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1、(10)申请公布号 CN 102369110 A (43)申请公布日 2012.03.07 CN 102369110 A *CN102369110A* (21)申请号 201080015562.3 (22)申请日 2010.12.13 2009-284686 2009.12.16 JP B41F 15/08(2006.01) B41F 15/12(2006.01) B41F 35/00(2006.01) H05K 3/34(2006.01) (71)申请人 松下电器产业株式会社 地址 日本大阪府 (72)发明人 田中哲矢 时田邦彦 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人。
2、 卢亚静 (54) 发明名称 丝网印刷系统和用于清洁丝网印刷系统的掩 模的方法 (57) 摘要 公开了一种丝网印刷系统和一种用于清洁丝 网印刷系统的掩模的方法， 能够充分地清洁用于 对空穴基板进行丝网印刷的掩模。使纸构件 (42) 的掩模接触区域 (R) 接触第一掩模 (13a) 的其中 一个凸出部 (13t) 的底表面， 并且， 在去除粘附到 该部分的膏剂 (Pst) 之后， 直到纸构件 (42) 与下 一个要去除膏剂 (Pst) 的凸出部 (13t) 接触的期 间， 纸构件 (42) 被卷起， 从而更新掩模接触区域 (R)。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2011.。
3、09.29 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2010/007238 2010.12.13 (87)PCT申请的公布数据 WO2011/074239 JA 2011.06.23 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 10 页 附图 10 页 CN 102369119 A1/1 页 2 1. 一种丝网印刷系统， 通过将第一丝网印刷机联接到第二丝网印刷机而构建， 其中， 第 一丝网印刷机对具有设置在形成于基板主体的上表面的一部分中的多个空穴的各底表面 上的多个第一电极和设置在基板本体的上表面上的多个第二电极的基板进行。
4、定位， 并使具 有第一图案孔的第一掩模与基板的上表面接触， 从而对第一电极进行丝网印刷， 所述第一 图案孔对应于各第一电极且形成于将要嵌合到基板本体的各空穴中的多个向下突出的凸 出部中的每个凸出部中， 并且其中， 第二丝网印刷机对已经由第一丝网印刷机进行丝网印 刷的基板进行定位， 并使具有对应于各第二电极的第二图案孔的平板形的第二掩模与基板 的上表面接触， 从而对第二电极进行丝网印刷， 该丝网印刷系统还包括第一清洁单元和第二清洁单元， 其中， 第一清洁单元相对于第 一掩模进行相对的移动， 从而使通过使纸构件在纸构件支撑部的上端展开而形成的掩模接 触区域与第一掩模的各凸出部的下表面顺序地接触， 。
5、从而去除附着到第一掩模的各凸出部 的各下表面的膏剂， 并且其中， 第二清洁单元相对于第二掩模进行相对的移动， 从而使通过 使纸构件在纸构件支撑部的上端展开而形成的掩模接触区域与第二掩模的下表面接触， 从 而去除附着到第二掩模的下表面的膏剂， 并且 第一清洁单元具有纸构件卷起单元， 在去除附着到第一掩模的其中一个凸出部的下表 面的膏剂之后且在纸构件与下一个要去除膏剂的凸出部接触之前， 该纸构件卷起单元卷起 纸构件， 由此更新掩模接触区域。 2. 一种用于清洁丝网印刷系统的掩模的方法， 该丝网印刷系统通过将第一丝网印刷机 联接到第二丝网印刷机而构建， 其中， 第一丝网印刷机对具有设置在形成于基板本。
6、体的上 表面的一部分中的多个空穴的各底表面上的多个第一电极和设置在基板本体的上表面上 的多个第二电极的基板进行定位， 并使具有第一图案孔的第一掩模与基板的上表面接触， 从而对第一电极进行丝网印刷， 所述第一图案孔对应于各第一电极且形成于将要嵌合到基 板本体的各空穴中的多个向下突出的凸出部中的每个凸出部中， 并且其中， 第二丝网印刷 机对已经由第一丝网印刷机进行丝网印刷的基板进行定位， 并使具有对应于各第二电极的 第二图案孔的平板形的第二掩模与基板的上表面接触， 从而对第二电极进行丝网印刷， 该方法包括 ： 相对于第一掩模相对地致动具有通过使纸构件在纸构件支撑部的上端展 开而形成的掩模接触区域的。
7、第一清洁单元、 从而使掩模接触区域与第一掩模的各凸出部的 下表面顺序地接触、 由此去除附着到第一掩模的各凸出部的下表面的膏剂的步骤 ； 以及， 相 对于第二掩模相对地致动具有通过使纸构件在纸构件支撑部的上端展开而形成的掩模接 触区域的第二清洁单元、 从而使掩模接触区域与第二掩模的下表面接触、 由此去除附着到 第二掩模的下表面的膏剂的另一步骤， 其中， 在借助第一清洁单元去除附着到第一掩模的各凸出部的下表面的膏剂的步骤中， 在去 除附着到第一掩模的其中一个凸出部的下表面的膏剂之后且在第一清洁单元的纸构件与 下一个要去除膏剂的凸出部接触之前， 卷起纸构件， 由此更新掩模接触区域。 权 利 要 求 。
8、书 CN 102369110 A CN 102369119 A1/10 页 3 丝网印刷系统和用于清洁丝网印刷系统的掩模的方法 技术领域 0001 本发明涉及一种丝网印刷系统以及一种用于清洁丝网印刷系统的掩模的方法， 该 丝网印刷系统对所谓的空穴基板进行丝网印刷， 空穴基板具有设置在基板本体的上表面上 的电极和设置在形成于基板本体的上表面中的各开口的底表面上的电极。 背景技术 0002 在要安装有电子元件的基板中， 到目前为止已经知道一种所谓的空穴基板， 这种 空穴基板具有设置在形成于基板本体的上表面中的各开口(空穴)的底表面上的电极和设 置在基板本体的上表面上的电极。由于空穴基板能够使电子元。
9、件进行三维布置， 因此空穴 基板可以构成紧凑的高密度基板。 0003 关于这种空穴基板， 为了使设置在各空穴的底表面上的电极 ( 即， 空穴区域电极 ) 和设置在基板本体的上表面上的电极 ( 即， 平区域电极 ) 印刷有膏剂 ( 如焊料 )， 已经使用 一种通过将第一丝网印刷机联接到第二丝网印刷机而构建的丝网印刷系统。具体地， 第一 丝网印刷机使用具有图案孔的掩模对基板执行丝网印刷， 所述图案孔设置在要嵌合到各空 穴的向下突出的凸出部上， 并对应于各空穴区域电极。第二丝网印刷机使用具有对应于各 平区域电极的图案孔的掩模对基板执行丝网印刷。 0004 到目前为止， 已经知道这种丝网印刷系统中的一。
10、些具有为各丝网印刷机设置的清 洁单元 ( 参见例如专利文献 1)。在基板已经完成正在进行的丝网印刷之后， 相对于掩模相 对地致动清洁单元， 从而为将要对下一要装载的基板执行的丝网印刷做准备。清洁单元使 掩模接触区域与掩模的下表面接触， 从而清洁粘附到掩模的下表面的膏剂， 其中掩模接触 区域通过使纸构件在清洁单元的上端展开而形成。 0005 现有技术文献 0006 专利文献 0007 专利文献 1 ： JP-A-2004-66832 发明内容 0008 本发明要解决的问题 0009 然而， 当清洁单元清洁具有嵌合到各空穴的凸出部的掩模的下表面时， 纸构件与 各凸出部的下表面顺序接触。 当纸构件在。
11、已经从一个凸出部的下表面去除膏剂之后与下一 个要清洁的凸出部接触时， 从前面的凸出部去除的膏剂有时会擦到下一个凸出部上， 这使 得掩模清洁不充分， 从而使丝网印刷的精度变差。 0010 因此， 本发明旨在提供一种丝网印刷系统和一种用于清洁丝网印刷系统的掩模的 方法， 能够充分地清洁用于对空穴基板进行丝网印刷的掩模。 0011 解决问题的手段 0012 本发明的丝网印刷系统是通过将第一丝网印刷机联接到第二丝网印刷机而构建 出的丝网印刷系统， 其中， 第一丝网印刷机对具有设置在形成于基板本体的上表面的部分 说 明 书 CN 102369110 A CN 102369119 A2/10 页 4 中的。
12、多个空穴的各底表面上的多个第一电极和设置在基板本体的上表面上的多个第二电 极的基板进行定位， 并使具有第一图案孔的第一掩模与基板的上表面接触， 从而对第一电 极进行丝网印刷， 第一图案孔对应于各第一电极且形成于将要嵌合到基板本体的各空穴中 的多个向下突出的凸出部中的每个凸出部中， 并且其中， 第二丝网印刷机对已经由第一丝 网印刷机进行丝网印刷的基板进行定位， 并使具有对应于各第二电极的第二图案孔的平板 形的第二掩模与基板的上表面接触， 从而对第二电极进行丝网印刷， 0013 该丝网印刷系统还包括第一清洁单元和第二清洁单元， 其中， 第一清洁单元相对 于第一掩模进行相对的移动， 从而使通过使纸构。
13、件在纸构件支撑部的上端展开而形成的掩 模接触区域与第一掩模的各凸出部的下表面顺序地接触， 从而去除附着到第一掩模的各凸 出部的各下表面的膏剂， 并且其中， 第二清洁单元相对于第二掩模进行相对的移动， 从而使 通过使纸构件在纸构件支撑部的上端展开而形成的掩模接触区域与第二掩模的下表面接 触， 从而去除附着到第二掩模的下表面的膏剂， 并且 0014 第一清洁单元具有纸构件卷起单元， 在去除附着到第一掩模的其中一个凸出部的 下表面的膏剂之后且在纸构件与下一个要去除膏剂的凸出部接触之前， 该纸构件卷起单元 卷起纸构件， 由此更新掩模接触区域。 0015 本发明的用于清洁丝网印刷系统的掩模的方法是用于清。
14、洁通过将第一丝网印刷 机联接到第二丝网印刷机而构建出的丝网印刷系统的掩模的方法， 其中， 第一丝网印刷机 对具有设置在形成于基板本体的上表面的部分中的多个空穴的各底表面上的多个第一电 极和设置在基板本体的上表面上的多个第二电极的基板进行定位， 并使具有第一图案孔的 第一掩模与基板的上表面接触， 从而对第一电极进行丝网印刷， 第一图案孔对应于各第一 电极且形成于将要嵌合到基板本体的各空穴中的多个向下突出的凸出部中的每个凸出部 中， 并且其中， 第二丝网印刷机对已经由第一丝网印刷机进行丝网印刷的基板进行定位， 并 使具有对应于各第二电极的第二图案孔的平板形的第二掩模与基板的上表面接触， 从而对 第。
15、二电极进行丝网印刷， 0016 该方法包括 ： 相对于第一掩模相对地致动具有通过使纸构件在纸构件支撑部的上 端展开而形成的掩模接触区域的第一清洁单元、 从而使掩模接触区域与第一掩模的各凸出 部的下表面顺序地接触、 由此去除附着到第一掩模的各凸出部的下表面的膏剂的步骤 ； 以 及， 相对于第二掩模相对地致动具有通过使纸构件在纸构件支撑部的上端展开而形成的掩 模接触区域的第二清洁单元、 从而使掩模接触区域与第二掩模的下表面接触、 由此去除附 着到第二掩模的下表面的膏剂的另一步骤， 其中， 0017 在借助第一清洁单元去除附着到第一掩模的各凸出部的下表面的膏剂的步骤中， 在去除附着到第一掩模的其中一。
16、个凸出部的下表面的膏剂之后且在第一清洁单元的纸构 件与下一个要去除膏剂的凸出部接触之前， 卷起纸构件， 由此更新掩模接触区域。 0018 本发明的优点 0019 在本发明中， 在已经使纸构件的掩模接触区域与第一掩模的其中一个凸出部的下 表面接触以去除附着到该下表面的膏剂之后， 在纸构件接触下一个要去除膏剂的凸出部之 前卷起纸构件， 从而更新掩模接触区域。当纸构件在从一个凸出部去除膏剂之后与下一个 要去除膏剂的凸出部接触时， 从前一凸出部去除的膏剂不会擦到后一凸出部上。 因此， 可以 充分地清洁用于对空穴基板进行丝网印刷的掩模， 使得可以提高印刷精度。 说 明 书 CN 102369110 A 。
17、CN 102369119 A3/10 页 5 附图说明 0020 图 1 是本发明实施例的丝网印刷系统的平面图。 0021 图 2 是构成本发明实施例的丝网印刷系统的丝网印刷机的示意性部分视图。 0022 图 3(a) 是作为本发明实施例的丝网印刷系统的印刷对象的空穴基板的平面图， 图 3(b) 是其侧横截面图。 0023 图 4(a) 是本发明实施例的丝网印刷系统的第一掩模的平面图， 图 4(b) 是其侧横 截面图。 0024 图 5(a) 是本发明实施例的丝网印刷系统的第二掩模的平面图， 图 5(b) 是其侧横 截面图。 0025 图 6(a) 是设置在本发明实施例的每个丝网印刷机中的清洁。
18、单元的斜视图， 图 6(b) 是其部分横截面侧视图。 0026 图 7(a)、 (b)、 (c) 和 (d) 是本发明实施例的第一丝网印刷机的操作说明图。 0027 图 8(a)、 (b)、 (c) 和 (d) 是本发明实施例的第二丝网印刷机的操作说明图。 0028 图 9(a)、 (b)、 (c) 和 (d) 是设置在本发明实施例的第一丝网印刷机中的清洁单元 的操作说明图。 0029 图 10 是设置在本发明实施例的第二丝网印刷机中的清洁单元的操作说明图。 具体实施方式 0030 下面参照附图描述本发明的实施例。在图 1 中， 本实施例的丝网印刷系统 1 通过 沿基板 3 的传送方向 ( 由。
19、图 1 所示的箭头 A 表示 ) 连结两个丝网印刷机 2 而构建出。丝网 印刷系统 1 的相对于基板 3 的传送方向设置在上游位置的丝网印刷机 2( 被视为第一丝网 印刷机 2a) 执行从上游位置装载的基板 3 的送入和定位， 随后对基板进行丝网印刷。然后， 基板被送到设置在下游位置的另一丝网印刷机2(被视为第二丝网印刷机2b)。 第二丝网印 刷机 2b 执行从第一丝网印刷机 2a 送出的基板 3 的送入和定位， 随后对基板进行丝网印刷 并将印刷好的基板送到未示出的下游单元 ( 例如， 元件装载机 )。为了便于解释， 对应于基 板 3 的传送方向的水平面内的方向 ( 即， 图 1 纸面的水平方。
20、向 ) 被视为 X 轴方向， 与 X 轴方 向垂直的水平面内的方向 ( 即， 图 1 纸面的垂直方向 ) 被视为 Y 轴方向。垂直方向 ( 即， 垂 直于图 1 纸面的方向 ) 被视为 Z 轴方向。 0031 在图 1 和 2 中， 构成丝网印刷系统 1 的两个丝网印刷机 2( 第一丝网印刷机 2a 和 第二丝网印刷机2b)中的每个具有基板保持部12， 该基板保持部12由将基板3定位在基台 11 上的一对传送带机构构建。除了丝网印刷掩模 13 以外， 膏剂供给头 14、 照相机单元 15 和清洁单元 16 也位于基板保持部 12 上方的提升位置， 从而能够相对于基台 11 移动。在图 1 中，。
21、 基板送入部 12a 和基板送出部 12b 沿着基板 3 的运送方向 ( 即， X 轴方向 ) 在基台 11 上设置在基板保持部 12 之前和之后的位置。基板送入部 12a 由将从外部装载的基板 3 送 到基板保持部 12 的一对传送带机构构建。由一对传送带机构构建的基板送出部 12b 将从 基板保持部 12 接收到的基板 3 送到外部。 0032 在图 3(a) 和 (b) 中， 基板 3 基本上由基板本体 21 形成， 该基板本体 21 通过使上 层侧基板构件 21b 结合到下层侧基板构件 21a 的上表面而制成。多个平区域电极 fd 设置 说 明 书 CN 102369110 A CN 。
22、102369119 A4/10 页 6 在基板本体 21 的上表面 ( 即， 上层侧基板构件 21b 的上表面 ) 上。此外， 多个空穴区域电 极 cd 设置在空穴 CV 的各底表面 ( 即， 下层侧基板构件 21a 的上表面 ) 上， 空穴 CV 是形成 在基板本体 21 的上表面的一部分 ( 即， 上层基板构件 21b 的一部分 ) 中的开口。具体地， 基板 3 是包括形成在基板本体 21 的上表面的一部分中的多个空穴 CV、 设置在形成于基板 本体 21 的上表面的一部分中的多个空穴 CV 的各底表面上的多个空穴区域电极 cd( 第一电 极 )、 以及设置在基板本体 21 的上表面上的多。
23、个平电极 fd( 第二电极 ) 的空穴基板。 0033 为第一丝网印刷机 2a 设置的掩模 13 在形状上不同于为第二丝网印刷机 2b 设置 的掩模 13。在图 4(a)、 (b) 以及图 5(a)、 (b) 中， 设置在第一丝网印刷机 2a 中的掩模 13( 下 文中视为第一掩模 13a) 和设置在第二丝网印刷机 2b 中的掩模 13( 下文中视为第二掩模 13b) 在整体上呈矩形形状。每个第一掩模和第二掩模的四个边由框架构件 13w 围绕。 0034 在图 4(a) 和 (b) 中， 向下突出以分别嵌合到设置在基板 3 中的多个空穴 CV 的多 个凸出部 13t 设置在由第一掩模 13a 。
24、的框架构件 13w 围绕的区域内。对应于设置在基板 3 的各空穴 CV 的底表面上的多个空穴区域电极 cd 的多个图案孔 ( 下文中视为 “第一图案孔 H1” ) 设置在各凸出部 13t 中。在图 5(a) 和 (b) 中， 对应于设置在基板 3 上的多个平区域 电极 fd 的多个图案孔 ( 下文中视为 “第二图案孔 H2” ) 设置在由第二掩模 13b 的框架构件 13w 围绕的区域中。 0035 在图 2 中， 设置在每个丝网印刷机 2 中的基板保持部 12 设置成能够整体地在水平 面方向 (XY 平面内的方向 ) 和垂直方向 (Z 轴方向 ) 上移动。通过使整个基板保持部 12 移 动，。
25、 可以使由基板保持部 12 保持的基板 3 位于掩模 13 下方的任意位置。 0036 在图 2 中， 设置在每个丝网印刷机 2 中的膏剂供给头 14 设置在掩模 13 上方的提 升位置， 从而能够在水平面方向 (XY 平面内的方向 ) 和垂直方向 (Z 轴方向 ) 上移动， 沿着 Y 轴方向彼此相对的两个引导部 14a 设置在膏剂供给头的下部。每个引导构件 14a 由在 X 轴方向上延伸的刮刀形构件构成， 并引导膏剂 Pst 的流路， 使得供给 ( 或泵送 ) 到比容纳在 膏剂供给头 14 中的膏剂盒 14b 低的位置的膏剂 Pst 集中地供给到掩模 13 上的目标区域。 0037 在图 2。
26、 以及图 6(a) 和 (b) 中， 设置在各丝网印刷机 2 中的清洁单元 16( 即， 设置 在第一丝网印刷机 2a 中的第一清洁单元 16a 和设置在第二丝网印刷机 2b 中的第二清洁单 元 16b) 设置成能够整体地在水平面内的方向 ( 即， Y 轴方向 ) 上移动 ( 由图 1 所示的箭头 B 表示 )。每个清洁单元 16 包括 ： 喷嘴部 41， 对应于纸构件支撑部， 具有水平的上端， 并呈 现矩形的筒状封闭横截面轮廓 ； 和纸构件 42， 在 Y 轴方向上延伸， 并展开以沿 Y 轴方向通过 喷嘴部 41 的上端。在喷嘴部 41 的上端展开的纸构件 42 的一部分形成掩模接触区域 R。
27、( 见 图 6(b) 和图 1)， 该掩模接触区域 R 借助喷嘴部 41 从下方与掩模 13 的下表面接触。 0038 在掩模接触区域 R 与第一掩模 13a 的凸出部 13t 的各下表面保持接触的同时， 设 置在第一丝网印刷机 2a 中的第一清洁单元 16a 相对于第一掩模 13a 进行相对的移动， 从而 去除 ( 擦掉 ) 附着到第一掩模 13a 的下表面的膏剂 Pst。此外， 在掩模接触区域 R 与第二 掩模 13b 的下表面保持接触的同时， 设置在第二丝网印刷机 2b 中的第二清洁单元 16b 相对 于第二掩模 13b 进行相对的移动， 从而去除 ( 擦掉 ) 附着到第二掩模 13b 。
28、的下表面的膏剂 Pst。在每个清洁单元 16 中， 一对辊构件 43 设置在这样的位置 ： 沿着 Y 轴方向将喷嘴部 41 夹在这一对辊构件之间。借助这对辊构件 43 的旋转动作， 纸构件 42 被卷起， 由此更新掩模 接触区域 R。 说 明 书 CN 102369110 A CN 102369119 A5/10 页 7 0039 在图 2 以及图 6(a) 和 (b) 中， 空气抽吸管道 41a 垂直地贯穿每个清洁单元 16( 第 一清洁单元 16a 和第二清洁单元 16b) 的喷嘴部 41 的内部。真空压力被供给到空气抽吸管 道41a的内部， 从而空气可以经由纸构件42的掩模接触区域R被吸。
29、入空气抽吸管道41a中。 0040 通过设置在各丝网印刷机 2 中的控制器 50( 图 2) 控制由未示出的致动器等构建 的基板传送机构51(图2)的操作， 来执行用于传送基板3的操作， 其中传送基板3的操作是 基于基板送入部12a的操作、 基板保持部12的操作和基板送出部12b的操作。 此外， 通过设 置在各丝网印刷机 2 中的控制器 50 控制由未示出的致动器等构成的基板定位机构 52( 图 2)的操作， 来执行基于在水平面方向和垂直方向上致动基板保持部12的相对于基板3的掩 模 13( 第一掩模 13a 或第二掩模 13b) 定位基板 3 的操作。 0041 通过控制器 50 控制由未示。
30、出的致动器构成的膏剂供给头致动机构 53( 图 2) 的操 作， 来执行基于在水平面方向和垂直方向上致动膏剂供给头 14 的将膏剂供给头 14 定位到 掩模13的操作。 此外， 通过控制器50控制由未示出的致动器等构成的膏剂供给机构54(图 2)， 来执行从膏剂供给头 14 供给膏剂 Pst 的操作。 0042 在图 2 中， 照相机单元 15 由具有向上取向的成像视野的第一照相机 15a 和具有 向下取向的成像视野的第二照相机 15b 构成。通过控制器 50 控制由未示出的致动器等构 成的照相机致动机构 55 的操作， 来执行在水平面的方向上在掩模 13 下方的位置处致动照 相机单元 15 。
31、的操作。而且， 控制器 50 控制第一照相机 15a 和第二照相机 15b 的成像操作。 借助第一照相机 15a 和第二照相机 15b 的成像操作获取的图像数据被输入到控制器 50( 图 2)。 0043 通过控制器 50 控制由未示出的致动器等构成的清洁单元致动机构 56( 图 2) 的操 作， 来执行用于使清洁单元 16( 第一清洁单元 16a 和第二清洁单元 16b) 相对于掩模 13 定 位并在 Y 轴方向上致动清洁单元 16 的操作。此外， 通过控制器 50 控制由未示出的致动器 等构成的纸构件卷起机构 57( 图 2) 的操作， 借助一对辊构件 43 执行用于卷取纸构件 42 的 。
32、操作。此外， 通过控制器 50 控制由未示出的致动器等构成的抽吸机构 58( 图 2) 的操作， 来 执行基于向空气抽吸管道 41a 的内部供给真空压力的用于经由纸构件 42 的掩模接触区域 R 通过抽吸去除空气的操作。 0044 在丝网印刷系统 1 对基板 3 执行丝网印刷的操作期间的步骤中， 基板 3 首先被装 载到第一丝网印刷机 2a 的基板送入部 12a 中。在借助未示出的检测器检测到基板 3 被装 载到基板送入部12a中时， 第一丝网印刷机2a的控制器50致动基板传送机构51， 从而使基 板保持部 12 从基板送入部 12a 接收基板 3， 并保持所接收的基板 3( 第一基板保持步骤。
33、 )。 在已经使基板保持部 12 保持基板 3 之后， 控制器致动基板定位机构 52， 从而连同基板保持 部 12 一起致动基板 3。由此， 使基板 3 相对于第一掩模 13 定位成使得设置在第一掩模 13a 中的第一图案孔 H1 在垂直方向上与设置在基板 3 上的空穴区域电极 cd 相对 ( 图 7(a)， 第 一定位步骤 )。 0045 在相对于第一掩模13a定位基板3的操作期间， 第一丝网印刷机2a的控制器50控 制照相机致动机构 55 的操作， 从而在第一掩模 13a 下方的位置水平地致动照相机单元 15。 第一照相机15a捕获(识别)设置在第一掩模13a上的掩模侧定位标记(未示出)的。
34、图像。 此外， 第二照相机 15b 捕获 ( 识别 ) 设置在基板 3 上的基板侧定位标记 ( 未示出 ) 的图像。 基板 3 被致动， 使得这些定位标记在垂直方向上相一致。 说 明 书 CN 102369110 A CN 102369119 A6/10 页 8 0046 在已经完成有关第一定位步骤的处理之后， 第一丝网印刷机 2a 的控制器 50 致动 基板定位机构 52， 从而连同基板保持部 12 一起提升基板 3( 由图 7(a) 所示的箭头 C1 表 示 )， 从而使基板 3 的上表面与第一掩模 13a 的下表面接触。第一掩模 13a 的凸出部 13t 在 垂直方向上嵌合到基板 3 的。
35、相应的空穴 CV 中。第一掩模 13a 的第一图案孔 H1 在垂直方向 上与基板 3 的相应的空穴电极 cd 一致 ( 图 7(b)， 第一掩模接触步骤 )。 0047 在已经完成有关第一掩模接触步骤的处理之后， 第一丝网印刷机 2a 的控制器 50 使膏剂供给头 14 的引导构件 14a 与第一掩模 13a 的上表面接触， 随后将膏剂 Pst 从膏剂供 给头 14 供给到第一掩模 13a 的凸出部 13t 的各内部。从而， 第一掩模 13a 的第一图案孔 H1 填充有膏剂 Pst( 图 7(c)， 第一膏剂填充步骤 )。 0048 在已经完成有关第一膏剂填充步骤的处理之后， 第一丝网印刷机 。
36、2a 的控制器 50 致动基板定位机构 52， 从而使基板 3 连同基板保持部 12 一起下降 ( 由图 7(d) 所示的箭头 C2 表示 )， 并使基板 3 和第一掩模 13a 在垂直方向上彼此相对地分离开。从而， 膏剂 Pst 通 过掩模而转印， 由此膏剂 Pst 印刷 ( 转印 ) 到基板 3 的各空穴区域电极 cd 上 ( 第一掩模转 印步骤 )。 0049 在已经完成有关第一掩模转印步骤的处理之后， 第一丝网印刷机 2a 的控制器 50 致动基板定位机构52， 从而将基板保持部12的传送带机构定位到基板送出部12b的传送带 机构。在基板保持部 12 的传送带机构到基板送出部 12b 。
37、的传送带机构的定位已经结束之 后， 致动基板传送机构 51， 从而使基板送出部 12b 从基板保持部 12 接收基板 3。随后， 基板 传送机构使基板送出部 12b 将基板 3 送出第一丝网印刷机 2a( 第一基板送出步骤 )。 0050 当借助未示出的检测器检测到基板 3 已经被送出第一丝网印刷机 2a、 然后被装载 到基板送入部12a中时， 第二丝网印刷机2b的控制器50致动基板传送机构51， 从而使基板 保持部 12 从基板送入部 12a 接收基板 3， 并保持所接收的基板 ( 第二基板保持步骤 )。在 已经使基板保持部 12 保持基板 3 之后， 控制器致动基板定位机构 52， 从而连。
38、同基板保持部 12 一起致动基板 3。从而， 使基板 3 相对于第二掩模 13b 定位成， 使得设置在第二掩模 13b 中的第二图案孔 H2 在垂直方向上与设置在基板 3 上的各平区域电极 fd 相对 ( 图 8(a)， 第 二定位步骤 )。 0051 在使基板3相对于第二掩模13b定位的操作期间， 第二丝网印刷机2b的控制器50 控制照相机致动机构 55 的操作， 从而在第二掩模 13b 下方的位置水平地致动照相机单元 15。第一照相机 15a 捕获 ( 识别 ) 设置在第二掩模 13b 上的掩模侧定位标记 ( 未示出 ) 的 图像。此外， 第二照相机 15b 捕获 ( 识别 ) 设置在基板。
39、 3 上的基板侧定位标记 ( 未示出 ) 的图像。基板 3 被致动， 使得这些定位标记在垂直方向上相一致。 0052 在已经完成有关第二定位步骤的处理之后， 第二丝网印刷机 2b 的控制器 50 致动 基板定位机构 52， 从而连同基板保持部 12 一起提升基板 3( 由图 8(a) 所示的箭头 D1 表 示 )， 从而使基板 3 的上表面与第二掩模 13b 的下表面接触 ( 图 8(b)。第二掩模 13b 的第 二图案孔 H2 在垂直方向上与基板 3 的相应的平区域电极 fd 一致 ( 第二掩模接触步骤 )。 0053 由于空穴区域电极 cd 设置在凹进于基板 3 的上表面中的各空穴 CV 。
40、中， 因此， 即使 当在将膏剂 Pst 印刷到各空穴电极 cd 的印刷已经完成之后、 第二掩模 13b 与基板 3 的上表 面接触时， 第二掩模 13b 也不会接触到各空穴区域电极 cd 上的膏剂 Pst( 参见图 8(c)。 0054 在已经完成有关第二掩模接触步骤的处理之后， 第二丝网印刷机 2b 的控制器 50 说 明 书 CN 102369110 A CN 102369119 A7/10 页 9 使膏剂供给头 14 的引导构件 14a 与第二掩模 13b 的上表面接触， 随后将膏剂 Pst 从膏剂供 给头 14 供给到第二掩模 13b 的上表面。从而， 第二掩模 13b 的第二图案孔 。
41、H2 填充有膏剂 Pst( 图 8(c)， 第二膏剂填充步骤 )。 0055 在已经完成有关第二膏剂填充步骤的处理之后， 第二丝网印刷机 2b 的控制器 50 致动基板定位机构 52， 从而使基板 3 连同基板保持部 12 一起下降， 并使基板 3 和第二掩模 13b 在垂直方向上彼此相对地分离开 ( 由图 8(d) 所示的箭头 D2 表示 )。从而， 膏剂 Pst 通 过掩模而转印， 由此膏剂 Pst 印刷 ( 转印 ) 到基板 3 的各平区域电极 fd 上 ( 第二掩模转印 步骤 )。 0056 在已经完成有关第二掩模转印步骤的处理之后， 第二丝网印刷机 2b 的控制器 50 致动基板定位。
42、机构52， 从而将基板保持部12的传送带机构定位到基板送出部12b的传送带 机构。在基板保持部 12 的传送带机构到基板送出部 12b 的传送带机构的定位已经结束之 后， 致动基板传送机构 51， 从而使基板送出部 12b 从基板保持部 12 接收基板 3。随后， 基板 传送机构使基板送出部 12b 将基板 3 送出第二丝网印刷机 2b( 第二基板送出步骤 )。由此 完成了与丝网印刷系统 1 对基板 3 进行丝网印刷的步骤有关的处理。 0057 在本实施例的丝网印刷系统 1 中， 按照上述的过程， 基板 3 被印刷有膏剂 Pst。在 有关丝网印刷工序的处理已经执行了等于基板3的数量的次数之后，。
43、 第一丝网印刷机2a的 控制器 50 利用设置在第一丝网印刷机 2a 中的清洁单元 16( 第一清洁单元 16a) 清洁第一 掩模 13a 的下表面 ( 凸出部 13t 的下表面 )。在有关丝网印刷工序的处理已经执行了等于 基板 3 的数量的次数之后， 第二丝网印刷机 2b 的控制器 50 利用设置在第二丝网印刷机 2b 中的清洁单元 16( 第二清洁单元 16b) 清洁第二掩模 13b 的下表面。 0058 在第一丝网印刷机 2a 中清洁第一掩模 13a 的操作期间， 第一丝网印刷机 2a 的控 制器 50 控制清洁单元致动机构 56 的操作， 从而使第一清洁单元 16a 的纸构件 42 的。
44、掩模接 触区域 R 与第一掩模 13a 的凸出部 13t 的下表面之一接触 ( 图 9(a)， 同时在水平面的方 向 ( 即， Y 轴方向， 由图 9(a) 至 9(d) 中所示的箭头 E 表示 ) 上致动整个第一清洁单元 16a。 这样， 附着到第一掩模 13a 的凸出部 13t 的下表面的膏剂 Pst( 膏剂 Pst 的残渣 DS) 粘到纸 构件 42 的掩模接触区域 R， 从而被去除。由此， 清洁了第一掩模 13a 的其中一个凸出部 13t 的下表面。 0059 在已经清洁了一个凸出部 13t 的下表面之后， 第一丝网印刷机 2a 的控制器 50 在 Y 轴方向上致动整个第一清洁单元 1。
45、6a， 使得纸构件 42 的掩模接触区域 R 与相邻的凸出部 13t 接触。现在清洁下一个凸出部 13t 的下表面 ( 图 9(a) 图 9(b) 图 9(c) 图 9(d)。 由此， 从全部凸出部 13t 的下表面去除膏剂 Pst( 第一膏剂去除步骤 )。 0060 当对附着到第一掩模 13a 的各凸出部 13t 的下表面的膏剂 Pst 进行清洁时， 第一 丝网印刷机 2a 的控制器 50， 在纸构件 42 的掩模接触区域 R 与凸出部 13t 的下表面保持接 触期间， 使纸构件 42 相对地固定到喷嘴部 41， 并且， 以使纸构件 42 擦拭各凸出部 13t 的下 表面的方式有效地从凸出部。
46、 13t 的下表面清除 ( 擦除 ) 膏剂 Pst。在附着到第一掩模 13a 的其中一个凸出部 13t 的下表面的膏剂 Pst 已经如上所述去除时， 在纸构件 42 与下一个要 去除膏剂 Pst 的凸出部 13t 接触之前， 致动纸构件卷起机构 57， 从而卷取纸构件 42( 由图 9(d) 所示的箭头 F 表示 )。由此， 纸构件 42 的掩模接触区域 R 得到更新 ( 纸构件卷起工 序 )。从而， 可以防止从前一凸出部 13t 去除的膏剂 Pst 擦到随后的凸出部 13t 上， 否则当 说 明 书 CN 102369110 A CN 102369119 A8/10 页 10 掩模接触区域在。
47、已经完成第一掩模 13a 的一个凸出部 13t 的膏剂 Pst 的去除之后与下一个 要去除膏剂 Pst 的凸出部 13t 接触时可能出现上述情况。 0061 同时， 在清洁第二丝网印刷机 2b 的第二掩模 13b 的操作期间， 第二丝网印刷机 2b 的控制器 50 控制清洁单元致动机构 56 的操作， 从而使第二清洁单元 16b 的纸构件 42 的掩 模接触区域 R 与第二掩模 13b 的下表面接触 ( 图 10)， 同时在水平面的方向 ( 即， Y 轴方向， 由图 10 中所示的箭头 G 表示 ) 上致动整个第二清洁单元 16b。附着到第二掩模 13b 的下表 面的膏剂 Pst( 膏剂 Ps。
48、t 的残渣 DS) 粘到纸构件 42 的掩模接触区域 R， 从而被去除。由此， 清洁了第二掩模 13b 的下表面 ( 第二膏剂去除步骤 )。 0062 在清洁第一丝网印刷机 2a 的第一掩模 13a 和第二丝网印刷机 2b 的第二掩模 13b 时， 丝网印刷机2a和2b的控制器50控制抽吸机构58的操作， 从而经由纸构件42的掩模接 触区域 R 通过抽吸从空气抽吸管道 41a 去除空气。附着于每个相应掩模 13( 第一掩模 13a 或第二掩模 13b) 的下表面的膏剂 Pst 被吸出到纸构件 42， 从而有效地执行膏剂 Pst 的去 除。 0063 如上所述， 本实施例的丝网印刷系统1通过将第。
49、一丝网印刷机2a联接到第二丝网 印刷机 2b 而构建。具体地， 第一丝网印刷机 2a 对基板 3 进行定位， 基板 3 具有多个空穴区 域电极 cd( 第一电极 ) 和多个平区域电极 fd( 第二电极 )， 所述多个空穴区域电极 cd( 第 一电极 ) 设置在形成于基板主体 21 的上表面的一部分中的多个空穴 CV( 开口 ) 的各底表 面上， 所述多个平区域电极 fd( 第二电极 ) 设置在基板本体 21 的上表面上。具有对应于各 空穴区域电极 cd 且形成于要嵌合到基板本体 21 的各空穴 CV 中的多个向下突出的凸出部 13t 中的每个凸出部 13t 中的第一图案孔 H1 的第一掩模 13a 借助第一丝网印刷机 2a 与基 板 3 的上表面接触， 从而对空穴区域电极 cd 进行丝网印刷。第二丝网印刷机 2b 对已经由 第一丝网印刷机 2a 进行丝网印刷的基板 3 进行定位， 并使具有对应于各平区域电极 fd 的 第二图案孔 H2 的平板形的第二掩模 13b 与基板 3 的上表面接触， 从而对平区域电极 fd 进 行。