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1、(10)申请公布号 CN 104271315 A (43)申请公布日 2015.01.07 C N 1 0 4 2 7 1 3 1 5 A (21)申请号 201380023298.1 (22)申请日 2013.05.13 2012-143923 2012.06.27 JP B24B 49/16(2006.01) B24B 7/04(2006.01) B24B 49/04(2006.01) B24B 49/10(2006.01) (71)申请人小松NTC株式会社 地址日本富山县 (72)发明人杓子彻夫 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人李国华 (54) 发明。
2、名称 磨削加工装置及其控制方法 (57) 摘要 本发明提供一种即使在需要会使机构内产生 弹性变形这样的加工力的情况下，也能够高精度 地磨削工件的技术。进给单元将磨具和工件的任 意一方或者双方支撑为在进给方向上可动，在磨 削加工时使工件和磨具接近、接触、以及分离。加 工力检测单元检测由进给单元将磨具推压到工件 上的力即加工力。位置检测单元检测磨具相对于 工件的安装位置在进给方向上的位置即磨具位 置。控制单元以规定的比例将定位控制的控制量 和加工力控制的控制量合成并执行，该定位控制 是将由位置检测单元检测出的磨具位置控制为希 望位置的控制，该加工力控制是将由加工力检测 单元检测出的加工力控制为希望。
3、加工力的控制。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.11.03 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2013/063336 2013.05.13 (87)PCT国际申请的公布 数据 WO2014/002624 JA 2014.01.03 (51)Int.Cl. 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (10)申请公布号 CN 104271315 A CN 104271315 A 1/2页 2 1.一种磨削加工装置，通过使磨具与工件相对地旋转并且接触，来将所述。
4、工件的被磨 削面磨削成平面，所述磨削加工装置具有： 进给单元，其将所述磨具和所述工件的任意一方或者双方支撑为在进给方向上可动， 使所述工件与所述磨具接近、接触以及分离； 加工力检测单元，其检测加工力，所述加工力是由所述进给单元将所述磨具推压到所 述工件上的力； 位置检测单元，其检测磨具位置，所述磨具位置是所述磨具相对于所述工件的安装位 置在所述进给方向上的位置；以及 控制单元，其以规定的比例将定位控制的控制量和加工力控制的控制量合成并执行， 该定位控制是将由所述位置检测单元检测出的所述磨具位置控制为希望位置的控制，该加 工力控制是将由所述加工力检测单元检测出的所述加工力控制为希望加工力的控制。。
5、 2.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述控制单元预先设定表示所述磨削加工时的磨具位置与加工速度之间的关系的加 工模式，在按照所述加工模式来控制所述进给单元时，与按照所述加工模式的磨削加工的 进展相配合地使所述定位控制的控制量和所述加工力控制的控制量的比例变化。 3.根据权利要求2所述的磨削加工装置，其中， 所述加工模式包括：以规定的第1加工速度进行磨削的第1工序、和以比所述第1加工 速度慢的第2加工速度进行磨削的第2工序， 所述控制单元在所述第2工序中，设定为相比于所述第1工序，提高所述定位控制的比 例，并降低所述加工力控制的比例。 4.根据权利要求2所述的磨削加工装置，其中， 所。
6、述控制单元进行将由所述加工力检测单元检测出的所述加工力与所述希望加工力 的差、和由所述位置检测单元检测出的所述磨具位置与所述希望位置的差合成并进行反馈 的反馈控制，通过使所述加工力的反馈增益和所述磨具位置的反馈增益的双方或者一方变 化，而使所述定位控制与所述加工力控制的比例变化。 5.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述控制单元将所述加工力控制为固定的所述希望加工力。 6.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述磨削加工装置还具有调整单元，该调整单元调整所述磨具与所述工件的相对的角 度关系，以使得在所述加工力是所述希望加工力时，所述磨具的磨削面和所述工件的被磨 削面成为平行。 。
7、7.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述加工力检测单元测量作用于使所述工件旋转的旋转轴的构件或者使所述磨具旋 转的旋转轴的构件的力，来作为所述加工力。 8.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述加工力检测单元测量施加于对使所述工件旋转的旋转轴的构件进行支撑的构造 物或者对使所述磨具旋转的旋转轴的构件进行支撑的构造物的力，并基于测量值来间接地 判断所述加工力。 9.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 权 利 要 求 书CN 104271315 A 2/2页 3 所述加工力检测单元测量对使所述工件旋转的旋转轴的构件进行支撑的构造物或者 使所述磨具旋转的旋转轴的构件的规定部分。
8、的位移，并基于测量值来间接地判断所述加工 力。 10.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述进给单元具有进给机构，该进给机构通过滚珠螺杆使所述工件或者所述磨具在所 述进给方向上移动， 所述加工力检测单元测量驱动所述进给机构的滚珠螺杆的转矩，并基于测量值来间接 地判断所述加工力。 11.根据权利要求1所述的磨削加工装置，其中， 所述磨削加工装置还具有： 磨具旋转机构，其被输入的电流驱动，使所述磨具旋转；和 工件旋转机构，其被输入的电流驱动，使所述工件旋转， 所述加工力检测单元基于所述磨具旋转机构和所述工件旋转机构的双方或者一方中 的所述电流和转速，来计算所述加工力。 12.一种磨削加工装。
9、置的控制方法，所述磨削加工装置具有进给单元，该进给单元将 磨具和工件的任意一方或者双方支撑为在进给方向上可动，并且使所述工件与所述磨具接 近、接触以及分离，所述磨削加工装置通过使所述磨具与所述工件相对地旋转并且接触来 将所述工件的被磨削面磨削成平面 所述控制方法包括以下步骤： 检测由所述进给单元将所述磨具推压到所述工件上的力即加工力； 检测所述磨具相对于所述工件的安装位置在所述进给方向上的位置即磨具位置；以及 以规定的比例将定位控制的控制量和加工力控制的控制量合成并执行，该定位控制是 将检测出的所述磨具位置控制为希望位置的控制，该加工力控制是将检测出的所述加工力 控制为希望加工力的控制。 权 。
10、利 要 求 书CN 104271315 A 1/6页 4 磨削加工装置及其控制方法 技术领域 0001 本发明涉及通过磨具对工件进行磨削的磨削加工装置的控制。 背景技术 0002 存在利用磨具将工件(被加工物)的表面磨削成平面的磨削加工装置。这种磨削 加工装置将工件的旋转中心线和磨具的旋转中心线设成平行，以使得工件的被磨削面与磨 具的磨削面成为平行，并一边分别使它们旋转，一边通过进给机构使工件与磨具接触，由此 将工件的被磨削面磨削成平面。 0003 例如，在专利文献1所记载的磨削加工装置中，设置有用于调整工件的旋转中心 轴的机构、和用于调整磨具的旋转中心轴的机构，使得能够高精度地调整工件的被磨。
11、削面 与磨具的磨削面的平行度，从而能够进行高精度的磨削。 0004 现有技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献1：JP特许第3978002号公报 发明内容 0007 发明要解决的课题 0008 然而，存在如蓝宝石那样不通过较大的加工力推压磨具就无法磨削的情况。在这 种情况下，若将磨具推压到工件上，则由于工件可动机构、磨具可动机构等磨削加工装置的 机构发生弹性变形，而成为得不到充分的加工力的状态。因此，当欲通过位置控制来将工件 的厚度磨削到希望的厚度时，虽然进行进给，但是该进给距离的大部分被弹性变形消耗，存 在加工力不充分而使磨削无法进展的可能性。 0009 此外，若由于弹性变形，工件。
12、的被磨削面和磨具的磨削面变得不平行，或者磨具的 磨削面和工件的被磨削面在接触面内方向相互偏移，则在工件的中心部和外缘部发生不均 衡，损害了通过GBIR(Global Back Ideal Range：全局平整度)等评价的工件的表面形状 的平坦性。虽然还设想这样的弹性变形，具有工件可动机构、磨具可动机构，并且使得能够 进行调整，但是因加工力变化而引起的弹性变形量的变化，成为在每次加工使GBIR的值变 化的主要原因。 0010 本发明的目的在于，提供如下技术：即使在需要会使磨削加工装置的机构内产生 弹性变形这样的加工力的情况下，也能够高精度地对工件进行磨削。 0011 用于解决课题的手段 0012。
13、 本发明的一个方式的磨削加工装置，通过使磨具与工件相对地旋转并且接触，来 将所述工件的被磨削面磨削成平面，该磨削加工装置具有：进给单元，其将所述磨具和所述 工件的任意一方或者双方支撑为在进给方向上可动，使所述工件与所述磨具接近、接触、以 及分离；加工力检测单元，其检测由所述进给单元将所述磨具推压到所述工件上的力即加 工力；位置检测单元，其检测所述磨具相对于所述工件的安装位置在所述进给方向上的位 说 明 书CN 104271315 A 2/6页 5 置即磨具位置；以及控制单元，其以规定的比例将定位控制的控制量和加工力控制的控制 量合成并执行，该定位控制是将由所述位置检测单元检测出的所述磨具位置控。
14、制为希望位 置的控制，该加工力控制是将由所述加工力检测单元检测出的所述加工力控制为希望加工 力的控制。 0013 发明效果 0014 根据本发明，即使在需要会使机构内产生弹性变形这样的加工力的情况下，通过 适当地控制定位控制和加工力控制，也能够高精度地对工件进行磨削。 附图说明 0015 图1是表示本实施方式的磨削加工装置的概要性的磨削结构的图。 0016 图2是用于说明磨具11和工件12的关系的图。 0017 图3是表示与磨削加工装置的控制相关的结构的框图。 0018 图4是用于对本实施方式中的磨削加工的加工模式进行说明的图。 0019 图5是用于对磨削加工时的磨具11与工件12的相对位置关。
15、系进行说明的图。 具体实 施方式 0020 参照附图，对本发明的实施方式进行说明。 0021 图1是表示本实施方式的磨削加工装置的概要性的磨削结构的图。作为一例，本 实施方式的磨削加工装置是通过预先固定工件，使磨具向该工件的方向移动并使它们接 触，来对工件的被加工面进行磨削的装置。 0022 参照图1，磨削加工装置中，在构成磨削加工装置的磨削结构的公共的基台的底座 18上，配设有磨具进给机构14和工件支撑机构17。 0023 磨具进给机构14包括：固定于底座18的固定部14a、和相对于固定部14a能够在 进给方向100上往返移动的可动部14b。进给方向是使磨具11与工件12接近、接触、以及 分。
16、离的方向，在图中是横向(水平方向)。 0024 在磨具进给机构14的可动部14b，安装有磨具旋转机构15。若可动部14b在进给 方向100上移动，则与此同时磨具旋转机构15也在进给方向100上移动。由此，在磨削加 工时，工件12和磨具11接近、接触、以及分离。磨具旋转机构15在通过电机驱动而旋转的 旋转轴的前端安装有磨具11，通过电机的旋转，使磨具11旋转。 0025 工件支撑机构17相对于底座18而固定，在工件支撑机构17安装有工件旋转机构 16。工件旋转机构16在通过电机驱动而旋转的旋转轴的前端具有卡盘13(chuck)。工件 12能够被安装于该卡盘13的工件安装面，也能够从该工件安装面卸。
17、下。即，卡盘13能够利 用真空泵的负压而将工件12吸着在工件安装面上，也能够解除该吸着。 0026 在基于上述的结构的磨削加工装置中，在磨具旋转机构15使磨具11旋转、工件旋 转机构16使工件12旋转的状态下，通过磨具进给机构14使磨具11在进给方向100上以 向工件12接近的方式移动并使它们接触，从而使工件12被磨具11磨削。 0027 图2是用于说明磨具11与工件12的关系的图。 0028 安装于磨具旋转机构15的磨具11和安装于卡盘13的工件12在彼此的旋转轴偏 移的状态下平行地对置。磨具11的外缘被定位为与工件12的中心(旋转轴)21大体一致。 说 明 书CN 104271315 A 。
18、3/6页 6 在磨削加工时，磨具11和工件12彼此一边逆向旋转，一边被希望的加工力按压地接触。这 里所说的加工力是将磨具11推压到工件12上的力。 0029 图3是表示与磨削加工装置的控制相关的结构的框图。参照图3，磨削加工装置具 有：电流传感器36、位置传感器37、以及控制部31。 0030 电流传感器36处于磨具进给机构14内，其检测流经磨具进给机构14的电机35 的电流，并将该值通知给控制部31。流经电机35的电流的值与向工件12按压磨具11的加 工力等价。在本实施方式中，作为一例，将流经电机35的电流的值用作向工件12按压磨具 11的加工力。 0031 位置传感器37由多个位置传感器组。
19、构成，例如检测磨具11的磨削面的位置(磨 具位置)和卡盘13的工件安装面的位置，并将它们通知给控制部31。或者，位置传感器37 将磨具11的磨削面的位置与卡盘13的工件安装面的位置的差分作为工件12的厚度，通知 给控制部31。即，将相对于工件12的安装位置的磨具11的磨削面的位置的信息通知给控 制部31。如果在磨削加工中，则工件12的被磨削面的位置和磨具11的磨削面的位置大体 一致，是等价的。工件12的安装位置是不通过磨削工件12而变化的工件12的规定的位置， 或者是保持工件12的卡盘13的规定的位置。例如，能够将卡盘13的工件安装面的位置作 为工件12的安装位置。 0032 控制部31以规定。
20、的比例(以下称为“控制比”)将定位控制的控制量和加工力控 制的控制量进行合成并执行，该定位控制是将从位置传感器37通知的磨具11的磨削面的 位置控制为希望位置的控制，该加工力控制是将以由电流传感器36检测出的电流值表示 的加工力控制为希望加工力的控制。具体而言，进行合成由电流传感器36检测出的电流 (相当于加工力)与希望加工力的差、和由位置传感器37检测出的位置与希望位置的差并 进行反馈的反馈控制。由电流传感器36检测出的电流与希望加工力的差、以及由位置传感 器37检测出的位置与希望位置的差是这里所说的控制量。能够通过使增益设定部33中的 定位控制的反馈增益和增益设定部34中的加工力控制的反馈。
21、增益的双方或者一方变化而 适当地进行设定，来设定控制比。 0033 如上述，在工件12是如蓝宝石那样的材料的情况下，不以较大的加工力来推压磨 具11就无法磨削。若以较大的加工力将磨具11推压到工件12上，则工件支撑机构17、磨 具进给机构14等磨削加工装置的机构弹性变形。然而，在本实施方式中，能够同时使用定 位控制和加工力控制，并且将它们的控制比设定成合适的值。因此，即使在需要会使机构内 产生弹性变形这样的加工力的情况下，通过适当地控制定位控制和加工力控制，也能够抑 制使磨削无法进展，或过度磨削，从而高精度地对工件12进行磨削。 0034 图4是用于对本实施方式中的磨削加工的加工模式进行说明的。
22、图。加工模式是表 示磨具11的位置与加工速度之间的关系的信息，其被预先设定。参照图4，表示出与时间的 经过一起进展的工件12的厚度(虚线)和磨具进给机构14中的机械位置(实线)。机械 位置是除了磨具11的移动量之外，机构的弹性变形量也发生移动的部位的位置。例如，若 假设在磨具进给机构14的固定部14a具有驱动可动部14b的驱动机构，则在该驱动机构的 移动量中，包含有可动部14b、磨具旋转机构15、磨具11等的弹性变形量。 0035 在图4的加工模式下，在磨削加工的前半，作为粗加工(第1工序)，以每单位时间 的进展距离即加工速度较快的加工，高效地进行磨削，在后半，作为精加工(第2工序)，减 说 。
23、明 书CN 104271315 A 4/6页 7 慢加工速度来提高定位的精度和磨削面的平面的精度。 0036 在本实施方式中，控制部31也可以预先设定表示在磨削加工时的磨具11相对于 工件12的位置与加工速度之间的关系的例如如图4那样的加工模式。该情况下，控制部31 在按照加工模式来控制磨具进给机构14时，也可以与按照该加工模式的磨削加工的工序 的进展相配合地使定位控制与加工力控制的比例变化。即使在按照加工模式，根据磨削加 工的各阶段使加工速度变化的情况下，也能够以希望的精度进行各工序中的加工。 0037 例如，被给予了加工模式的处理部32根据时间的经过来设定希望位置和希望加 工力(图3中作为。
24、一例是转矩)，并且伴随该加工模式的进展，对增益设定部33、34设定适 当的反馈增益即可。 0038 例如，在粗加工时，由于进行晶圆的基本形状的加工(影响到GBIR的加工)，所以 进行加工力控制，尽可能将加工力保持为固定。在精加工时，为了降低表面的性状(粗糙 度)而优先进给速度，以较慢的进给速度进行加工。这样，能够进行适于磨削加工的各阶段 的加工，提高效率和精度。 0039 图5是用于对磨削加工时的磨具11与工件12的相对位置关系进行说明的图。工 件12的被磨削面的平面度、尤其是GBIR受到磨削加工时的磨具11和工件12的相对位置 关系的影响。 0040 若磨具11的磨削面和工件12的被磨削面不。
25、平行，则工件12的被磨削面中，在中 央附近和外缘附近的厚度产生不同。尤其是在施加规定的加工力来对工件12进行磨削时， 使磨削加工装置的机构产生弹性变形，所以在未施加加工力时，磨具11与工件12的相对位 置关系、尤其是相对的角度可能不同。 0041 于是，在本实施方式中，如图5所示，预先调整磨具11与工件12的相对的角度关 系，以使得在磨削加工时施加了规定的加工力的状态下，磨具11的磨削面和工件12的被磨 削面成为平行。在调整后的加工力中，能够使磨具11以适当的相对的角度关系而与工件12 接触，能够进行高精度的加工。作为调整机构，实际的装置构成为能够进行各处的调整。例 如，可以通过位于配置在底座。
26、18上的磨具进给机构14的调整机构，来调整磨具旋转机构15 的旋转轴的角度，还可以通过位于磨具旋转机构15的调整机构，来调整其旋转轴的角度。 此外，可以通过位于工件支撑机构17的调整机构来调整工件旋转机构16的旋转轴的角度， 还可以通过位于工件旋转机构15的调整机构，来调整其旋转轴的角度。另外，也可以调整 磨具旋转机构15的旋转轴的角度和工件旋转机构16的旋转轴的角度的双方。 0042 此外，也可以预先调整磨具11与工件12的接触面中的相对的位置。具体而言，预先 调整在在施加了规定的加工力时，磨具11的边缘与工件12的被磨削面的中心21一致即可。 0043 另外，在本实施方式中，作为检测加工力。
27、的单元，使用测量流经电机的电流的电流 传感器36。然而，本发明并不局限于此，能够从各处直接地或间接地检测加工力。 0044 例如，也可以对作用于使工件12旋转的工件旋转机构16的旋转轴的构件、或者使 磨具11旋转的磨具旋转机构15的旋转轴的构件的力进行测量，来作为加工力。在工件12 和磨具11未接触时和接触时，作用于构成工件旋转机构16或磨具旋转机构15的旋转轴的 构件的力变化。此外，作用于其旋转轴的构件的力根据加工力而变化。因此，通过预先设定 作用于旋转轴的构件的力与加工力之间的关系来作为已知的信息，能够根据作用于旋转轴 的构件的力而间接地求出加工力。作用于旋转轴的构件的力与加工力之间的关系。
28、通过数式 说 明 书CN 104271315 A 5/6页 8 或者表格设定即可。 0045 此外，也可以对施加于支撑使工件12旋转的旋转轴的构件的构造物，或者支撑使 磨具11旋转的磨具轴的构件的构造物的力进行测量，基于测量值来判断加工力。作为支 撑使工件12旋转的旋转轴的构造物，具有将旋转轴支撑为能够旋转的工件旋转机构16中 未旋转侧的构成部件。此外，作为支撑使磨具11旋转的旋转轴的构造物，具有将旋转轴支 撑为能够旋转的磨具旋转机构15中未旋转侧的构成部件。通过预先设定施加于构造物的 力与加工力之间的关系来作为已知的信息，能够根据施加于构造物的力而间接地求出加工 力。此外同样地，也可以对以支。
29、撑使工件12旋转的旋转轴的构造物的规定部位的底座18为 基准的位移、或者以使磨具11旋转的旋转轴的底座18为基准的位移进行测量，基于测量值 来间接地判断加工力。此外同样地，也可以通过应变仪来测定上述构造物、旋转轴的形变， 基于测量值来间接地判断加工力。 0046 此外，磨具进给机构14也可以是具有通过滚珠螺杆使磨具11在进给方向上移动 的进给机构的结构。该情况下，也可以对驱动进给机构的滚珠螺杆的转矩进行测量，基于测 量值来间接地判断加工力。通过预先设定转矩与加工力的关系来作为已知的信息，能够根 据转矩而间接地求出加工力。 0047 此外，若在通过磨具旋转机构15使磨具11旋转，通过工件旋转机构。
30、16使工件12 旋转的状态下，使磨具11与工件12接触，则工件12和磨具11因根据相互推压的加工力而 产生的旋转方向的力，各自的转速降低。即，若加工力增大，则相对于流经磨具旋转机构15、 工件旋转机构16的电机的电流，磨具11、工件12的转速的比例降低。因此，通过预先设定 相对于电流的转速的比例与加工力之间的关系来作为已知的信息，能够根据相对于电流的 转速的比例而间接地求出加工力。 0048 例如，磨具旋转机构15也可以是通过由施加的电压驱动的电机来使磨具11旋转 的机构，工件旋转机构16也可以是通过由施加的电压驱动的电机来使工件12旋转的机构。 该情况下，也可以基于流经磨具旋转机构15和工件。
31、旋转机构16的双方或一方的电机的电 流和转速，来计算加工力。使用磨具旋转机构15和工件旋转机构16的双方的目的在于降 低误差，即使仅使用任意一方，也能够进行加工力的计算。即，能够根据流经磨具旋转机构 15的电机的电流和磨具11的转速，来计算加工力。同样地，能够根据流经工件旋转机构16 的电机的电流和工件12的转速，来计算加工力。另外，将流经磨具旋转机构15的电机的电 流、磨具11的转速、用于驱动工件旋转机构16的电机电流、以及工件12的转速作为参数， 能够更高精度地计算加工力。作为具体的运算例，也可以使用根据磨具旋转机构15侧的数 据而计算出的加工力与根据工件旋转机构16侧的数据而计算出的加工。
32、力的平均值。 0049 一般而言，若将磨具旋转机构15的电机电流设为IG，将工件旋转机构16的电机电 流设为IW，将磨具11的转速设为NG，将工件12的转速设为NW，则加工力FWB能够被表示为 参数IG、IW、NG、以及NW的函数f(IG、IW、NG、NW)。 0050 另外，在本实施方式中，示出了将定位控制和加工力控制合成为一个反馈控制机 构，并根据其反馈增益来调整控制比的结构，但是本发明并不局限于此。作为其他例，也可 以分别独立地设置定位机构和加工力控制机构。例如，也可以在反馈希望位置和被加工面 的位置的差分来进行定位控制的定位机构中，采用以串联的方式添加了由将电压转换成力 的压电元件(p。
33、iezoelectric element)等构成的加工力控制机构的控制结构。该情况下， 说 明 书CN 104271315 A 6/6页 9 能够通过调整定位机构的反馈增益和对压电元件的输入电压，来调整定位控制和加工力控 制的控制比。 0051 此外，在本实施方式中，示出了在对工件12进行磨削期间始终将加工力控制为希 望的加工力的例子，但是本发明并不局限于此。作为其他例，控制部31也可以仅在由多个 工序构成的加工模式的特定的工序期间，将定位控制和加工力控制的控制比控制成规定的 比例。该情况下，控制部31也可以在除此之外的工序，仅实施定位控制，或者仅实施加工力 控制，或者还可以同时实施定位控制和。
34、加工力控制，但是不进行将其控制比调整为特定的 比例这样的控制。 0052 此外，在本实施方式中，示出了基于加工模式而使加工速度变化，而且根据加工模 式的进展而使加工力变化的例子，但是本发明并不局限于此，只要将定位控制和加工力控 制调整为规定的控制比即可。例如，控制部31也可以将加工力控制为固定的希望加工力， 并根据定位控制来调整控制比。 0053 此外，在本实施方式中，示出了采用预先固定工件12，使磨具11移动的结构的例 子，但是本发明并不局限于此。作为其他例，也可以是固定磨具11相对于底座13的位置， 并通过进给机构使工件12向磨具11移动的结构。另外，还可以是在工件12和磨具11的 双方设。
35、置进给机构，通过它们的进给机构，使工件12和磨具11相对地移动的结构。 0054 此外，在本实施方式中，例示了使磨具11移动的进给方向在横向(水平方向)上 延伸的装置结构，但是本发明也可以与此不同地使进给方向在纵向(垂直方向)上延伸。例 如，在下侧具备固定磨具11的机构、且在上侧具备能够上下移动的机构的结构也能够应用 本发明，能够得到同样的效果。 0055 附图标号说明 0056 11磨具 0057 12工件 0058 13卡盘 0059 13底座 0060 14磨具进给机构 0061 14a固定部 0062 14b可动部 0063 15磨具旋转机构 0064 16工件旋转机构 0065 17工件支撑机构 0066 18底座 0067 31控制部 0068 32处理部 0069 33增益设定部 0070 34增益设定部 0071 35电机 0072 36电流传感器 0073 37位置传感器 说 明 书CN 104271315 A 1/2页 10 图1图2 图3 说 明 书 附 图CN 104271315 A 10 2/2页 11 图4 图5 说 明 书 附 图CN 104271315 A 11 。