玻璃基板表面处理的方法及系统.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201310377798.7

申请日:

2013.08.27

公开号:

CN104209867A

公开日:

2014.12.17

当前法律状态:

实审

有效性:

审中

法律详情:

实质审查的生效IPC(主分类):B24C 1/00申请日:20130827|||公开

IPC分类号:

B24C1/00; B24C5/00

主分类号:

B24C1/00

申请人:

东旭集团有限公司

发明人:

杨军

地址:

050000 河北省石家庄市高新区珠江大道369号

优先权:

专利代理机构:

石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123

代理人:

王苑祥

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内容摘要

本发明公开了一种玻璃基板表面处理的方法和系统,该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤:①配制带磨料的混合浆料;②根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度;③将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。所述系统包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器、以及分别与喷射器入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口喷射形成高速喷射的混合浆料。采用本发明处理效率高、成本低。

权利要求书

1.  一种玻璃基板表面处理的方法,其特征在于该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤:
①配制带磨料的混合浆料;
②根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度;
③将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。

2.
  根据权利要求1所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤③中还包括混合浆料的回收和处理步骤,形成混合浆料的循环利用。

3.
  根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述混合浆料为含有磨料的水悬浮液,其中磨料的重量百分比为8-25﹪。

4.
  根据权利要求3所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述磨料为氧化铈、氧化铝、氧化锡或氧化锆,其粒径为3-12μm。

5.
  根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤②中喷射口至待处理玻璃基板的距离为20-500mm,喷射口与玻璃基板的喷射角度为30-90°。

6.
  根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤②中混合浆料的温度为25-45℃。

7.
  根据权利要求2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述混合浆料的处理步骤包括浆料的过滤和离心分离。

8.
  根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤③中所述喷射系统的结构中包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器(1)、以及分别与喷射器(1)入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口(1-3)喷射形成高速喷射的混合浆料。

9.
  根据权利要求8所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述混合浆料输入机构的结构中包括浆料储罐(3)、和与浆料储罐(3)的出口连通并装有浆料输出泵(5)的浆料输出管路(2),浆料输出管路(2)的出口与喷射器(1)的一个入口连通;所述压缩空气输入机构的结构中包括压缩空气泵(8)、和与压缩空气泵(8)连通的压缩空气管路(9),所述压缩空气管路(9)的出口与喷射器(1)的另一个入口连通。

10.
  根据权利要求8所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述喷射系统的结构中还包括浆料回收机构,所述浆料回收机构的结构中包括设置在待处理玻璃基板(7)工作台下方的浆料回收池(6)、连通浆料回收池(6)与浆料储罐(3)的浆料回收管路(12),所述浆料回收管路(12)依次装有浆料回收泵(4)、过滤器和离心式旋流器。

说明书

玻璃基板表面处理的方法及系统
技术领域
本发明属于玻璃基板、机械加工、磨具制造以及其他需要对零件表面进行处理的领域,具体涉及PDP\TFT基板玻璃等对玻璃表面质量要求较高的电子玻璃基板的表面处理方法及系统。
背景技术
现有技术中,主要采用辊式或盘式抛光轮或抛光轴对玻璃基板的表面进行研磨、抛光加工,上述方法存在的主要问题是:效率较低,切削研磨量大、设备较长(少则几十米多则上百米)、生产节拍较慢、工艺复杂并且需要按不同粗细的磨料分段进行加工。设备投资大,需要操作工人较多。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种玻璃基板表面处理的方法及系统,其采用微米级的磨料浆液与高压空气射流喷射技术相结合,解决了现有技术中生产节拍较慢、工艺复杂的技术问题,大幅提高了玻璃基板表面处理效率和产品的良品率,且生产成本和设备成本较低。
为了解决上述技术问题,本发明采取的技术方案是:
一种玻璃基板表面处理的方法,该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤:
①配制带磨料的混合浆料;
②根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度;
③将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。
优选的,步骤③中还包括混合浆料的回收和处理步骤,形成混合浆料的循环利用。
本发明还提供了一种基于上述玻璃基板表面处理方法的处理系统,该系统的结构中包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器、以及分别与喷射器入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口喷射形成高速喷射的混合浆料。
所述混合浆料输入机构的结构中包括浆料储罐、和与浆料储罐的出口连通并装有浆料输出泵的浆料输出管路,浆料输出管路的出口与喷射器的一个入口连通;所述压缩空气输入机构的结构中包括压缩空气泵、和与压缩空气泵连通的压缩空气管路,所述压缩空气管路的出口与喷射器的另一个入口连通。
本发明采用了洁净的压缩空气喷射技术,其工作原理是将带有氧化铈等磨料的混合浆料通过高压气体喷射使得磨料粒子得到有效地加速,从而获得较大的动能,因而对玻璃表面具有微量的表面切割作用。
采用上述技术方案产生的有益效果在于:(1)本发明的处理方法具有较高的生产效率,一般G6(TFT液晶基板6代玻璃)的玻璃基板完全可以在5-20秒内加工完成,适合在线大批量生产;(2)玻璃基板表面有微观缺陷、经后续的表面清洗不能有效去除的不良品,经过本发明的方法进行处理后可以变成良品,提高了生产线上的良品率,有效的增加企业的盈利能力,经济效果显著;(3)本发明也可作为更精细玻璃基板表面加工的预处理,使得后续加工余量减少,提高加工的效率;(4)在浮法玻璃生产线上可以有效的去除玻璃表面的氧化物、粘锡、微小的结石、硫化物等不能经过清洗去除的玻璃基板表面质量缺陷,能有效的解决玻璃基板表面的擦划伤问题;(5)本发明的设备一次投入的成本较低,节约了生产资金。
附图说明
图1是本发明喷射器的结构示意图;
图2是图1的俯视结构示意图;
图3是本发明喷射系统的结构示意图;
其中,1、喷射器,1-1、混合浆料配送孔,1-2压缩空气配送孔,1-3、喷射口,2、浆料输出管路,3、浆料储罐,4、浆料回收泵,5、浆料输出泵,6、浆料回收池,7、待处理玻璃基板,8、压缩空气泵,9、压缩空气管路,10、压缩空气调节阀,11、浆料调节阀,12、浆料回收管路。
具体实施方式
 本实施例是一种玻璃基板表面处理的方法,该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤:
①配制带磨料的混合浆料;所述混合浆料为含有磨料的水悬浮液,其中磨料的重量百分比为8-25%。所述磨料为氧化铈、氧化铝、氧化锡或氧化锆,其粒径为3-12μm。
浮法玻璃中生产的玻璃基板优选氧化铈磨料。氧化铈磨料的粒度可以根据玻璃基板表面的性质和加工的目的进行选择,当玻璃基板表面质量较差,微小的附着物较多应选择较大的粒度以有利于切削,反之选择较小的粒度,但一般控制在3-12μm。
盛装氧化铈混合浆料的浆料储罐一般配有加热装置,将其料浆的温度控制在25-45℃,在此温度范围内喷射效果更佳。
②根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度。
喷射口可以采用扇形结构以提高扫射的面积和效率,喷射口与待处理玻璃基板的入射角度为30°-90°可调,对待处理玻璃基板的喷射高度为20-500mm可调。根据玻璃基板的表面质量调节,原则是表面缺陷较轻微喷射高度选择较高的位置且喷射角度较大,喷射压力较小,反之则相反的调整。
混合浆料借助浆料输出泵5从浆料储罐3中抽取,浆料输出泵5出口压力为0.2-0.5MPa,压缩空气通过压缩空气泵8提供,并且其喷射的压力为0.3-1.0MPa可调。
③将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。
可以在待处理玻璃基板的工作台上安装有传感器、PLC控制单元及精密机械执行机构,这样可以根据传感器检测的待处理玻璃基板的表面状况、由PLC控制精密执行机构对待处理玻璃基板实施精确定点、定量的加工,以提高表面处理的效率和精度。
步骤③中还包括混合浆料的回收和处理步骤,形成混合浆料的循环利用。所述混合浆料的处理步骤包括过滤和离心分离。过滤作用是滤掉大的粒子避免划伤玻璃;离心分离是通过离心式旋流器将水和不同比重的料浆分离,旋流出的合格料浆通过泵重新打入浆料储罐中使用。
本实施例提供了一种基于上述方法的处理系统,所述喷射系统的结构中包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器1、以及分别与喷射器1入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口1-3喷射形成高速喷射的混合浆料。喷射器1尾部有两个长孔,分别是混合浆料配送孔1-1和洁净的压缩空气配送孔1-2,两个长孔在喷射器1的头部汇集、形成喷射口1-3。
所述混合浆料输入机构的结构中包括浆料储罐3、和与浆料储罐3的出口连通并装有浆料输出泵5的浆料输出管路2,浆料输出管路2的出口与喷射器1的一个入口(即混合浆料配送孔1-1的入口)连通;所述压缩空气输入机构的结构中包括压缩空气泵8、和与压缩空气泵8连通的压缩空气管路9,所述压缩空气管路9的出口与喷射器1的另一个入口(即压缩空气配送孔1-2的入口)连通。
所述喷射系统的结构中还包括浆料回收机构,所述浆料回收机构的结构中包括设置在待处理玻璃基板7工作台下方的浆料回收池6、连通浆料回收池6与浆料储罐3的浆料回收管路12,所述浆料回收管路12依次装有浆料回收泵4、过滤器和离心式旋流器,离心式旋流器将水和不同比重的料浆分离,旋流出的合格料浆再通过泵重新打入浆料储罐中使用,形成混合浆料的循环使用。
在压缩空气管路9和浆料输出管路2上还分别加装有浆料调节阀11和压缩空气调节阀10,以调整混合浆料和压缩空气的流量。
在工作台上方还设有检测待处理玻璃基板7表面状况的传感器,所述喷射器1固定在精密机械执行机构上,所述精密机械执行机构在处理玻璃基板7的上方具有三维运动的自由度,还包括控制精密机械执行机构的PLC控制单元,所述传感器的输出端接PLC控制单元的输入端;PLC控制单元相应的输出端还分别接浆料回收泵4、浆料输出泵5、压缩空气泵8、压缩空气调节阀10以及浆料调节阀11的控制端。

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1、10申请公布号CN104209867A43申请公布日20141217CN104209867A21申请号201310377798722申请日20130827B24C1/00200601B24C5/0020060171申请人东旭集团有限公司地址050000河北省石家庄市高新区珠江大道369号72发明人杨军74专利代理机构石家庄众志华清知识产权事务所特殊普通合伙13123代理人王苑祥54发明名称玻璃基板表面处理的方法及系统57摘要本发明公开了一种玻璃基板表面处理的方法和系统,该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤配制带磨料的混合浆料;根据待处理玻璃基板的表面状况。

2、,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度;将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。所述系统包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器、以及分别与喷射器入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口喷射形成高速喷射的混合浆料。采用本发明处理效率高、成本低。51INTCL权利要求书1页说明书3页附图1页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图1页10申请公布号CN104209867ACN104209867A1/1页21一种玻璃基板表面处理的方法,其。

3、特征在于该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤配制带磨料的混合浆料;根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度;将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。2根据权利要求1所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤中还包括混合浆料的回收和处理步骤,形成混合浆料的循环利用。3根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述混合浆料为含有磨料的水悬浮液,其中磨料的重量百分比为825。4根据权利要求3所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述磨料为。

4、氧化铈、氧化铝、氧化锡或氧化锆,其粒径为312M。5根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤中喷射口至待处理玻璃基板的距离为20500MM,喷射口与玻璃基板的喷射角度为3090。6根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤中混合浆料的温度为2545。7根据权利要求2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述混合浆料的处理步骤包括浆料的过滤和离心分离。8根据权利要求1或2所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于步骤中所述喷射系统的结构中包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器(1)、以及分别与喷射器(1)入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合。

5、浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口(13)喷射形成高速喷射的混合浆料。9根据权利要求8所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述混合浆料输入机构的结构中包括浆料储罐(3)、和与浆料储罐(3)的出口连通并装有浆料输出泵(5)的浆料输出管路(2),浆料输出管路(2)的出口与喷射器(1)的一个入口连通;所述压缩空气输入机构的结构中包括压缩空气泵(8)、和与压缩空气泵(8)连通的压缩空气管路(9),所述压缩空气管路(9)的出口与喷射器(1)的另一个入口连通。10根据权利要求8所述的玻璃基板表面处理的方法,其特征在于所述喷射系统的结构中还包括浆料回收机构,所述浆料回收机构的结构中包括设置在待处理。

6、玻璃基板(7)工作台下方的浆料回收池(6)、连通浆料回收池(6)与浆料储罐(3)的浆料回收管路(12),所述浆料回收管路(12)依次装有浆料回收泵(4)、过滤器和离心式旋流器。权利要求书CN104209867A1/3页3玻璃基板表面处理的方法及系统技术领域0001本发明属于玻璃基板、机械加工、磨具制造以及其他需要对零件表面进行处理的领域,具体涉及PDPTFT基板玻璃等对玻璃表面质量要求较高的电子玻璃基板的表面处理方法及系统。背景技术0002现有技术中,主要采用辊式或盘式抛光轮或抛光轴对玻璃基板的表面进行研磨、抛光加工,上述方法存在的主要问题是效率较低,切削研磨量大、设备较长(少则几十米多则上百。

7、米)、生产节拍较慢、工艺复杂并且需要按不同粗细的磨料分段进行加工。设备投资大,需要操作工人较多。发明内容0003本发明要解决的技术问题是提供一种玻璃基板表面处理的方法及系统,其采用微米级的磨料浆液与高压空气射流喷射技术相结合,解决了现有技术中生产节拍较慢、工艺复杂的技术问题,大幅提高了玻璃基板表面处理效率和产品的良品率,且生产成本和设备成本较低。0004为了解决上述技术问题,本发明采取的技术方案是一种玻璃基板表面处理的方法,该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤配制带磨料的混合浆料;根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度;。

8、将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。0005优选的,步骤中还包括混合浆料的回收和处理步骤,形成混合浆料的循环利用。0006本发明还提供了一种基于上述玻璃基板表面处理方法的处理系统,该系统的结构中包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器、以及分别与喷射器入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口喷射形成高速喷射的混合浆料。0007所述混合浆料输入机构的结构中包括浆料储罐、和与浆料储罐的出口连通并装有浆料输出泵的浆料输出管路,浆料输出管路的出口与喷射器的一个入口连通;所述压缩空。

9、气输入机构的结构中包括压缩空气泵、和与压缩空气泵连通的压缩空气管路,所述压缩空气管路的出口与喷射器的另一个入口连通。0008本发明采用了洁净的压缩空气喷射技术,其工作原理是将带有氧化铈等磨料的混合浆料通过高压气体喷射使得磨料粒子得到有效地加速,从而获得较大的动能,因而对玻璃表面具有微量的表面切割作用。说明书CN104209867A2/3页40009采用上述技术方案产生的有益效果在于(1)本发明的处理方法具有较高的生产效率,一般G6(TFT液晶基板6代玻璃)的玻璃基板完全可以在520秒内加工完成,适合在线大批量生产;(2)玻璃基板表面有微观缺陷、经后续的表面清洗不能有效去除的不良品,经过本发明的。

10、方法进行处理后可以变成良品,提高了生产线上的良品率,有效的增加企业的盈利能力,经济效果显著;(3)本发明也可作为更精细玻璃基板表面加工的预处理,使得后续加工余量减少,提高加工的效率;(4)在浮法玻璃生产线上可以有效的去除玻璃表面的氧化物、粘锡、微小的结石、硫化物等不能经过清洗去除的玻璃基板表面质量缺陷,能有效的解决玻璃基板表面的擦划伤问题;(5)本发明的设备一次投入的成本较低,节约了生产资金。附图说明0010图1是本发明喷射器的结构示意图;图2是图1的俯视结构示意图;图3是本发明喷射系统的结构示意图;其中,1、喷射器,11、混合浆料配送孔,12压缩空气配送孔,13、喷射口,2、浆料输出管路,3。

11、、浆料储罐,4、浆料回收泵,5、浆料输出泵,6、浆料回收池,7、待处理玻璃基板,8、压缩空气泵,9、压缩空气管路,10、压缩空气调节阀,11、浆料调节阀,12、浆料回收管路。具体实施方式0011本实施例是一种玻璃基板表面处理的方法,该方法是将带有磨料的混合浆料高速喷射至待处理的玻璃基板表面,具体包括下述步骤配制带磨料的混合浆料;所述混合浆料为含有磨料的水悬浮液,其中磨料的重量百分比为825。所述磨料为氧化铈、氧化铝、氧化锡或氧化锆,其粒径为312M。0012浮法玻璃中生产的玻璃基板优选氧化铈磨料。氧化铈磨料的粒度可以根据玻璃基板表面的性质和加工的目的进行选择,当玻璃基板表面质量较差,微小的附着。

12、物较多应选择较大的粒度以有利于切削,反之选择较小的粒度,但一般控制在312M。0013盛装氧化铈混合浆料的浆料储罐一般配有加热装置,将其料浆的温度控制在2545,在此温度范围内喷射效果更佳。0014根据待处理玻璃基板的表面状况,确定喷射口的高度以及与待处理玻璃基板的角度。0015喷射口可以采用扇形结构以提高扫射的面积和效率,喷射口与待处理玻璃基板的入射角度为3090可调,对待处理玻璃基板的喷射高度为20500MM可调。根据玻璃基板的表面质量调节,原则是表面缺陷较轻微喷射高度选择较高的位置且喷射角度较大,喷射压力较小,反之则相反的调整。0016混合浆料借助浆料输出泵5从浆料储罐3中抽取,浆料输出。

13、泵5出口压力为0205MPA,压缩空气通过压缩空气泵8提供,并且其喷射的压力为0310MPA可调。0017将混合浆料和压缩空气分别同时输入喷射系统、并从同一喷射口喷射至待处理的玻璃基板表面,然后并按照设定路线处理完毕。0018可以在待处理玻璃基板的工作台上安装有传感器、PLC控制单元及精密机械执行说明书CN104209867A3/3页5机构,这样可以根据传感器检测的待处理玻璃基板的表面状况、由PLC控制精密执行机构对待处理玻璃基板实施精确定点、定量的加工,以提高表面处理的效率和精度。0019步骤中还包括混合浆料的回收和处理步骤,形成混合浆料的循环利用。所述混合浆料的处理步骤包括过滤和离心分离。。

14、过滤作用是滤掉大的粒子避免划伤玻璃;离心分离是通过离心式旋流器将水和不同比重的料浆分离,旋流出的合格料浆通过泵重新打入浆料储罐中使用。0020本实施例提供了一种基于上述方法的处理系统,所述喷射系统的结构中包括设有两个入口和一个喷射口的喷射器1、以及分别与喷射器1入口端连通的混合浆料输入机构和压缩空气输入机构,混合浆料和压缩空气在喷射器处混合、并从喷射口13喷射形成高速喷射的混合浆料。喷射器1尾部有两个长孔,分别是混合浆料配送孔11和洁净的压缩空气配送孔12,两个长孔在喷射器1的头部汇集、形成喷射口13。0021所述混合浆料输入机构的结构中包括浆料储罐3、和与浆料储罐3的出口连通并装有浆料输出泵。

15、5的浆料输出管路2,浆料输出管路2的出口与喷射器1的一个入口即混合浆料配送孔11的入口连通;所述压缩空气输入机构的结构中包括压缩空气泵8、和与压缩空气泵8连通的压缩空气管路9,所述压缩空气管路9的出口与喷射器1的另一个入口即压缩空气配送孔12的入口连通。0022所述喷射系统的结构中还包括浆料回收机构,所述浆料回收机构的结构中包括设置在待处理玻璃基板7工作台下方的浆料回收池6、连通浆料回收池6与浆料储罐3的浆料回收管路12,所述浆料回收管路12依次装有浆料回收泵4、过滤器和离心式旋流器,离心式旋流器将水和不同比重的料浆分离,旋流出的合格料浆再通过泵重新打入浆料储罐中使用,形成混合浆料的循环使用。0023在压缩空气管路9和浆料输出管路2上还分别加装有浆料调节阀11和压缩空气调节阀10,以调整混合浆料和压缩空气的流量。0024在工作台上方还设有检测待处理玻璃基板7表面状况的传感器,所述喷射器1固定在精密机械执行机构上,所述精密机械执行机构在处理玻璃基板7的上方具有三维运动的自由度,还包括控制精密机械执行机构的PLC控制单元,所述传感器的输出端接PLC控制单元的输入端;PLC控制单元相应的输出端还分别接浆料回收泵4、浆料输出泵5、压缩空气泵8、压缩空气调节阀10以及浆料调节阀11的控制端。说明书CN104209867A1/1页6图1图2图3说明书附图CN104209867A。

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