支撑销、基板支撑装置、基板处理装置.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 104125717 A (43)申请公布日 2014.10.29 CN 104125717 A (21)申请号 201310412407.0 (22)申请日 2013.09.11 2013-092300 2013.04.25 JP H05K 3/00(2006.01) (71)申请人 雅马哈发动机株式会社 地址 日本静冈县磐田市 (72)发明人 田中俊幸 伊藤周 富冈修一 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限 责任公司 11219 代理人 穆德骏 谢丽娜 (54) 发明名称 支撑销、 基板支撑装置、 基板处理装置 (57) 摘要 本发明提供一种支撑销、 基板。

2、支撑装置及基 板处理装置， 无论有无定位板都能够共用支撑销。 该支撑销 （50） 配置在设于基板支撑装置 （30） 的 底座 （31） 上， 用于支撑印刷基板 （P） ， 该支撑销具 备 ： 支撑销主体 （51） 及姿态稳定部件 （60） ， 支撑 销主体具有形成于下端侧的小径部 （53） 和形成 于前端侧的支撑部 （55） ， 小径部与形成于定位板 （40） 的定位孔 （43） 嵌合， 其中该定位板装卸自如 地安装于底座上， 并且支撑部支撑印刷基板 （P） ； 姿态稳定部件 （60） 能够装卸地安装于支撑销主 体的小径部， 在不使用定位板 （40） 而将支撑销主 体 （51） 配置于底座 （。

3、31） 上的情况下， 使支撑销主 体相对于底座稳定为立起的姿态。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 12 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书7页 附图12页 (10)申请公布号 CN 104125717 A CN 104125717 A 1/1 页 2 1. 一种支撑销， 配置在设于基板支撑装置的底座上， 用于支撑印刷基板， 其特征在于， 所述支撑销具备 ： 支撑销主体， 具有形成于下端侧的小径部和形成于前端侧的支撑部， 所述小径部与形 成于定位板的定位孔嵌合， 其中所述定位板装卸自如地安装。

4、于所述底座上， 并且所述支撑 部支撑所述印刷基板 ； 及 姿态稳定部件， 能够装卸地安装于所述支撑销主体的所述小径部， 在不使用所述定位 板而将所述支撑销主体配置于所述底座上的情况下， 使所述支撑销主体相对于所述底座稳 定为立起的姿态。 2. 根据权利要求 1 所述的支撑销， 其特征在于， 具备 ： 收容部， 形成于所述支撑销主体的下端面 ； 及 磁体， 安装于所述收容部。 3. 根据权利要求 2 所述的支撑销， 其特征在于， 仅所述支撑销主体的下端面与所述底座接触， 所述磁体不与所述底座接触。 4. 根据权利要求 1 3 中任一项所述的支撑销， 其特征在于， 所述姿态稳定部件具备 ： 金属体。

5、， 与所述小径部嵌合的轴孔贯通地形成于该金属体的中心部 ； 及 密接环， 安装于所述轴孔的内周面， 并由与所述小径部密接的弹性材料构成。 5. 根据权利要求 1 3 中任一项所述的支撑销， 其特征在于， 所述姿态稳定部件是合成树脂制成的， 并直接安装于所述支撑销主体的所述小径部。 6. 根据权利要求 1 5 中任一项所述的支撑销， 其特征在于， 所述支撑部形成为弯曲成 L 字型的形状。 7. 一种基板支撑装置， 其特征在于， 具备 ： 权利要求 1 6 中任一项所述的支撑销 ； 底座， 用于安装所述支撑销 ； 及 升降装置， 使所述底座升降。 8. 根据权利要求 7 所述的基板支撑装置， 其特。

6、征在于， 具备定位板， 该定位板装卸自如地安装于所述底座的上表面， 并形成有对所述支撑销 进行定位的定位孔。 9. 一种基板处理装置， 其特征在于， 具备 ： 权利要求 7 或 8 所述的基板支撑装置 ； 及 执行部， 对由所述基板支撑装置支撑的印刷基板执行规定的处理。 权 利 要 求 书 CN 104125717 A 2 1/7 页 3 支撑销、 基板支撑装置、 基板处理装置 技术领域 0001 本发明涉及一种支撑印刷基板的技术。 背景技术 0002 以往， 通过以下方法来制造安装基板被广泛应用 ： 将印刷机、 点胶机、 表面安装机、 回流装置等各种基板处理装置配置成一列而构筑生产线， 并在。

7、印刷基板上依次进行焊膏的 印刷处理、 粘接剂的涂敷处理、 电子元件的安装处理、 基板检查处理、 回流处理各处理。 在这 种基板处理装置中， 在进行印刷处理、 涂敷处理、 安装处理时， 为了防止印刷基板挠曲而设 置有基板支撑装置。 0003 基板支撑装置具备升降自如的支撑台和配置于支撑台上的支撑销， 而形成由支撑 销从下方支撑印刷基板的结构。根据下述专利文献 1 所记载的基板支撑装置， 在支撑台上 设置有保持板。保持板采用将销固定用孔形成为行列状而得到的结构， 通过将销端部插入 到销固定用孔中， 从而形成能够固定支撑销的结构。 通过设置这样的保持板， 能够实现防止 支撑销的倾倒， 并确保支撑销的。

8、固定位置的精度。 0004 专利文献 1 ： 日本特开 2007 19218 号公报 发明内容 0005 但是， 根据规格， 也存在未安装保持板 （以下记作定位板） 的基板支撑装置， 以往， 未安装定位板的基板支撑装置和安装有定位板的基板支撑装置中使用各自的支撑销。 这是 因为， 为了提高支撑销的配置密度， 需要将形成于定位板的定位孔尽量设为小径， 因此定位 板用的支撑销的下端部的销径为小径。因此， 在将该支撑销直接配置于支撑台上的情况下 （在将定位板用的支撑销适用于未安装定位板的基板支撑装置的情况下） ， 下端部的销径过 小， 支撑销容易倾倒或者容易产生位置偏移等而使姿态不稳定。 0006 。

9、根据定位板的有无而改变所使用的支撑销的种类会相应地增加支撑销的持有数 量。因此， 需要使支撑销共用化。 0007 本发明基于上述情况而作出， 其目的在于无论有无定位板都能够共用支撑销。 0008 本发明提供一种支撑销， 配置在设于基板支撑装置的底座上， 用于支撑印刷基板， 所述支撑销的特征在于， 具备 ： 支撑销主体， 具有形成于下端侧的小径部和形成于前端侧的 支撑部， 所述小径部与形成于定位板上的定位孔嵌合， 其中所述定位板装卸自如地安装于 所述底座上， 并且所述支撑部支撑所述印刷基板 ； 及姿态稳定部件， 能够装卸地安装于所述 支撑销主体的所述小径部， 在不使用所述定位板而将所述支撑销主体。

10、配置于所述底座上的 情况下， 使所述支撑销主体相对于所述底座稳定为立起的姿态。 0009 在该发明中， 在使用定位板时， 拆下姿态稳定部件而单独使用支承销主体， 在未使 用定位板时， 在支撑销主体上安装姿态稳定部件而使用， 从而能够在定位板使用时和未使 用时这两种情况下共同使用支撑销主体。 0010 作为本发明的实施方式， 优选以下结构。 说 明 书 CN 104125717 A 3 2/7 页 4 0011 所述姿态稳定部件可以构成为， 具备 ： 金属体， 与所述小径部嵌合的轴孔贯通地 形成于该金属体的中心部 ； 及密接环， 安装于所述轴孔的内周面， 并由与所述小径部密接的 弹性材料构成。与。

11、金属彼此的嵌合相比， 密接性高， 且容易拆除。而且， 即使发生磨损， 也只 需更换密接环即可， 因此成本上有优势。 0012 也可以构成为， 具备 ： 收容部， 形成于所述支撑销主体的下端面 ； 及磁体， 安装于 该收容部。能够利用磁力将支撑销固定于底座， 因此支撑销难以倾倒， 而且， 难以引起位置 偏移。 0013 也可以构成为， 所述姿态稳定部件是合成树脂制成的， 并直接安装于所述支撑销 主体的所述小径部。 0014 也可以构成为， 所述支撑部形成为弯曲成 L 字型的形状。 0015 也可以构成为， 仅所述支撑销主体的下端面与所述底座接触， 所述磁体不与所述 底座接触。在使支撑销相对于底座。

12、的固定优先的情况下， 使磁体与底座接触为优选。但是， 在使磁体与底座接触的情况下， 销前端的高度位置受磁体下表面的位置影响， 因此存在以 下问题 ： 当磁体相对于支撑销主体的安装位置存在误差时印刷基板的支撑位置会产生 “偏 差” 。 关于这一点， 在本结构中， 采用使磁体不与基底接触的结构， 印刷基板的支撑位置仅取 决于 （依赖于） 支撑销主体的高度。支撑销主体的加工精度高， 高度的偏差小， 因此能够减小 印刷基板的支撑位置的 “偏差” 。 0016 发明效果 0017 根据本发明， 能够在定位板使用时和未使用时这两种情况下共同使用支撑销主 体。 附图说明 0018 图 1 是表示本发明的实施。

13、方式 1 的表面安装机的立体图。 0019 图 2 是表示头单元的支撑结构的图。 0020 图 3 是基板支撑装置的立体图 （定位板使用时） 。 0021 图 4 是支撑销的分解立体图。 0022 图 5 是支撑销的剖视图。 0023 图 6 是基板支撑装置的垂直剖视图。 0024 图 7 是表示支撑销相对于底座的支撑结构的剖视图 （定位板使用时） 。 0025 图 8 是定位板的俯视图。 0026 图 9 是基板支撑装置的立体图 （定位板未使用时） 。 0027 图 10 是表示支撑销相对于底座的支撑结构的剖视图 （定位板未使用时） 。 0028 图 11 是基板支撑装置的主视图 （从 A 。

14、方向观察图 3 的图） 。 0029 图 12 是表示支撑销的变形例的图。 0030 图 13 是表示支撑销的变形例的图。 0031 附图标记说明 0032 1 表面安装机 0033 30 基板支撑装置 0034 31 底座 说 明 书 CN 104125717 A 4 3/7 页 5 0035 40 定位板 0036 43 定位孔 0037 45 磁体 0038 50 支撑销 0039 51 支撑销主体 0040 53 小径部 0041 55 支撑部 0042 60 姿态稳定部件 0043 61 金属块 （相当于本发明的 “金属体” ） 0044 65 密封环 （相当于本发明的 “密接环” 。

15、） 0045 70 升降装置 0046 100 执行作业装置 （相当于本发明的 “执行部” ） 具体实施方式 0047 0048 1. 表面安装机 1 的整体结构 0049 根据图 1 至图 11 说明本发明的实施方式 1。图 1 是表面安装机 1 的俯视图， 图 2 是表示头单元 （head unit） 160 的支撑结构的图。该表面安装机 （相当于本发明的 “基板处 理装置” ） 1 是对印刷基板 （以下简称为基板） P 安装电子元件 B 的装置， 如图 1 所示， 在上表 面平滑的基台 10 上配置有各种装置 （搬运基板 P 的搬运输送机 （conveyor） 20、 支撑基板 P 的基。

16、板支撑装置 30、 在基板 P 上安装电子元件 B 的安装作业装置 （相当于本发明的 “执行 部” ） 100） 。 0050 另外， 在以上的说明中， 将基台 10 的长度方向 （图 1 的左右方向） 称为 X 方向， 将 Y 方向、 Z 方向分别规定为图 1、 图 2 的朝向。而且， 图 1 中以右手侧为上游侧 （作为作业对象 的基板 P 的搬入侧） 、 以左手侧为下游侧 （作业完成的基板 P 的搬出侧） 进行说明。 0051 基台 10 形成为在 X 方向上较长的长方形状， 在中央配置搬运输送机 （以下简称为 输送机） 20， 而且， 在位于上游侧的基台 10 的右端配置有搬入输送机 1。

17、2， 在位于下游侧的基 台 10 的左端配置有搬出输送机 13。这三台输送机 12、 13、 20 彼此无高低差地连续， 从而形 成能够在 X 方向 （从图 1 的右侧至左侧） 上依次输送作为作业对象的基板 P 的结构。 0052 在基台 10 上设置有能够进行升降动作的基板止动件 （stopper） 25， 从而形成使由 输送机 20 在 X 方向上输送的基板 P 停止在基台 10 的中央的安装作业位置的结构。并且， 在基台 10 的中央设置有基板支撑装置 30， 从而形成从下方支撑停止在安装作业位置的基 板 P 的结构。另外， 关于基板支撑装置 30 的结构， 参照图 3、 图 7、 图 。

18、11 等进行详细说明。 0053 而且， 在基台 10 上， 在上述安装作业位置的周围四个部位设置有元件供给部 80， 在此作为元件供给装置的供料器 85 在 X 方向上被设置成一整列。各供料器 85 由卷绕有元 件供给带的未图示的卷盘 （reel） 、 从卷盘拉出元件供给带 （tape） 的电动式的未图示的送 出装置等构成。 0054 在元件供给带上以一定间隔保持有电子元件 B， 当驱动送出装置时， 伴随元件供给 带的拉出， 电子元件 B 一个一个地被供给。并且， 所供给的电子元件 B 形成由接下来说明的 说 明 书 CN 104125717 A 5 4/7 页 6 安装作业装置 100 安。

19、装在支撑 （support） 于安装作业位置上的基板 P 上的结构。 0055 而且， 在基台 10 上， 在输送机 20 的 Y 方向的两侧设置有一对元件识别相机 （camera） 95。该元件识别相机 95 用于拍摄由吸附头 （head） 185 吸附保持的电子元件 B。 0056 安装作业装置 100 由吸附保持电子元件 B 的吸附头 185 和移动装置 130 构成。该 移动装置 130 是具有 XYZ 方向的正交的三个驱动轴的正交坐标机器人， 通过组合驱动这三 个驱动轴， 将吸附头 185 移动操作到基台 10 上的任意位置。 0057 若具体说明， 如图 1 所示， 在基台 10 。

20、上设置有一对支撑脚 141。两支撑脚 141 位于 安装作业位置的两侧 （X 方向两侧） ， 并且在 Y 方向 （在图 1 中为上下方向） 上笔直地延伸。 0058 通过以下方法将头支撑体151安装于两支承脚141 ： 在Y方向上延伸的Y方向导向 轴 142 设置于支撑脚上表面， 并且将头支撑体 151 长度方向上的两端部与这些左右的 Y 方 向导向轴 142 嵌合。 0059 而且， 在图 1 中， 在右侧的支撑脚 141 安装由在 Y 方向上延伸的滚珠丝杠构成的 Y 方向驱动轴 145， 而且未图示的滚珠螺母 （ball nut） 与 Y 方向驱动轴 145 螺合。并且， 在 Y 方向驱动。

21、轴 145 的轴端部设置有 Y 轴马达 （motor） 147。 0060 当对该 Y 轴马达 147 进行通电操作时， 滚珠螺母沿 Y 方向驱动轴 145 进退， 其结果 为， 固定于滚珠螺母的头 （head） 支撑体 151 乃至后述的头单元 160 沿 Y 方向导向轴 142 在 Y 方向上水平移动 （Y 轴伺服机构 （servo mechanism） ） 。 0061 如图2所示， 在头支撑体151设置有在X方向上延伸的X方向导向轴153， 而且， 头 单元 160 移动自如地安装于 X 方向导向轴 153。在该头支撑体 151 安装有在 X 方向上延伸 的由滚珠丝杠构成的 X 方向驱。

22、动轴 155， 而且， 滚珠螺母与 X 方向驱动轴 155 螺合。 0062 并且， 在 X 方向驱动轴 155 的轴端部设置有 X 轴马达 157， 当对该 X 轴马达 157 进 行通电操作时， 滚珠螺母沿X方向驱动轴155进退， 其结果为， 固定于滚珠螺母的头单元160 沿 X 方向导向轴 153 在 X 方向上移动 （X 轴伺服机构 （servo mechanism） ） 。 0063 因此， 通过组合控制 X 轴伺服机构、 Y 轴伺服机构， 从而形成能够使头单元 160 在 基台 10 上沿水平方向 （XY 方向） 进行移动操作的结构。 0064 在该头单元160设置有一列吸附头18。

23、5。 各吸附头185通过由Z轴滚珠丝杠 （ball screw） 构成的 Z 轴伺服机构 （图略） 而能够在 Z 方向上被移动操作。并且， 在各吸附头 185 的前端设置有吸嘴 186， 在头前端产生吸引力。如上所述， 通过使头单元 160 在元件供给 部 80 与基台 10 的中央的安装作业位置之间往复移动， 并同时对吸嘴 185 进行适当升降 操作， 能够从元件供给部 80 取出电子元件 B， 并且能够将所取出的电子元件 B 安装在支撑 （support） 于安装作业位置的基板 P 上。 0065 2. 基板支撑装置的结构 0066 基板支撑装置 30 起到从下方支撑停止在安装作业位置的基。

24、板 P 的功能， 如图 3 所 示， 由底座 （base） 31、 支撑底座31的支撑台 （table） 35、 定位板 （plate） 40、 支撑销 （support pin） 50 和升降装置 70 构成。 0067 支撑销 50 起到从下方支撑纵向配置于底座 31 上的基板 P 的功能。如图 4 所示， 支撑销 50 由支撑销主体 51 和姿态稳定部件 60 构成。支撑销主体 51 为形成上下方向上较 长的形状的带台阶的销 （pin） ， 在主体部 52 的下侧形成有小径部 （比主体部 52 的直径小的 小径部） 53， 在主体部 52 的上侧 （前端侧） 形成有支撑部 55。支撑部 。

25、55 比小径部 53 直径更 说 明 书 CN 104125717 A 6 5/7 页 7 小且更细， 向上方笔直地延伸。支撑部 55 起到支撑基板 P 的功能， 支撑部 55 的上端面构成 水平的支撑面。 0068 小径部 53 与形成于定位板 40 的定位孔 43 对应地形成， 并形成与定位孔 43 无间 隙地嵌合的结构。而且， 在小径部 53 的端面形成有收容部 44。收容部 44 向下方开口， 在收 容部 44 的内部安装有磁体 45（参照图 5） 。 0069 姿态稳定部件 60 具备金属块 （block） （相当于本发明的 “金属体” ） 61 和密封环 （seal ring） 6。

26、5。金属块 61 形成为圆柱状， 上下贯通的轴孔 63 形成于金属块 61 的中心部。 轴孔 63 与支撑销 50 的小径部 53 对应。因此， 通过使小径部 53 与轴孔 63 嵌合， 从而形成 能够将姿态稳定部件 60 安装于支撑销主体 51 的下部的结构。密封环 65 由橡胶等弹性部 件构成， 如图 5 所示， 安装在形成于金属块 61 的轴孔 63 的内周侧的上下两处。并且， 在使 小径部 53 与轴孔 63 嵌合的状态下， 密封环 65 发生弹性变形并密接于小径部 53 的外周， 因 此能够将姿态稳定部件 60 无偏差地安装于支撑销主体 51。 0070 姿态稳定部件 60 如前面所。

27、说明那样， 是仅使小径部 53 与轴孔 63 嵌合的结构， 因 此通过解除嵌合， 能够从支撑销主体 51 简单地拆除。如此将姿态稳定部件 60 设为装卸自 如， 是为了能够由用户选择是否使用以下说明的定位板 40， 从而在使用定位板 40 的情况下 和不使用定位板 40 的情况下共同使用支撑销主体 51。 0071 另外， 作为使用定位板 40 的情况的优点， 能够将支撑销 50 定位在规定的场所。另 外， 作为使用定位板 40 的情况的缺点， 无法调整支撑销 50 的位置， 例如有时在支撑双面安 装型的基板 P 时支撑销 50 与元件发生干涉。 0072 如图 3 所示， 定位板 40 是与。

28、底座 31 的大小大致相等形状的金属板， 在周围形成有 向下弯曲的凸缘 （flange） 41。并且， 在定位板 40 的下表面的四角经由保持器 （holder） 33 而固定有磁体 （magnet） 35， 定位板 40 形成通过磁体 35 的磁力而固定于底座 31 的结构 （参 照图 6） 。因此， 形成通过抵抗磁体 35 的磁力而将定位板 40 从底座 31 抽离从而能够容易地 拆除定位板 40 的结构。 0073 并且， 在底座 31 上设置导向销 （guide pin） 37， 另一方面， 在定位板 40 形成有导 向孔 （guide hole） 47， 通过使导向销 37 与导向孔。

29、 47 嵌合， 从而形成能够将定位板 40 定位 于底座 31 的结构。 0074 当返回至图3继续说明时， 在定位板40的上下两面之间沿板厚方向贯通形成有定 位孔 43。定位孔 43 与形成于支撑销 50 的下端的小径部 53 对应地形成， 形成与小径部 53 无间隙地嵌合的大小。 0075 在使用定位板 40 的情况下， 单独使用支承销主体 51。即、 如图 3、 图 7 所示， 使小 径部 53 插入到安装于底座 31 上的定位板 40 的定位孔 43， 从而在底座 31 上纵向安装支撑 销主体 51。所安装的支撑销主体 51 如图 7 所示， 处于小径部 53 的下端面面接触于底座 3。

30、1 上而在底座 31 上立起的状态， 而且， 通过磁体 45 的磁力而固定于底座 31 上。而且， 定位板 40 的上表面的位置设定得比支撑销主体 51 的主体部 52 的下端位置 （台阶部） 低， 并设定成 定位板 40 的上表面与支撑销主体 51 的主体部 52 在上下方向上不发生干涉。 0076 另外， 在本实施方式中， 使定位孔 43 以纵向 13 列、 横向 29 列地形成于定位板 40， 在使用定位孔 40 的情况下， 能够在底座 31 上最多安装 377 根支撑销 50。而且， 在定位板 40 上， 如图 8 所示， 在纵向各列和横向各列分别分配牌号 （A M、 1 29） ， 。

31、并以牌号作为参 说 明 书 CN 104125717 A 7 6/7 页 8 考来进行配置作业， 从而能够在底座 31 上的期望的位置配置支撑销 50。 0077 另一方面， 在不使用定位板 40 的情况下， 在支撑销主体 51 安装姿态稳定部件 60 而使用。即， 如图 9 所示， 在使姿态稳定部件 60 朝下的状态下， 将支撑销 50 纵向安装于底 座 31 上。所安装的支撑销 50 如图 10 所示， 处于小径部 53 的下端面面接触于底座 31 上而 在底座 31 上立起的状态， 而且， 通过磁体 45 的磁力而固定于底座 31 上。并且， 在不使用定 位板 40 的情况下， 支撑销 。

32、50 的侧方为自由状态， 因此容易倾倒。但是， 即使支撑销 50 从立 起的姿态倾斜， 姿态稳定部件 60 也会与底座 31 接触 （具体而言姿态稳定部件 60 的底部外 周缘与底座31接触） ， 而起到限制支撑销50倾倒的作用， 因此即使没有定位板40， 也能够使 支撑销 50 保持立起的状态， 且立起姿态容易稳定。 0078 另外， 在使支撑销 50 相对于底座 31 的固定优先的情况下， 使磁体 45 与底座 31 接 触为优选。但是， 在使磁体 45 与底座 31 接触的情况下， 由于支撑销 50 的前端的高度位置 受磁体 45 下表面的位置影响， 因此存在以下问题 ： 当磁体 45 。

33、相对于支撑销主体 51 的安装 位置存在误差时基板 P 的支撑位置会发生 “偏差” 。 0079 关于这一点， 在本结构中， 将整个磁体 45 收容在收容部 44 中， 如图 7、 图 10 所示， 形成磁体 45 不与底座 31 接触的结构 （非接触结构） 。因此， 基板 P 的支撑位置仅取决于 （依 赖于） 支撑销主体 51 的高度。一般而言， 销的加工精度高， 销的高度的 “偏差” 小， 因此能够 减小基板 P 的支撑位置的 “偏差” 。 0080 而且， 如图 10 所示， 关于姿态稳定部件 60， 也将姿态稳定部件 60 的下表面的位置 设定得比小径部 53 的下端面的位置高， 使得。

34、姿态稳定部件 60 不与底座 31 接触。之所以设 为这样的结构， 与上述同样地是因为通过使基板 P 的支撑位置仅取决于 （依赖于） 支撑销主 体 51 的高度来减小基板 P 的支撑位置的 “偏移” 。 0081 如图 3、 图 6、 图 11 所示， 升降装置 70 具备多根导向轴 （guide shaft） 72、 支撑导 向轴 72 的壳体 （housing） 73、 滚珠丝杠 （ball screw） 75、 轴承部 76 和马达 （motor） 77。导 向轴 72 将支撑台 35 支撑为能够上下移动， 起到使支撑台 35 水平地升降的作用。 0082 滚珠丝杠 75 由轴承部 76。

35、 支撑为能够在上下方向上进退， 且上端部与支撑台 35 的下表面中央部连接。设于轴承部 76 的未图示的滚珠螺母 （ball nut） 与该滚珠丝杠 75 螺合， 从而构成将绕轴的旋转运动变换为沿着轴的直线运动的滚珠丝杠机构 （ball screw mechanism） 。 0083 马达 77 在轴承部 76 的侧部 （图 11 的右侧部） 而使马达轴 （motor shaft） 朝上设 置。 在轴承部76和马达77的马达轴上分别设置有皮带轮 （pulley） ， 环形带 （endless belt） 79 架设于两皮带轮之间。 0084 如上所述， 当驱动马达 77 时， 其旋转力经由环形。

36、带 79 而向轴承部 76 的滚珠螺母 传递， 使滚珠丝杠 75 上下移动。其结果为， 支撑台 35 与滚珠丝杠 75 一体地升降， 从而构成 使底座 31 在下降位置 （图略） 和上升位置 （图略） 之间产生位移的结构。 0085 在使底座 31 位于下降位置的状态下， 在输送机 20 上被搬运的基板 P 的下方， 各支 撑销 50 处于与基板 P 隔开规定距离的间隔状态。另一方面， 当使底座 31 向上升位置移动 时， 支撑销 50 从下方与基板 P 的下表面抵接， 从而形成对停止在安装作业位置的基板 P 进 行支撑 （support） 的结构。 0086 3. 本实施方式的效果 说 明 。

37、书 CN 104125717 A 8 7/7 页 9 0087 根据本实施方式， 能够在使用定位板 40 的情况下和不使用定位板 40 的情况下共 同使用支撑销主体51。 因此， 与根据定位板40的有无来变更所使用的支撑销的种类的情况 相比， 能够将支撑销的持有数量降低到大约一半左右。 0088 而且， 根据本实施方式， 在金属块 61 的轴孔 63 设置有密封环 65。因此， 与金属彼 此的嵌合相比， 密接性高， 且容易拆除。而且， 即使发生磨损， 也只需更换密封环 65 即可， 与 整体更换金属块 61 的情况相比， 具有能够降低成本 （cost） 的优点。 0089 而且， 根据本实施方。

38、式， 由于利用磁力将支撑销 50 固定于底座 31， 因此支撑销 50 难以倾倒， 而且难以引起位置偏移。 0090 0091 本发明不限于由上述说明和附图说明的实施方式， 例如以下的实施方式也包含在 本发明的技术范围内。 0092 （1） 在上述实施方式中， 作为搭载有基板支撑装置 30 的基板处理装置的一例， 例 示了 “表面安装机 1” ， 但是基板处理装置不限于表面安装机。即， 只要是使用基板支撑装 置 30 对所支撑的印刷基板 P 进行任何处理的装置即可， 例如， 本发明也能够适用于将焊膏 （paste） 印刷于印刷基板P的印刷装置、 在印刷基板P上涂敷粘接剂的点胶机 （dispen。

39、ser） 。 另外， 在印刷装置的情况下， 刮板 （squeege） 、 驱动 （移动） 刮板的驱动部是 “执行部” ， 在点胶 机的情况下， 排出涂敷液的头部、 驱动 （移动） 头部的驱动部是 “执行部” 。 0093 （2） 在上述实施方式中， 支撑销 50 形成为直线形状， 但是例如， 如图 12 所示， 也 可以采用将支撑销主体 151 前端的支撑部 155 弯曲成 L 字型这一形状的支撑销 150。若 设为弯曲成 L 字型的形状， 则可获得能够对在俯视图中从底座 31 露出的范围也进行支撑 （support） 的效果。 0094 （3） 在上述实施方式中， 姿态稳定部件 60 为金属。

40、制， 但是， 如图 13 所示， 也可以采 用姿态稳定部件 260 为合成树脂制成的支撑销 250。若如此， 则能够舍弃密接环而直接安 装于支撑销主体 51 的小径部 53， 因此能够降低成本 （cost） 。而且， 也可以将姿态稳定部件 260 直接安装于具有弯曲成 L 字型的形状的支撑部 155 的支撑销主体 151。 说 明 书 CN 104125717 A 9 1/12 页 10 图 1 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 10 2/12 页 11 图 2 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 11 3/12 页 12 图 3 说 明 书 附 图 CN 104。

41、125717 A 12 4/12 页 13 图 4 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 13 5/12 页 14 图 5 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 14 6/12 页 15 图 6 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 15 7/12 页 16 图 7 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 16 8/12 页 17 图 8 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 17 9/12 页 18 图 9 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 18 10/12 页 19 图 10 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 19 11/12 页 20 图 11 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 20 12/12 页 21 图 12 图 13 说 明 书 附 图 CN 104125717 A 21 。