一种喷涂装置和喷涂方法.pdf

本发明公开了一种喷涂装置和喷涂方法，涉及喷涂技术领域，能够提高基板上喷涂物质的均一性。该喷涂装置包括多个相互平行的摇杆，每个所述摇杆上设置有多个喷头，所述摇杆的延伸方向与所述基板的移动方向之间具有第一夹角，所述第一夹角为锐角或钝角；每相邻的N个所述摇杆为一组，每组内的所有所述摇杆上设置的喷头交错排布，其中，N为大于等于2且小于等于所述摇杆总数的正整数。本发明应用于喷涂技术领域。

权利要求书
1.  一种喷涂装置，包括多个相互平行的摇杆，每个所述摇杆上设置有多个喷头，其特征在于，
所述摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，所述第一夹角为锐角或钝角；
每相邻的N个所述摇杆为一组，每组内的所有所述摇杆上设置的喷头交错排布，其中，N为大于等于2且小于等于所述摇杆总数的正整数。

2.  根据权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，还包括与所述摇杆相配合以调节所述第一夹角的水平调节结构。

3.  根据权利要求2所述的喷涂装置，其特征在于，所述水平调节结构包括分别位于所述基板的平行于所述基板的移动方向的两侧的两个水平控制杆，每个所述摇杆连接于两个所述水平控制杆上，所述水平控制杆可沿所述基板的移动方向移动。

4.  根据权利要求1-4任一项所述的喷涂装置，其特征在于，N等于2，或者，N等于所述摇杆总数。

5.  根据权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，每个所述摇杆上的相邻两个喷头之间的间距逐渐减小。

6.  根据权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，还包括与所述摇杆相配合以调节所述摇杆与所述基板之间的垂直距离的垂直调节结构。

7.  根据权利要求6所述的喷涂装置，其特征在于，所述垂直调节结构包括分别位于所述摇杆两端的两个垂直控制片，每个所述垂直控制片上设置有沿垂直于所述基板方向延伸的开口，每个所述摇杆的两端分别插入两个所述垂直控制片的所述开口中，并可沿所述开口上下移动。

8.  根据权利要求6或7所述的喷涂装置，其特征在于，所述摇杆的两端与 所述基板之间的垂直距离相等。

9.  根据权利要求8所述的喷涂装置，其特征在于，每组内的所有所述摇杆与所述基板之间的垂直距离均不同。

10.  一种使用如权利要求1-9任一项所述的喷涂装置的喷涂方法，其特征在于，包括：
使所述基板倾斜进入所述喷涂装置；
使所述摇杆的延伸方向与所述基板的移动方向之间具有所述第一夹角；
对所述基板进行喷涂。

说明书一种喷涂装置和喷涂方法
技术领域
本发明涉及喷涂技术领域，尤其涉及一种喷涂装置和喷涂方法。
背景技术
在液晶显示装置的生产过程中，需要在基板上形成具有图形的多个膜层。具有图形的每个膜层的形成过程至少包括：在基板上涂布光刻胶，对光刻胶进行曝光，以及对光刻胶进行显影等步骤。
现有技术中，应用于大世代产线的显影方法具体如下：如图1所示，基板1’倾斜进入显影机中，并沿显影机台移动，基板1’上方设置有多个相互平行的摇杆2’，每个摇杆2’上均匀设置有多个喷头3’，显影液从喷头3’喷涂到基板1’上。
由于基板1’倾斜设置，从而使得基板1’的第一侧高于基板1’的第二侧，因此，位于同一摇杆2’上的靠近第一侧的喷头4’喷出的显影液会向基板1’的第二侧流动，而位于同一摇杆2’上的靠近第二侧的喷头5’同时也会向基板1’的第二侧喷涂显影液，导致显影液会在基板1’的第二侧堆积，使得基板1’的第二侧的显影液较多，从而使得基板1’上的显影液不均一，进而导致基板1’显影不均一。
发明内容
本发明的目的在于提供一种喷涂装置和喷涂方法，用于提高基板上喷涂物质的均一性。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种喷涂装置，采用如下技术方案：
一种喷涂装置，包括多个相互平行的摇杆，每个所述摇杆上设置有多个喷头，所述摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，所述第一夹角为锐角或钝角；
每相邻的N个所述摇杆为一组，每组内的所有所述摇杆上设置的喷头交错排布，其中，N为大于等于2且小于等于所述摇杆总数的正整数。
所述喷涂装置还包括与所述摇杆相配合以调节所述第一夹角的水平调节结构。
所述水平调节结构包括分别位于所述基板的平行于所述基板的移动方向的两侧的两个水平控制杆，每个所述摇杆连接于两个所述水平控制杆上，所述水平控制杆可沿所述基板移动方向移动。
N等于2，或者，N等于所述摇杆总数。
所述基板具有较高的第一侧和较低的第二侧，每个所述摇杆上的相邻两个喷头之间的间距逐渐减小。
所述喷涂装置还包括与所述摇杆相配合以调节所述摇杆与所述基板之间的垂直距离的垂直调节结构。
所述垂直调节结构包括分别位于所述摇杆两端的两个垂直控制片，每个所述垂直控制片上设置有沿垂直于所述基板方向延伸的开口，每个所述摇杆的两端分别插入两个所述垂直控制片的所述开口中，并可沿所述开口上下移动。
所述摇杆的两端与所述基板之间的垂直距离相等。
每组内的所有所述摇杆与所述基板之间的垂直距离均不同。
本发明实施例提供了一种喷涂装置，该喷涂装置具有以上所述的结构，由于摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，第一夹角为锐角或钝角，从而使得同一摇杆上的喷头喷涂的喷涂物质在基板上的流动路径不重合，从而能够减轻喷涂物质在基板上的堆积，提高基板上的喷涂物质的均一性，且每组内的所有摇杆上设置的喷头交错排布，从而使得相邻摇杆上的喷头之间的相互影响也较弱，从而能够进一步提高基板上的喷涂物质的均一性。
此外，本发明实施例还提供了一种使用以上任一种喷涂装置的喷涂方法，该喷涂方法包括：
使所述基板倾斜进入所述喷涂装置；
使所述摇杆的延伸方向与所述基板的移动方向之间具有所述第一夹角；
对所述基板进行喷涂。
本发明实施例提供了一种喷涂方法，该喷涂方法包括：使基板倾斜进入喷涂装置，使摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，对基板进行喷涂，从而使得同一摇杆上的喷头喷涂的喷涂物质在基板上的流动路径不重合，从而能够减轻喷涂物质在基板上的堆积，提高基板上的喷涂物质的均一性，且每组内的所有摇杆上设置的喷头交错排布，从而使得相邻摇杆上的喷头之间的相互影响也较弱，从而能够进一步提高基板上的喷涂物质的均一性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中的显影过程示意图；
图2为本发明实施例中的喷涂装置俯视图；
图3为本发明实施例中的喷涂装置的侧视图；
图4为本发明实施例中的喷涂方法的流程图。
附图标记说明：
1—摇杆；          2—喷头；             3—基板；
4—水平控制杆；    5—垂直控制片；       6—开口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
如图2和图3所示，本发明实施例提供了一种喷涂装置，该喷涂装置包括多个相互平行的摇杆1，每个摇杆1上设置有多个喷头2，摇杆1的延伸方向与基板3的移动方向x之间具有第一夹角a，第一夹角a为锐角或钝角；每相邻的N个摇杆1为一组，每组内的所有摇杆1上设置的喷头2交错排布，其中，N为大于等于2且小于等于摇杆1总数的正整数。
本领域技术人员知道的是，在喷涂过程中，基板3倾斜位于喷涂装置内，具体可以为，沿与基板3的移动方向x垂直的方向倾斜，从而使得在喷涂过程中，喷涂向基板3较高的第一侧的喷涂物质会向较低的第二侧流动。
本发明实施例提供了一种喷涂装置，该喷涂装置具有以上所述的结构，由于摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，第一夹角为锐角或钝角，从而使得同一摇杆上的喷头喷涂的喷涂物质在基板上的流动路径不重合，从而能够减轻喷涂物质在基板上的堆积，提高基板上的喷涂物质的均一性，且每组内的所有摇杆上设置的喷头交错排布，从而使得相邻摇杆上的喷头之间的相互影响也较弱，从而能够进一步提高基板上的喷涂物质的均一性。
可选地，本发明实施例中，第一夹角a可调，从而能够满足实际喷涂过程中的多种需求，例如摇杆1上的喷头2的个数改变，或者喷头2之间的间距改变等需求。因此，为了便于对第一夹角a进行调节，本发明实施例优选喷涂装 置还包括与摇杆1相配合以调节第一夹角a的水平调节结构。
示例性地，如图2和图3所示，水平调节结构包括分别位于基板3的平行于基板3的移动方向x的两侧的两个水平控制杆4，每个摇杆1连接于两个水平控制杆4上，水平控制杆可沿基板3的移动方向x移动。可选地，每个摇杆1可以通过包套和螺丝固定于水平控制杆4上。
当需要调节第一夹角a时，只要使一个或两个水平控制杆4沿基板3的移动方向x移动一定距离即可，水平控制杆4的移动距离可以根据基板3的宽度以及第一夹角a的大小计算得出，例如，第一夹角的初始大小为a1，需要调节至a2，且只有一个水平控制杆4移动，则，该水平控制杆4的移动距离l＝d(1/tan a2-1/tan a1)。
需要说明的是，水平调节结构的具体结构并不局限与此，示例性地，水平调节结构还可以包括分别位于基板3的平行于基板3的移动方向x的两侧的两条滑轨，且摇杆1滑动连接于滑轨上，从而可以通过摇杆1在滑轨上的滑动调节第一夹角a。
此外，本发明实施例中优选N等于2，或者，N等于摇杆1总数，即每相邻的2个摇杆1为一组，每组内的所有摇杆1上设置的喷头2交错排布，此时，摇杆1上喷头2的设置方式简单，或者，所有摇杆1为一组，所有摇杆1上设置的喷头2交错排布，此时，喷涂的均一性较好。
可选地，由于位于喷涂装置内的基板3倾斜，从而使得基板3具有较高的第一侧和较低的第二侧，喷头2喷涂在第一侧上的喷涂物质会向第二侧流动，使得第二侧的喷涂物质实际比第二侧对应的喷头2喷出的要多，因此，本发明实施例中优选，如图2和图3所示，每个摇杆1上的相邻两个喷头2之间的间距逐渐减小，即摇杆1上靠近第一侧的相邻两个喷头2之间的间距较小(即喷 头较密)，摇杆1上靠近第二侧的相邻两个喷头2之间的间距较大(即喷头较疏)，从而可以提高基板3的第一侧和第二侧上的喷涂物质的均一性。
可选地，如图2和图3所示，喷涂装置还包括与摇杆1相配合以调节摇杆1与基板3之间的垂直距离的垂直调节结构。示例性地，垂直调节结构包括分别位于摇杆1两端的两个垂直控制片5，每个垂直控制片5上设置有沿垂直于基板3方向延伸的开口6，每个摇杆1的两端分别插入两个垂直控制片5的开口6中，并可沿开口6上下移动，从而可以通过摇杆1在开口6中上下移动，调节摇杆1与基板3之间的垂直距离。在喷涂过程中，每个摇杆1均可沿开口上下移动，从而在喷涂过程中，实现摇杆1与基板3之间的垂直距离的持续变化。
需要说明的是，垂直调节结构的具体结构并不局限与此，凡是能够用于调节摇杆1与基板3之间的垂直距离的结构即可，本发明实施例不再进行赘述。
由于每个摇杆1的两端分别插入两个垂直控制片5的开口6中，因此，每个摇杆1的两端与基板3之间的垂直距离均可单独调节，从而使得每个摇杆1的两端与基板3之间的垂直距离可以相等也可以不等。为了提高喷涂的均匀性，本发明实施例中优选每个摇杆1的两端与基板3之间的垂直距离相等。
进一步地，为了进一步避免相邻两摇杆1上的喷头2之间的相互影响，本发明实施例中优选每组内的所有摇杆1与基板3之间的垂直距离均不同。
需要说明的是，本发明实施例中优选位于喷涂装置内的基板3的倾角为5°，从而使得喷涂在基板3上的喷涂物质具有适当的流动速度，从而避免喷涂物质流动过快，导致基板显影不充分的状况出现，以及喷涂物质流动过慢，导致显影液在基板上堆积的状况出现。
进一步需要说明的是，本发明实施例未对喷涂物质的具体成分进行限定，喷涂物质可以为显影液、水等物质，示例性地，当喷涂物质为显影液时，喷涂 装置可以作为显影机的内部结构，此时，使用具有如上结构的喷涂装置向基板上喷涂显影液，可以有效提高基板显影的均一性，改善基板的显影效果。
实施例二
本发明实施例提供了一种使用实施例一中任一种喷涂装置的喷涂方法，该喷涂方法包括如图4所示的步骤：
步骤S401、使基板沿第一方向倾斜进入喷涂装置。
步骤S402、使摇杆的延伸方向与第二方向之间具有第一夹角。
步骤S403、对基板进行喷涂。
需要说明的是，在上述喷涂方法中并未对步骤S401和步骤S402的先后顺序进行限定，本领域技术人员可以先使基板沿第一方向倾斜进入喷涂装置，再使摇杆的延伸方向与第二方向之间具有第一夹角，也可以先使摇杆的延伸方向与第二方向之间具有第一夹角，再使基板沿第一方向倾斜进入喷涂装置。
在使用上述喷涂方法的喷涂过程中，基板可以从喷涂装置的一侧进入喷涂装置，并从喷涂装置的另一侧离开喷涂装置，基板在喷涂装置中只进行一次喷涂，或者，基板也可以从喷涂装置的一侧进入喷涂装置，然后在喷涂装置内做往返运动，从而使得基板在喷涂装置中进行多次喷涂，本领域技术人员可以根据实际需要选择合适的喷涂过程，本发明实施例对此不进行限定。
本发明实施例提供了一种喷涂方法，该喷涂方法包括：使基板倾斜进入喷涂装置，使摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，对基板进行喷涂，从而使得同一摇杆上的喷头喷涂的喷涂物质在基板上不会堆积，且相邻摇杆上的喷头之间的相互影响也较弱，从而能够提高基板上的喷涂物质的均一性。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于 此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。