一种激光干涉仪辅助组合夹具.pdf

本发明涉及一种激光干涉仪辅助组合夹具，辅助普通激光干涉仪完成多轴数控机床平动轴几何精度检测。该套组合夹具主要由：夹持转盘，安装方盘，面对角线楔块，体对角线楔块，干涉仪面对角线楔块，干涉仪体对角线楔块等共同组成。该套组合夹具可与普通激光干涉仪配合使用，结构简单，调整灵活，可辅助普通激光干涉仪完成单轴定位精度检测和多平动轴的联动轨迹定位精度检测，为多轴数控机床平动轴几何精度的检测和辨识提供便利。

权利要求书
1.  一种激光干涉仪辅助组合夹具，与普通激光干涉仪及三脚架配合使用，辅助普通激 光干涉仪完成多轴数控机床平动轴几何精度检测；其特征在于，该组合夹具包括：夹持转 盘，安装方盘，面对角线楔块，体对角线楔块，干涉仪面对角线楔块，干涉仪体对角线楔 块；所述夹持转盘由圆盘底座和与底座连接成一体的中心圆柱柄组成，圆盘底座上分布有 通孔，用于与安装方盘连接；所述安装方盘为一块正方形板，在安装方盘正面中心部位开 有螺纹孔，用于与夹持转盘进行连接紧固；在安装方盘反面的四个角处开有螺纹孔，用于 紧固和连接激光干涉仪的安装镜柄；在安装方盘底部的两个邻边设置有定位凸条，用于面 对角线楔块位姿的精确安装定位；在该两个邻边夹角处一个定位凸条内侧开有螺纹孔，用 于Y、Z轴联动定位精度检测时，面对角线楔块的紧固；在该两个邻边夹角处另一个定位 凸条内侧开有螺纹孔，用于X、Z轴联动定位精度检测时，面对角线楔块的紧固；安装方 盘底面一角位置上设置有定位凸块，用于体对角线楔块位姿的精确安装定位；在定位凸块 内侧开有螺纹孔，用于X、Y、Z三轴联动定位精度检测时，体对角线楔块的紧固；夹持转 盘和安装方盘组合成为一个装配体安装在机床主轴头上使用。

2.  如权利要求1所述组合夹具，其特征在于，所述的面对角线楔块由长方形底块和 设置在底块中部的凸台组成，凸台上表面与水平面形成一α夹角的斜面，α由待检测的 两轴联动面对角线轨迹与水平面所成的夹角确定，面对角线楔块斜面上开有螺纹孔，对角 楔块底块两侧开有长圆通孔。

3.  如权利要求1所述组合夹具，其特征在于，所述体对角线楔块由长方形底块和设 置在底块中部的凸台组成，凸台上表面与水平面形成一β夹角的斜面，β由待检测的三 轴联动体对角线轨迹与水平面所成的夹角确定，体对角线楔块斜面上开有螺纹孔，体对角 线楔块底块两侧开有长圆通孔。

4.  如权利要求1所述组合夹具，其特征在于，所述干涉仪面对角线楔块为一长方形 块体，其中，块体的两短侧面为弧形面，两长侧面为平面，上表面为与水平面形成一α夹 角的斜面，该α夹角与面对角线楔块斜面的夹角α相同，斜面上中央处设置一螺纹轴， 面对角线楔块底面中央开有与螺纹轴L1共轴的螺纹孔。

5.  如权利要求1所述组合夹具，其特征在于，所述干涉仪体对角线楔块为一长方形 块体，其中，块体的两短侧面为弧形面，两长侧面为平面，上表面为与水平面形成一β夹 角的斜面，该β夹角与体对角线楔块14斜面的夹角β相同，斜面上中央处设置一螺纹轴， 底面中央开有与螺纹轴共轴的螺纹孔。

说明书一种激光干涉仪辅助组合夹具
技术领域
本发明属于机械制造设计领域及检测仪器领域，具体涉及一种配合激光干涉仪进行多 轴数控机床平动轴几何精度检测的组合夹具。
背景技术
随着我国航空航天和汽车制造业的迅速发展，多轴联动数控机床广泛应用于各种复杂 零件的加工中。多轴数控机床应用于复杂零件加工时，在其几何精度保证方面主要有两个 热点问题：(1)为满足复杂零部件的加工精度要求，确保所采用多轴数控机床具有足够的 初始几何精度。(2)当多轴数控机床应用于复杂零件的加工后，随着时间的推移，机床的 精度必然有所下降。为此，必须定期对机床进行误差检测和补偿，以保证机床加工精度维 持在较为稳定的水平。
无论是评价机床的初始精度，还是定期对机床精度进行检测和补偿，几何精度检测的 核心问题是误差检测工具和辨识方法。目前，针对多轴数控机床平动轴的误差检测，应用 最多的仪器就是激光干涉仪。激光干涉仪主要由激光发射器、反射镜、干涉镜、安装镜柄、 磁性座及三角架等组成。基于激光干涉仪国内外的学者提出了很多的误差辨识方法，如9 线法，12线法，14线法，15线法等等。除了9线法仅需要进行单轴误差的检测，其他的 检测方法都需要进行两轴或三轴联动轨迹定位精度的检测。无论单轴误差检测还是多轴联 动定位误差检测，通常需要将反射镜通过磁性座固定在机床主轴端面上，并更换反射镜的 位置来获得不同的检测数据。一般情况下，机床的主轴端面并没有足够的空间来为磁性座 更换合适的位置，而且通过更换磁性座的位置来获得不同位置反射镜距离的精度较低，这 对于误差的准确辨识很不利。此外，激光干涉仪检测水平面内的任意直线都是容易实现的， 如X、Y轴联动的直线轨迹。但由于激光干涉仪的三脚架无法调节精准倾斜角度，而激光 发射器的调节云台最大调节角度不到1°，对和水平面具有一定夹角的倾斜直线的检测， 往往需要经验丰富的工程师反复手动调剂三脚架的倾斜度来完成，如XZ,YZ,XYZ轴联动的 直线轨迹。这样做虽然也能完成平动轴几何误差的检测，但对工程经验的依赖性过强，调 节过程费时、费力，不利于工业化高效生产的保证。虽然应用9线法进行误差检测过程相 对简单，无需对激光发生器进行倾斜角度的调整，但完成9线法检测是需要具有产生双频 激光的发射器。该种双频激光发射器往往价格较为昂贵，是一般企业所不愿意采用的。因 此，设计一套激光干涉仪辅助组合夹具，在低成本条件下辅助普通激光干涉仪实现反射镜 灵活精准的位置变换，实现与水平面有一定倾斜角度的直线的便捷检测，具有重要的应用 前景。
发明内容
本发明的目的在于为克服已有技术的不足之处，提供一种激光干涉仪辅助组合夹具，该夹 具与普通激光干涉仪及三角架配合使用，可以使得普通激光干涉仪具有角度调节功能，方 便地检测与水平面成特定角度的倾斜直线的定位误差；大大缩短机床平动轴几何精度检测 的时间和成本。
本发明提出的一种激光干涉仪辅助组合夹具，与普通激光干涉仪及三脚架配合使用， 辅助普通激光干涉仪完成多轴数控机床平动轴几何精度检测；其特征在于，该组合夹具包 括：夹持转盘，安装方盘，面对角线楔块，体对角线楔块，干涉仪面对角线楔块，干涉仪 体对角线楔块；所夹持转盘由圆盘底座和与底座连接成一体的中心圆柱柄组成，圆盘底座 上分布有通孔，用于与安装方盘连接；所述安装方盘为一块正方形板，在安装方盘正面中 心部位开有螺纹孔，用于与夹持转盘进行连接紧固；在安装方盘反面的四个角处开有螺纹 孔，用于紧固和连接激光干涉仪的安装镜柄；在安装方盘底部的两个邻边设置有定位凸条， 用于对面对角线楔块位姿的精确安装定位；在该两个邻边夹角处一个定位凸条内侧开有螺 纹孔，用于Y、Z轴联动定位精度检测时，面对角线楔块13的紧固；在该两个邻边夹角处 另一个定位凸条内侧开有螺纹孔，用于X、Z轴联动定位精度检测时，面对角线楔块的紧 固；安装方盘底部一角位置上设置有两个定位凸块，用于体对角线楔块位姿的精确安装定 位；在定位凸块内侧开有螺纹孔，用于X、Y、Z三轴联动定位精度检测时，体对角线楔块 的紧固；夹持转盘和安装方盘组合成为一个装配体安装在机床主轴头上使用。
根据不同的检测目标，该激光干涉仪辅助夹具的装配形式不同。
首先将夹持转盘和安装方盘通过螺栓进行连接，夹持转盘和安装方盘的接触面之间设 置有与孔匹配的弹簧垫圈。通过孔中螺栓的松紧度可以调节安装方盘相对夹持转盘的姿 态。将夹持转盘的圆柱柄加紧在机床的刀具安装接口内，确保夹持转盘和安装方盘构成的 组合装配体相对于机床紧固连接。利用过千分表对安装方盘沿X轴的边沿打表，并调节主 轴的转动角度，确保安装方盘相对X轴平行安装。利用千分表对安装方盘底部的凸台分别 沿X轴和Y轴压表检测，同时调节孔中螺栓的松紧度，确保安装方便的底面相对于机床的 XY平面平行。经过打表调节调节使得安装方盘相对于机床坐标系具有相同的姿态。
在进行单轴平动定位精度检测时，将安装镜柄通过螺纹连接紧固在安装方盘四个顶角 处的螺纹孔中，确保镜柄垂直于安装方盘的底面。每次进行单轴定位精度检测时，只需在 与所需检测运动轴垂直的两个螺纹孔中旋入安装镜柄。在进行单轴定位精度检测时，反射 镜和激光反射器都处于水平状态，只需要利用三脚架将激光发射器调节到合适的高度，再 利用微调云台调节激光发射器的姿态，确保发射激光和反射激光在同一直线上即可进行X 轴单轴定位精度检测。于此类似，对Y轴和Z轴单轴定位精度时，可参考X轴单轴定位精 度检测方法对激光干涉仪及辅助夹具进行布局安装。由于X轴、Y轴联动轨迹与水平面平 行，因此其定位精度的检测方法可类似X轴或Y轴单轴运动轨迹定位精度的检测方法对激 光干涉仪及辅助夹具进行布局安装。
在进行X轴、Z轴联动轨迹定位精度检测时，将面对角楔块的定位边与安装方盘的定 位凸台紧靠，通过螺栓和螺纹孔配合连接，将面对角线楔块紧固在安装方盘的底部，确保 面对角楔块倾斜角绕Y轴。安装镜柄通过螺栓连接旋入面对角线楔块倾斜面上的螺纹孔内， 并与该斜面保持垂直。将反射镜紧固在安装镜柄上。于此同时，通过螺纹连接将激光干涉 仪面对角线楔块安装在三脚架的安装平台和微调云台之间。将激光发射器安装在微调云台 上，调节三脚架的高度以及微调云台的姿态，确保发射激光和反射激光在在同一条直线上， 即可进行X轴、Z轴联动定位精度检测。于此类似，对Y轴、Z轴联动定位精度检测时， 可参考X轴、Z轴联动定位精度检测方法对激光干涉仪及辅助夹具进行布局安装。
在进行X轴、Y轴、Z轴三轴联动轨迹定位精度检测时，将体对角线楔块的定位边分 别与安装方盘底部的体对角线楔块定位凸台紧靠，并通过螺纹配合将体对角线楔块紧固在 安装方盘底部。安装镜柄通过螺纹连接旋入体对角线楔块倾斜面上的螺纹孔内，并与该斜 面保持垂直。将反射镜紧固在安装镜柄上。于此同时，通过螺纹连接将激光干涉仪体对角 线楔块安装在三脚架的安装平台和微调云台之间。将激光发射器安装在微调云台上，调节 三脚架的高度以及微调云台的姿态，确保发射激光和反射激光在在同一条直线上，即可进 行两轴联动定位精度检测。
根据所述，本发明的优点在于：
该套夹具可与普通单频激光干涉仪以及三脚架组合使用，可以方便的检测与水平面成 特定角度的倾斜直线的定位误差。从而使得多轴数控机床的平动轴几何误差检测更加高效 和工具化，不再过分依赖工程师的经验，可以为企业节省大量的时间和成本。
通过面对角线楔块，体对角线楔块，干涉仪面对角线楔块，干涉仪体对角线楔块来调 节激光发生器和反射镜的倾斜角度，从而可以完成单平动轴直线定位精度和多平动轴联动 倾斜直线定位精度的检测。
该套激光干涉仪辅助夹具具有工具化的调节部件，程式化的调节过程，不用过分依赖 工程师的调节经验，可以大大缩短机床平动轴几何精度检测的时间和成本，具有广阔的应 用价值。
附图说明
图1为本发明辅助组合夹具的夹持转盘和安装方盘的结构及装配示意图。
图2为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具中面对角线楔块13，体对角线楔块14，干 涉仪面对角线楔块15，干涉仪体对角线楔块16的具体结构；其中，图2(a)为面对角线 楔块13结构示意图，图2(b)为体对角线楔块14结构示意图，图2(c)为干涉仪面对 角线楔块15结构示意图，图2(d)为干涉仪体对角线楔块16结构示意图；
图3为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具进行单轴直线定位精度检测的安装模式。
图4为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具进行单轴直线定位精度检测时激光干涉仪、 三脚架与机床安装布置示意图。
图5为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具进行两轴联动倾斜直线定位精度检测的安装 模式。
图6为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具进行两轴联动直线定位精度检测时激光干涉 仪、三脚架与机床安装布置示意图。
图7为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具进行三轴联动倾斜直线定位精度检测的安装 模式。
图8为本发明所述的激光干涉仪辅助夹具进行三轴联动直线定位精度检测时激光干涉 仪、三脚架与机床安装布置示意图。
(注：在使用激光干涉仪进行机床平动轴几何精度检测时，干涉镜的安装和调整主要 依据反射镜和激光反射器构成的光路进行调整。干涉镜的安装并没有特别的要求，一般是 通过可调节镜架来实现，因此本专利并没有画出，发明内容中也没有对反射镜的安装进行 特别的说明。)
图中：1-机床床身，2-X轴移动单元，3-Y轴移动单元，4-Z轴移动单元，5-C轴摆动单 元，6-A轴摆动单元，7-夹持转盘，8-安装方盘，9-安装镜柄，10-反射镜，11-激光发射 器，12-微调云台，13-面对角线楔块，14-体对角线楔块，15-激光干涉仪面对角线楔块， 16-激光干涉仪体对角线楔块，17-三脚架。其中，面对角楔块13和激光干涉仪面对角线 楔块15具有相同的倾斜角度，体对角线楔块14和激光干涉仪体对角线楔块16具有相同 的倾斜角度。
具体实施方式
本发明的一种激光干涉仪辅助组合夹具结合附图及实施例详细说明如下：
本发明所述的一种激光干涉仪辅助组合夹具，与普通激光干涉仪及三脚架配合使用， 辅助普通激光干涉仪完成多轴数控机床平动轴几何精度检测；该组合夹具包括：夹持转盘 7，安装方盘8，面对角线楔块13，体对角线楔块14，干涉仪面对角线楔块15，干涉仪体 对角线楔块16等，各组成部分具体结构特征及连接关系分别说明如下：
夹持转盘7结构如图1(a)所示，它由圆盘底座和与底座连接成一体的中心圆柱柄组 成，圆盘底座上均布有4个圆通孔，用于与安装方盘8连接。
安装方盘8的结构如图1(b)所示，它是一块具有厚度范围为10mm——30mm的正方 形板，方形板的正反面具体结构为：在安装方盘8正面中心部位开有螺纹孔C1、C2、C3、 C4，用于与夹持转盘7进行连接紧固；在安装方盘8反面的四个角处开有螺纹孔A1、A2、 A3、A4，用于紧固和连接激光干涉仪的安装镜柄9；在安装方盘8底部的两个邻边设置有 定位凸条B1、B2，用于对面对角线楔块13姿态的精确安装定位；在该两个邻边夹角处凸 条B1内侧开有螺纹孔E1、E2，用于Y、Z轴联动定位精度检测时，面对角线楔块13的紧 固；在该两个邻边夹角处凸条B2内侧开有螺纹孔F1、F2，用于X、Z轴联动定位精度检测 时，面对角线楔块13的紧固。
安装方盘8底部一角部位置设置有定位凸块D1、D2，用于面对体线楔块14姿态的精 确安装定位；在定位凸块D1、D2内侧分别开有螺纹孔G1、G2，用于X、Y、Z三轴联动定 位精度检测时，体对角线楔块14的紧固。
在实施的过程中，夹持转盘7和安装方盘8组合成为一个装配体安装在机床主轴头上 被多次使用。装配具体实施过程为：夹持转盘7和安装方盘8通过安装方盘8上的螺纹孔 C1-C4、夹持转盘7上的通孔及螺栓进行连接。夹持转盘7和安装方盘8的接触面之间设 置有与孔C1—C4匹配的弹簧垫圈。通过C1—C4孔中螺栓来调节弹簧垫圈的松紧度可以小 范围调节安装方盘8相对夹持转盘7的姿态。将夹持转盘7的圆柱夹紧在机床的刀具安装 孔内，确保夹持转盘7和安装方盘8构成的组合装配体相对于机床紧固连接。在以上装配 完成后，利用千分表对安装方盘8上凸条B2所在的侧边沿X轴的打表，并调节主轴的转 动角度，确保安装方盘边沿相对X轴平行安装。然后利用千分表对安装方盘底部的B1、B2 凸台分别沿X轴和Y轴压表检测，同时调节过C1—C4孔中螺栓的松紧度，确保安装方便 的底面相对于机床的XY平面平行。经过以上两步调节，可确保在检测初始点，安装方盘8 相对机床坐标系具有相同的姿态。在平动轴误差检测的过程中，夹持转盘7和安装方盘8 构成的装配体将保持该初始姿态，并为激光干涉仪的反射镜的安装提供安装平台。
本辅助组合夹具的面对角线楔块13，体对角线楔块14，干涉仪面对角线楔块15，干 涉仪体对角线楔块16如图2所示，具体结构分别说明如下：
本辅助组合夹具的面对角线楔块13结构如图2(a)所示，它由长方形底块和设置在 底块中部的凸台组成，凸台上表面与水平面形成一α夹角的斜面，α由待检测的两轴联 动面对角线轨迹与水平面所成的夹角确定，面对角线楔块13斜面上开有螺纹孔H，对角楔 块13底块两侧开有长圆通孔I1和I2。
体对角线楔块14结构如图2(b)所示，它的形状与面对角线楔块13基本相同，由长 方形底块和设置在底块中部的凸台组成，凸台上表面与水平面形成一β夹角的斜面，β由 待检测的三轴联动体对角线轨迹与水平面所成的夹角确定，体对角线楔块14斜面上开有 螺纹孔J，体对角线楔块14底块两侧开有长圆通孔K1和K2。
干涉仪面对角线楔块15结构如图2(c)所示，该干涉仪面对角线楔块15为一长方形 块体，其中，块体的两短侧面为弧形面，两长侧面为平面，上表面为与水平面形成一α夹 角的斜面，此处α与面对角线楔块13斜面的夹角α一致，斜面上中央处设置一螺纹轴 L1，面对角线楔块15底面中央开有与螺纹轴L1共轴的螺纹孔L2。
干涉仪体对角线楔块16结构如图2(d)所示，该对角线楔块16结构与面对角线楔块 15基本相同，为一长方形块体，其中，块体的两短侧面为弧形面，两长侧面为平面，上表 面为与水平面形成一β夹角的斜面，此处β与体对角线楔块14斜面的夹角β一致，斜 面上中央处设置一螺纹轴M1，底面中央开有与螺纹轴M1共轴的螺纹孔M2。
根据不同的检测目标，该激光干涉仪辅助夹具的装配形式不同，具体应用实施例如下 所述：
应用实施例1为对龙门C-A摆头五轴数控机床进行单轴平动定位精度检测的实施方 法。进行单轴定位精度检测时辅助夹具的装配如图3所示，安装镜柄9通过螺纹连接紧固 在安装方盘8的螺纹孔A1—A4中，确保镜柄9垂直于安装方盘8的底面。每次进行单轴 定位精度检测时，只需在与所需检测运动轴垂直的两个螺纹孔中旋如安装镜柄9。相应地， 激光干涉仪、三脚架与机床的整体布局安装如图4所示(此处以X轴的定位精度检测为例 进行说明，Y轴和Z轴的定位精度检测于此相似，不在赘述)，图中显示了龙门C-A摆头五 轴数控机床的主要结构，包括床身1、X轴运动单元2、Y轴运动单元3、Z轴运动单元4、 C轴摆动单元5、A轴摆动单元6。利用激光干涉仪辅助夹具进行单轴误差检测时实施方式 如下：在进行单轴定位精度检测时，反射镜10和激光发射器11都处于水平状态，只需要 利用三脚架17将激光发射器11调节到合适的高度，再利用微调云台12调节激光发射器 11的姿态，确保发射激光和反射激光在同一直线上即可进行按照激光干涉仪的使用方法对 X轴单轴定位精度检测。与此类似，对Y轴和Z轴单轴定位精度检测时，可参考X轴单轴 定位精度检测方法对激光干涉仪及辅助夹具进行布局安装。此外，由于X轴、Y轴联动轨 迹与水平面平行，因此其定位精度的检测方法可类似X轴或Y轴单轴运动轨迹定位精度的 检测方法对激光干涉仪及辅助夹具进行布局安装，只需确保激光发射器11投射的激光线 路与机床X轴、Y轴联动轨迹线重合即可。
应用实施例2为对龙门C-A摆头五轴数控机床进行X轴、Z轴联动轨迹定位精度检测 时激光干涉仪辅助夹具的实施方法。其中，进行X轴、Z轴联动轨迹定位精度检测时辅助 夹具的安装如图5所示，面对角线楔块13的定位边与安装方盘8的定位凸台B1或B2紧 靠，将螺栓穿过面对角线楔块13上的长圆孔I1和I2，并通过螺纹孔E1、E2或F1、F2配 合连接，将面对角线楔块13紧固在安装方盘8的底部。安装镜柄9通过螺栓连接旋入面 对角线楔块13倾斜面上的螺纹孔H内，并与该斜面保持垂直，将反射镜紧固在安装镜柄9 上。进行X轴、Z轴联动轨迹定位精度检测时激光干涉仪、三脚架与机床的布局安装如图 6所示，三脚架与激光干涉仪的安装为：通过螺纹连接将激光干涉仪面对角线楔块15安装 在三脚架17的安装平台和微调云台12之间,其中激光干涉仪面对角线楔块15底部中央的 螺纹孔L2与三角架平台上的螺纹轴紧固，激光干涉仪面对角线楔块15上部斜面上的螺纹 轴L1与微调云台12底部螺纹孔紧固。进行X、Z轴联动精度检测具体实施如下：将激光 发射器安装在微调云台12上，调节三脚架17的高度以及微调云台12的姿态，当X、Z轴 两轴联动时，确保发射激光和反射激光在在同一条直线上，即可按照激光干涉仪的使用方 法进行X轴、Z轴联动定位精度检测。于此类似，对Y轴、Z轴联动定位精度检测时，可 参考X轴、Z轴联动定位精度检测方法对激光干涉仪及辅助夹具进行布局安装。
应用实施例3为进行X、Y、Z三轴联动轨迹定位精度检测时激光干涉仪辅助夹具的实 施方法。如图7所示为进行X、Y、Z三轴联动轨迹定位精度检测时辅助夹具的装配示意图， 体对角线楔块14的定位边分别与安装方盘8底部的体对角线楔块定位凸台D1、D2紧靠， 将螺栓穿过体对角线楔块14两侧的长圆孔K1、K2，并与螺纹孔G1、G2配合从而将体对角 线楔块14紧固在安装方盘8底部。安装镜柄9通过螺栓连接旋入体对角线楔块14倾斜面 上的螺纹孔J内，并与该斜面保持垂直。将反射镜紧固在安装镜柄9上。进行X、Y、Z三 轴联动轨迹定位精度检测时，激光干涉仪、三脚架与机床的布局安装如图8所示，通过螺 纹连接将激光干涉仪体对角线楔块16安装在三脚架17的安装平台和微调云台12之间， 其中激光干涉仪体对角线楔块16底部中央的螺纹孔M2与三角架平台上的螺纹轴紧固，激 光干涉仪体对角线楔块16上部斜面上的螺纹轴M1与微调云台12底部螺纹孔紧固。进行X、 Y、Z三轴联动轨迹精度检测的具体实施过程如下：将激光发射器安装在微调云台12上， 调节三脚架17的高度以及微调云台12的姿态，当X、Y、Z三轴联动时，确保发射激光和 反射激光在在同一条直线上，即可即可按照激光干涉仪的使用方法进行三轴轴联动定位精 度检测。
本发明以典型C-A摆头五轴数控机床的单轴定位精度检测及多平动轴联动定位精度检 测的安装方法为例进行了本发明的应用说明。本领域的技术人员在不超出本发明范围的情 况下，可自行设计联动轨迹的长度及其与水平面的倾斜角度，只要确保激光反射器的倾斜 角度与反射镜的倾斜角度一致即可。