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1、10申请公布号CN104125884A43申请公布日20141029CN104125884A21申请号201380011184522申请日20130305201204905720120306JPB32B27/00200601B32B27/30200601C09J7/00200601C09J133/00200601C09J175/04200601C09J201/0020060171申请人琳得科株式会社地址日本东京都72发明人剑持卓永绳智史永元公市74专利代理机构中国专利代理香港有限公司72001代理人蔡晓菡孟慧岚54发明名称阻气膜层叠体、粘合膜和电子构件57摘要本发明为阻气膜层叠体及具有前述阻气。
2、膜层叠体的电子构件、以及具有权利要求11的所述式(I)所示的剪切载荷的减少率为70以下的粘合剂层的粘合膜,其中,所述阻气膜层叠体为至少包含2张阻气膜的阻气膜层叠体,相邻的2张阻气膜隔着粘合剂层层叠,前述粘合剂层的权利要求1所述式(I)所示的剪切载荷的减少率为70以下。根据本发明,提供具有高水蒸气阻隔性、即使在高温及高湿度下长时间放置的情况下,也难以产生气泡等外观不良阻气膜层叠体及具备前述阻气层叠体的电子构件、以及在制造前述阻气膜层叠体时有用的粘合膜。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2014082786PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/0559342013030587P。
3、CT国际申请的公布数据WO2013/133256JA2013091251INTCL权利要求书2页说明书28页附图4页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书28页附图4页10申请公布号CN104125884ACN104125884A1/2页21阻气膜层叠体,其为至少包含2张阻气膜的阻气膜层叠体,其特征在于,相邻的2张阻气膜隔着粘合剂层层叠而成,所述粘合剂层的下述式(I)所示的剪切载荷的减少率()为70以下,数学式1式中,X表示使用具有聚对苯二甲酸乙二醇酯膜/粘合剂层/无碱玻璃的3层结构的、贴合面积为225MM2(15MM15MM)的试验片,在2350RH、剪切速度0。
4、1MM/分钟的条件下进行剪切试验的情况下,剪切方向的移位为01MM时的剪切载荷(N);Y表示使用同样的试验片,在80、剪切速度01MM/分钟的条件下进行剪切试验的情况下,剪切方向的移位为01MM时的剪切载荷(N)。2根据权利要求1所述的阻气膜层叠体,其中,所述阻气膜具有基材膜和设置于该基材膜上的至少1层阻气层。3根据权利要求2所述的阻气膜层叠体,其中,相邻的2张阻气膜以该阻气膜的阻气层彼此相对的方式进行层叠。4根据权利要求2或3所述的阻气膜层叠体,其中,所述阻气层是对包含高分子硅化合物的层注入离子而形成的层。5根据权利要求1或2所述的阻气膜层叠体,其中,所述粘合剂层是包含丙烯酸系粘合剂或聚氨酯。
5、系粘合剂的层。6根据权利要求5所述的阻气膜层叠体,其中,所述丙烯酸系粘合剂以具有源自具有羧基的丙烯酸系单体的重复单元、和源自不具有官能团的丙烯酸系单体的重复单元两者的丙烯酸系共聚物为主成分。7根据权利要求6所述的阻气膜层叠体,其中,所述丙烯酸系共聚物的重均分子量为100,0001,000,000。8根据权利要求5所述的阻气膜层叠体,其中,所述丙烯酸系粘合剂包含交联剂。9根据权利要求1所述的阻气膜层叠体,其中,所述粘合剂层的厚度为05100M。10根据权利要求1所述的阻气膜层叠体,其中,所述阻气膜的水蒸气透过率在40、相对湿度90的气氛下为00000110G/M2/DAY。11粘合膜,其为用于制。
6、造至少包含2张阻气膜、相邻的2张阻气膜隔着粘合剂层层叠而成的阻气膜层叠体的粘合膜,其特征在于,至少阻气膜与粘合剂层相邻层叠而成,所述粘合剂层的下述式(I)所示的剪切载荷的减少率()为70以下,数学式2式中,X表示使用具有聚对苯二甲酸乙二醇酯膜/粘合剂层/无碱玻璃的3层结构的、贴合面积为225MM2(15MM15MM)的试验片,在2350RH、剪切速度01MM/分钟的条件权利要求书CN104125884A2/2页3下进行剪切试验的情况下,剪切方向的移位为01MM时的剪切载荷(N);Y表示使用同样的试验片,在80、剪切速度01MM/分钟的条件下进行剪切试验的情况下,剪切方向的移位为01MM时的剪切。
7、载荷(N)。12电子构件,其具备权利要求15中任一项所述的阻气膜层叠体。权利要求书CN104125884A1/28页4阻气膜层叠体、粘合膜和电子构件技术领域0001本发明涉及具有优异的阻气性、至少2张阻气膜隔着粘合剂层层叠而成的阻气膜层叠体、制造该阻气膜层叠体时有用的粘合膜、及具备该阻气膜层叠体的电子构件。背景技术0002从以往作为太阳能电池、液晶显示器、电致发光(EL)显示器等的电子构件用的基板,为了实现薄型化、轻量化、挠性化、耐冲击性等,研究了使用透明塑料膜代替玻璃板。0003然而,塑料膜与玻璃板相比,存在容易透过水蒸气、氧等、容易引起电子构件内部的元件劣化的问题。0004为了解决该问题,。
8、专利文献1公开了在透明塑料膜上层叠包含金属氧化物的透明阻气层而成的挠性显示器基板。0005专利文献2中公开了在塑料膜、和该塑料膜的至少一面上层叠以聚有机倍半硅氧烷为主成分的树脂层而成的阻气性层叠体。0006另外,专利文献3公开了在第1透明塑料膜基材上形成透明阻气层、在前述透明阻气层上隔着透明粘合剂层配置有第2透明塑料膜基材的透明膜。0007现有技术文献专利文献专利文献1日本特开2000338901号公报专利文献2日本特开2006123307号公报专利文献3日本特开2006327098号公报。发明内容0008发明要解决的问题如上所述,到目前为止提出了几种阻气膜。0009本申请申请人在之前提出了具。
9、有由含有氧原子、碳原子及硅原子的材料形成的阻气层的成形体(阻气膜)(WO2010/021326号公报、WO2010/107018号公报等)。在这些文献中记载的阻气膜具有优异的阻气性。0010本发明人为了更加提高阻气性,进一步进行了研究,提出了将至少2张阻气性膜隔着粘合剂层层叠而成的层叠体。0011然而,上述那样隔着粘合剂层贴合阻气膜彼此而成的层叠体在高温及高湿度下长时间放置的情况下,有时会因气泡等原因而产生外观不良。0012本发明是鉴于这样的情况而进行的,其目的在于,提供具有高阻气性、且即使在高温和高湿度下长时间放置、也难以产生气泡等外观不良的阻气膜层叠体、制造该阻气膜层叠体时有用的粘合膜、及。
10、具备该阻气膜层叠体的电子构件。0013解决问题的技术手段本发明人为了解决上述课题进行了深入研究。说明书CN104125884A2/28页50014结果获得了如下见解(I)即使是WO2010/021326号公报、WO2010/107018号公报等中记载的具有优异的阻气性的阻气膜,在高温和高湿度下长时间放置的情况下,有时微量的水分也会通过阻气膜、浸入阻气膜层叠体内部;(II)浸入这样的阻气膜层叠体内部的水分由于存在阻气膜反而难以逃出到外部;(III)另外,高温条件下粘合剂层的硬度大幅降低的阻气膜层叠体,即后述的具有超过70的粘合剂层的阻气膜层叠体在高温和高湿度下长时间放置的情况下,从外部浸入的微量。
11、的水分容易滞留在粘合剂层,结果容易产生气泡。0015然后从这些见解发现,后述的具有为70以下的粘合剂层的阻气膜层叠体的阻气性优异,且即使在高温和高湿度下长时间放置的情况下,也难以产生气泡等外观不良,从而完成了本发明。0016因而根据本发明,提供下述(1)(10)的阻气膜层叠体、(11)的粘合膜及(12)的电子构件。0017(1)阻气膜层叠体,其为至少包含2张阻气膜的阻气膜层叠体,其特征在于,相邻的2张阻气膜隔着粘合剂层层叠,前述粘合剂层的下述式(I)所示的剪切载荷的减少率()为70以下。0018数学式1式中,X表示使用具有聚对苯二甲酸乙二醇酯膜/粘合剂层/无碱玻璃的3层结构的、贴合面积为225。
12、MM2(15MM15MM)的试验片,在2350RH、剪切速度01MM/分钟的条件下进行剪切试验的情况下,剪切方向的移位为01MM时的剪切载荷(N);Y表示使用同样的试验片,在80、剪切速度01MM/分钟的条件下进行剪切试验的情况下,剪切方向的移位为01MM时的剪切载荷(N)。0019(2)根据(1)所述阻气膜层叠体,其中,前述阻气膜具有基材膜和设置于该基材膜上的至少1层阻气层。0020(3)根据(2)所述阻气膜层叠体,其中,相邻的2张阻气膜以该阻气膜的阻气层彼此相对的方式进行层叠。0021(4)根据(2)或(3)所述阻气膜层叠体,其中,前述阻气层是对包含高分子硅化合物的层注入离子而形成的层。0。
13、022(5)根据(1)或(2)所述阻气膜层叠体,其中,前述粘合剂层是包含丙烯酸系粘合剂或聚氨酯系粘合剂的层。0023(6)根据(5)所述的阻气膜层叠体,其中,前述丙烯酸系粘合剂以具有来源于具有羧基的丙烯酸系单体的重复单元、和来源于不具有官能团的丙烯酸系单体的重复单元两者的丙烯酸系共聚物为主成分。0024(7)根据(6)所述阻气膜层叠体,其中,前述丙烯酸系共聚物的重均分子量为100,0001,000,000。0025(8)根据(5)所述的阻气膜层叠体,其中,前述丙烯酸系粘合剂包含交联剂。说明书CN104125884A3/28页60026(9)根据(1)所述的阻气膜层叠体,其中,前述粘合剂层的厚度。
14、为05100M。0027(10)根据(1)所述的阻气膜层叠体,其中,前述阻气膜的水蒸气透过率在40、相对湿度90的气氛下为00000110G/M2/DAY。0028(11)粘合膜,其为用于制造至少包含2张阻气膜、相邻的2张阻气膜隔着粘合剂层层叠而成的阻气膜层叠体的粘合膜,其特征在于,至少阻气膜与粘合剂层相邻层叠而成,前述粘合剂层的前述式(I)所示的剪切载荷的减少率()为70以下。0029(12)电子构件,其具备前述(1)(5)中任一项所述的阻气膜层叠体。0030发明效果本发明的阻气膜层叠体是具有高阻气性、且即使在高温和高湿度下长时间放置的情况下也难以产生气泡等外观不良的层叠体。0031本发明的。
15、粘合膜优选用于制造前述阻气膜层叠体时。0032本发明的阻气膜层叠体适合于太阳能电池、液晶显示器、电致发光(EL)显示器等的电子构件用。附图说明0033图1是本发明的阻气膜层叠体的一例的层构成截面图。0034图2是本发明的阻气膜层叠体的一例的层构成截面图。0035图3是制造本发明的阻气膜层叠体的工序截面图。0036图4是实施例中进行粘合剂层的剪切试验时使用的试验片的模式图。具体实施方式0037以下将本发明分成1)阻气膜层叠体、2)粘合膜、及3)电子构件几项进行详细说明。00381)阻气膜层叠体本发明的阻气膜层叠体为至少包含2张阻气膜的阻气膜层叠体,其特征在于,相邻2张阻气膜隔着粘合剂层层叠,前述。
16、粘合剂层是前述式(I)所示的剪切载荷的减少率()为70以下的层。0039(阻气膜)本发明中使用的阻气膜是具有抑制氧、水蒸气透过的特性(以下称为“阻气性”)的膜。0040所使用的阻气膜的水蒸气透过率在40、相对湿度90的气氛下优选为10G/M2/DAY以下,更优选为00000110G/M2/DAY,更优选为00000105G/M2/DAY,进一步优选为00000101G/M2/DAY。0041通过使用水蒸气透过率为10G/M2/DAY以下的阻气膜,可以获得阻气性优异的阻气膜层叠体。对于水蒸气透过率的下限值,从获得难以产生外观不良的阻气膜层叠体的观点出发没有特别限定,越小越优选。但是,从通过使用为。
17、70以下的粘合剂层得到的效果大的观点出发,优选使用在上述条件下水蒸气透过率为000001G/M2/DAY以上的阻气膜。0042需要说明的是,水蒸气透过率可以使用公知的气体透过率测定装置进行测定。0043用于本发明的阻气膜具有上述那样的阻气性即可,其材质等没有特别限定。0044作为用于本发明的阻气膜,从阻气性优异的观点出发,优选具有由合成树脂膜形说明书CN104125884A4/28页7成的基材(以下有时简称为“基材膜”、“基材”。)和设置于该基材上的至少1层的阻气层。0045(基材)作为由合成树脂膜形成的基材的材料,可以列举出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃系树脂;聚苯乙烯等苯乙烯系树脂;聚甲基丙烯酸甲。
18、酯等丙烯酸系树脂;聚酰胺(尼龙6、尼龙66等)、聚间苯二甲酰间苯二胺、聚对苯二甲酰对苯二胺等酰胺系树脂;聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚芳酯等聚酯系树脂;降冰片烯系聚合物、单环的环状烯烃系聚合物、环状共役二烯系聚合物、乙烯基脂环式烃聚合物、及它们的氢化物等环烯烃系聚合物;聚酰亚胺;聚酰胺酰亚胺;聚苯醚;聚醚酮;聚醚醚酮;聚碳酸酯;聚砜;聚醚砜;聚苯硫醚;及它们的高分子的二种以上的组合;等。0046另外,由合成树脂膜形成的基材可以是能量射线固化性化合物的固化物。作为能量射线固化性化合物,可以列举出1,4丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6己二醇二(甲基)丙烯酸酯、新。
19、戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇己二酸酯二(甲基)丙烯酸酯、二环戊基二(甲基)丙烯酸酯、异氰脲酸酯二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等的多官能丙烯酸酯系的能量射线聚合性单体;聚酯(甲基)丙烯酸酯、环氧基(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、多元醇(甲基)丙烯酸酯、硅氧烷(甲基)丙烯酸酯等多官能丙烯酸酯低聚物;等。这里(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的意思。0047这些之中,从透明性优异、具有通用性的观点出发,优选。
20、为聚酯系树脂、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、酰胺系树脂、及环烯烃系聚合物,更优选为聚酯系树脂、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、及环烯烃系聚合物。0048使用的基材的厚度通常为100NM1000M,优选为5200M的范围。0049(阻气层)用于本发明的阻气膜的阻气层是具有阻气性的层。0050阻气层可以在由合成树脂膜形成的基材的单面形成,也可以在基材的两面形成。另外,阻气层可以是单层,也可以多层层叠。0051作为阻气层的材料,只要是阻止氧及水蒸气的透过的材料就没有特别限制,优选能够形成除了优异的阻气性以外、透明性也优异的阻气层的材料。0052作为阻气层的材料,可以列举出例如铝、镁、锌、锡等金属;氧化硅、氧化铝、。
21、氧化镁、氧化锌、氧化铟、氧化锡等无机氧化物;氮化硅等无机氮化物;无机碳化物;无机硫化物;作为它们的复合体的无机氧化氮化物;无机氧化碳化物;无机氮化碳化物;无机氧化氮化碳化物;高分子化合物;等。0053作为形成阻气层的方法,没有特别限定,可以列举出例如将上述材料通过蒸镀法、溅射法、离子镀法、热CVD法、等离子体CVD法等在基材上形成的方法;将上述材料溶解或分散于有机溶剂中而成的溶液通过公知的涂布方法涂布于基材上,将所得的涂膜适度干燥而形成的方法;对由高分子化合物构成的高分子层实施等离子体处理从而形成的方法等。0054阻气层的厚度没有特别限制,通常为20NM50M、优选为30NM1M、更优选为40。
22、NM500NM。说明书CN104125884A5/28页80055本发明中,作为阻气层,从能够容易地形成目标阻气层的观点出发,优选通过对由高分子化合物构成的高分子层实施等离子体处理从而形成的阻气层。0056作为等离子体处理的方法,没有特别限定,可以使用公知的方法。其中,从能够简便且有效地形成阻气性优异的阻气层的观点出发,优选为对高分子层表面注入离子的方法。0057需要说明的是,这种情况下,“阻气层”并不是指仅仅通过离子注入而改性了的部分,而是指“具有通过离子注入而改性了的部分的高分子层”。0058作为构成高分子层的高分子化合物,可以列举出高分子硅化合物;聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃系树脂;聚苯乙烯等。
23、苯乙烯系树脂;聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸系树脂;聚酰胺(尼龙6、尼龙66等)、聚间苯二甲酰间苯二胺、聚对苯二甲酰对苯二胺等酰胺系树脂;聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚芳酯等聚酯系树脂;降冰片烯系聚合物、单环的环状烯烃系聚合物、环状共役二烯系聚合物、乙烯基脂环式烃聚合物、及它们的氢化物等环烯烃系聚合物;聚酰亚胺;聚酰胺酰亚胺;聚苯醚;聚醚酮;聚醚醚酮;聚碳酸酯;聚砜;聚醚砜;聚苯硫醚;及这些高分子的二种以上组合;等。0059需要说明的是,由高分子化合物形成的阻气层不包括在包含前述合成树脂膜的基材中。0060本发明中,这些之中,从能够容易地形成阻气性优异的阻气层的观。
24、点出发,优选为高分子硅化合物、聚酯系树脂或丙烯酸系树脂,更优选为高分子硅化合物。0061作为高分子硅化合物,只要是含有硅的高分子,则可以是有机化合物也可以是无机化合物。可以列举出例如聚有机硅氧烷系化合物、聚碳硅烷系化合物、聚硅烷系化合物、聚硅氮烷系化合物等。0062聚有机硅氧烷系化合物是将具有水解性官能团的硅烷化合物缩聚而得到的化合物。0063对聚有机硅氧烷系化合物的主链结构没有限制,可以是直链状、阶梯状、笼状的任一种。0064例如,作为前述直链状的主链结构,可以列举出下述式(A)所示的结构,作为阶梯状的主链结构,可以列举出下述式(B)所示的结构,作为笼状的主链结构,例如可以列举出下述式(C)。
25、所示的结构。0065化1化2说明书CN104125884A6/28页9化3式中,RX、RY、RZ各自独立地表示氢原子、无取代或具有取代基的烷基、无取代或具有取代基的烯基、无取代或具有取代基的芳基等非水解性基。需要说明的是,式(A)的多个RX、式(B)的多个RY、及式(C)的多个RZ可以分别相同或不同。其中,前述式(A)的RX不会2个同时为氢原子。0066作为无取代或具有取代基的烷基的烷基,可以列举出例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、新戊基、正己基、正庚基、正辛基等碳原子数110的烷基。0067作为烯基,可以列举出例如乙烯基、1丙烯基、2丙烯基、1丁。
26、烯基、2丁烯基、3丁烯基等碳原子数210的烯基。0068作为前述烷基及烯基的取代基,可以列举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等卤素原子;羟基;巯基;环氧基;环氧丙氧基;(甲基)丙烯酰氧基;苯基、4甲基苯基、4氯苯基等无取代或具有取代基的芳基;等。0069作为无取代或具有取代基的芳基的芳基,可以列举出例如苯基、1萘基、2萘基等碳原子数610的芳基。0070作为前述芳基的取代基,可以列举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等卤素原子;甲基、乙基等碳原子数16的烷基;甲氧基、乙氧基等碳原子数16的烷氧基;硝基;氰说明书CN104125884A7/28页10基;羟基;巯基;环氧基;环氧丙氧基;(甲基)丙烯。
27、酰氧基;苯基、4甲基苯基、4氯苯基等无取代或具有取代基的芳基;等。0071这些之中,作为RX、RY、RZ,优选为氢原子、碳原子数16的烷基或苯基,特别优选为碳原子数16的烷基。0072作为聚有机硅氧烷系化合物,优选为前述式(A)所示的直链状的化合物,从获得容易性、及能够形成具有优异的阻气性的层的观点出发,更优选为前述式(A)中2个RX均为甲基的化合物即聚二甲基硅氧烷。0073聚有机硅氧烷系化合物例如可以通过将具有水解性官能团的硅烷化合物进行缩聚的公知制造方法来获得。0074所使用的硅烷化合物根据目标的聚有机硅氧烷系化合物的结构进行适当选择即可。0075聚碳硅烷系化合物是在分子内的主链具有(SI。
28、C)键的高分子化合物。其中,作为用于本发明的聚碳硅烷系化合物,优选含有下述式(D)所示的重复单元。0076化4式中,RW、RV各自独立地表示氢原子、羟基、烷基、芳基、烯基、或1价的杂环基。多个RW、RV可以分别相同或不同。0077作为RW、RV的烷基、芳基、烯基,可以列举出与作为前述RX等例示出的相同的基团。0078作为1价的杂环基的杂环,只要是至少含有1个除了碳原子以外的氧原子、氮原子、硫原子等杂原子的310元的环状化合物就没有特别限制。0079R表示亚烷基、亚芳基或2价的杂环基。0080作为R的亚烷基,可以列举出亚甲基、亚乙基、亚丙基、三亚甲基、四亚甲基、五亚甲基、六亚甲基、八亚甲基等碳原。
29、子数110的亚烷基。0081作为亚芳基,可以列举出亚苯基、1,4亚萘基、2,5亚萘基等碳原子数620的亚芳基。0082作为2价的杂环基,只要是由至少含有1个除了碳原子以外的氧原子、氮原子、硫原子等杂原子的310元的杂环化合物衍生出来的2价的基团就没有特别限制。0083需要说明的是,R的亚烷基、亚芳基、2价的杂环基可以在任意的位置具有烷基、芳基、烷氧基、卤素原子等取代基。0084这些之中,更优选包含式(D)中,RW、RV各自独立地为氢原子、烷基或芳基,R为亚烷基或亚芳基的重复单元者,进一步优选包含RW、RV各自独立地为氢原子或烷基、R为亚烷基的重复单元者。说明书CN104125884A108/2。
30、8页110085具有式(D)所示的重复单元的聚碳硅烷系化合物的重均分子量通常为40012,000。0086作为聚碳硅烷系化合物的制造方法,没有特别限定,可以采用以往公知的方法。0087聚硅烷系化合物是在分子内具有(SISI)键的高分子化合物。作为所述聚硅烷系化合物,可以列举出具有从下述式(E)所示的结构单元中选择出的至少一种重复单元的化合物。0088化5式(E)中,RQ及RR相同或不同,表示氢原子、烯基、环烷基、环烯基、芳基、羟基、烷氧基、环烷基氧基、芳基氧基、芳烷基氧基、任选具有取代基的氨基、甲硅烷基或卤素原子。0089作为RQ及RR的烷基、烯基、芳基,可以列举出与前述RX等例示出的相同的基。
31、团。0090作为环烷基,可以列举出环戊基、环己基、甲基环己基等碳原子数310的环烯基。0091作为环烯基,可以列举出环戊烯基、环己烯基等碳原子数410的环烯基。0092作为烷氧基,可以列举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、叔丁氧基、戊基氧基等碳原子数110的烷氧基。0093作为环烷基氧基,可以列举出环戊基氧基、环己基氧基等碳原子数310的环烷基氧基。0094作为芳基氧基,可以列举出苯氧基、萘基氧基等碳原子数620的芳基氧基。0095作为芳烷基氧基,可以列举出苄基氧基、苯乙基氧基、苯基丙基氧基等碳原子数720的芳烷基氧基。0096作为任选具有取代基的氨基,可以列举出氨基;被烷基、环烷基。
32、、芳基、芳烷基、酰基等取代的N单取代氨基或N,N二取代氨基等。0097作为甲硅烷基,可以列举出甲硅烷基、乙硅烷基、丙硅烷基等SI110硅烷基(优选为SI16硅烷基)、取代甲硅烷基(例如被烷基、环烷基、芳基、芳烷基、烷氧基等取代的取代甲硅烷基)等。0098作为卤素原子,可以列举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。0099前述环烷基、环烯基、烷氧基、环烷基氧基、芳基氧基、芳烷基氧基、甲硅烷基任选具有卤素原子、烷基、芳基、烷氧基等取代基。0100这些之中,从能够获得本发明更优异的效果的观点出发,优选为含有前述式(E)所示的重复单元的化合物,更优选为包含式(E)中RQ、RR各自独立地为氢原子、羟基、烷。
33、基、芳基、烷氧基、氨基或甲硅烷基的重复单元的化合物,进一步优选为包含式(E)中RQ、RR各自独立地为氢原子、烷基或芳基的重复单元的化合物。说明书CN104125884A119/28页120101聚硅烷系化合物的形态没有特别限制,可以为非环状聚硅烷(直链状聚硅烷、支链链状聚硅烷、网眼状聚硅烷等)、环状聚硅烷等的均聚物,也可以为无规共聚物、嵌段共聚物、交替共聚物、梳型共聚物等共聚物。0102聚硅烷系化合物为非环状聚硅烷的情况下,聚硅烷系化合物的末端基(末端取代基)可以是氢原子,也可以是卤素原子(氯原子等)、烷基、羟基、烷氧基、甲硅烷基等。0103作为聚硅烷系化合物的具体例,可以列举出聚二甲基硅烷、。
34、聚(甲基丙基硅烷)、聚(甲基丁基硅烷)、聚(甲基戊基硅烷)、聚(二丁基硅烷)、聚(二己基硅烷)等的聚二烷基硅烷、聚(二苯基硅烷)等的聚二芳基硅烷、聚(甲基苯基硅烷)等聚(烷基芳基硅烷)等的均聚物;二甲基硅烷甲基己基硅烷共聚物等二烷基硅烷与其他二烷基硅烷的共聚物、苯基硅烷甲基苯基硅烷共聚物等芳基硅烷烷基芳基硅烷共聚物、二甲基硅烷甲基苯基硅烷共聚物、二甲基硅烷苯基己基硅烷共聚物、二甲基硅烷甲基萘基硅烷共聚物、甲基丙基硅烷甲基苯基硅烷共聚物等二烷基硅烷烷基芳基硅烷共聚物等共聚物;等。0104聚硅烷系化合物的平均聚合度(例如数均聚合度)通常为5400,优选为10350,进一步优选为20300左右。01。
35、05另外,聚硅烷系化合物的重均分子量为300100,000,优选为40050,000,进一步优选为50030,000左右。0106聚硅烷系化合物的大多为公知物质,可以使用公知的方法进行制造。0107聚硅氮烷系化合物是分子内具有(SIN)键的高分子化合物。作为所述聚硅氮烷系化合物,优选为具有式(F)化6所示的重复单元的化合物。另外,所使用的聚硅氮烷系化合物的数均分子量没有特别限定,优选为10050,000。0108式(F)中,N表示任意的自然数。0109RM、RP、RT各自独立地表示氢原子、烷基、环烷基、烯基、芳基或烷基甲硅烷基等非水解性基。0110作为前述烷基、烯基、芳基,可以列举出与前述RX。
36、等例示出的相同的基团。0111作为环烷基,可以列举出与前述RQ等例示出的相同的基团。0112作为烷基甲硅烷基,可以列举出三甲基甲硅烷基、三乙基甲硅烷基、三异丙基甲硅烷基、三叔丁基甲硅烷基、甲基二乙基甲硅烷基、二甲基甲硅烷基、二乙基甲硅烷基、甲基甲硅烷基、乙基甲硅烷基等。0113这些之中,作为RM、RP、RT,优选为氢原子、碳原子数16的烷基或苯基,特别优选为氢原子。说明书CN104125884A1210/28页130114作为具有前述式(F)所示的重复单元的聚硅氮烷系化合物,可以是RM、RP、RT全部为氢原子的无机聚硅氮烷、RM、RP、RT的至少1个不是氢原子的有机聚硅氮烷中的任一种。0115。
37、作为无机聚硅氮烷,可以列举出具有包含下述式化7所示的重复单元的直链状结构、具有6902000的分子量、一分子中具有310个SIH3基的全氢聚硅氮烷(特公昭6316325号公报)、具有式(A)化8式中,B、C表示任意的自然数,Y1表示氢原子或式(B)化9(式中,D表示任意的自然数,表示键合位置,Y2表示氢原子、或前述(B)所示的基团。)所示的基团。所示的重复单元、具有直链状结构和支链结构的全氢聚硅氮烷、具有式(C)化10说明书CN104125884A1311/28页14所示的全氢聚硅氮烷结构、分子内具有直链状结构、支链结构及环状结构的全氢聚硅氮烷等。0116作为有机聚硅氮烷,可以列举出(I)以(。
38、RMSIHNH)(RM表示与RM相同的烷基、环烷基、烯基、芳基或烷基甲硅烷基。以下的RM也是同样的。)为重复单元、主要具有聚合度为35的环状结构的有机聚硅氮烷;(II)以(RMSIHNRT)(RT表示与RT相同的烷基、环烷基、烯基、芳基或烷基甲硅烷基。)为重复单元,主要具有聚合度为35的环状结构的有机聚硅氮烷;(III)以(RMRPSINH)(RP表示与RP相同的烷基、环烷基、烯基、芳基烷基甲硅烷基。)为重复单元,主要具有聚合度为35的环状结构的有机聚硅氮烷;(IV)分子内具有下述式所示的结构的聚有机(氢)硅氮烷;化11(V)具有下述式化12说明书CN104125884A1412/28页15R。
39、M、RP表示与前述相同的意思,E、F表示任意的自然数,Y3表示氢原子或下述式(D)化13(式中,G表示任意的自然数,表示键合位置,Y4表示氢原子、或前述(D)所示的基团。)所示的基团所示的重复结构的聚硅氮烷等。0117上述有机聚硅氮烷可以通过以往公知的方法制造。例如,可以通过使下述式化14(式中,M表示2或3、X表示卤素原子、R1表示前述RM、RP、RT、RM、RP、RT中的任一取代基。)所示的无取代或具有取代基的卤代硅烷化合物与仲胺的反应产物、与氨或伯胺反应从而获得。0118所使用的仲胺、氨及伯胺可以根据目标的聚硅氮烷系化合物的结构而适当选择。0119另外,本发明中,作为聚硅氮烷系化合物,例。
40、如也可以使用日本特开昭62195024号公报、日本特开平284437号公报、日本特开昭6381122号公报、日本特开平1138108号公报、日本特开平2175726号公报等、日本特开平5238827号公报、日本特开平5238827号公报、日本特开平6122852号公报、日本特开平6306329号公报、日本特开平6299118号公报等、日本特开平931333号公报、日本特开平5345826号公报、日本特开平463833号公报等中记载的聚硅氮烷改性物。0120这些之中,作为本发明中使用的聚硅氮烷系化合物,优选RM、RP、RT均为氢原子的无机聚硅氮烷、RM、RP、RT的至少1个不是氢原子的有机聚硅氮。
41、烷,从获得容易性、及能够形成具有优异的阻气性的注入层的观点出发,更优选为无机聚硅氮烷。0121需要说明的是,聚硅氮烷系化合物也可以直接使用作为玻璃涂布材等而市售的市售品。0122前述高分子层除了上述高分子化合物以外,在不损害本发明目的的范围内还可以含有其他成分。作为其他成分,可以列举出固化剂、其他高分子、抗老化剂、光稳定剂、阻燃剂等。说明书CN104125884A1513/28页160123高分子层中的高分子化合物的含量从能够形成具有优异的阻气性的阻气层的观点出发,优选为50质量以上,更优选为70质量以上。0124作为形成高分子层的方法,没有特别限制,可以列举出例如将包含高分子化合物的至少一种。
42、、根据希望的其他成分及溶剂等的层形成用溶液通过公知的涂布方法涂布于基材上或根据希望形成于基材上的底漆层上,将所得的涂膜适度干燥进行形成的方法。0125作为涂布装置,可以使用旋转涂布机、刮刀式涂胶机、凹版式涂布机等公知的装置。0126从所得涂膜的干燥、膜的阻气性提高的观点出发,优选加热涂膜。作为加热、干燥方法,可以采用热风干燥、热辊干燥、红外线照射等以往公知的干燥方法。加热温度通常为80150,加热时间通常为数十秒数十分钟。0127形成的高分子层的厚度没有特别限制,通常为20NM1000NM、优选为30500NM、更优选为40200NM。0128本发明中,高分子层的厚度即使为纳米级,通过后述那样。
43、注入离子,也可以获得具有充分阻气性能的膜。0129注入到高分子层的离子的注入量可以根据所形成的膜的使用目的(需要的阻气性、透明性等)等来适当决定。0130作为被注入的离子,可以列举出氩、氦、氖、氪、氙等稀有气体的离子;氟碳化合物、氢、氮、氧、二氧化碳、氯、氟、硫等的离子;甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、己烷等烷烃系气体类的离子;乙烯、丙烯、丁烯、戊烯等烯烃系气体类的离子;戊二烯、丁二烯等二烯烃系气体类的离子;乙炔、甲基乙炔等炔烃系气体类的离子;苯、甲苯、二甲苯、茚、萘、菲等芳香族烃系气体类的离子;环丙烷、环己烷等环烷烃系气体类的离子;环戊烯、环己烯等环烯烃系气体类的离子;金、银、铜、铂、镍、钯、。
44、铬、钛、钼、铌、钽、钨、铝等导电性的金属的离子;硅烷(SIH4)或有机硅化合物的离子;等。0131作为有机硅化合物,可以列举出四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四正丙氧基硅烷、四异丙氧基硅烷、四正丁氧基硅烷、四叔丁氧基硅烷等四烷氧基硅烷;二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二乙基二甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、(3,3,3三氟丙基)三甲氧基硅烷等无取代或具有取代基的烷基烷氧基硅烷;二苯基二甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷等芳基烷氧基硅烷;六甲基二硅氧烷(HMDSO)等二硅氧烷;双(二甲基氨基)二甲基硅烷、双(二甲基氨基)甲基乙烯基硅烷、双(乙基氨基)二甲基硅烷、二乙基氨基三甲基硅烷。
45、、二甲基氨基二甲基硅烷、四二甲基氨基硅烷、三(二甲基氨基)硅烷等氨基硅烷;六甲基二硅氮烷、六甲基环三硅氮烷、七甲基二硅氮烷、九甲基三硅氮烷、八甲基环四硅氮烷、四甲基二硅氮烷等硅氮烷;四异氰酸酯硅烷等氰酸酯硅烷;三乙氧基氟硅烷等卤代硅烷;二烯丙基二甲基硅烷、烯丙基三甲基硅烷等链烯基硅烷;说明书CN104125884A1614/28页17二叔丁基硅烷、1,3二硅杂丁烷、双(三甲基甲硅烷基)甲烷、四甲基硅烷、三(三甲基甲硅烷基)甲烷、三(三甲基甲硅烷基)硅烷、苄基三甲基硅烷等无取代或具有取代基的烷基硅烷;双(三甲基甲硅烷基)乙炔、三甲基甲硅烷基乙炔、1(三甲基甲硅烷基)1丙炔等甲硅烷基炔烃;1,4双。
46、三甲基甲硅烷基1,3丁二炔、环戊二烯基三甲基硅烷等甲硅烷基烯烃;苯基二甲基硅烷、苯基三甲基硅烷等芳基烷基硅烷;炔丙基三甲基硅烷等炔基烷基硅烷;乙烯基三甲基硅烷等链烯基烷基硅烷;六甲基二硅烷等二硅烷;八甲基环四硅氧烷、四甲基环四硅氧烷、六甲基环四硅氧烷等硅氧烷;N,O双(三甲基甲硅烷基)乙酰胺;双(三甲基甲硅烷基)碳二酰亚胺;等。0132这些离子可以单独使用一种、或者组合二种以上使用。0133其中,从能够更简便地注入、特别是能够获得具有优异的阻气性的阻气层的观点出发,优选为选自氢、氮、氧、氩、氦、氖、氙、及氪中的至少一种离子。0134作为注入离子的方法,没有特别限定,可以列举出照射通过电场加速了。
47、的离子(离子束)的方法、注入等离子体中的离子的方法等。其中,本发明中,从能够简便地获得阻气性的膜的观点出发,优选为后者的注入等离子体离子的方法。0135作为等离子体离子注入法,优选为(A)将存在于使用外部电场而产生的等离子体中的离子注入到高分子层的表面部的方法、或(B)不使用外部电场,将仅由对前述层施加负的高电压脉冲而得到的电场产生的等离子体中存在的离子注入到高分子层的表面部的方法。0136前述(A)的方法中,优选使注入离子时的压力(等离子体离子注入时的压力)设为0011PA。等离子体离子注入时的压力在这样的范围内时,能够简便且有效地均匀地注入离子,可以有效地形成目标的阻气层。0137前述(B。
48、)的方法不需要提高减压度,处理操作简便,处理时间也能够大幅缩短。另外,能够对前述层整体均匀地进行处理、施加负的高电压脉冲时能够将等离子体中的离子以高能量连续地注入到层的表面部。进一步地不需要射频(高频、以下简称为“RF”。)、微波等高频电力源等特别的其他手段,而仅通过对层施加负的高电压脉冲,就能够在层的表面部均匀地形成良质的离子注入层。0138在前述(A)及(B)中的任一方法中,施加负的高电压脉冲时,即离子注入时的脉冲宽度优选为115SEC。脉冲宽度在这样的范围内时,可以更简便且有效地均匀地注入离子。0139另外,产生等离子体时的施加电压优选为150KV,更优选为130KV,特别优选为520K。
49、V。以施加电压大于1KV的值进行离子注入时,离子注入量(剂量)变得不充分,无法获得所希望的性能。另一方面,以小于50KV的值进行离子注入时,离子注入时膜带电,另外产生对膜的着色等不良情况,不优选。0140作为等离子体离子注入的离子种类,可以列举出与作为前述注入离子例示出的相说明书CN104125884A1715/28页18同的离子。0141对层的表面部注入等离子体中的离子时,使用等离子体离子注入装置。0142作为等离子体离子注入装置,具体而言可以列举出()在对高分子层(以下有时称为“离子注入层”。)施加负的高电压脉冲的馈通上重叠高频电力而使等离子体均等地包围离子注入层的周围,使等离子体中的离子诱导、注入、碰撞、堆积的装置日本特开200126887号公报;在腔室内设置天线,供给高频电力产生等离子体而使等离子体到达离子注入层周围后,对离子注入层交替地施加正和负的脉冲,从而通过正的脉冲使等离子体中的电子诱导碰撞加热离子注入层,控制脉冲常数而进行温度控制,同时通过施加负的脉冲使等离子体中的离子诱导、注入的装置日本特开2001156013号公报;使用微波等高频电力源等的外部电。