环状带移动方向控制装置及方法、流延设备及溶液制膜法.pdf

本发明提供一种环状带的移动方向控制装置、环状带的移动方向控制方法、流延设备及溶液制膜方法。环状流延带(26)以被施加张力的状态架设于水平辊(24、25)。水平辊(24)通过马达(24M)旋转。流延带(26)在形成于水平辊(24、25)周围的移动路上循环移动。水平辊(24)与水平辊(25)之间设置有对流延带(26)的Y方向一端部进行冷却的带一端调温单元(61P)及对流延带(26)的Y方向另一端部进行冷却的带另一端调温单元(61Q)。另外，控制单元通过偏离方向判断部感测流延带(26)偏离移动路的方向。另外，与偏离方向相反侧的端部相比，控制单元更佳优先冷却流延带(26)中偏离移动路的方向的端部。

权利要求书一种环状带的移动方向控制装置，不锈钢制的所述环状带卷绕在平行地配设的驱动辊和从动辊上，并通过所述驱动辊的旋转向长边方向移动，所述环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动，其中，所述环状带的移动方向控制装置具备如下：
一端带张力调节部，其调节所述环状带的宽度方向一端部的张力；
另一端带张力调节部，其调节所述环状带的宽度方向另一端部的张力；及
带张力控制部，其控制所述一端带张力调节部或所述另一端带张力调节部，所述带张力控制部在所述环状带的宽度方向端部的一侧偏离所述移动路时进行所述控制，所述带张力控制部以所述环状带的偏离所述移动路的方向的端部的所述张力变得大于所述偏离方向相反侧的端部的所述张力的方式进行所述控制。
如权利要求1所述的环状带的移动方向控制装置，其中，进一步具备如下：
带一端调温部，其调节所述环状带中所述宽度方向一端侧的温度，所述带一端调温部具备于所述一端带张力调节部；
带另一端调温部，其调节所述环状带中所述宽度方向另一端侧的温度，所述带另一端调温部具备于所述另一端带张力调节部；及
带调温控制部，其控制所述带一端调温部及所述带另一端调温部，所述带调温控制部以与所述偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却所述环状带中偏离所述移动路的端部的方式进行所述控制。
如权利要求2所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述带一端调温部向所述环状带的所述宽度方向一端侧供给调温气体，所述带另一端调温部向所述环状带的所述宽度方向另一端侧供给调温气体。
如权利要求2或3所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述带一端调温部具有一端带涂布机和一端带蒸发机，所述带另一端调温部具有另一端带涂布机和另一端带蒸发机，所述一端带涂布机向所述环状带的所述宽度方向一端侧涂布一部分液体，所述一端带蒸发机使涂布于所述环状带的所述宽度方向一端侧的所述一部分液体蒸发，所述另一端带涂布机向所述环状带的所述宽度方向另一端侧涂布另一部分液体，所述另一端带蒸发机使涂布于所述环状带的所述宽度方向另一端侧的所述另一部分液体蒸发。
如权利要求1所述的环状带的移动方向控制装置，其中，进一步具备如下：
辊一端调温部，其调节所述驱动辊和所述从动辊中任一辊的所述宽度方向一端侧的温度，所述辊一端调温部具备于所述一端带张力调节部；
辊另一端调温部，其调节所述驱动辊和所述从动辊中任一辊的所述宽度方向另一端侧的温度，所述辊另一端调温部具备于所述另一端带张力调节部；及
辊调温控制部，其控制所述辊一端调温部或所述辊另一端调温部，所述带张力控制部以与所述偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却所述环状带中所述偏离方向的端部的方式进行所述控制。
如权利要求5所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述辊一端调温部向所述辊的所述宽度方向一端侧供给调温气体，所述辊另一端调温部向所述辊的所述宽度方向另一端侧供给调温气体。
如权利要求5或6所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述辊具有一端流路和另一端流路，所述一端流路内置于所述宽度方向一端侧而使一端侧调温用介质流通，所述另一端流路内置于所述宽度方向另一端侧而使另一端侧调温用介质流通，所述辊一端调温部向所述一端流路供给所述一端侧调温用介质，所述辊另一端调温部向所述另一端流路供给所述另一端侧调温用介质。
如权利要求5或6所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述辊一端调温部具有一端辊涂布机和一端辊蒸发机，所述辊另一端调温部具有另一端辊涂布机和另一端辊蒸发机，所述一端辊涂布机向所述辊的所述宽度方向一端侧涂布一部分液体，所述一端辊蒸发机使涂布于所述辊的所述宽度方向一端侧的所述一部分液体蒸发，所述另一端辊涂布机向所述辊的所述宽度方向另一端侧涂布另一部分液体，所述另一端辊蒸发机使涂布于所述辊的所述宽度方向另一端侧的所述另一部分液体蒸发。
如权利要求7所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述辊一端调温部具有一端辊涂布机和一端辊蒸发机，所述辊另一端调温部具有另一端辊涂布机和另一端辊蒸发机，所述一端辊涂布机向所述辊的所述宽度方向一端侧涂布一部分液体，所述一端辊蒸发机使涂布于所述辊的所述宽度方向一端侧的所述一部分液体蒸发，所述另一端辊涂布机向所述辊的所述宽度方向另一端侧涂布另一部分液体，所述另一端辊蒸发机使涂布于所述辊的所述宽度方向另一端侧的所述另一部分液体蒸发。
如权利要求1、2、3、5、6中任一项所述的环状带的移动方向控制装置，其中，
所述环状带的移动方向控制装置具备偏离方向判断部，其判断所述环状带是否向所述宽度方向的一端侧和另一端侧方向偏离。
一种流延设备，其具备如下：
流延模，其流出包括聚合物及溶剂的浓液；
不锈钢制的环状带，其具有支撑所述流出浓液的支撑面，所述环状带在所述支撑面上形成由所述浓液构成的膜，所述环状带卷绕于平行配设的驱动辊和从动辊，并通过所述驱动辊的旋转向长边方向移动，所述环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动；
溶剂蒸发装置，其使所述溶剂从所述膜中蒸发；
剥离装置，其从所述环状带剥离所述膜；及
环状带的移动控制装置，其具有一端带张力调节部、另一端带张力调节部及带张力控制部，所述一端带张力调节部调节所述环状带的宽度方向一端部的张力，所述另一端带张力调节部调节所述环状带的宽度方向另一端部的张力，所述带张力控制部控制所述一端带张力调节部或所述另一端带张力调节部，所述带张力控制部在所述环状带的宽度方向端部的一侧偏离所述移动路时进行所述控制，所述带张力控制部以所述环状带的偏离所述移动路的方向的端部的所述张力变得大于所述偏离方向相反侧的端部的所述张力的方式进行所述控制。
如权利要求11所述的流延设备，其中，进一步具备如下：
带一端调温部，其调节所述环状带中所述宽度方向一端侧的温度，所述带一端调温部具备于所述一端带张力调节部；
带另一端调温部，其调节所述环状带中所述宽度方向另一端侧的温度，所述带另一端调温部具备于所述另一端带张力调节部；及
带调温控制部，其控制所述带一端调温部及所述带另一端调温部，所述带调温控制部以与所述偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却所述环状带中偏离所述移动路的端部的方式进行所述控制。
如权利要求12所述的流延设备，其中，进一步具备如下：
辊一端调温部，其调节所述驱动辊和所述从动辊中任一辊的所述宽度方向一端侧的温度，所述辊一端调温部具备于所述一端带张力调节部；
辊另一端调温部，其调节所述驱动辊和所述从动辊中任一辊的所述宽度方向另一端侧的温度，所述辊另一端调温部具备于所述另一端带张力调节部；及
辊调温控制部，其控制所述辊一端调温部或所述辊另一端调温部，所述带张力控制部以与所述偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却所述环状带中所述偏离方向的端部的方式进行所述控制。
如权利要求13所述的流延设备，其中，
所述流延设备具备：两端部冷却装置，其对所述环状带的宽度方向两端部进行冷却。
如权利要求14所述的流延设备，其中，
所述两端部冷却装置对所述环状带中远离所述辊的部分进行冷却。
一种环状带的移动方向控制方法，不锈钢制的所述环状带卷绕于平行配设的驱动辊和从动辊，并通过所述驱动辊的旋转向长边方向移动，所述环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动，所述环状带的移动方向控制方法具备如下步骤：
对所述环状带偏离所述移动路的方向进行特定；及
控制一端带张力调节部和另一端带张力调节部，所述控制以所述环状带中偏离所述移动路的方向的端部的张力变得大于所述偏离方向相反侧的端部的所述张力的方式进行，所述一端带张力调节部调节所述环状带的宽度方向一端侧的所述张力，所述另一端带张力调节部调节所述环状带的宽度方向另一端侧的所述张力。
如权利要求16所述的环状带的移动方向控制方法，其中，
具有偏离方向判断工序，其判断所述环状带是否向所述宽度方向的一端侧和另一端侧方向偏离。
一种溶液制膜方法，其具备如下步骤：
(A)通过朝向环状带流出浓液，在所述环状带的带面形成由浓液构成的膜，所述浓液包括聚合物及溶剂，所述环状带为不锈钢制，所述环状带卷绕于平行配设的驱动辊和从动辊上，并通过所述驱动辊的旋转向长边方向移动，所述环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动；
(B)向所述带面上的所述膜吹送风并使所述溶剂从所述膜中蒸发；
(C)从所述环状带剥离经所述B步骤的所述膜；
(D)对所述环状带偏离所述移动路的方向进行特定；及
(E)控制一端带张力调节部和另一端带张力调节部，所述控制以所述环状带中偏离所述移动路的方向的端部的张力变得大于所述偏离方向相反侧的端部的所述张力的方式进行，所述一端带张力调节部调节所述环状带的宽度方向一端侧的所述张力，所述另一端带张力调节部调节所述环状带的宽度方向另一端侧的所述张力。
如权利要求18所述的溶液制膜方法，其中，
具备对所述环状带的宽度方向两端部进行冷却的两端部冷却步骤，所述两端部冷却步骤与所述B步骤并行进行。
如权利要求19所述的溶液制膜方法，其中，
同时开始所述两端部冷却步骤和所述B步骤。

说明书环状带移动方向控制装置及方法、流延设备及溶液制膜法
技术领域
本发明涉及一种环状带的移动方向控制装置、环状带的移动方向控制方法、流延设备及溶液制膜方法。
背景技术
具有透光性的热塑性膜(以下称为膜)为轻质且容易成型，因此作为光学膜广泛使用。其中，利用纤维素酰化物等的纤维素酯类膜除了用作照片感光用膜之外，还用作液晶显示装置的光学膜。作为液晶显示装置的光学膜，有偏光板保护膜或相位差膜等。
这种膜通过溶液制膜方法制造。溶液制膜方法为如下方法。朝向已进行温度调节的移动的支撑体流出包括聚合物和溶剂的聚合物溶液(以下称为浓液(dope))，在支撑体上形成带状流延膜(以下称为膜形成工序)。浓液利用配设于流延室内的流延模在支撑体上流动。接着，使溶剂从流延膜中蒸发直至能够传送流延膜(以下称为膜干燥工序)。之后，从支撑体上剥下能够传送的流延膜而作为湿润膜(以下称为剥离工序)。而且，使溶剂从该湿润膜中蒸发而作为膜(以下称为膜干燥工序)。
作为用于该溶液制膜方法的支撑体，已知有挂绕于多个辊并循环移动的环状带。由于能够通过利用该环状带来反复进行膜形成工序、膜干燥工序及剥离工序，所以结果能够提高膜的生产效率。
然而，若长时间进行溶液制膜方法，则有时导致环状带偏离预定的移动路。若在环状带偏离移动路的状态下进行溶液制膜方法，则所获得膜的均匀性受损。尤其导致宽度方向上的厚度、表面状态、光学特性的均匀性受损。
作为调节环状带的移动方向的方法，例如已知有如日本专利公开2008‑195463号公报中记载的使卷绕有环状带的驱动辊和从动辊中任意一方向前后方向或上下方向移变的方法。
但是，利用于溶液制膜方法中的环状带与用作物品的传送机器的环状带相比为长形。若为了控制这种长形环状带的移动路而利用日本专利公开2008‑195463号公报中记载的方法，则对辊移变的控制要求较高的精确度。其结果，很难控制环状带的移动方向。
另外，利用于溶液制膜方法中的环状带为不锈钢制。此时，如日本专利公开2008‑195463号公报中记载的发明，若欲使卷绕有环状带的辊向任意方向移变，则导致辊与环状带之间产生摩擦。摩擦的部分经电镀层的剥落引起的腐蚀、起因于摩擦的应力引起的相变等，在环状带的表面侧即形成流延膜的带面上显示为缺陷。若在具有这种缺陷的带面上形成流延膜，则导致缺陷的痕迹会残留在膜的表面。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种使环状带的移动方向的控制轻松并抑制辊与环状带之间的摩擦的环状带的移动方向控制装置、环状带的移动方向控制方法、流延设备及溶液制膜方法。
本发明的环状带的移动方向控制装置中的环状带为不锈钢制。环状带卷绕于平行配设的驱动辊与从动辊上，并通过驱动辊的旋转向长边方向移动。环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动。本发明的环状带的移动方向控制装置具备一端带张力调节部、另一端带张力调节部及带张力控制部。一端带张力调节部调节环状带的宽度方向一端部的张力。另一端带张力调节部调节环状带的宽度方向另一端部的张力。带张力控制部控制一端带张力调节部或另一端带张力调节部。带张力控制部在环状带的宽度方向端部的一侧偏离移动路时进行控制。带张力控制部以环状带的偏离移动路的方向的端部的张力变得大于偏离方向相反侧的端部的张力的方式进行控制。
优选环状带的移动方向控制装置进一步具备带一端调温部、带另一端调温部及带调温控制部。带一端调温部调节环状带中宽度方向一端侧的温度。带一端调温部具备于一端带张力调节部。带另一端调温部调节环状带中宽度方向另一端侧的温度。带另一端调温部具备于另一端带张力调节部。带调温控制部控制带一端调温部及带另一端调温部。带调温控制部以与偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却环状带中偏离移动路的端部的方式进行控制。
优选带一端调温部向环状带的宽度方向一端侧供给调温气体，带另一端调温部向环状带的宽度方向另一端侧供给调温气体。
优选带一端调温部具有一端带涂布机和一端带蒸发机，带另一端调温部具有另一端带涂布机和另一端带蒸发机。一端带涂布机向环状带的宽度方向一端侧涂布一部分液体。一端带蒸发机使涂布于环状带的宽度方向一端侧的一部分液体蒸发。另一端带涂布机向环状带的宽度方向另一端侧涂布另一部分液体。另一端带蒸发机使涂布于环状带的宽度方向另一端侧的另一部分液体蒸发。
优选环状带的移动方向控制装置具备辊一端调温部、辊另一端调温部及辊调温控制部。辊一端调温部调节驱动辊和从动辊中任一辊的宽度方向一端侧的温度。辊一端调温部具备于一端带张力调节部。辊另一端调温部调节驱动辊和从动辊中的任一辊的宽度方向另一端侧的温度。辊另一端调温部具备于另一端带张力调节部。辊调温控制部控制辊一端调温部或辊另一端调温部。带张力控制部以与偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却环状带中偏离方向的端部的方式进行控制。
优选辊一端调温部向辊的宽度方向一端侧供给调温气体，辊另一端调温部向辊的宽度方向另一端侧供给调温气体。
优选辊具有一端流路和另一端流路。一端流路内置于宽度方向一端侧，使一端侧调温用介质流通。另一端流路内置于宽度方向另一端侧，使另一端侧调温用介质流通。辊一端调温部向一端流路供给一端侧调温用介质。辊另一端调温部向另一端流路供给另一端侧调温用介质。
优选辊一端调温部具有一端辊涂布机和一端辊蒸发机，辊另一端调温部具有另一端辊涂布机和另一端辊蒸发机。一端辊涂布机向辊的宽度方向一端侧涂布一部分液体。一端辊蒸发机使涂布于辊的宽度方向一端侧的一部分液体蒸发。另一端辊涂布机向辊的宽度方向另一端侧涂布另一部分液体。另一端辊蒸发机使涂布于辊的宽度方向另一端侧的另一部分液体蒸发。
优选具备判断环状带是否向宽度方向的一端侧与另一端侧方向偏离的偏离方向判断部。
本发明的流延设备具备流延模、不锈钢制的环状带、溶剂蒸发装置、剥离装置及环状带的移动控制装置。流延模流出包括聚合物及溶剂的浓液。环状带具有支撑流出的浓液的支撑面。环状带在支撑面上形成由浓液构成的膜。环状带卷绕于平行配设的驱动辊和从动辊，并通过驱动辊的旋转向长边方向移动。环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动。溶剂蒸发装置使溶剂从膜中蒸发。剥离装置从环状带上剥离膜。环状带的移动控制装置具有一端带张力调节部、另一端带张力调节部及带张力控制部。一端带张力调节部调节环状带的宽度方向一端部的张力。另一端带张力调节部调节环状带的宽度方向另一端部的张力。带张力控制部控制一端带张力调节部或另一端带张力调节部。带张力控制部在环状带的宽度方向端部的一侧偏离移动路时进行控制。带张力控制部以环状带的偏离移动路的方向的端部的张力变得大于偏离方向相反侧的端部的张力的方式进行控制。
优选流延设备进一步具备带一端调温部、带另一端调温部及带调温控制部。带一端调温部调节环状带中宽度方向一端侧的温度。带一端调温部具备于一端带张力调节部。带另一端调温部调节环状带中宽度方向另一端侧的温度。带另一端调温部具备于另一端带张力调节部。带调温控制部控制带一端调温部及带另一端调温部。带调温控制部以与偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却环状带偏离移动路的端部的方式进行控制。
优选流延设备具备辊一端调温部、辊另一端调温部及辊调温控制部。辊一端调温部调节驱动辊和从动辊中任一辊的宽度方向一端侧的温度。辊一端调温部具备于一端带张力调节部。辊另一端调温部调节驱动辊和从动辊中任一辊的宽度方向另一端侧的温度。辊另一端调温部具备于另一端带张力调节部。辊调温控制部控制辊一端调温部或辊另一端调温部。带张力控制部以与偏离方向相反侧的端部相比更优先冷却环状带中偏离方向的端部的方式进行控制。
优选流延设备具备对环状带的宽度方向两端部进行冷却的两端部冷却装置。
优选两端部冷却装置对环状带中远离辊的部分进行冷却。
本发明的环状带的移动方向控制方法中的环状带为不锈钢制。环状带卷绕于平行配设的驱动辊和从动辊，并通过驱动辊的旋转向长边方向移动。环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动。本发明的环状带的移动方向控制方法具备方向特定步骤及带张力平衡步骤。方向特定步骤对环状带偏离移动路的方向进行特定。带张力平衡步骤控制一端带张力调节部和另一端带张力调节部。控制以环状带中偏离移动路的方向的端部的张力变得大于偏离方向相反侧的端部的张力的方式进行。一端带张力调节部调节环状带的宽度方向一端侧的张力。另一端带张力调节部调节环状带的宽度方向另一端侧的张力。
优选环状带的移动方向控制方法具有偏离方向判断工序。偏离方向判断工序判断环状带是否向宽度方向的一端侧和另一端侧的方向偏离。
本发明的溶液制膜方法具备膜形成步骤(A步骤)、膜干燥步骤(B步骤)、剥离步骤(C步骤)、方向特定步骤(D步骤)及带张力平衡步骤(E步骤)。A步骤中，通过朝向环状带流出浓液来在环状带的带面形成由浓液构成的膜。浓液包括聚合物及溶剂。环状带为不锈钢制。环状带卷绕于平行配设的驱动辊和从动辊，并通过驱动辊的旋转向长边方向移动。环状带沿宽度方向在预先设定的移动路上移动。B步骤中，向带面上的膜吹送风并使溶剂从膜中蒸发。C步骤中，从环状带上剥离经B步骤的膜。D步骤中，对环状带偏离移动路的方向进行特定。E步骤中，控制一端带张力调节部和另一端带张力调节部。控制以环状带中偏离移动路的方向的端部的张力变得大于偏离方向相反侧的端部的张力的方式进行。一端带张力调节部调节环状带的宽度方向一端侧的张力。另一端带张力调节部调节环状带的宽度方向另一端侧的张力。
优选溶液制膜方法具备对环状带的宽度方向两端部进行冷却的两端部冷却步骤。两端部冷却步骤与B步骤并行进行。
优选同时开始两端部冷却步骤和B步骤。
发明效果
根据本发明，能够轻松地进行环状带的移动方向的控制。并且，根据本发明，能够抑制辊与环状带之间的摩擦。
附图说明
图1是表示溶液制膜设备的概要的说明图。
图2是表示流延装置的概要的侧视图。
图3是表示配设于流延装置的壳体内的各组件的概要的立体图。
图4是表示第1一端带张力调节部和第1另一端带张力调节部的概要的立体图。
图5是表示一端调温气体导管和另一端调温气体导管的概要的截面图。
图6是表示膜形成区冷却机的概要的立体图。
图7是表示一端偏离感测部和另一端偏离感测部的概要的说明图。
图8是表示第1一端带张力调节部、第1另一端带张力调节部、偏离感测部及控制单元的概要的块图。
图9是表示通过膜形成工序形成的流延膜的概要的截面图。
图10是表示具有干燥层和湿润层的流延膜的概要的截面图。
图11是表示偏离移动路的状态的流延带的概要的俯视图。
图12是表示一端调温气体导管和另一端调温气体导管的概要的截面图。
图13是表示第2一端带张力调节部和第2另一端带张力调节部的概要的立体图。
图14是表示第2一端带张力调节部、第2另一端带张力调节部、偏离感测部及控制单元的概要的块图。
图15是表示第3一端带张力调节部和第3另一端带张力调节部的概要的立体图。
图16是表示第3一端带张力调节部和第3另一端带张力调节部、偏离感测部及控制单元的概要的块图。
图17是表示第4一端带张力调节部和第4另一端带张力调节部的概要的立体图。
图18是表示第4一端带张力调节部和第4另一端带张力调节部、偏离感测部及控制单元的概要的块图。
图19是表示第5一端带张力调节部和第5另一端带张力调节部的概要的立体图。
图20是表示第5一端带张力调节部和第5另一端带张力调节部的概要的立体图。
图21是表示第5一端带张力调节部、第5另一端带张力调节部、偏离感测部及控制单元的概要的块图。
具体实施方式
(溶液制膜设备)
如图1所示，溶液制膜设备10具有流延装置15、夹子拉幅机17、干燥装置18及卷取装置19。流延装置15由浓液12制作湿润膜13。夹子拉幅机17通过湿润膜13的干燥获得膜16。干燥装置18进行湿润膜13的干燥。卷取装置19将膜16卷取在卷芯上。
(流延装置)
如图1及图2所示，流延装置15具有壳体23、水平且相互平行地排列于壳体23内的水平辊24、水平辊25。水平辊24具备驱动轴24A和固定于驱动轴24A的不锈钢制的辊主体24B。水平辊25具备轴25A和固定于轴25A的不锈钢制的辊主体25B。水平辊24、水平辊25上卷绕环状的流延带26。流延带26通过连结带状片材的两端而获得。
在此，水平是指水平辊24、水平辊25相对水平面的交叉角度为0°以上0.01°以下。并且，平行是指水平辊24、水平辊25的交叉角度为0°以上0.01°以下。
驱动轴24A与辊驱动用马达24M(参考图3)连接。马达控制部(未图示)控制辊驱动用马达24M来以预定的速度旋转水平辊24。流延带26随着水平辊24的旋转向预定方向循环移动，水平辊25随着流延带26的移动而旋转。以下，将流延带26的移动方向称为X方向，将流延带26的宽度方向称为Y方向，将垂直方向称为Z方向。
并且，驱动轴24A在张力外加位置与松弛位置之间移动自如。张力外加位置为对挂绕于辊主体24B、辊主体25B的流延带26外加预定张力的位置。松弛位置为挂绕于辊主体24B、辊主体25B的流延带26松弛的位置。轴位移部24AS在未图示的控制部的控制下能够使驱动轴24A在张力外加位置与松弛位置之间移变。优选轴位移部24AS维持与轴25A平行的状态的同时，使驱动轴24A移变。并且，在驱动轴24A上安装力量传感器24AL。力量传感器24AL感测驱动轴24A所承受的外力。未图示的控制部从力量传感器24AL读取驱动轴24A所承受的外力。接着，未图示的控制部根据已读取的外力及内置流延带26的截面积值将轴位移部24AS控制成施加于流延带26的张力成为预定张力。这样，能够在Y方向上同样对流延带26外加张力。
优选流延带26的表面(以下称为流延面)26A(参考图3)的移动速度V26A在200m/分钟以下。若移动速度V26A超过200m/分钟，则很难稳定地形成液珠。关于移动速度V26A的下限值，考虑目标膜的生产率即可。移动速度V26A的下限值例如为10m/分钟以上。
流延带26优选为不锈钢制，更优选为具有充分的耐腐蚀性和强度的SUS316制。流延带26的宽度例如优选为浓液12的流延宽度的1.1倍以上2.0倍以下。流延带26的长度例如优选为20m以上200m以下。流延带26的厚度例如优选为0.5mm以上～2.5mm以下。另外，优选流延带26的厚度不均相对于整体厚度在0.5％以下。流延面26A优选进行研磨，流延面26A的表面粗糙度优选在0.05μm以下。
如图2所示，在壳体23内从X方向上游侧朝向下游侧依次配设第1密封部件31～第3密封部件33。第1密封部件31～第3密封部件33设置成从壳体23的内壁面突出且突出端靠近流延带26的流延面26A。壳体23内通过第1密封部件31～第3密封部件33从X方向上游侧朝向下游侧分隔成流延室23A、干燥室23B及剥离室23C。而且，流延室23A的气密性通过第1密封部件31～第2密封部件32维持。另外，干燥室23B的气密性通过第2密封部件32～第3密封部件33维持。第1密封部件31～第3密封部件33与流延面26A的间隔例如为1.5mm以上2.0mm以下。
(流延室)
流延室23A内设置流延模40和减压单元41。流延模40具有流出浓液12的浓液流出口40A，并以浓液流出口40A与流延带26靠近的方式配设于水平辊24的上方。
流延模40从浓液流出口40A朝向流延带26流出浓液12。从浓液流出口40A流出并到达流延面26A之前的浓液12形成液珠。到达流延面26A的浓液12在X方向上流延，最终形成带状的流延膜43。
减压单元41为用于对液珠的X方向上游侧进行减压的单元。减压单元41具有减压室41A、减压扇41B及吸引管41C。减压室41A配置于比流延模40的浓液流出口40A更靠X方向的上游侧。减压扇41B吸引减压室41A内的气体。吸引管41C连接减压扇41B和减压室41A。
(干燥室)
干燥室23B内从X方向上游侧朝向下游侧依次设置对流延膜43供给预定的干燥风的第1干燥单元51～第2干燥单元52。第1干燥单元51配设于架设在水平辊24、水平辊25的流延带26的上方。第2干燥单元52配设于架设在水平辊24、水平辊25的流延带26的下方。
如图3～图5所示，第1干燥单元51具备第1进气导管51A和第1排气导管51B。第1进气导管51A和第1排气导管51B从X方向上游侧朝向下游侧依次设置。第1进气导管51A和第1排气导管51B分别远离流延带26而配设。第1进气导管51A上设置送出第1干燥风51DA的第1进气口51AO。朝向X方向下游侧开口的第1进气口51AO从流延膜43的一端延设至另一端。第1排气导管51B上设置对第1干燥风51DA进行排气的第1排气口51BO。朝向X方向上游侧开口的第1排气口51BO从流延膜43的一端延设至另一端。
第2干燥单元52具备第2排气导管52A及第2进气导管52B。第2排气导管52A及第2进气导管52B从X方向上游侧朝向下游侧依次设置。第2排气导管52A及第2进气导管52B分别远离流延带26而配设。第2排气导管52A上设置对第2干燥风52DA进行排气的第2排气口52AO。朝向X方向下游侧开口的第2排气口52AO从流延膜43的一端延设至另一端。第2进气导管52B上设置送出第2干燥风52DA的第2进气口52BO。朝向X方向上游侧开口的第2进气口52BO从流延膜43的一端延设至另一端。
第1干燥单元51～第2干燥单元52中分别设置第1送风扇～第2送风扇(未图示)及第1调温机～第2调温机(未图示)。干燥控制部(未图示)与第1送风扇～第2送风扇及第1调温机～第2调温机连接。干燥控制部独立调节有关第1干燥风51DA及第2干燥风52DA的温度或风速。
图2所示的干燥室23B中，为了使溶剂从流延膜43中蒸发，对流延膜43供给庞大的热能。因此，通过干燥室23B时的流延带26的温度处于上升的趋势。因此，若在被加热的流延带26上流延浓液12，则会引起浓液12的起泡。因此，如图6所示，可在膜干燥工序完成之后或即将完成时，利用朝向里面26B送出冷却气体的膜形成区冷却机55，对流延带26中支撑流延膜43的部分55X进行冷却。优选膜形成区冷却机55设置于干燥室23B的X方向最下游侧或剥离室23C。
另外，也可利用具备对里面26B涂布溶剂的模具及比模具更靠X方向下游侧配设且使涂布于里面26B的溶剂蒸发的干燥部的膜形成区冷却部来代替膜形成区冷却机55。
(辊调温机)
如图2所示，在水平辊24上安装辊调温机57，水平辊25上安装辊调温机58。辊调温机57、辊调温机58在控制部的控制下，使调节成所希望的温度的载热体在设置于辊主体24B、辊主体25B内的流路中循环。能够通过该载热体的循环将辊主体24B、辊主体25B的温度保持在所希望的温度。优选流延带26的流延面26A，尤其是形成流延膜43的部分的温度在10℃～40℃的范围内调节为大致恒定。
(环状带的移动方向控制装置)
如图3、图4所示，干燥室23B内设置环状带的移动方向控制装置60。环状带的移动方向控制装置60具备作为一端带张力调节部的带一端调温单元61P、作为另一端带张力调节部的带另一端调温单元61Q、偏离感测部65及控制单元67(参考图8)。另外，图2中，为了避免附图变得复杂而省略环状带的移动方向控制装置60。
(带一端调温单元)
如图4及图5所示，带一端调温单元61P分别设置于流延带26的流延面26A侧与里面26B侧。带一端调温单元61P向流延带26中Y方向的一端部26EP吹送调温气体来调节一端部26EP的温度。各个带一端调温单元61P具备一端调温气体导管61PA、一端调温气体供给机61PB及一端调温气体吸引机61PC。一端调温气体导管61PA分别设置成与一端部26EP的流延面26A及里面26B对置，并使调温气体68流通。一端调温气体供给机61PB向一端调温气体导管61PA供给调温气体68。一端调温气体吸引机61PC吸引通过一端调温气体导管61PA的调温气体68。在配设于流延面26A侧的一端调温气体导管61PA内与流延面26A对置的导管面设置开口61PO。并且，配设于里面26B侧的一端调温气体导管61PA内与里面26B对置的导管面设置开口61PO。供给到一端调温气体导管61PA的调温气体68通过这些各开口61PO与一端部26EP接触。
优选带一端调温单元61P和带另一端调温单元61Q向Y方向排列。并且，优选一端调温气体导管61PA及另一端调温气体导管61QA配设于第1进气导管51A的Y方向两侧。
在此，流延带26中Y方向的一端部26EP是指流延带26中除了支撑流延膜43的部分55X(参考图6)以外的部分的一侧的部分。并且，流延带26中Y方向的另一端部26EQ是指除了支撑流延膜43的部分55X(参考图6)以外的部分的另一侧的部分。
(带另一端调温单元)
带另一端调温单元61Q与带一端调温单元61P相同地向流延带26中Y方向的另一端部26EQ吹送调温气体68来调节另一端部26EQ的温度。带另一端调温单元61Q分别设置于流延带26的流延面26A侧与里面26B侧。各带另一端调温单元61Q具备另一端调温气体导管61QA、另一端调温气体供给机61QB及另一端调温气体吸引机61QC。另一端调温气体导管61QA分别设置成与另一端部26EQ的流延面26A及里面26B对置，并使调温气体68流通。另一端调温气体供给机61QB向另一端调温气体导管61QA供给调温气体68。另一端调温气体吸引机61QC吸引通过另一端调温气体导管61QA的调温气体68。在配设于流延面26A侧的另一端调温气体导管61QA内与流延面26A对置的导管面设置有开口61QO。并且，在配设于里面26B侧的另一端调温气体导管61QA内与里面26B对置的导管面设置有开口61QO。供给到另一端调温气体导管61QA的调温气体68通过这些各开口61QO与另一端部26EQ接触。
开口61PO延设至比流延带26的一端部26EP更靠Y方向外侧。并且，优选开口61PO延设至比后述的移动路更靠Y方向外侧。同样道理，开口61QO延设至比流延带26的另一端部26EQ更靠Y方向外侧。另外，优选开口61QO延设至比后述的移动路26R(参考图7)更靠Y方向外侧。
(偏离感测部)
如图4所示，偏离感测部65设置于干燥室23B内。如图4及图7所示，偏离感测部65具备设置于流延带26的一端侧的一端偏离感测部65P及设置于流延带26的另一端侧的另一端偏离感测部65Q。
(一端偏离感测部)
一端偏离感测部65P具备发光部65PA及受光部65PB。发光部65PA中内置光源并向外部射出来自光源的检查光。受光部65PB中内置能够接收检查光的光传感器，并判断光传感器是否感测到来自发光部65PA的检查光。当受光部65PB判断光传感器感测到了检查光时，受光部65PB输出感测信号。发光部65PA及受光部65PB设置成从发光部65PA到受光部65PB的检查光的光路70PX通过预先设定的流延带26的移动路26R的Y方向的一端。
(另一端偏离感测部)
另一端偏离感测部65Q与一端偏离感测部65P相同地具备发光部65QA及受光部65QB。发光部65QA中内置光源且向外部射出来自光源的检查光。受光部65QB中内置能够接收检查光的光传感器，并判断光传感器是否感测到检查光。当受光部65QB判断光传感器感测到了检查光时，受光部65QB输出感测信号。发光部65QA及受光部65QB设置成从发光部65QA到受光部65QB的检查光的光路70QX通过预先设定的流延带26的移动路26R的Y方向的另一端。
移动路26R为在Y方向上预先设定的流延带26的基准路径。移动路26R的宽度(Y方向上的长度)可以与流延带26的宽度相等，也可以设为流延带26的宽度加上预定的游隙宽度。
(控制单元)
如图8所示，控制单元67控制一端调温气体供给机61PB及另一端调温气体供给机61QB。控制单元67具备偏离方向判断部67A及作为带张力控制部的带调温控制部67B。
偏离方向判断部67A判断是否从受光部67PB、受光部67QB输出感测信号。而且，当判断为已从受光部67PB、受光部67QB两者输出感测信号时，偏离方向判断部67A判断流延带26处于移动路26R内。另一方面，当判断为从受光部67QB输出感测信号且未从受光部67PB输出感测信号时，偏离方向判断部67A判断流延带26从移动路26R向一端侧偏离。当判断为从受光部67PB输出感测信号且未从受光部67QB输出感测信号时，偏离方向判断部67A判断流延带26从移动路26R向另一端侧偏离。
带调温控制部67B根据偏离方向判断部67A的判断结果，控制一端调温气体供给机61PB及另一端调温气体供给机61QB。通过带调温控制部67B的控制，分别调节通过一端调温气体供给机61PB供给的调温气体68的温度及通过另一端调温气体供给机61QB供给的调温气体68的温度。
(剥离室)
返回到图2，剥离室23C内设置剥离辊86。剥离辊86从流延带26上剥离已成为能够剥离状态的流延膜43来作为湿润膜13，并从设置于剥离室23C的出口23CO送出湿润膜13。
也可将对包含于壳体23内的气氛中的溶剂进行冷凝的冷凝装置和回收已冷凝的溶剂的回收装置设置于流延装置15。由此能够将包含于壳体23内的气氛中的溶剂的浓度保持在恒定范围内。
返回到图1，流延装置15与夹子拉幅机17之间的转送部中排列有多个支撑湿润膜13的支撑辊87。支撑辊87通过未图示的马达以轴为中心旋转。支撑辊87支撑从流延装置15送出的湿润膜13并向夹子拉幅机17引导。另外，图1中示出在转送部排列2个支撑辊87的情况，但是本发明不限于此，可在转送部排列1个或3个以上支撑辊87。另外，支撑辊87也可以为自由辊。
夹子拉幅机17具有对湿润膜13的宽度方向两侧缘部进行把持的多个夹子，该夹子在拉伸轨道上移动。对被夹子把持的湿润膜13送出干燥风，并对湿润膜13实施朝向宽度方向的拉伸处理及干燥处理。
夹子拉幅机17与干燥装置18之间设置有切边装置88。送出至切边装置88的膜16的宽度方向的两端形成有由于夹子而形成的把持痕迹。切边装置88切掉具有该把持痕迹的两端部分。该被切掉的部分通过送风依次送入截断风机(未图示)及破碎机(未图示)而被切碎，作为浓液等原料再利用。
干燥装置18具备具有膜16的传送路的壳体、形成膜16的传送路的多个辊18A及调节壳体内的气氛的温度或湿度的空调机(未图示)。导入壳体内的膜16一边卷绕于多个辊18A，一边被传送。残留的溶剂通过该气氛的温度或湿度的调节从在壳体内传送的膜16中蒸发。另外，干燥装置18与通过吸附回收从膜16蒸发的溶剂的吸附回收装置连接。
干燥装置18及卷取装置19之间从上游侧依次设置冷却室89、除电棒(未图示)、滚花赋予辊90及切边装置(未图示)。冷却室89对膜16进行冷却，直至膜16的温度成为大致室温。除电棒进行对从冷却室89送出并带电的膜16除电的除电处理。滚花赋予辊90对膜16的宽度方向两端赋予卷取用滚花。切边装置将膜16的宽度方向两端切断成在切断后的膜16的宽度方向两端留有滚花。
卷取装置19具有压辊19A和卷芯19B。送入卷取装置19的膜16边被压辊19A按压，边卷绕于卷芯19B而呈辊状。
接着，对本发明的作用进行说明。如图2及图3所示，未图示的马达控制部经辊驱动用马达24M旋转水平辊24。由此，流延带26依次在各室23A～室23C之间循环移动。
(膜形成工序)
在流延室23A中进行在流延带26上形成由浓液12构成的流延膜43的流延工序。流延模40从浓液流出口40A连续流出浓液12。所流出的浓液12从流延模40遍及流延带26形成液珠，并在流延带26上流延。这样，流延带26上形成由浓液12构成的流延膜43(参考图9)。
减压单元41能够构筑液珠的X方向上游侧的压力低于液珠的X方向下游侧的压力的状态。液珠的X方向上游侧及X方向下游侧的压力差ΔP优选为10Pa以上2000Pa以下。
(膜干燥工序)
在干燥室23B中，进行对流延膜43吹送预定的干燥风并使溶剂从流延膜43中蒸发的膜干燥工序。膜干燥工序进行至流延膜43成为能够独立传送的状态。膜干燥工序中，依次进行第1干燥工序及第2干燥工序。
(第1干燥工序)
第1干燥工序中，使溶剂从流延膜43中蒸发，直至在流延膜43的表层形成干燥层43A(参考图10)。如图2所示，第1干燥单元51从第1进气口51AO送出第1干燥风51DA。
通过第1干燥工序，流延膜43成为具有干燥层43A和湿润层43B的膜(参考图10)。干燥层43A为生成于流延膜43的表面侧且与位于比干燥层43A更靠流延带26侧的湿润层43B相比进一步被干燥的部分。因此，干燥层43A的溶剂含量与湿润层43B相比较低。另外，干燥层43A的表面平滑地形成。当对具有干燥层43A的流延膜43进行预定的干燥工序时，干燥层43A的表面成为所得到的流延膜43的表面。因此，能够通过在刚形成之后的流延膜43上形成干燥层43A来获得表面平滑的流延膜43。
在此，溶剂含量为以干量标准示出流延膜43或各膜13、膜16中所含的溶剂量的值，从对象流延膜或膜采取样品，将该样品的重量设为X、干燥样品之后的重量设为y时，根据{(X‑y)/y}×100求出。
第1干燥工序优选对溶剂的含量为250质量％以上400质量％以下范围内的流延膜43进行，更优选对溶剂的含量为300质量％以上350质量％以下范围内的流延膜43进行。第1干燥风51DA的温度优选为30℃以上80℃以下的范围。另外，第1干燥风51DA的风速优选为5m/秒以上25m/秒以下的范围。
(第2干燥工序)
第2干燥工序中，利用第2干燥风52DA使溶剂从流延膜43中蒸发，直至成为能够独立传送的状态。第2干燥单元52使第2干燥风52DA沿流延膜43的膜面从X方向下游侧朝向上游侧流动。这样，通过使第2干燥风52DA向X方向的反方向流动，与向X方向流动时相比更促进溶剂的蒸发。第2干燥工序优选对溶剂含量为20质量％以上150质量％以下范围内的流延膜43进行。第2干燥风52DA的温度优选在40℃以上80℃以下的范围内。另外，第2干燥风52DA的风速优选在5m/秒以上20m/秒以下的范围内。
(剥离工序)
在剥离室23C中进行从流延带26剥离已成为能够剥离状态的流延膜43的剥离工序。剥离辊86从流延带26剥离已成为能够剥离状态的流延膜43来作为湿润膜13，并从设置于剥离室23C的出口23CO送出湿润膜13。剥离工序优选对溶剂含量在20质量％以上80质量％以下的流延膜43进行。
接着，对移动方向控制装置60的作用进行说明。移动方向控制装置60进行移动控制工序。该移动控制工序中进行偏离感测处理、偏离方向判断处理及带张力调节处理。
在偏离感测处理中，受光部65PB判断光传感器是否感测到来自发光部65PA的检查光。当受光部65PB判断光传感器感测到检查光时，受光部65PB输出感测信号，当光传感器未感测到检查光时，受光部65PB不输出感测信号。另外，在偏离感测处理中，受光部65QB判断光传感器是否感测到来自发光部65QA的检查光。当受光部65QB判断光传感器感测到检查光时，受光部65QB输出感测信号，当受光部65QB未感测到检查光时，受光部65QB不输出感测信号。
偏离方向判断处理中，偏离方向判断部67A判断是否从受光部65PB、受光部65QB输出检测信号。
例如，当在卷绕于水平辊24、水平辊25的状态下循环移动的流延带26位于移动路26R内时，从受光部65PB及受光部65QB输出检测信号。因此，偏离方向判断部67A判断从受光部65PB及受光部65QB输出检测信号。而且，偏离方向判断部67A当判断从受光部65PB及受光部65QB输出有检测信号时，判断流延带26位于移动路26R内。之后，偏离方向判断部67A继续判断是否从受光部65PB、受光部65QB输出检测信号。
另一方面，如图11所示，若在卷绕于水平辊24、水平辊25的状态下循环移动的流延带26从移动路26R向另一端侧偏离，则受光部65QB停止输出感测信号。偏离方向判断部67A判断未从受光部65QB输出检测信号。而且，偏离方向判断部67A当判断未从受光部65QB输出检测信号时，判断流延带26从移动路26R向另一端侧偏离。之后，偏离方向判断部67A继续判断是否从受光部65PB、受光部65QB输出检测信号。如以上，流延带26偏离移动路26R的方向被特定。
带张力调节工序中，带调温控制部67B根据流延带26从移动路26R向另一端侧偏离的判断结果，与偏离方向相反侧的端部即一端部26EP相比更优先冷却流延带26中偏离移动路26R的方向的端部即另一端部26EQ。
另外，作为与一端部26EP相比更优先冷却另一端部26EQ的形态，有仅降低通过另一端调温气体供给机61QB供给的调温气体68的温度的方法。另外，代替该方法，还有边降低通过两个调温气体供给机61PB、调温气体供给机61QB供给的调温气体68的温度，一边加大另一端调温气体供给机61QB侧的调温气体68的温度的下降幅度的方法。
与偏离方向相反侧的端部相比更加优先冷却流延带26中偏离移动路26R的方向的端部时，优选使流延带26中偏离移动路26R的方向的端部的冷却程度逐渐增大，直至从停止输出感测信号的受光部重新开始输出感测信号。
在向Y方向外加同等张力的状态的流延带26中，若比一端部26EP更优先冷却另一端部26EQ，则另一端部26EQ的应力变得大于一端部26EP的应力。其结果，施加于另一端部26EQ的张力变得大于施加于一端部26EP的张力。其结果，流延带26向能够保持施加于一端部26EP及另一端部26EQ的张力的平衡的方向，即从另一端部26EQ朝向一端部26EP滑动，最终流延带26恢复到移动路26R上。
偏离方向判断部67A判断流延带26从移动路26R向一端侧偏离的情况也相同。即，带调温控制部67B根据流延带26从移动路26R向另一端侧偏离的判断结果，比另一端部26EQ更优先冷却一端部26EP。若与另一端部26EQ相比更加优先冷却一端部26EP，则流延带26中施加于一端部26EP的张力增大，其结果，施加于一端部26EP的张力变得大于施加于另一端部26EQ的张力。其结果，流延带26向能够保持施加于一端部26EP及另一端部26EQ的张力的平衡的方向，即从一端部26EP朝向另一端部26EQ滑动，最终流延带26恢复到移动路26R。
这样，根据本发明，对偏离移动路26R的流延带26控制施加于一端部26EP及另一端部26EQ的张力，由此能够使流延带26恢复到移动路26R。
上述实施方式中，分别在流延带26的流延面26A侧及里面26B侧设置了一端调温气体导管61PA，但是也可一体地形成流延面26A侧的一端调温气体导管61PA和里面26B侧的一端调温气体导管61PA(参考图12)。但是，由于图5所示的方式具备退避部，所以在不与偏离移动路26R的流延带26接触的点上优选。
优选一端调温气体导管61PA在Y方向上移动自如。尤其可使一端调温气体导管61PA以追随流延带26的位置的方式向Y方向位移。
设置带一端调温单元61P及带另一端调温单元61Q的位置在X方向上可以为任意的位置。对以下本发明的其他实施方式进行叙述，但是对与上述实施方式相同的组件等附加同一符号，并省略详细说明。
上述实施方式中，利用带一端调温单元61P作为一端带张力调节部，并利用带另一端调温单元61Q作为另一端带张力调节部，但是本发明并不限定于此。
(第2实施方式)
如图13所示，也可利用具备一端涂布模100P、一端溶剂蒸发机101P及一端溶剂泵102P的带一端调温单元98作为一端带张力调节部。一端涂布模100P向一端部26EP涂布一端用溶剂。一端溶剂蒸发机101P使已被涂布的一端用溶剂蒸发。一端溶剂泵102P向一端涂布模100P供给一端用溶剂。同样道理，也可利用具备另一端涂布模100Q、另一端溶剂蒸发机101Q及另一端溶剂泵102Q的带另一端调温单元99作为另一端带张力调节部。另一端涂布模100Q向另一端部26EQ涂布另一端用溶剂。另一端溶剂蒸发机101Q使已被涂布的另一端用溶剂蒸发。另一端溶剂泵102Q向另一端涂布模100Q供给另一端用溶剂。
一端溶剂泵102P经配管(未图示)连接于一端涂布模100P。一端涂布模100P具有流出一端用溶剂的一端流出口，并配设成一端流出口与一端部26EP的流延面26A对置。一端溶剂蒸发机101P配设于比一端涂布模100P更靠X方向下游侧。一端溶剂蒸发机101P具有送出用于使一端用溶剂干燥的干燥气体的一端进气口，并配设成一端进气口与一端部26EP的流延面26A对置。另一端溶剂泵102Q经配管(未图示)连接于另一端涂布模100Q。另一端涂布模100Q具有流出另一端用溶剂的另一端流出口，并配设成另一端流出口与另一端部26EQ的流延面26A对置。另一端溶剂蒸发机101Q配设于比另一端涂布模100Q更靠X方向下游侧。另一端溶剂蒸发机101Q具有送出用于使另一端用溶剂干燥的干燥气体的另一端进气口，并配设成另一端进气口与另一端部26EQ的流延面26A对置。
如图14所示，控制单元67控制一端溶剂泵102P及另一端溶剂泵102Q，并具备偏离方向判断部67A及作为带张力控制部的带调温控制部67B。
带调温控制部67B根据偏离方向判断部67A的判断结果，控制一端溶剂泵102P及另一端溶剂泵102Q。能够通过带调温控制部67B的控制调节向一端涂布模100P供给的一端用溶剂的量或向另一端涂布模100Q供给的另一端用溶剂的量。
一端溶剂蒸发机101P朝向一端部26EP的流延面26A送出干燥气体，以便涂布于流延面26A的一端用溶剂全部蒸发。因此，一端部26EP仅被冷却与汽化热相应的量。即，能够将一端部26EP仅冷却与一端用溶剂的涂布量相应的量。同样道理，另一端溶剂蒸发机101Q朝向另一端部26EQ的流延面26A送出干燥气体，以便涂布于流延面26A的另一端用溶剂全部蒸发。因此，另一端部26EQ仅被冷却与汽化热相应的量。即，能够将另一端部26EQ仅冷却与另一端用溶剂的涂布量相应的量。一端部26EP或另一端部26EQ中各溶剂的涂布量能够通过一端溶剂泵102P或另一端溶剂泵102Q的控制进行调节。因此，能够通过各组件100P～组件102P、组件100Q～组件102Q及控制单元67独立调节一端部26EP的冷却机另一端部26EQ的冷却。
另外，设置一端带张力调节部或另一端带张力调节部的位置不仅可以是流延面26A侧，也可以仅为里面26B侧，或是流延面26A及里面26B双方。
一端用溶剂和另一端用溶剂可以为相同的溶剂，还可以为不同的溶剂。另外，优选将浓液所含的溶剂用作一端用溶剂或另一端用溶剂。
(第3实施方式)
例如，如图15所示，可以利用辊一端调温单元108作为一端带张力调节部，并利用辊另一端调温单元109作为另一端带张力调节部。辊一端调温单元108具备一端调温喷嘴110P及一端调温气体供给机111P。一端调温喷嘴110P向辊主体24B的一端部(以下称为一端辊部)24BP送出调温气体。一端调温气体供给机111P向一端调温喷嘴110P供给调温气体。辊另一端调温单元109具备向辊主体24B的另一端(以下称为另一端辊部)24BQ送出调温气体的另一端调温喷嘴110Q及向另一端调温喷嘴110Q供给调温气体的另一端调温气体供给机111Q。
如图16所示，控制单元67控制一端调温气体供给机111P及另一端调温气体供给机111Q，并具备偏离方向判断部67A及作为带张力控制部的带调温控制部67B。
一端调温气体供给机111P在带调温控制部67B的控制下制作预定温度的调温气体，并向一端辊部24BP供给该调温气体。相同道理，另一端调温气体供给机111Q在带调温控制部67B的控制下制作预定温度的调温气体，并向另一端辊部24BQ供给该调温气体。由于具备通过与调温气体的接触调节温度的一端辊部24BP及另一端辊部24BQ的辊主体24B在Y方向的整个区域支撑流延带26，所以由辊主体24B支撑的流延带26的一端部26EP的温度能够通过一端辊部24BP的温度调节。同样道理，由辊主体24B支撑的流延带26的另一端部26EQ的温度能够通过另一端辊部24BQ的温度调节。因此，能够通过各组件110P～组件111P、组件110Q～组件111Q及控制单元67独立调节一端部26EP的温度及另一端部26EQ的温度。
(第4实施方式)
另外，如图17所示，也可利用具备一端涂布模120P、一端溶剂蒸发机121P及一端溶剂泵122P的辊一端调温单元118。一端涂布模120P向一端辊部24BP涂布一端用溶剂。一端溶剂蒸发机121P使已被涂布的一端用溶剂蒸发。一端溶剂泵122P向一端涂布模120P供给一端用溶剂。同样道理，也可利用具备另一端涂布模120Q、另一端溶剂蒸发机121Q及另一端溶剂泵122Q的辊另一端调温单元119。另一端涂布模120Q向另一端辊部24BQ涂布另一端用溶剂。另一端溶剂蒸发机121Q使已被涂布的另一端用溶剂蒸发。另一端溶剂泵122Q向另一端涂布模120Q供给另一端用溶剂。
一端溶剂泵122P经配管(未图示)连接于一端涂布模120P。一端涂布模120P具有流出一端用溶剂的一端流出口，并配设成一端流出口与一端辊部24BP的流延面26A对置。一端溶剂蒸发机121P配设于比一端涂布模120P更靠X方向下游侧。一端溶剂蒸发机121P具有送出用于使一端用溶剂干燥的干燥气体的一端进气口，并配设成一端进气口与一端辊部24BP对置。另一端溶剂泵122Q经配管(未图示)连接于另一端涂布模120Q。另一端涂布模120Q具有流出另一端用溶剂的另一端流出口，并配设成另一端流出口与另一端辊部24BQ对置。另一端溶剂蒸发机121Q配设于比另一端涂布模120Q更靠X方向下游侧。另一端溶剂蒸发机121Q具有送出用于使另一端用溶剂干燥的干燥气体的另一端进气口，并配设成另一端进气口与另一端辊部24BQ对置。
如图18所示，控制单元67控制一端溶剂泵122P及另一端溶剂泵122Q，并具备偏离方向判断部67A及作为带张力控制部的带调温控制部67B。
带调温控制部67B根据偏离方向判断部67A的判断结果，控制一端溶剂泵122P及另一端溶剂泵122Q。能够通过带调温控制部67B的控制调节向一端涂布模120P供给的一端用溶剂的量或向另一端涂布模120Q供给的另一端用溶剂的量。
一端溶剂蒸发机121P朝向一端辊部24BP送出干燥气体，以便涂布于一端辊部24BP的一端用溶剂全部蒸发。因此，一端辊部24BP仅被冷却与汽化热相应的量。即，能够将一端辊部24BP仅冷却与一端用溶剂的涂布量相应的量。同样道理，另一端溶剂蒸发机121Q朝向另一端辊部24BQ送出干燥气体，以便涂布于另一端辊部24BQ的另一端用溶剂全部蒸发。因此，另一端辊部24BQ仅被冷却与汽化热相应的量。即，能够将另一端辊部24BQ仅冷却与另一端用溶剂的涂布量相应的量。一端辊部24BP或另一端辊部24BQ中各溶剂的涂布量能够通过一端溶剂泵122P或另一端溶剂泵122Q的控制进行调节。因此，能够通过各组件120P～组件122P、组件120Q～组件122Q及控制单元67独立地调节一端辊部24BP的冷却及另一端辊部24BQ的冷却。
(第5实施方式)
也可将设置于辊主体24B内的载热体的流路设置为如下。如图19及图20所示，在辊主体24B中Y方向的一侧辊部24BR设置一侧内置流路130R，在辊主体24B中Y方向的另一侧辊部24BL设置另一侧内置流路130L。优选一侧内置流路130R或另一侧内置流路130L在辊主体24B的周面附近形成为螺旋状。
此时，利用具备一侧辊调温机57R及另一侧辊调温机57L的辊调温机57。一侧辊调温机57R具有一侧调温部57RA、一侧辊调温部57RB及一侧回收部57RC。一侧调温部57RA调节一侧内置流路130R用载热体的温度。一侧辊调温部57RB向一侧内置流路130R供给通过一侧调温部57RA调节温度的载热体。一侧回收部57RC回收通过一侧内置流路130R的载热体并送至一侧调温部57RA。另外，另一侧辊调温机57L具有另一侧调温部57LA、另一侧辊调温部57LB及另一侧回收部57LC。另一侧调温部57LA调节另一侧内置流路130L用载热体的温度。另一侧辊调温部57LB向另一侧内置流路130L供给通过另一侧调温部57LA调节温度的载热体。另一侧回收部57LC回收通过另一侧内置流路130L的载热体并送至另一侧调温部57LA。
如图21所示，控制单元67控制一侧调温部57RA及另一侧调温部57LA，并具备偏离方向判断部67A及作为带张力控制部的带调温控制部67B。
带调温控制部67B根据偏离方向判断部67A的判断结果，控制一侧调温部57RA及另一侧调温部57LA。能够通过带调温控制部67B的控制独立调节供给到一侧内置流路130R的载热体的温度和供给到另一侧内置流路130L的载热体的温度。因此，能够通过利用具备一侧内置流路130R及另一侧内置流路130L的辊主体24B和具备一侧辊调温机57R及另一侧辊调温机57L的辊调温机57，独立调节一端辊部24BP的温度及另一端辊部24BQ的温度。
另外，也可在辊主体24B中Y方向的一端辊部24BP、另一端辊部24BQ、中央部24BC分别设置载热体所流通的流路，并将被调节温度的载热体分别供给到一端辊部24BP、另一端辊部24BQ及中央部24BC。
上述实施方式中，对具备一侧辊调温机57R及另一侧辊调温机57L的辊调温机57进行了说明，但本发明不限于此，也可利用具备一侧辊调温机58R及另一侧辊调温机58L的辊调温机58(参考图19)。
另外，也可利用向冷却对象喷射干风的干风喷射机作为带一端调温单元、带另一端调温单元、辊一端调温单元及辊另一端调温单元，从而冷却流延带26的各端部或辊主体24B。
另外，可通过带调温控制部67B与一端部26EP相比更加优先加热另一端部26EQ来代替通过带调温控制部67B与另一端部26EQ相比更加优先冷却一端部26EP的方法。此时，与偏离方向的端部相比更加优先加热流延带26中偏离移动路26R的方向的相反侧的端部即可。
因此，回到图2，若在壳体23内依次反复进行膜形成工序、膜干燥工序及剥离工序，则导致在膜干燥工序中流延带26的Y方向两端部产生卷取。
在膜干燥工序中，流延带26的Y方向两端部卷取的理由可以考虑为如下。膜形成工序中，整个Y方向的流延带26由调节为预定温度的辊主体24B支撑。因此，该整个Y方向的流延带26的温度大致恒定。膜干燥工序中，由于支撑流延膜43的流延带26的Y方向中央部中溶剂从流延膜43中蒸发，所以流延带26的Y方向中央部的温度下降。另一方面，由于流延带26的Y方向两端部中不产生溶剂的蒸发，所以流延带26的Y方向两端部温度不怎么发生改变。这样，膜干燥工序的流延带26上产生随着从Y方向中央部朝向Y方向两端部变高温的温度分布。因这种Y方向的温度分布，导致流延带26的Y方向两端部卷取。
因此，为了防止流延带26的Y方向两端部的卷取，优选与膜干燥工序并行进行对流延带26的Y方向两端部进行冷却的冷却工序，以便膜干燥工序中流延带26的温度在Y方向上变得均匀。作为这种流延带26的Y方向两端部的冷却构件，可利用上述带一端调温单元、带另一端调温单元、辊一端调温单元及辊另一端调温单元中的任一单元。流延带26的Y方向两端部的冷却构件优选设置于水平辊24、水平辊25之间。基于流延带26的Y方向两端部的冷却构件的冷却范围优选设为水平辊24、水平辊25之间的部分，即均不与水平辊24、水平辊25接触的部分。优选与第1干燥工序同时开始冷却工序。
将流延模40的设置位置设为水平辊24的上方，但是本发明不限于此。将第1密封部件31～第2密封部件32设置成靠近卷绕于水平辊25的流延带26的部分时，可将流延模40的设置位置设为水平辊24的上方。另外，将支撑流延带26的支撑辊设置于水平辊24、水平辊25之间、并将第1密封部件31～第2密封部件32设置成靠近支撑于支撑辊的流延带26的部分时，可将流延模40的设置位置设为支撑辊的上方。
在以上任一实施方式中均抑制水平辊24、水平辊25与流延带26之间的摩擦。
通过本发明得到的膜16尤其能够用于相位差膜或偏光板保护膜。
膜16的宽度优选为600mm以上，更优选为1400mm以上2500mm以下。并且，本发明在膜16的宽度大于2500mm时也有效。并且，膜16的膜厚优选为20μm以上80μm以下。
并且，优选膜16的面内延迟Re为20nm以上300nm以下，优选膜16的厚度方向延迟Rth为‑100nm以上300nm以下。
面内延迟Re的测定方法为如下。关于面内延迟Re，使用了在25℃温度、60％RH湿度下对样品膜进行2小时调湿并用自动双折射仪(KOBRA21DH王子计量设备株式会社)从632.8nm处的垂直方向测定的延迟值。另外Re用下式表示。
Re＝|n1‑n2|×d
n1表示慢轴的折射率，n2表示进相轴2的折射率，d表示膜的厚度(膜厚)。
厚度方向延迟Rth的测定方法为如下。根据在25℃温度、60％RH湿度下对样品膜进行2小时调湿并用椭圆偏振计(M150日本分光株式会社制)从632.8nm处的垂直方向测定的值和边使膜面倾斜边相同地测定的延迟值的外插值，并按照下述公式计算。
Rth＝{(n1+n2)/2‑n3}×d
n3表示厚度方向的折射率。
(聚合物)
上述实施方式中，成为聚合物膜的原料的聚合物并没有特别限定，例如有纤维素酰化物或环状聚烯烃等。
(纤维素酰化物)
用于本发明的纤维素酰化物的酰基可以仅为1种，或者也可以使用2种以上的酰基。当使用2种以上的酰基时，优选其中1个为乙酰基。优选用羧酸使纤维素中的羟基酯化的比例、即酰基的取代度满足所有下述公式(I)～(III)。另外，在以下公式(I)～(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，另外B为碳原子数3～22的酰基的取代度。另外，优选三醋酸纤维素(TAC)的90质量％以上为0.1mm～4mm的颗粒。
(I)2.0≤A+B≤3.0
(II)1.0≤A≤3.0
(III)0≤B≤2.0
酰基的全取代度A+B更优选为2.20以上2.90以下，尤其优选为2.40以上2.88以下。并且，碳原子数3～22的酰基的取代度B更优选为0.30以上，尤其优选为0.5以上。
作为纤维素酰化物的原料的纤维素可以是由棉绒纤维、纸浆中的任一种得到的纤维素。
作为本发明的纤维素酰化物的碳数2以上的酰基，既可以是脂肪族基也可以是芳基，没有特别限定。它们例如为纤维素的烷羰基酯、烯羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷羰基酯等，可以分别具有进一步被取代的基团。作为它们的优选例子，能够举出丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十三烷酰基、十四烷酰基、十六烷酰基、十八烷酰基、异丁酰基、叔丁酰基、环己烷基羰基、油酰基、苯甲酰基、萘羰基及肉桂酰基等。其中更优选为丙酰基、丁酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、叔丁酰基、油酰基、苯甲酰基、萘羰基及肉桂酰基等，尤其优选为丙酰基、丁酰基。
(溶剂)
作为制备浓液的溶剂，可以举出芳香族烃(例如，苯及甲苯等)、卤代烃(例如，二氯甲烷及氯苯等)、醇(例如，甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇及二甘醇等)、酮(例如，丙酮及甲乙酮等)、酯(例如，醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯等)及醚(例如，四氢呋喃及甲基溶纤剂等)等。另外，在本发明中，浓液是指将聚合物溶解或分散于溶剂中而得到的聚合物溶液及分散液。
这些当中，优选使用碳原子数1～7的卤代烃，最优选使用二氯甲烷。从聚合物的溶解性、流延膜从支撑体的剥离性、膜的机械性强度等及膜的光学特性等物性的观点考虑，除二氯甲烷之外，还优选混合一种至数种碳原子数1～5的醇。醇的含量相对所有溶剂优选为2质量％～25质量％，更优选为5质量％～20质量％。作为醇的具体例子，可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇及正丁醇等，但是优选使用甲醇、乙醇、正丁醇或它们的混合物。
但是，最近以将对环境的影响抑制到最小限度为目的，对不使用二氯甲烷时的溶剂组成也进行了研究，针对该目的，优选使用碳原子数为4～12的醚、碳原子数为3～12的酮、碳原子数为3～12的酯、碳原子数为1～12的醇。有时适当混合这些来使用。例如，可以举出醋酸甲酯、丙酮、乙醇、正丁醇的混合溶剂。这些醚、酮、酯及醇可以具有环状结构。并且，具有2个以上醚、酮、酯及醇的官能团(即，‑O‑、‑CO‑、‑COO‑及‑OH)中的任意一种的化合物也能够用作溶剂。
另外，日本专利公开2005‑104148号的[0140]段落到[0195]段落中对纤维素酰化物的详细内容进行了记载。这些记载也能够应用于本发明中。另外，同样在日本专利公开2005‑104148号的[0196]段落到[0516]段落中对溶剂及增塑剂、劣化防止剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟抑制剂、染料、去光剂、剥离剂及剥离促进剂等添加剂上也进行了详细记载。