从图7C中的曲线73上可以看出，当振动位移发生变化时，对应的粗糙度值也随之变化。但是，图7C中由于振动造成的结果偏差大概仅在5左右，小于12及17，测试精度非常高，故受测量时产生的振动影响非常有限。0065请参考图8A，为本发明表面粗糙度测量装置10测量过程中显示三个不同测试位置的示意图。图8A中示意出了该表面粗糙度测量装置10在待测物体20时的三种测量位置状态X、Y、Z下的示意图，可以看出位置状态Y下，该表面粗糙度测量装置10的测量方向与物体20的表面上加工纹理22的方向垂直，此时测试的粗糙度的结果最为准确，本发明表面粗糙。
41、度测量装置10进一步还具有侦测物体20的表面上加工纹理22的方向的功能。0066请继续参考图8B，为本发明表面粗糙度测量装置10测试过程中不同测试位置角度与光强度之间的曲线关系图。可以知道，当应用该副发射光纤13待测物体20的粗糙度时，发射光线D的光强度越高，则表明该表面粗糙度测量装置10与物体20的表面上加工纹理22的垂直方向越接近，当光强度达到最大值时则表明该表面粗糙度测量装置10已经位于物体20的表面上加工纹理22的垂直方向上。可通过显示器45实时显示图8B中的曲线，然后旋转表面粗糙度测量装置10直到曲线位于峰值为止，此时表面粗糙度测量装置10位于物体20的表面上加工纹理22的垂直方向上。
42、，然后再进行上述的表面粗糙度的测量，从而可获得符合要求的测量值。0067请参考图9A，为本发明表面粗糙度测量装置10的再一较佳实施方式的方框图。相说明书CN104121872A118/9页12较于图5A，图9A的实施方式中应用了一个光电探测器阵列48代替图5A中的单个光电探测器45。该光电探测器阵列48中包括的光电探测器的数量等于该收集光纤124的数量，即该光电探测器阵列48中的光电探测器用于分别收集该收集光纤124收集到的反射光束，然后分别转化为电子信号（如电压信号），用于后续信号处理。0068在本实施方式中，该信号处理器44进一步用于收集该光电探测器阵列48转化的电子信号。该信号处理器44。
43、将接收到的电子信号进一步计算得出光强度图像，并可显示与显示器45上，也即通过显示器45将该收集光纤124收集到的反射光束直观的显示出来。例如，图9B为计算得出的表示四组不同表面粗糙度的四组光强度图像91、92、93、94。为方便显示，图9A中仅显示了该四组光强度图像91、92、93、94的局部图像。作为一个例子，该四组光强度图像91、92、93、94的光强度逐渐降低，也就是说对应的表面粗糙度的值之间增大。一些对应表面粗糙度具体值的光强度参考图像可以事先确定，然后，测量人员可通过将计算出来的光强度图像与光强度参考图像进行比对，从而来大致确定出计算出来的光强度图所对应的表面粗糙度的值，较适合测量要。
44、求不是很高的场合。0069请参考图10，为本发明表面粗糙度测量装置10的另一较佳实施方式的立体示意图。相较于图1的实施方式，图10的实施方式进一步包括另一个副发射光纤17及另一个对应的副反射镜18。相应地，该光束切换器42则用于提供三个光线传输通道分别至该主发射光纤122及该两个副发射光纤13及17。0070该副发射光纤17设置于该光纤束12的一侧并与其相邻，并且与该主发射光纤122具有相同的光发射方向。该副反射镜18也设置于该光学腔14的内部，并朝向该该副发射光纤17设置。对比该副发射光纤13及副反射镜16，该副发射光纤17的设置在光纤束12上与该副反射光纤13的设置相差大约90度，该副反射。
45、镜16的设置在光学腔14内与该副反射镜16的设置相差大约90度。另外，该副发射光纤17及副反射镜18还需满足以下要求当一束激光E从该副发射光纤17发射至该副主反射镜18后，该副反射镜18将该束激光E反射后同样传输至该测量口142，且传输至该测量口142的位置与该主反射镜15反射该束激光A至该测量口142的位置基本相同。0071换句话说，当将该表面粗糙度测量装置10的测量口142接触该待测物体20的测量表面时，该两束反射光A及E将分别传输至该待测物体20的测量表面的大致同一个测量点上。另外，该两束反射光A及E形成的平面与该两束反射光A及B大致垂直。该副反射镜18的反射镜面的倾斜角度可根据该副反射。
46、镜18在该光学腔14内部的实际安排进行设计，只要满足上述要求即可。0072根据同样的计算方法，对该两束反射光A及E反射的光束进行计算也可计算出待测物体20的表面粗糙度。之所以又设置一个副发射光纤17及一个对应的副反射镜18，是由于某些情况下，测量装置10在测量时很难旋转，故不能根据图8A及图8B描述的方法找出待测物体20表面上的加工纹理22。在这种情况下，基于该两束反射光A及B反射的光束可计算得出一个表面粗糙度值，再基于该两束反射光A及E反射的光束可计算得出另一个表面粗糙度值，将该两个计算得出的表面粗糙度的值进行比较，然后将较大的值作为真实的表面粗糙度值，如此可提高精确度，同时使表面粗糙度测量。
47、装置在受限空间内实现对不同加工纹理零件的粗糙度测量。在其他实施方式中，还可增加若干个副发射光纤及对应的副反射镜，来计算出若干个表面粗糙度的值，再从中比较出一个最大的值作说明书CN104121872A129/9页13为真实的表面粗糙度值，以进一步提高精确度。0073虽然结合特定的实施方式对本发明进行了说明，但本领域的技术人员可以理解，对本发明可以作出许多修改和变型。因此，要认识到，权利要求书的意图在于覆盖在本发明真正构思和范围内的所有这些修改和变型。说明书CN104121872A131/11页14图1图2说明书附图CN104121872A142/11页15图3图4A说明书附图CN104121872A153/11页16图4B说明书附图CN104121872A164/11页17图5A说明书附图CN104121872A175/11页18图5B说明书附图CN104121872A186/11页19图6A图6B说明书附图CN104121872A197/11页20图6C图7B说明书附图CN104121872A208/11页21图7A图7C说明书附图CN104121872A219/11页22图8A图8B说明书附图CN104121872A2210/11页23图9A说明书附图CN104121872A2311/11页24图9B图10说明书附图CN104121872A24。