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1、(10)申请公布号 CN 102315076 A (43)申请公布日 2012.01.11 CN 102315076 A *CN102315076A* (21)申请号 201010225133.0 (22)申请日 2010.07.05 H01J 49/26(2006.01) G01N 27/62(2006.01) (71)申请人 同方威视技术股份有限公司 地址 100084 北京市海淀区双清路同方大厦 A 座 2 层 (72)发明人 张阳天 彭华 张秀庭 郑小永 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所 ( 普通合伙 ) 11201 代理人 宋合成 (54) 发明名称 离子迁移管 。
2、(57) 摘要 本发明提出一种离子迁移管， 包括沿前后方 向顺序叠置在一起的具有中心离化源舱孔的离化 源舱、 离子门、 具有中心迁移管腔的迁移区单元、 抑制栅、 和法拉第盘， 其中所述迁移区单元包括第 一绝缘体和分别同心地固定在第一绝缘体正面和 背面上的第一金属极片。根据本发明实施例的迁 移管， 迁移区单元由一体的第一绝缘体和第一金 属极片构成， 因此制造简单， 拆卸和安装方便。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 7 页 附图 11 页 CN 102315081 A1/2 页 2 1. 一种离子迁移管， 其特征在于，。
3、 包括沿前后方向顺序叠置在一起的具有中心离化源 舱孔的离化源舱、 离子门、 具有中心迁移管腔的迁移区单元、 抑制栅、 和法拉第盘， 其中所述 迁移区单元包括第一绝缘体和分别同心地固定在第一绝缘体正面和背面上的第一金属极 片。 2. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第一绝缘体形成有分别位于 第一金属极片径向外侧的第一电子元件容纳孔。 3. 根据权利要求 2 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第一绝缘体进一步形成有位 于第一金属极片径向外侧的第一走线孔。 4. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离化源舱包括第二绝缘体和 分别同心地固定在第二绝缘体正。
4、面和背面上且彼此连接的第二金属极片。 5. 根据权利要求 4 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第二绝缘体形成有分别位于 第二金属极片径向外侧的第二电子元件容纳孔。 6. 根据权利要求 5 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第二绝缘体进一步形成有位 于第二金属极片径向外侧的第二走线孔。 7. 根据权利要求 6 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离化源舱形成有贯通第二绝 缘体和第二金属极片的第二电气过孔。 8. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离子门包括第三绝缘体和分 别同心地固定在第三绝缘体正面和背面上的第三金属极片。 9. 根据权利要求 8 所述的离子迁移。
5、管， 其特征在于， 所述第三绝缘体形成有分别位于 第三金属极片径向外侧的第三电子元件容纳孔。 10. 根据权利要求 9 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第三绝缘体形成有位于第三 金属极片径向外侧的第三走线孔。 11. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述抑制栅包括第四绝缘体和分 别同心地固定在第四绝缘体正面和背面上且彼此连接的第四正面金属极片和第四背面金 属极片， 且第四背面金属极片为环形。 12. 根据权利要求 11 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第四绝缘体上形成有分别 位于第四正面金属极片和第四背面金属极片径向外侧的第四电子元件容纳孔。 13. 根据权利要。
6、求 12 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第四绝缘体上形成有位于 第四正面金属极片和第四背面金属极片径向外侧的第四走线孔。 14. 根据权利要求 13 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述抑制栅形成有贯通第四绝 缘体用于连接第四正面金属极片和第四背面金属极片的第四电气过孔。 15. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘包括第五绝缘体和 分别同心地固定在第五绝缘体正面和背面上且彼此连接的第五金属极片。 16. 根据权利要求 15 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第五绝缘体形成有分别位 于第五金属极片径向外侧的第五电子元件容纳孔。 17. 根据权利要求 1。
7、6 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘进一步包括分别 同心地固定在第五绝缘体正面和背面上、 分别套在第五金属极片径向外侧且彼此连接的环 形金属极片， 其中所述第五电子元件容纳孔位于环形金属极片径向外侧。 18. 根据权利要求 17 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第五绝缘体进一步形成有 权 利 要 求 书 CN 102315076 A CN 102315081 A2/2 页 3 位于环形金属极片径向外侧的第五走线孔。 19. 根据权利要求 18 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第五绝缘体形成有位于环 形金属极片内侧与第五金属极片外侧的通风孔。 20. 根据权利要求 19。
8、 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘形成有用于连接 环形金属极片的第五电气过孔。 21. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 进一步包括顺序叠置在法拉第盘 后面的法拉第盘后盖环和法拉第盘后盖板， 所述法拉第盘后盖板包括第六绝缘体和分别同 心地固定在第六绝缘体正面和背面上且彼此相连的第六金属极片， 且所述法拉第盘后盖环 包括具有第七中心孔的第七绝缘体和分别同心地固定在第七绝缘体正面和背面的第七环 形金属极片。 22. 根据权利要求 21 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第六绝缘体上形成有分别 位于第六金属极片径向外侧的第六走线孔， 且所述第七绝缘体上形成有分别位。
9、于第七环形 金属极片径向外侧的第七走线孔。 23. 根据权利要求 22 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘后盖板形成有分 别贯通第六绝缘体和第六金属极片的第六电气过孔。 24. 根据权利要求 23 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘后盖板在背面安 装有气嘴。 25. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离化源舱、 离子门、 迁移区单 元、 抑制栅、 法拉第盘和法拉第盘后盖板分别形成有安装孔且它们通过穿过安装孔的螺栓 叠置在一起。 26. 根据权利要求 1 所述的离子迁移管， 其特征在于， 第一绝缘体为陶瓷， 且所述第一 金属极片分别通过腐蚀、 电镀、。
10、 沉积或喷涂形成在第一绝缘体上。 权 利 要 求 书 CN 102315076 A CN 102315081 A1/7 页 4 离子迁移管 技术领域 0001 本发明总体上涉及一种基于离子迁移原理用于痕量检测的检测设备， 尤其是涉及 一种离子迁移管。 背景技术 0002 离子迁移管是基于离子迁移原理的检测设备的核心部件， 通常包括离化源舱、 离 子门、 迁移区、 抑制栅、 法拉第盘。传统迁移管的上述构件分别采用独立的金属极片构成各 个组成部分， 极片之间用绝缘材料隔开， 金属极片连接外部线缆或者在金属极片之间焊接 分立的分压电阻， 或者将分压电阻放到迁移管的外部。这样的迁移管结构复杂， 引线较。
11、多， 并且由于两个极片相互通过导线或电子元件焊接在一起而不容易拆卸。此外， 在传统的离 子迁移管中， 离子门、 抑制栅等结构都采用网状或丝状的薄金属制成， 强度较差， 由于变形 导致的性能变化明显， 影响了检测精确度。 发明内容 0003 本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此， 本发明的一个目的 在于提出一种结构简单、 制造和拆卸方便的离子迁移管。 0004 根据本发明的离子迁移管包括沿前后方向顺序叠置在一起的具有中心离化源舱 孔的离化源舱、 离子门、 具有中心迁移管腔的迁移区单元、 抑制栅、 和法拉第盘， 其中所述迁 移区单元包括第一绝缘体和分别同心地固定在第一绝缘体正面和背。
12、面上的第一金属极片。 0005 根据本发明实施例的迁移管， 迁移区单元由一体的第一绝缘体和第一金属极片构 成， 因此制造简单， 拆卸和安装方便。 0006 另外， 根据本发明实施例的离子迁移管还具有如下附加技术特征 ： 0007 所述第一绝缘体形成有分别位于第一金属极片径向外侧的第一电子元件容纳孔。 0008 第一绝缘体进一步形成有位于第一金属极片径向外侧的第一走线孔。 0009 所述离化源舱包括第二绝缘体和分别同心地固定在第二绝缘体正面和背面上且 彼此连接的第二金属极片。 0010 所述第二绝缘体形成有分别位于第二金属极片径向外侧的第二电子元件容纳孔。 0011 第二绝缘体进一步形成有位于第。
13、二金属极片径向外侧的第二走线孔。 0012 离化源舱形成有贯通第二绝缘体和第二金属极片的第二电气过孔。 0013 所述离子门包括第三绝缘体和分别同心地固定在第三绝缘体正面和背面上的第 三金属极片。 0014 所述第三绝缘体形成有分别位于第三金属极片径向外侧的第三电子元件容纳孔。 0015 所述第三绝缘体形成有位于第三金属极片径向外侧的第三走线孔。 0016 所述抑制栅包括第四绝缘体和分别同心地固定在第四绝缘体正面和背面上且彼 此连接的第四正面金属极片和第四背面金属极片， 其中第四背面金属极片为环形。 0017 所述第四绝缘体上形成有分别位于第四正面金属极片和第四背面金属极片径向 说 明 书 C。
14、N 102315076 A CN 102315081 A2/7 页 5 外侧的第四电子元件容纳孔。 0018 所述第四绝缘体上形成有位于第四正面金属极片和第四背面金属极片径向外侧 的第四走线孔。 0019 所述抑制栅形成有贯通第四绝缘体用于连接第四正面金属极片和第四背面金属 极片的第四电气过孔。 0020 所述法拉第盘包括第五绝缘体和分别同心地固定在第五绝缘体正面和背面上且 彼此连接的第五金属极片。 0021 所述第五绝缘体形成有分别位于第五金属极片径向外侧的第五电子元件容纳孔。 0022 所述法拉第盘进一步包括分别同心地固定在第五绝缘体正面和背面上、 分别套在 第五金属极片径向外侧且彼此连接。
15、的环形金属极片， 其中所述第五电子元件容纳孔位于环 形金属极片径向外侧。 0023 第五绝缘体进一步形成有位于环形金属极片径向外侧的第五走线孔。 0024 所述第五绝缘体形成有位于环形金属极片内侧与第五金属极片外侧的通风孔。 0025 所述法拉第盘形成有用于连接环形金属极片的第五电气过孔。 0026 根据本发明实施例的离子迁移管进一步包括顺序叠置在法拉第盘后面的法拉第 盘后盖环和法拉第盘后盖板， 所述法拉第盘后盖板包括第六绝缘体和分别同心地固定在第 六绝缘体正面和背面上且彼此相连的第六金属极片， 且所述法拉第盘后盖环包括具有第七 中心孔的第七绝缘体和分别同心地固定在第七绝缘体正面和背面的第七环。
16、形金属极片。 0027 所述第六绝缘体上形成有分别位于第六金属极片径向外侧的第六走线孔， 且所述 第七绝缘体上形成有分别位于第七环形金属极片径向外侧的第七走线孔。 0028 所述法拉第盘后盖板形成有分别贯通第六绝缘体和第六金属极片的第六电气过 孔。 0029 所述法拉第盘后盖板在背面安装有气嘴。 0030 所述离化源舱、 离子门、 迁移区单元、 抑制栅、 法拉第盘和法拉第盘后盖板分别形 成有安装孔且它们通过穿过安装孔的螺栓叠置在一起。 0031 第一绝缘体为陶瓷， 且所述第一金属极片分别通过腐蚀、 电镀、 沉积或喷涂形成在 第一绝缘体上。 0032 本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给。
17、出， 部分将从下面的描述中变 得明显， 或通过本发明的实践了解到。 附图说明 0033 本发明的上述和 / 或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变 得明显和容易理解， 其中 ： 0034 图 1 是根据本发明实施例的离子迁移管处于组装状态的透视图 ； 0035 图 2 是图 1 所示离子迁移管的离化源舱的立体图 ； 0036 图 3 是图 2 所示离化源舱的正面视图 ； 0037 图 4 是图 3 所示离化源舱的侧视图 ； 0038 图 5 是图 1 所示离子迁移管的离子门的立体图 ； 0039 图 6 是图 5 所示离子门的正面视图 ； 说 明 书 CN 102315076 A。
18、 CN 102315081 A3/7 页 6 0040 图 7 是图 6 所示离子门的侧视图 ； 0041 图 8 是图 1 所示离子迁移管的迁移区单元的立体图 ； 0042 图 9 是图 8 所示迁移区单元的正面视图 ； 0043 图 10 是图 9 所示迁移区单元的侧视图 ； 0044 图 11 是多个迁移区单元叠置在一起的局部透视图 ； 0045 图 12 是图 1 所示离子迁移管的抑制栅的立体图 ； 0046 图 13 是图 12 所示抑制栅的正面视图 ； 0047 图 14 是图 13 所示抑制栅的背面视图 ； 0048 图 15 是图 1 所示离子迁移管的法拉第盘的立体图 ； 00。
19、49 图 16 是图 15 所示法拉第盘的正面视图 ； 0050 图 17 是图 1 所示离子迁移管的法拉第盘后盖板的正面立体图 ； 0051 图 18 是图 1 所示离子迁移管的法拉第盘后盖板的背面立体图 ； 和 0052 图 19 是图 1 中所示离子迁移管的法拉第盘后盖环的正面立体图。 具体实施方式 0053 下面详细描述本发明的实施例， 所述实施例的示例在附图中示出， 其中自始至终 相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。 下面通过参考附 图描述的实施例是示例性的， 仅用于解释本发明， 而不能理解为对本发明的限制。 0054 在本发明的描述中， 术语 “正” 、。
20、“背” 、“左” 、“右” 、“径向” 、“轴向” 、“前” 、“后” 等指 示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为了便于描述本发明而不是 要求本发明必须以特定的方位构造和操作， 因此不能理解为对本发明的限制。 0055 下面参考附图详细描述根据本发明实施例的离子迁移管。 0056 如图1所示， 根据本发明一个实施例的离子迁移管包括离化源舱1、 离子门2、 迁移 区单元 3、 抑制栅 4、 和法拉第盘 5。在本发明的一些实施例中， 离子迁移管进一步包括法拉 第盘后盖板 6。 0057 如图 1 所示， 离化源舱 1、 离子门 2、 迁移区单元 3、 抑制栅 4、 法拉第盘 。
21、5、 法拉第盘 后盖环 7 和法拉第盘后盖板 6 沿前后方向 ( 图 1 中的左右方向 ) 顺序地叠置在一起。 0058 在图 1 所示的示例中， 离化源舱 1、 离子门 2、 迁移区单元 3、 抑制栅 4、 法拉第盘 5 和法拉第盘后盖板6的左上角和右下角分别形成有安装孔， 螺栓8穿过安装孔， 从而将它们 沿前后方向顺序组装在一起。 0059 下面参考附图详细描述根据本发明实施例的离子迁移管的各个组成部分。 0060 如图 8-11 所示， 迁移区单元 3 具有中心迁移管腔 314， 并且包括第一绝缘体 31 和 分别同心地固定在第一绝缘体 31 的正面 ( 图 10 中的左侧表面 ) 和背。
22、面 ( 图 10 中的右侧 表面 ) 上的第一金属极片 32。第一金属极片 32 具有与中心迁移管腔 314 对应的第一金属 极片中心孔 321。 0061 第一金属极片 32 可以通过电子元件 8 连接， 换言之， 第一金属极片 32 通过电阻连 接。例如， 电子元件 8 分别通过从正面和北面的第一金属极片 32 引出的引线 322 将正面和 背面的第一金属极片 32 连接。 0062 在本发明的一些实施例中， 第一绝缘体 31 为陶瓷， 由此耐高温高压， 第一金属极 说 明 书 CN 102315076 A CN 102315081 A4/7 页 7 片 32 可以通过腐蚀、 电镀、 沉积。
23、或喷涂形成在第一绝缘体 31 上， 从而绝缘体 31 与正面和背 面的第一金属极片 32 构成一个一体的单元。当然， 本发明并不限于此， 例如第一绝缘体 31 也可以用像普通电路板一样的材料制成， 第一金属极片 32 像在电路板上印刷电路一样形 成在第一绝缘体 31 上。在图 8-10 所示的实施例中， 第一绝缘体 31 和第一金属极片 32 为 大体正方形， 但本发明并不限于此。 0063 根据本发明的实施例， 由于迁移区单元由一体的第一绝缘体 31 和第一金属极片 32 构成， 因此， 迁移区单元可以直接串接而成， 只需要单元之间彼此的金属部分能够互相接 触， 这样安装和拆卸简单， 降低了。
24、成本。 0064 如图 1 所示， 迁移管的迁移区可以由多个迁移区单元 3 构成， 换言之， 迁移区由多 个叠置在一起的正面和背面分别固定有第一金属极片 32 的第一绝缘体 31 构成， 如图 11 所 示。迁移区单元 3 的具体数量可以根据具体应用选择， 可以方便地调整迁移管的迁移区长 度。 0065 在本发明的一些实施例中， 如图 8 和 9 所示， 第一绝缘体 31 形成有分别位于第一 金属极片 32 径向外侧的第一电子元件容纳孔 313， 在图 8 和图 9 所示的示例中， 第一电子 元件容纳孔 313 形成在第一绝缘体 31 的右上角。第一电子元件容纳孔 313 用于容纳相邻 迁移区。
25、单元 3 上焊接的电子元件 8。如图 11 所示， 一个迁移区单元 3 上的第一电子元件容 纳孔 313 与其上的电子元件 8 的位置相对， 因此一个迁移区单元 3 上的第一电子元件容纳 孔 313 与相邻迁移区单元 3 上的第一电子元件容纳孔 313 的位置相对， 因此当多个迁移区 单元 3 叠置在一起时， 一个迁移区单元 3 上的电子元件容纳在相邻一个迁移区单元 3 上的 第一电子元件容纳孔 313 内。由此， 无需从第一金属极片 32 上引出引线用于与外部的电子 元件相连， 从而减少了迁移区单元 3 上的引线， 简化了结构， 便于制造和安装， 且外观整齐， 提高了电子元件连接的可靠性。 。
26、0066 如图 8 和图 9 所示， 在本发明进一步的实施例中， 第一绝缘体 31 进一步形成有位 于第一金属极片 32 径向外侧的第一走线孔 312， 第一走线孔 312 用于穿过电缆， 从而迁移 管的电缆无需暴露在迁移管的外面， 保证了连接的可靠性， 外观整齐， 连接方便。在图 8 和 图 9 所示的示例中， 第一走线孔 312 形成在第一绝缘体 31 的周边沿。在第一绝缘体 31 的 左上角和右下角分别形成有安装孔 311， 用于穿过螺栓 8， 从而将迁移区单元 3 和迁移管的 其他构件顺序地叠置在一起构成迁移管。 0067 下面参考图 2-4 描述根据本发明实施例的迁移管的离化源舱 1。
27、。 0068 离化源舱 1 具有离化源舱中心孔， 离化源舱 1 包括第二绝缘体 11 和分别同心地固 定在第二绝缘体 11 正面 ( 图 4 中的左侧表面 ) 和背面 ( 图 4 中的右侧表面 ) 上且彼此连 接的第二金属极片 12。绝缘体 11 具有第二绝缘体中心孔 114， 相应地， 第二金属极片 12 具 有第二金属极片中心孔 121。 0069 如图2和3所示， 在第二绝缘体11的左上角和右下角分别设有安装孔113， 用于穿 过螺栓 8 将离化源舱 3 与迁移管的其他构件叠置在一起。 0070 与迁移区单元 3 类似， 第二绝缘体 11 也可以为陶瓷， 第二金属极片 12 可以通过腐 。
28、蚀、 电镀、 沉积或喷涂形成在第二绝缘体 12 上。此外， 第二绝缘体 11 也可以用像普通电路 板一样的材料制成， 第二金属极片12像在电路板上印刷电路一样形成在第二绝缘体11上。 0071 如图 2 和 3 所示， 第二绝缘体 11 形成有分别位于第二金属极片 12 径向外侧的第 说 明 书 CN 102315076 A CN 102315081 A5/7 页 8 二电子元件容纳孔112， 更具体而言， 第二电子元件容纳孔112形成在第二绝缘体11的右上 角， 用于容纳电子元件。第二绝缘体 11 和第二金属极片 12 在图 2 和 3 所示的示例中为大 体正方形， 但是本发明并不限于此。 。
29、0072 如图 2 和 3 所示， 在本发明的一些实施例中， 第二绝缘体 11 进一步形成有位于第 二金属极片12径向外侧的第二走线孔111， 第二走线孔111与第一走线孔312类似， 用于穿 过电缆， 并且当迁移管组装后， 第二走线孔 111 与第一走线孔 312 对齐。 0073 在图 2 和图 3 所示的示例中， 离化源舱 1 形成有贯通第二绝缘体 11 和第二金属极 片12的第二电气过孔122， 第二电气过孔122用于连接第二绝缘体11正面和背面的第二金 属极片 12。需要理解的是， 第二绝缘体 11 正面和背面的第二金属极片 12 并不限于通过第 二电气过孔 122 连接， 例如也可。
30、以通过在第二绝缘体 11 和第二金属极片 12 的中心孔内设 置金属连接两侧的第二金属极片 12。 0074 下面参考图 5- 图 7 描述根据本发明实施例的迁移管的离子门 2。 0075 如图 5-7 所示， 离子门 2 包括第三绝缘体 21 和分别同心地固定在第三绝缘体 21 正面和背面上的第三金属极片 22。第三绝缘体 21 例如可以为陶瓷， 第三金属极片 22 可以 通过上述合适的方式固定在第三绝缘体 21 的正面和背面上。 0076 第三绝缘体21形成有分别位于第三金属极片22径向外侧的第三电子元件容纳孔 213， 例如在图 6 中， 第三电子元件容纳孔 213 形成在第三绝缘体 2。
31、1 的右上角， 第三电子元 件容纳孔213用于容纳电子元件， 电子元件例如分别通过从第三绝缘体21正面和背面的第 三金属极片 22 引出的引线 223 与正面和背面的第三金属极片 22 连接， 从而连接正面和背 面的两个第三金属极片 22。在第三绝缘体 21 的左上角和右下角分别形成有安装孔 211， 用 于穿过螺栓8。 类似地， 第三绝缘体21形成有位于第三金属极片22径向外侧的第三走线孔 212， 用于穿过电缆。 0077 第三绝缘体 21 正面和背面上的第三金属极片 22 形成有离子通过孔 221， 相应地， 第三绝缘体 21 也形成有与离子通过孔 221 对齐的离子通过孔， 用于通过离。
32、子， 这与现有技 术类似， 不再详细描述。 0078 下面参考图 13 和 14 描述根据本发明实施例的迁移管的抑制栅 4。 0079 抑制栅 4 包括第四绝缘体 41 和分别同心地固定在第四绝缘体 41 正面和背面上且 彼此连接的第四正面金属极片 42 和第四背面金属极片 43， 其中第四背面金属极片 43 为环 形。与第一至第三绝缘体类似， 第四绝缘体 41 上形成有分别位于第四正面金属极片 42 和 第四背面金属极片 43 径向外侧的第四电子元件容纳孔 413， 用于容纳电子元件。在进一步 的实施例中， 第四绝缘体 41 上形成有位于第四正面金属极片 42 和第四背面金属极片 43 径 。
33、向外侧的第四走线孔 412， 用于穿过电缆。此外， 第四绝缘体 41 还形成有安装孔 411， 用于 穿过螺栓 8。 0080 如图 13 和 14 所示， 第四绝缘体 41 上形成有贯通第四绝缘体 41 用于连接第四正 面金属极片 42 和第四背面金属极片 43 的第四电气过孔 421。相应地， 第四绝缘体 41 可以 形成有对应的过孔414。 第四电气过孔421用于连接第四正面金属极片42和第四背面金属 极片 43， 但是本发明并不限于此。 0081 与离子门 2 类似， 第四正面金属极片 42 形成有离子通过孔 422， 对应地， 第四绝缘 体 4 形成有通过孔 415， 用于通过离子，。
34、 这与现有技术类似， 不再详细描述。 说 明 书 CN 102315076 A CN 102315081 A6/7 页 9 0082 如图 13 和 14 所示， 第四正面金属极片 42 为大体圆形， 离子通过孔 422 形成在中 心部位。第四背面金属极片 43 为环形， 离子通过孔 422 和通过孔 415 形成在第四背面金属 极片 43 的中心孔内。 0083 第四绝缘体 41 也可以为陶瓷， 第四正面金属极片 42 和第四背面金属极片 43 可以 通过上述合适的方式形成和固定在第四绝缘体 41 上。 0084 下面参考图 15 和 16 描述根据本发明实施例的离子迁移管的法拉第盘 5。 。
35、0085 如图 15 和 16 所示， 法拉第盘 5 包括第五绝缘体 51 和分别同心地固定在第五绝缘 体51正面和背面上且彼此连接的第五金属极片53。 第五绝缘体51形成有分别位于第五金 属极片 53 径向外侧的第五电子元件容纳孔 513， 用于容纳电子元件。此外， 第五绝缘体 51 还形成有安装孔 511， 用于穿过螺栓 8。 0086 法拉第盘5进一步包括分别同心地固定在第五绝缘体51正面和背面上、 分别套在 第五金属极片53径向外侧且彼此连接的环形金属极片52， 其中第五电子元件容纳孔513位 于环形金属极片 52 径向外侧。在环形金属极片 52 的径向外侧， 在第五绝缘体 51 上形。
36、成第 五走线孔 512， 用于穿过电缆。法拉第盘 5 还可以形成有用于连接环形金属极片 52 的第五 电气过孔 521。第五金属极片 53 可以通过中心孔 531 连接， 对应地第五绝缘体 51 上形成有 中心孔 515。如图 15 和 16 所示， 在第五绝缘体 51 上在第五金属极片 53 和环形金属极片 52 之间形成有第一通风孔 514， 用于将空气导入到迁移管内。 0087 第五绝缘体 51 可以为陶瓷， 第五金属极片 53 和环形金属极片 52 可以通过上述合 适的方式形成和固定在第五绝缘体 51 上。 0088 下面参考图 17 和 18 描述根据本发明实施例的离子迁移管的法拉第。
37、盘后盖环 7 和 法拉第盘后盖板 6。法拉第盘后盖板 6 包括第六绝缘体 61 和分别同心地固定在第六绝缘 体 61 正面和背面上且彼此相连的第六金属极片 62。第六绝缘体 61 上形成有安装孔 611， 用于穿过螺栓 8。第六绝缘体 61 上形成有分别位于第六金属极片 62 径向外侧的第六走线 孔 612， 用于穿过电缆。法拉第盘后盖板 6 形成有分别贯通第六绝缘体 61 和第六金属极片 62的第六电气过孔621(第六绝缘体61上的对应电气过孔为613)， 用于连接第六绝缘体61 两侧的第六金属极片 62。 0089 如图17和18所示， 在第六绝缘体61的中心部位可以安装有弹簧9， 用于与。
38、法拉第 盘 5 的第五金属极片 53 接触。在第六绝缘体 61 的背面安装有气嘴， 用于通过通风孔向迁 移管内部通风。 0090 第六绝缘体 61 也可以为陶瓷， 第六金属极片 62 可以通过上述合适的方式形成和 固定在第六绝缘体 61 的正面和背面。 0091 如图 1 和图 19 所示， 法拉第盘后盖环 7 设置在法拉第盘后盖板 6 与法拉第盘 5 之 间， 用于为弹簧9提供行程空间， 以保证良好的接触。 具体地， 法拉第盘后盖环7包括具有中 心孔 714 的第七绝缘体 71， 和分别设置在第七绝缘体正面和背面的第七环形金属极片 72。 第七绝缘体 71 上在第七金属环形极片 72 径向外。
39、侧形成有贯穿它的安装孔 711 用于穿过螺 栓 8， 例如安装孔 711 形成在第七绝缘体 71 的左上角和右下角。第七绝缘体 71 进一步形成 有位于第七金属环形极片 72 径向外侧的第七走线孔 712， 用于穿过电缆。 0092 根据本发明实施例的离子迁移管， 通过螺栓8可以将离化源舱1、 离子门2、 迁移区 单元 3、 抑制栅 4、 法拉第盘 5 和法拉第盘后盖板 6 顺序地叠置在一起， 并且上述每个构件都 说 明 书 CN 102315076 A CN 102315081 A7/7 页 10 是用绝缘体和金属极片构成的一体单元， 电子元件可以容纳在相应的电子元件容纳孔内， 无需外部引线。
40、和外部链接电子元件， 电缆可以通过走线孔穿过迁移管。 因此， 根据本发明的 迁移管制造简单， 组装和拆卸方便， 外观整齐， 可靠性高， 检测精度高。 0093 尽管已经示出和描述了本发明的实施例， 本领域的普通技术人员可以理解 ： 在不 脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修改、 替换和变型， 本 发明的范围由权利要求及其等同物限定。 说 明 书 CN 102315076 A CN 102315081 A1/11 页 11 图 1 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A2/11 页 12 图 2 说 明 书 附 图 CN 102。
41、315076 A CN 102315081 A3/11 页 13 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A4/11 页 14 图 5 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A5/11 页 15 图 6 图 7 图 8 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A6/11 页 16 图 9 图 10 图 11 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A7/11 页 17 图 12 图 13 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A8/11 页 18 图 14 图 15 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A9/11 页 19 图 16 图 17 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A10/11 页 20 图 18 说 明 书 附 图 CN 102315076 A CN 102315081 A11/11 页 21 图 19 说 明 书 附 图 CN 102315076 A 。