调制信号检测装置及调制信号检测方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201280002214.1

申请日:

2012.06.11

公开号:

CN103038826A

公开日:

2013.04.10

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G11B 7/135申请公布日:20130410|||公开

IPC分类号:

G11B7/135(2012.01)I; G01B9/02; G01B11/24; G11B7/005

主分类号:

G11B7/135

申请人:

松下电器产业株式会社

发明人:

伊藤清贵; 日野泰守

地址:

日本大阪府

优先权:

2011.06.17 JP 2011-135306

专利代理机构:

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:

汪惠民

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内容摘要

光分歧部(902)将从波长可变激光器(901)射出的激光分割为信号光和参照光,干涉部(905)使被调制的信号光和被参照光镜(904)反射的参照光相互干涉,信号处理部(907)基于干涉光检测信号,生成用于控制波长可变激光器(901)的振荡波长的振荡波长控制信号,在设信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的信号光和参照光的光程差的变动幅度为Δl,波长可变激光器(901)的中心振荡波长为λ0,波长可变激光器(901)的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0-lm0|满足|ld0-lm0|>(Δl/Δλ)λ0。

权利要求书

权利要求书一种调制信号检测装置,用于检测调制信号,其特征在于包括:
波长可变激光器,射出激光、能够变更振荡波长;
光分歧器,将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光;
参照光镜,配置在所述参照光的光路上;
干涉部,使被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉;
干涉光检测部,检测由所述干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号;
波长控制信号生成部,基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号,其中,
当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为Δl,所述波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,
初期光程差|ld0‑lm0|满足下式(1),
<mrow><MO>|</MO><MSUB><MI>ld</MI><MN>0</MN></MSUB><MO>-</MO><MSUB><MI>lm</MI><MN>0</MN></MSUB><MO>|</MO><MO>&gt;</MO><MFRAC><MI>Δl</MI><MI>Δλ</MI></MFRAC><MSUB><MI>λ</MI><MI>o</MI></MSUB><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MROW><MO>(</MO><MN>1</MN><MO>)</MO></MROW><MO>.</MO></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS><BR>根据权利要求1所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述波长控制信号生成部,从所述干涉光检测信号检测调制信号带域以外的带域的变动成分,并基于检测出的所述变动成分,生成所述振荡波长控制信号。<BR>根据权利要求1或2所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括:<BR>物镜,使所述信号光聚光;<BR>伺服误差信号生成部,根据所述干涉光检测信号,生成对应于所述物镜的聚焦位置的伺服误差信号,其中,<BR>所述波长控制信号生成部,基于所述伺服误差信号生成所述振荡波长控制信号。<BR>根据权利要求1至3中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于:<BR>所述信号光,通过被配置在所述信号光的光路上的记录有数据的光盘介质而被调制,<BR>所述调制信号检测装置还包括,通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,再生记录于所述光盘介质中的所述数据的再生信号处理部。<BR>根据权利要求1至3中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于:<BR>所述信号光,通过被配置在所述信号光的光路上的具有指定的表面形状的物体而被调制,<BR>所述调制信号检测装置还包括,通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,测量所述物体的表面形状的再生信号处理部。<BR>根据权利要求1或2所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括:<BR>光调制元件,被配置在所述信号光的光路上,其光学特性随应该传输的数据而变化;其中,<BR>所述干涉部,使通过所述光调制元件而被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉,<BR>所述调制信号检测装置还包括,通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,利用光传输所述数据的再生信号处理部。<BR>根据权利要求6所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述光学特性为折射率。<BR>根据权利要求6所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述光学特性为透过率。<BR>根据权利要求1至8中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括:参照光镜驱动部,通过移动所述参照光镜的位置,使所述初期光程差|ld0‑lm0|变化。<BR>根据权利要求1至9中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于:<BR>所述波长可变激光器,具有内部谐振器;<BR>当设所述波长可变激光器的内部谐振器的长度和所述波长可变激光器的内部谐振器的折射率的乘积所得到的所述波长可变激光器在真空中的内部谐振器长度为Lld,从所述波长可变激光器的射出端面到所述光分歧器为止的从所述波长可变激光器射出的激光在真空中的换算光程为LBS,从所述波长可变激光器射出的激光的干涉允许光程为ΔL时,<BR>所述波长可变激光器、所述光分歧器及所述参照光镜被配置在同时满足下式(2)至(4)的位置,<BR><MATHS id=cmaths0002 num="0002"><MATH><![CDATA[<mrow><MFRAC><MSUB><MI>ld</MI><MN>0</MN></MSUB><MN>2</MN></MFRAC><MO>+</MO><MSUB><MI>L</MI><MI>BS</MI></MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO><MI>S</MI><MFRAC><MSUB><MI>L</MI><MI>ld</MI></MSUB><MI>m</MI></MFRAC><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MROW><MO>(</MO><MN>2</MN><MO>)</MO></MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS><BR><MATHS id=cmaths0003 num="0003"><MATH><![CDATA[<mrow><MFRAC><MSUB><MI>lm</MI><MN>0</MN></MSUB><MN>2</MN></MFRAC><MO>+</MO><MSUB><MI>L</MI><MI>BS</MI></MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO><MI>t</MI><MFRAC><MSUB><MI>L</MI><MI>ld</MI></MSUB><MI>m</MI></MFRAC><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MROW><MO>(</MO><MN>3</MN><MO>)</MO></MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS><BR><MATHS id=cmaths0004 num="0004"><MATH><![CDATA[<mrow><MI>u</MI><MFRAC><MSUB><MI>L</MI><MI>ld</MI></MSUB><MI>m</MI></MFRAC><MO>-</MO><MFRAC><MI>ΔL</MI><MN>2</MN></MFRAC><MO>≤</MO><MFRAC><MROW><MO>|</MO><MSUB><MI>ld</MI><MN>0</MN></MSUB><MO>-</MO><MSUB><MI>lm</MI><MN>0</MN></MSUB><MO>|</MO></MROW><MN>2</MN></MFRAC><MO>≤</MO><MI>u</MI><MFRAC><MSUB><MI>L</MI><MI>ld</MI></MSUB><MI>m</MI></MFRAC><MO>+</MO><MFRAC><MI>ΔL</MI><MN>2</MN></MFRAC><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MROW><MO>(</MO><MN>4</MN><MO>)</MO></MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS><BR>其中,s、m、t为正整数,u为整数。<BR>权利要求10所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述干涉允许光程ΔL为所述激光的可干涉距离。<BR>根据权利要求10或11所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述式(2)至(4)中的所述正整数m为1。<BR>根据权利要求10至12中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括:参照光镜驱动部,使所述参照光镜移动到同时满足所述式(2)至(4)的位置。<BR>一种调制信号检测方法,用于检测调制信号,其特征在于包括:<BR>从能够变更振荡波长的波长可变激光器射出激光的激光射出步骤;<BR>将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光的光分割步骤;<BR>调制所述信号光的调制步骤;<BR>由配置在所述参照光的光路上的参照光镜反射所述参照光的参照光反射步骤;<BR>使在所述调制步骤被调制的所述信号光和在所述参照光反射步骤被反射的所述参照光相互干涉的干涉步骤;<BR>检测在所述干涉步骤产生的干涉光并输出干涉光检测信号的干涉光检测步骤;<BR>处理所述干涉光检测信号的信号处理步骤;其中,<BR>所述信号处理步骤包含,基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号的波长控制信号生成步骤,<BR>当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为Δl,所述波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,<BR>初期光程差|ld0‑lm0|满足下式(5),<BR><MATHS id=cmaths0005 num="0005"><MATH><![CDATA[<mrow><MO>|</MO><MSUB><MI>ld</MI><MN>0</MN></MSUB><MO>-</MO><MSUB><MI>lm</MI><MN>0</MN></MSUB><MO>|</MO><MO>&gt;</MO><MFRAC><MI>Δl</MI><MI>Δλ</MI></MFRAC><MSUB><MI>λ</MI><MI>o</MI></MSUB><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MO>&amp;CenterDot;</MO><MROW><MO>(</MO><MN>5</MN><MO>)</MO></MROW><MO>.</MO></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS></p></div> </div> </div> <div class="zlzy"> <div class="zltitle">说明书</div> <div class="gdyy"> <div class="gdyy_show"><p>说明书调制信号检测装置及调制信号检测方法 <BR>技术领域 <BR>本发明涉及一种通过检测强度或相位被调制的信号光与参照光相互干涉而导致的干涉光,来检测调制信号的调制信号检测装置及调制信号检测方法,是一种可应用于光盘介质、光数据传输以及光数据通信以及利用光的物体形状测量等的技术。 <BR>背景技术 <BR>光盘作为大容量信息记录介质已被广泛应用。为了光盘大容量化的技术开发,通过利用更短波长的激光和更大数值孔径(NA)的物镜而进行了从CD到DVD进而蓝光光盘的技术开发。最近,利用被称为云的互联网上的在线存储器的服务逐年扩大,包含HDD(硬盘驱动器)或闪存在内的存储器的大容量化倍受期待。 <BR>针对光盘的进一步的大容量化,进行了如下所述的开发。 <BR>首先,关于激光的短波长化,射出300nm多的紫外线区域的激光的半导体激光器得以实用化。然而,由于300nm以下的紫外线区域的光在空气中明显地减弱,所以,不能期望基于激光的短波长化会带来很大的效果。 <BR>其次,关于高NA化,利用NA为1以上的SIL(固体浸没透镜)方式提高记录面密度的技术已经开发。而且,通过利用在比光衍射界限还小的区域产生的近场光来提高记录面密度的研究也在进行。此外,目前,市场上出现的光盘中BD‑XL具有3层或4层记录面,通过使记录面进一步多层化来谋求大容量化的开发也正在进行。 <BR>如上所述,随着光盘大容量化的推进,尤其是在多层化中,由于光盘的记录面的反射而使被调制的信号光量进一步降低,不能充分确保再生信号的S/N的问题逐渐显现。因此,今后,为了推进光盘的大容量化,进一步提高检测信号的S/N变得十分必要。 <BR>作为进一步提高光盘的再生信号的S/N的技术,有利用光的干涉的检测方式。这种检测方式中,将来自激光器的光分歧成照射到光盘的信号光和不照射到光盘的参照光,让来自光盘的反射光(再生光)与参照光相互干涉。然后,通过提高参照光的光量,使基于信号光的微弱的信号振幅增幅。这种技术虽然具有能够以较高的S/N检测微小的再生光的优点,但由于利用光的干涉,所以一旦参照光和来自光盘的反射光之间的相位发生变动,被再生的信号中会含有杂讯成分。为此,需要有新的改进,例如,专利文献1和专利文献2公开了该解决方案。 <BR>图21是以往的干涉型的光盘装置的结构示意图。 <BR>在专利文献1中,为了谋求再生光和参照光的光程差的稳定化,如图21所示,在参照光镜111附加了用于调整参照光的光程的镜驱动部112。据此,对应于光盘101旋转时的面抖动等引起的光程的变动或温度等引起的光程随时间的变化,将信号振幅总是控制在为最大。 <BR>在专利文献2中,记述了使用锥体棱镜(Corner&nbsp;Cube&nbsp;Prism)作为参照光镜,将锥体棱镜搭载在与物镜相同的致动器上,根据光盘的种类或读出的记录层来调整被干涉的光的光程的方式。 <BR>在光盘领域,实现高传输率和高密度的装置时,光信号的S/N的降低限制了其进步。与此相同,在光通信或利用光的界面(光总线(Optical&nbsp;Bus)或光USB(Universal&nbsp;SerialBus))等领域,为了实现高传输率也需要高的S/N。即使在这些光通信或利用光的界面的领域,为了以低能耗实现高传输率,代替调制激光的强度传送数据的方式,调制激光产生的光的相位传送数据的方式也正在成为主流。为此,在接收侧准确地控制光的相位,除去在通信路产生的光相位的变动因素的光相位控制技术变得很重要。 <BR>在利用光的干涉检测光相位时,必需精密地控制检测出的信号光的相位与用于干涉的光的相位的平均的相对关系。如果检测出的信号光的平均相位和干涉的光的相位不能维持一定的关系,检测信号的检测灵敏度就会大幅度降低。为此,为了使这种检测方式实用化,相位关系的控制变得非常重要。 <BR>然而,由于光的波长只有数μm至400nm非常短,只要干涉光的光程和信号光的光程微妙地变化数十nm左右,信号的检测灵敏度会受到很大的影响。这就意味着需要使干涉光的光程和信号光的光程以数十nm的精度保持为一定。在光程存在变动因素时,会出现光程的控制非常困难的问题。例如,在光盘的情况下,由于光盘记录面的波纹的影响,来自光盘的再生光的光程在200μm左右的范围变化很大。为了回避这种影响,专利文献1公开了一种使光学系统一体化来追随光盘记录面的波纹,并且用致动器修正缓慢的变动的技术。 <BR>然而,在专利文献1的结构中,如果光盘倾斜、信号光的角度发生变化,则导致信号光的光程发生变化。通过致动器以数十nm的精度追随光程的变动非常困难,尤其是在某种程度的高频率带域变动的抑制完全不可能。为此,为了使专利文献1的技术实用化,需要使基于光盘记录面的波纹的变动足够小几乎接近于零,这种变动极大地防碍了实用化。 <BR>另外,专利文献2公开了将锥体棱镜搭载在物镜的致动器上,使参照光的光路与信号光的光路同样变化的结构。在专利文献2所公开的结构中,也同样会出现由于光盘记录面的波纹,参照光的光程和信号光的光程产生变动的问题,实用化非常困难。 <BR>由于光的频率非常高,直接检测光相位在现在的技术中不可能。为此,除利用信号光和参照光的光干涉来检测光相位的方法以外,用其他的方法无法检测光相位。然而,由于用于光通信、光总线或光盘的光的波长在数μm至400nm非常短,在上述的技术(利用光干涉的基于参照光的相位检测技术)中,需要将参照光和信号光的平均相位准确地控制在光的波长的数十分之一的技术。在光盘、光通信及光总线等各方面,虽然参照光和信号光的光相位的变动因素有所不同,但分别需要纳米级的光相位控制。 <BR>专利文献1:日本专利公开公报特开2007‑317284号。 <BR>专利文献2:日本专利公开公报特开2009‑252337号。 <BR>发明内容 <BR>本发明为了解决上述的问题,其目的在于提供一种能够以较高的S/N比检测调制信号的调制信号检测装置及调制信号检测方法。 <BR>本发明的一个方面所涉及的调制信号检测装置,是检测调制信号的调制信号检测装置,包括:射出激光、能够变更振荡波长的波长可变激光器;将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光的光分歧器;配置在所述参照光的光路上的参照光镜;使被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉的干涉部;检测由所述干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号的干涉光检测部;基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号的波长控制信号生成部,其中,当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为Δl,所述波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0‑lm0|满足下式(1)。 <BR><MATHS num="0001"><MATH><![CDATA[ <mrow><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> <MO>&gt;</MO> <MFRAC><MI>Δl</MI> <MI>Δλ</MI> </MFRAC><MSUB><MI>λ</MI> <MI>o</MI> </MSUB><MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>1</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>根据此结构,能够变更振荡波长的波长可变激光器射出激光。光分歧器将波长可变激光器射出的激光分割为信号光和参照光。参照光镜被配置在参照光的光路上。干涉部使被调制的信号光和被参照光镜反射的参照光相互干涉。干涉光检测部检测由干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号。波长控制信号生成部基于干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号。在此,当设信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的信号光和参照光的光程差的变动幅度为Δl,波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0‑lm0|满足上述的式(1)。 <BR>根据本发明,由于参照光和信号光的初期光程差满足上述式(1),振荡波长被控制在波长可变激光器的振荡波长可变范围内,因此,可以消除信号光和参照光的光程的变动成分,从而能够检测出高S/N比的调制信号。 <BR>本发明的目的、特征以及优点,通过以下的详细说明和附图将更为明确。 <BR>附图说明 <BR>图1是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的一个例子的示意图。 <BR>图2是用于说明波长可变激光器的中心振荡波长和振荡波长可变范围的示意图。 <BR>图3是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的另一个例子的示意图。 <BR>图4是表示本发明第1实施例的光盘装置的结构的示意图。 <BR>图5是用于说明在光盘介质中信号光的强度被调制的一个例子的示意图。 <BR>图6是用于说明在光盘介质中信号光的相位被调制的一个例子的示意图。 <BR>图7是第1实施例的干涉光检测部的具体结构的一个例子的示意图。 <BR>图8是第1实施例的信号处理部的具体结构的一个例子的示意图。 <BR>图9是第1实施例的干涉光检测部的具体结构的另一个例子的示意图。 <BR>图10是表示图4所示的光盘装置的调制信号检测方法的一个例子的流程图。 <BR>图11是表示图10所示的信号处理的一个例子的流程图。 <BR>图12是本发明第2实施例的光盘装置的结构的示意图。 <BR>图13是本发明第3实施例的光盘装置的结构的示意图。 <BR>图14是本发明第4实施例的光通信装置的结构的示意图。 <BR>图15是本发明第5实施例的光通信装置的结构的示意图。 <BR>图16是本发明第6实施例的物体形状测量装置的结构的示意图。 <BR>图17是从搭载于光学头的激光器输出的激光的光谱强度的一个例子的示意图。 <BR>图18是模式地表示作为激光振荡的一个例子,在激光谐振器内的多纵模的激光振荡的状态的示意图。 <BR>图19是用于说明外部谐振器的示意图。 <BR>图20是本发明第7实施例的光盘装置内的光学头的结构的示意图。 <BR>图21是以往的干涉型光盘装置的结构的示意图。 <BR>具体实施方式 <BR>以下,参照附图说明本发明的实施方式。另外,以下的实施方式是将本发明具体化的一个例子,并不用于限定本发明的技术范围。 <BR>首先利用图1至图3对第1至7实施例的共同的构成要件及其原理进行说明,然后再对各实施例进行具体地说明。 <BR>图1是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的一个例子的示意图。图1所示的调制信号检测装置包括:波长可变激光器901、光分歧器902、信号光调制部903、参照光镜904、干涉部905、干涉光检测部906及信号处理部907。 <BR>图1中,从波长可变激光器901射出的激光通过光分歧器902被分成信号光和参照光。信号光的强度或相位通过信号光调制部903被调制。调制后的信号光透过信号光调制部903或被信号光调制部903反射,向干涉部905行进。另一方面,参照光通过参照光镜904而被反射,向干涉部905行进。 <BR>信号光调制部903只要具备调制再生光的光相位的功能,则能够采用各种各样的方式。在光盘装置中,例如,光盘介质相当于信号光调制部903,信号光通过在光盘介质上形成的记录坑的凹凸而被调制。另外,在光通信或光总线(light&nbsp;bus)等中,根据传输数据调制光的相位的光相位调制器相当于信号光调制部903。而且,在检测物体的表面形状的检测装置中,例如,物体相当于信号光调制部903,信号光通过检测表面形状的物体的表面的凹凸而被调制。 <BR>在此,将由光分歧器902分歧后经由信号光调制部903到达干涉部905为止的信号光所通过的路程(光路长)用真空中的折射率n(n=1)换算后的信号光的光程设为ld。同样,将由光分歧器902分歧后经由参照光镜904到达干涉部905为止的参照光所通过的路程(光路长)用真空中的折射率n(n=1)换算后的参照光的光程设为lm。 <BR>干涉部905将信号光与参照光合波,输出干涉光。干涉光检测部906检测干涉光,将检测出的干涉光转换为电信号,作为干涉光检测信号输出。信号处理部907对干涉光检测信号实施处理。 <BR>干涉光检测信号包含信号光和参照光的强度以及被信号光调制部903调制的相位差的信息。这种被检测的相位差的信息除了包含被信号光调制部903调制的信号以外,还包含光的相位因受到在信号光路径和参照光路径产生的各种各样的外部干扰的影响而发生变动的主要因素。光的波长为数μm至400nm非常短。因此,只要稍微有一点外部干扰就会轻易地导致光的相位发生变化,成为很大杂讯的主要原因。进一步,激光的波长的变动、微小的折射率的变动、元件由于振荡产生的微小的倾斜、或温度变化等非常多的因素都成为光的相位变动的因素。 <BR>一般来说,这些变动因素对于频率而言,由于以12分贝/Oct衰减,因此很多的外部干扰因素集中在低频率。通过检测由干涉光检测部906检测出的光的相位信息的低域成分,调整光程以使变动得以抑制,这些变动因素在某种程度上能被消除。专利文献1中,公开了在参照光的光路中设置可机械地移动的镜,通过控制镜的位置来除去低域成分的变动的结构。 <BR>然而,在专利文献1中,由于利用了机械地移动的镜,因此能够除去的变动的频率带域较低。更严重的是,需要以光的波长的数十分之一以下的精度(nm精度)来进行镜位置的控制和稳定的镜角度的控制。因此,由于可以控制的外部干扰的量,频率带域以及精度不够,所以当利用干涉来检测光的相位时,受到技术上的制约或应用范围的制约,难以实现适合广泛的应用且廉价的装置。 <BR>作为提高控制性能的方法,通过改变激光的波长来控制检测出的相位信息的低域成分的方法在光通信领域的尖端技术中被应用。然而,为了除去较大的相位变动因素必需提高控制增益,为此,存在如果不增大激光的波长范围就无法确保控制增益的问题。本发明提供解决此问题的技术,以下对该解决方法进行简单的说明。 <BR>如图1所示,设信号光的光程为ld,参照光的光程为lm,被分割的信号光与参照光的光程差为|ld‑lm|。另外,若设波长可变激光器901的振荡波长为λ0,则为了让信号光和参照光的相位在干涉部905对齐,并且引起信号变成最大的干涉,以满足以下的条件式(2)为条件。 <BR>|ld‑lm|=kλo(k为0或正整数)……(2) <BR>在此,当设调制信号检测装置中最大的光程差的变动幅度为Δl(Δl为用真空中的折射率换算后的信号光与参照光的光程差的变动幅度)时,将光程差变动的中心值作为初期光程差|ld0‑lm0|,并代入上述的式(2),用以下的式(3)求得k。 <BR><MATHS num="0002"><MATH><![CDATA[ <mrow><MI>k</MI> <MO>=</MO> <MFRAC><MROW><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> </MROW><MSUB><MI>λ</MI> <MI>o</MI> </MSUB></MFRAC><MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>3</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>在振荡波长可变范围Δλ,为了吸收光程差的变动幅度Δl,需要满足以下的关系式(4)。 <BR>|ld0‑lm0|+Δl=k(λo+Aλ)……(4) <BR>如果将式(3)代入式(4)进行整理,则导出以下的等式(5)。 <BR><MATHS num="0003"><MATH><![CDATA[ <mrow><MI>Δl</MI> <MO>=</MO> <MFRAC><MROW><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> </MROW><MSUB><MI>λ</MI> <MI>o</MI> </MSUB></MFRAC><MI>Δλ</MI> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>5</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>据此,在振荡波长可变范围Δλ,为了吸收光程差的变动幅度Δl,需要式(5)中的右边比左边大。于是,将式(5)的等号置换为不等号,整理得出以下的关系式(6)。 <BR><MATHS num="0004"><MATH><![CDATA[ <mrow><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> <MO>&gt;</MO> <MFRAC><MI>Δl</MI> <MI>Δλ</MI> </MFRAC><MSUB><MI>λ</MI> <MI>o</MI> </MSUB><MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>6</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>光程差的变动幅度Δl用振荡波长可变范围Δλ和|ld0‑lm0|/λ0的乘积来表示。因此,如果将作为参照光和信号光的光程差|ld0‑lm0|设计得较大,则能够用较小的波长变化吸收非常大的光程差变动。 <BR>图2是用于说明波长可变激光器的中心振荡波长和振荡波长可变范围的示意图。作为波长可变激光器经常使用的结构,通过从外部向半导体激光器的波导路的一部分施加电压,使波导路的折射率变化的方法被使用。这种一般的波长可变激光器的振荡波长可变范围Δλ为10nm左右。因此,当参照光和信号光不存在光程差时,只能在10nm左右的范围控制相位变动。对此,例如,若采用光的波长为400nm,|ld0‑lm0|为0.4mm的结构,能对1000倍的光程差变动进行追随。 <BR>这样,通过让参照光的光路和信号光的光路预先存在光程差,可以使同一波长变化的增益增大,因此能够简单地增加控制系统的增益。如果控制系统的增益增大,则控制残渣减小,控制性能得以提高。在能预测光程差的变动幅度Δl的系统中,如果上式(6)所示的关系成立,则控制系统可以吸收光程差的变动幅度Δl。另外,初期光程差|ld0‑lm0|越大,光程差的变动幅度Δl的抑制效果就越高。 <BR>另外,上述说明是针对图1所示的结构进行的,但图3所示的结构中参照光和信号光的关系也同样,图3所示的结构也能获得同样的效果。 <BR>图3是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的另一个例子的示意图。图3所示的调制信号检测装置包括波长可变激光器901、光分歧器902、信号光调制部903、参照光镜904、干涉光检测部906及信号处理部907。图3中,对与图1相同的构成要件赋予相同的符号,并省略其说明。 <BR>图3中,从波长可变激光器901射出的激光通过光分歧器902被分成信号光和参照光。信号光的强度或相位通过信号光调制部903而被调制。调制后的信号光被信号光调制部903反射,向光分歧器902行进。另一方面,参照光被参照光镜904反射,向光分歧器902行进。 <BR>在图3所示的调制信号检测装置中,光分歧器902具有图1所示的干涉部905的功能。光分歧器902将来自波长可变激光器901的光分歧成信号光和参照光,并使由信号光调制部903调制的信号光和由参照光镜904反射的参照光相互干涉。 <BR>光分歧器902将信号光和参照光合波,输出干涉光。干涉光检测部906检测干涉光,并将检测出的干涉光转换为电信号,作为干涉光检测信号输出。信号处理部907对干涉光检测信号实施信号处理。 <BR>(第1实施例) <BR>图4是本发明第1实施例的光盘装置的结构的示意图。 <BR>图4中,光盘装置20利用从记录信息的光盘介质201生成的时钟信号,从光盘介质201再生数据,或向光盘介质201记录数据。 <BR>光盘装置20包括光盘旋转马达202、光学头驱动部204、伺服电路205、光学头部206、信号处理部216。伺服电路205利用伺服误差信号控制透镜驱动部208,以便使物镜207的光束的聚光状态和扫描状态成为最佳。另外,伺服电路205控制光学头驱动部204,使光学头部206向光盘介质201的最适合的半径位置移动。另外,伺服电路205基于光束照射在光盘介质201上的半径位置,将光盘旋转马达202的转数控制在理想的转数。 <BR>光盘介质201具有至少一层以上的数据记录面。在数据记录面形成有轨道,轨道上按指定的数据格式记录有信息。图5和图6是用于说明在光盘介质201的信号光调制的示意图。图5是用于说明光盘介质201中信号光的强度被调制的例子的示意图,图6是用于说明光盘介质201中信号光的相位被调制的例子的示意图。 <BR>首先,利用图5,对光盘介质201中信号光的强度被调制的例子进行说明。通过在记录面201a的轨道上形成反射率互不相同的标记201m和空格201s,数据被记录。当信号光照射到标记201m和空格201s时,由于标记201m与空格201s的反射率变化强度被调制的信号光被反射。 <BR>其次,利用图6,对光盘介质201的信号光的相位被调制的例子进行说明。通过在记录面201a内形成透过率或折射率变化的连续的槽201g或不连续的孔201h,数据被记录。当信号光照射到这些槽201g或孔201h时,由于从射入光盘介质201后至到达反射的位置为止的距离不同相位被调制的信号光被反射。 <BR>光盘旋转马达202使光盘介质201以指定的转数旋转。光学头部206具备波长可变激光器209、偏振光分束器210、λ/4板211、212、参照光镜213、物镜207、透镜驱动部208、干涉光检测部215。光学头部206向光盘介质201照射光束,一边扫描轨道一边检测被光盘介质201反射的光和参照光干涉后的光,并输出电信号。 <BR>波长可变激光器209射出激光。若设中心振荡波长为λ0,能够进行任意强度以上的振荡的振荡波长可变范围为Δλ,则波长可变激光器209根据振荡波长控制信号,可使振荡波长在λ0±(Δλ/2)的范围变化。 <BR>偏振光分束器210将从波长可变激光器209射出的光分割为信号光和参照光。另外,偏振光分束器210使通过配置在信号光的光路上的光盘介质201而被调制的信号光和被参照光镜213反射的参照光相互干涉。 <BR>偏振光分束器210让射入分离面的水平偏振光几乎100%透过,使垂直偏振光几乎100%被反射。偏振光分束器210将从波长可变激光器209射出的激光分歧成垂直偏振的信号光和水平偏振的参照光。另外,被分歧的信号光和参照光两次通过位于各自的光路上的λ/4板211,212,其偏振方向旋转90度,并返回偏振光分束器210。在此,由于信号光及参照光的偏振方向各自旋转了90度,因此,偏振光分束器210与分歧时相反,让变成水平偏振的信号光几乎100%透过,使变成垂直偏振的参照光几乎100%被反射。据此,来自偏振光分束器210的光成为偏振面相互正交的信号光和参照光的干涉光。 <BR>在此,通过将波长可变激光器209预先旋转来配置,射入偏振光分束器210的激光的偏振面能够改变信号光和参照光的强度比。 <BR>物镜207使信号光聚光于光盘介质201,并使被光盘介质201反射的光成为平行光。成为平行光的信号光返回去路的信号光的光路。另外,物镜207通过透镜驱动部208在聚焦方向和跟踪方向被驱动。 <BR>λ/4板211、212,通过透过将直线偏振光变换成圆偏振光,将圆偏振光变换成直线偏振光。直线偏振光通过两次透过λ/4板211,212,成为偏振面旋转了90度的直线偏振光。例如,垂直偏振光被变换成水平偏振光,水平偏振光被变换成垂直偏振光。 <BR>参照光镜213配置在参照光的光路上,使从激光分歧的参照光几乎100%被反射。被参照光镜213反射的光返回与去路相同的光路。 <BR>在此,对参照光镜213的配置进行说明。设信号光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程为ld0,参照光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程为lm0,初期光程差用|ld0‑lm0|来表示。信号光通过的光路的长度为自被偏振光分束器210分歧起经由光盘介质201到达偏振光分束器210为止的路程,参照光通过的光路的长度为自被偏振光分束器210分歧起经由参照光镜213到达偏振光分束器210为止的路程。 <BR>根据波长可变激光器209的中心振荡波长λ0、波长可变激光器209的振荡波长可变范围Δλ以及由于光盘介质201的面抖动变动或光学头部206的振动而引起的用真空中的折射率换算后的信号光与参照光的光程差的变动幅度Δl之间的关系,配置参照光镜213,使初期光程lm0满足上述的式(6)。在此,初期光程ld0用由于光盘介质201的面抖动变动或光学头部206的振动而引起的光程的变动的中心值来计算。也就是说,将信号光的光路长度用真空中的折射率n(n=1)换算后的光程在ld0±(Δl/2)的范围变化。 <BR>干涉光检测部215检测被光盘介质201反射的信号光和参照光相互干涉的干涉光,将检测出的干涉光转换为电信号,并将电信号作为干涉光检测信号输出。 <BR>图7是第1实施例的干涉光检测部215的具体结构的一个例子的示意图。图7所示的干涉光检测部215包括λ/2板401、偏振光分束器402、第1检测器403、第2检测器404以及差分信号计算部405。 <BR>λ/2板401使入射的干涉光的偏振方向旋转45度。偏振光分束器402让偏振方向被旋转了45度的干涉光的水平偏振光几乎100%透过,使垂直偏振光几乎100%被反射。第1检测器403和第2检测器404是输出与入射的光量相应的电信号的元件。第1检测器403检测偏振方向被旋转了45度的干涉光的水平偏振光,并输出与光量相应的电信号。第2检测器404检测偏振方向被旋转了45度的干涉光的垂直偏振光,并输出与光量相应的电信号。差分信号计算部405输出从第1检测器从403输出的电信号与从第2检测器404输出的电信号的差分信号。 <BR>在此,将干涉光的偏振状态用琼斯矢量(Jones&nbsp;Vector)表示如下。 <BR> <BR>其中,Ed为被光盘介质201反射的信号光的电场,Em为被参照光镜213反射的参照光的电场。另外,上述矢量的第一成分表示水平偏振光,第二成分表示垂直偏振光。当上述光通过λ/2板401时,琼斯矢量如下。 <BR> <BR>其次,透过偏振光分束器402的光(水平偏振光)的电场和反射的光(垂直偏振光)的电场分别用下式(7)表示。 <BR> <BR>据此,第1检测器403和第2检测器404检测信号用下式(8)表示。 <BR> <BR>式(8)中,η为检测器的变换效率,Δφ为基于信号光和参照光的光程差的相位差。根据这些检测信号,由差分信号计算部405得出的差分信号为下式(9)。 <BR>2η|Ed||Em|cosΔφ&nbsp;&nbsp;……(9) <BR>式(9)为将被光盘介质201反射的信号光的电场、参照光的电场、包含信号调制的相位变动成分全部相乘的乘法公式。信号光的电场和参照光的电场的相乘表示信号光的电场通过参照光的电场而被增幅。因此,即使在Ed因光盘介质201的反射率低而减小、只检测信号光也得不到正确的再生信号的情况下,通过使信号增幅能够得到正确的再生信号。 <BR>但是,式(9)的Δφ被大致分成作为再生信号成分的Δφ1、作为因各种各样的原因而产生的光路的变动成分的Δφ2。光路的变动成分通常比光的波长的几千倍还大。由于再生信号成分Δφ1是光的波长的量级,如果不能稳定地进行控制使变动成分Δφ2为零,则完全无法检测再生信号。为了实现这样高精度的控制,在本实施例的光盘装置中,将检测出的光路变动成分反馈给波长可变激光器209,通过该控制循环,来实现变动成分Δφ2的除去。以下,对这种变动成分的除去方法进行说明。 <BR>信号处理部216处理干涉光检测信号。信号处理部216基于干涉光检测信号,生成再生记录于光盘介质201的数据的再生信号、控制光盘旋转马达202、光学头驱动部204以及透镜驱动部208的伺服误差信号、控制波长可变激光器209的振荡波长的振荡波长控制信号。通过将从干涉光检测部215输出的干涉光检测信号作为输入,用高通滤波器(HPF)抽出调制信号成分的带域,从而将再生信号与相位变动成分(光路变动成分)分离。有关具体的结构用图8进行说明。 <BR>图8是第1实施例的信号处理部216的具体结构的一个例子的示意图。图8所示的信号处理部216包括变动成分检测部217、波长控制信号生成部218、再生信号处理部219以及控制信号处理部220。 <BR>本实施例中,为了使调制信号的频率带域和相位变动成分的频率带域不至于重叠而预先在调制符号上下了功夫。因此,能利用HPF这样简单的结构将再生信号分离。变动成分检测部217可以利用将由干涉光检测部215检测出的干涉光检测信号的低频域信号用低通滤波器(LPF)抽出的简易方法。但是,在这种情况下,由于需要避免再生信号漏入控制信号,因此必需将再生信号的带域和相位变动成分的带域明确地分开。为此,需要插入过滤特性陡峭的LPF,为了稳定地除去相位变动量进行控制,有必要将控制频率特性设定在LPF的带域的1/10左右。作为更为优异的变动成分检测部217的相位变动成分的分离方法,有一种必定从干涉光检测信号中抽样指定的强度(level)(例如来自干涉光检测部215的干涉光检测信号的零交叉点)的方法。 <BR>这样,由变动成分检测部217检测出的相位变动成分通过波长控制信号生成部218以指定的增益受到反馈控制,以便使作为激光波长变化的相位变动得以抑制。本实施方式的结构为检测光的相位并将其反馈到光的波长(频率)的结构。因此,该波长控制信号生成部218的获取特性或控制后的增益特性,与作为电信号的相位锁定技术而被使用的相位锁定循环(Phase&nbsp;Locked&nbsp;Loop)(PLL)一样。本实施例的PLL为使激光的波长变化来控制光的相位的光PLL。如果针对反馈到激光的波长的信号使用滞后‑超前型滤波器(Lag‑Lead&nbsp;Filter),则与一般的PLL同样能够改善获取的性能。 <BR>在光PLL的传递函数中,用式(5)求出的|ld0‑lm0|/λ0的系数以乘积的形式表现。因此,如果使|ld0‑lm0|/λ0增大,即使是波长变化非常小的激光,也能够使反馈的控制增益充分大。如果能够提高控制增益,则能象本实施例那样能够充分地抑制相位变动成分。在本实施例中,是将波长控制信号生成部218的控制目标设为指定的值,但当然也可以改变控制目标使再生信号变成最大,或进行控制使再生信号处理部219的信号量成为最大。 <BR>另外,当基于光盘介质201的信号调制为强度调制时,变动成分检测部217也可以在能应对波长可变激光器209的波长可变响应速度的全部的频率带域,生成表示波动杂讯成分的变动成分信号。 <BR>波长控制信号生成部218基于干涉光检测信号,生成用于控制波长可变激光器209的振荡波长的振荡波长控制信号。波长控制信号生成部218基于从干涉光检测信号检测出的在光盘介质201中被调制的调制信号带域以外的带域的变动成分,生成振荡波长控制信号。波长控制信号生成部218基于从变动成分检测部217输出的变动成分信号,生成用于控制波长可变激光器209的振荡波长的振荡波长控制信号。 <BR>再生信号处理部219通过从干涉光检测信号生成再生信号,再生记录于光盘介质201的数据。再生信号处理部219从干涉光检测部215输出的干涉光检测信号中除去变动成分,生成再生信号并输出。例如,对作为变动成分的因素之一的由光盘介质201的面抖动引起的杂讯,再生信号处理部219通过利用HPF(高通滤波器)抑制变动成分,从而能够提取S/N较好的再生信号。 <BR>控制信号处理部220基于干涉光检测部215输出的干涉光检测信号,生成伺服误差信号,并向伺服电路205输出伺服误差信号。 <BR>根据所涉及的结构,由于让信号光和参照光的初期光程差满足上述的式(6),振荡波长被控制在波长可变激光器209的振荡波长可变范围内,因此能够除去光路变动成分。 <BR>另外,在本实施例中,光盘装置20相当于调制信号检测装置的一个例子,波长可变激光器209相当于波长可变激光器的一个例子,偏振光分束器210相当于光分歧器的一个例子,参照光镜213相当于参照光镜的一个例子,偏振光分束器210相当于干涉部的一个例子,干涉光检测部215相当于干涉光检测部的一个例子,变动成分检测部217及波长控制信号生成部218相当于波长控制信号生成部的一个例子,再生信号处理部219相当于再生信号处理部的一个例子。 <BR>另外,在本实施例中,对参照光镜213在光轴方向的位置进行调整,使参照光的初期光程lm0满足式(6),但本发明并不局限于此。也可以只改变信号光的初期光程ld0,或改变参照光的初期光程lm0和信号光的初期光程ld0双方以满足式(6)。例如,可以改变光盘介质201的配置位置,使信号光的初期光程ld0满足式(6)。另外,也可以通过在信号光的光路上配置迂回路或折射率高的元件,加长用真空的折射率换算的光程,以使信号光的初期光程ld0满足式(6)。 <BR>另外,在本实施例中,通过将波长可变激光器209在与光轴垂直的面内预先旋转配置,射入偏振光分束器210的激光的偏振面能够改变信号光和参照光的强度比,但本发明并不局限于此。例如,也可以在波长可变激光器209和偏振光分束器210之间插入λ/2板。这样,通过旋转λ/2板,使激光的偏振面旋转,从而可以改变信号光和参照光的强度比。 <BR>另外,在本实施例中,用图7所示的结构对干涉光检测部215的结构进行了说明,但并不局限于此。例如,干涉光检测部215也可以是图9所示的结构。 <BR>图9是第1实施例的干涉光检测部的具体结构的另一个例子的示意图。图9所示的干涉光检测部215包括半束分束器410、λ/2板411、第1偏振光分束器412、第1检测器413、第2检测器414、第1差分信号计算部405、λ/4板416、第2偏振光分束器417、第3检测器418、第4检测器419、第2差分信号计算部420,多样性计算部(diversitycalculating&nbsp;unit)421。 <BR>半束分束器410使入射的干涉光以几乎相同的强度向两个方向反射及透过。 <BR>λ/2板411使透过半束分束器410的干涉光的偏振方向旋转45度。第1偏振光分束器412使偏振方向被旋转了45度的干涉光的水平偏振光几乎100%透过,使垂直偏振光几乎100%被反射。第1检测器413和第2检测器414输出与入射的光量相应的电信号。第1检测器413检测偏振方向被旋转了45度的干涉光的水平偏振光,并输出与光量相应的电信号。第2检测器414检测偏振方向被旋转了45度的干涉光的垂直偏振光,并输出与光量相应的电信号。第1差分信号计算部405输出第1检测器413输出的电信号和第2检测器414输出的电信号的差分信号。 <BR>λ/4板416使被半束分束器410反射的干涉光的偏振方向旋转45度,在垂直偏振光及水平偏振光各自的信号光成分和参照光成分之间分别赋予π/2(90度)的相位差。第2偏振光分束器417使通过了λ/4板416的干涉光的水平偏振光几乎100%透过,使垂直偏振光几乎100%被反射。第3检测器418和第4检测器419输出与入射的光量相应的电信号。第3检测器418检测通过了λ/4板416的干涉光的水平偏振光,并输出与光量相应的电信号。第4检测器419检测通过了λ/4板416的干涉光的垂直偏振光,并输出与光量相应的电信号。第2差分信号计算部420输出第3检测器418输出的电信号和第4检测器419输出的电信号的差分信号。 <BR>多样性计算部421基于第1差分信号计算部405输出的电信号和第2差分信号计算部420输出的电信号进行运算,输出干涉光检测信号。 <BR>另外,在本实施例中,为了除去比信号成分的频率带域低的频率带域的光盘介质201的面抖动成分,变动成分检测部217及再生信号处理部219利用了LPF或HPF,但本发明并不局限于此。变动成分检测部217及再生信号处理部219也可以通过对干涉光检测信号进行傅立叶变换,将时间区域信号转换为频率区域信号,按频率区域划分带域,从而除去不需要的成分。 <BR>另外,在本实施例中,作为外部干扰的变动因素的一个例子,对诸如光盘介质201的面抖动成分这样的频率带域比信号成分低的光路变动因素进行了说明,但变动检测部217及再生信号处理部219也可以除去比信号成分高的频率成分的变动因素。变动成分检测部217也可以利用滤掉比信号带域高的频率的HPF来除去不需要的成分。另外,再生信号处理部219也可以利用滤掉比信号带域高的频率的LPF来除去不需要的成分。 <BR>另外,在本实施例中,作为外部干扰的变动因素的一例,对光盘介质201的面抖动成分进行了说明,但关于温度变化等频率带域比调制信号低的光程差变动因素引起的变动成分,用同样的结构也能除去。 <BR>另外,在本实施例中,信号处理部216被配置在光学头部206之外,但光学头部206包含信号处理部216的结构也可以。 <BR>另外,在本实施例中,也可以采用信号处理部216被集成在一个LSI(Large&nbsp;ScaleIntegration)上的结构。 <BR>另外,在本实施例中,信号处理部216的功能可以通过电脑可执行的程序及电脑来实现。图10是示意图4所示的光盘装置的调制信号检测方法的一个例子的流程图,图11是示意图10所示的信号处理的一个例子的流程图。例如,信号处理部216的程序用图11所示的流程图来表示。 <BR>首先,在步骤S1,波长可变激光器209射出激光。波长可变激光器209射出的激光射入偏振光分束器210。 <BR>其次,在步骤S2,偏振光分束器210将从波长可变激光器209射出的光分割成信号光和参照光。信号光通过λ/4板211后,通过物镜207被聚光于光盘介质201。参照光通过λ/4板212后射入参照光镜213。 <BR>其次,在步骤S3,光盘介质201调制信号光。被光盘介质201调制的信号光通过物镜207和λ/4板211后射入偏振光分束器210。 <BR>另外,在调制信号检测装置为光盘装置时,信号光通过光盘介质201而被调制。在调制信号检测装置为光通信装置时,信号光通过根据应传输的数据改变光学特性的信号光调制部(光调制元件)而被调制。如果调制信号检测装置为物体形状测量装置,则信号光通过具有指定的表面形状的物体而被调制。 <BR>其次,在步骤S4,参照光镜213反射参照光。被参照光镜213反射的参照光通过λ/4板212后射入偏振光分束器210。 <BR>其次,在步骤S5,偏振光分束器210使被调制的信号光和被参照光镜213反射的参照光相互干涉。由偏振光分束器210生成的干涉光射入干涉光检测部215。 <BR>其次,在步骤S6,干涉光检测部215检测来自偏振光分束器210的干涉光,将干涉光检测信号向信号处理部216输出。 <BR>其次,在步骤S7,信号处理部216对干涉光检测信号实施指定的信号处理。 <BR>在此,利用图8和图11对步骤S7的信号处理进行说明。 <BR>首先,在步骤S11,变动成分检测部217取得从干涉光检测部215输出的干涉光检测信号,从干涉光检测信号中检测调制信号带域以外的带域的变动成分。 <BR>其次,在步骤S12,波长控制信号生成部218基于由变动成分检测部217检测出的变动成分,生成控制波长可变激光器209的振荡波长的振荡波长控制信号。 <BR>接着,在步骤S13,波长控制信号生成部218向波长可变激光器209输出振荡波长控制信号。 <BR>其次,在步骤S14,再生信号处理部219取得从干涉光检测部215输出的干涉光检测信号,通过从干涉光检测信号抽出(检测出)再生信号(调制信号),生成再生信号。 <BR>其次,在步骤S15,再生信号处理部219输出再生信号。 <BR>其次,在步骤S16,控制信号处理部220取得从干涉光检测部215输出的干涉光检测信号,从干涉光检测信号生成对应于物镜207的聚焦位置的伺服误差信号。 <BR>其次,在步骤S17,控制信号处理部220向伺服电路205输出伺服误差信号。伺服电路205利用由控制信号处理部220输出的伺服误差信号,控制透镜驱动部208使物镜207的光束的聚光状态和扫描状态成为最佳。 <BR>然后,返回图10的步骤S1的处理,波长可变激光器209射出与波长控制信号生成部218生成的振荡波长控制信号相应的激光。 <BR>另外,步骤S11至S13的处理,步骤S14至S15的处理,步骤S16至S17的处理,并不限于图11所示的顺序。 <BR>(第2实施例) <BR>图12是本发明第2实施例的光盘装置的结构示意图。 <BR>在图12中,对与图4和图8相同的构成要素采用相同的符号,并省略其说明。 <BR>在图12中,光盘装置30利用从记录有信息的光盘介质201生成的时钟信号,从光盘介质201再生数据,或向光盘介质201记录数据。光盘装置30包括光盘旋转马达202、光学头驱动部204、伺服电路205、光学头部206以及信号处理部216。 <BR>在图12中,光学头部206具备波长可变激光器209、偏振光分束器210、λ/4板211,212、参照光镜213、物镜207、透镜驱动部208、干涉光检测部215和镜驱动部223。 <BR>在图12中,镜驱动部223改变参照光镜213的位置。通过改变参照光镜213的位置可以改变参照光的初期光程lm0。镜驱动部223通过控制信号处理部220输出的控制信号而被控制。镜驱动部223通过使参照光镜213的位置移动,使初期光程差|ld0‑lm0|发生变化。 <BR>例如也可以按照在控制信号处理部220等预先设定的温度条件表,将参照光镜213驱动至与现在的光盘装置30内的温度或现在的波长可变激光器209的温度相对应的位置。此时,光盘介质201即可以装填到光盘装置30内也可以不装填到光盘装置30内。 <BR>另外,在将光盘介质201装填到光盘装置30内时,一边由镜驱动部223改变参照光镜213的位置,一边将激光照射到光盘介质201。然后,控制信号处理部220可以利用由干涉光检测部215检测出的干涉光检测信号或由干涉光检测部215内的全部或部分检测器检测出的信号,进行控制使参照光镜213移动到干涉光检测信号的S/N几乎达到最大的位置。 <BR>此时,光盘介质201可以处于旋转状态也可以处于停止状态。另外,照射光盘介质201的激光的照射位置并不仅限于此,也可以让激光照射到作为镜调整的基准的特定的区域或记录信息不会被破坏的特定的区域。另外,上述参照光镜213的位置控制也可以在从光盘介质201再生信息的一系列动作的部分或全部、以及向光盘介质201记录信息的一系列动作的部分或全部中进行。这里所说的一系列动作是在信息的记录或再生的前后所进行的动作,包括对光盘介质201照射激光判别光盘介质201的类别等动作、使激光聚光到光盘介质201的信息记录层进行聚焦的聚焦动作、跟踪光盘介质201的信息记录层所具有的信息记录轨道的跟踪动作、以及访问光盘介质201的信息记录层的指定的信息记录区域的寻址动作等。 <BR>这样,就可以配置参照光镜213,以便对应由同一规格不同种类的光盘介质彼此替换(例如,将蓝光光盘A替换为蓝光光盘B)或不同规格的光盘介质彼此替换(例如,将蓝光光盘替换为DVD)等引起的信号光的初期光程ld0的变化,或由于替换为不同的激光器或装置内的温度变化导致的中心振荡波长λ0的变化等,始终满足式(6)。 <BR>另外,在本实施例中,光盘装置30相当于调制信号检测装置的一个例子,镜驱动部223相当于参照光镜驱动部的一个例子。 <BR>另外,由于第2实施例的光盘装置30的动作与第1实施例的光盘装置20的动作相同,因此省略其说明。 <BR>(第3实施例) <BR>图13是本发明第3实施例的光盘装置的结构的示意图。 <BR>在图13中,对与图4和图8相同的构成要素采用相同的符号,并省略其说明。 <BR>图13中,光盘装置50利用从记录信息的光盘介质201生成的时钟信号,从光盘介质201再生数据,或向光盘介质201记录数据。光盘装置50包括光盘旋转马达202、光学头驱动部204、伺服电路205、光学头部206以及信号处理部501。 <BR>图13中,信号处理部501具有变动成分检测部217、再生信号处理部219、控制信号处理部220以及波长控制信号生成部518。 <BR>图13中,波长控制信号生成部518根据从控制信号处理部220输出的用于聚焦控制或跟踪控制的伺服误差信号、和从干涉光检测部215检测出的干涉光检测信号分离出的相位误差信息,生成振荡波长控制信号。从变动成分检测部217输出的相位误差信息根据干涉光检测部215的干涉光检测信号而生成。因此,光相位的检测范围变为光的波长的约1/2左右,检测的动态范围变窄。其结果,存在光路变动较大时控制变得不稳定的问题。 <BR>在本第3实施例中,将来自控制信号处理部220的用来控制物镜207动作的物镜207的位置信息用于波长可变激光器的波长控制是其特征所在。伺服误差信号包含用于光盘介质201的聚焦控制的聚焦误差信号,聚焦误差信号与物镜207的驱动距离相对应。物镜207的驱动距离相当于光盘介质201的面抖动变动。因此,根据聚焦误差信号可以计算信号光的光路变动,从而可以生成更稳定的波长可变激光器209的振荡波长控制信号。 <BR>控制信号处理部220根据干涉光检测信号生成对应于物镜207的聚焦位置的伺服误差信号。波长控制信号生成部518基于由控制信号处理部220生成的伺服误差信号(聚焦误差信号)生成振荡波长控制信号。 <BR>另外,在本实施例中,光盘装置50相当于调制信号检测装置的一个例子,物镜207相当于物镜的一个例子,控制信号处理部220相当于伺服误差信号生成部的一个例子,波长控制信号生成部518相当于波长控制信号生成部的一个例子。 <BR>另外,由于第3实施例的光盘装置50的动作与第1实施例的光盘装置20的动作相同,因此省略其说明。 <BR>(第4实施例) <BR>图14是本发明第4实施例的光通信装置的结构的示意图。 <BR>在图14中,光通信装置60通过基于应传输的数据(传输信号)调制光的强度或相位,来传输数据。光通信装置60包括波长可变激光器601、光分歧部602、反射镜603,605、参照光镜604、信号光调制部606、干涉部607、干涉光检测部608以及信号处理部609。 <BR>波长可变激光器601射出激光。若设中心振荡波长为λ0,能够进行任意强度以上的振荡的振荡波长可变范围为Δλ,则波长可变激光器601根据振荡波长控制信号,可使振荡波长在λ0±(Δλ/2)的范围变化。 <BR>光分歧部602及干涉部607都由偏振光分束器构成。当光射入偏振光分束器的分离面时,水平偏振光几乎100%透过,垂直偏振光几乎100%被反射。光分歧部602将从波长可变激光器601射出的激光分歧成垂直偏振光的信号光和水平偏振光的参照光。另外,被分歧的信号光通过位于光路上的反射镜603及信号光调制部606被反射及透过到达干涉部607。被分歧的参照光通过位于光路上的参照光镜604及反射镜605被反射到达干涉部607。干涉部607由反射的方向及透过的方向与光分歧部602相反的偏振光分束器构成。这样,干涉部607使垂直偏振光的信号光几乎100%透过,水平偏振光的参照光几乎100%被反射,输出信号光和参照光干涉的干涉光。 <BR>在此,通过将波长可变激光器601预先旋转来配置,射入光分歧部602的激光的偏振面能够改变信号光和参照光的强度比。 <BR>信号光调制部606被配置于信号光的光路上,根据应传输的数据改变光学特性。信号光调制部606根据传输信号,改变(调制)信号光的强度或相位。例如,当进行相位调制时,信号光调制部606使用根据施加的电信号(传输信号)的强度可以改变折射率的元件。在进行强度调制时,使用根据施加的电信号(传输信号)的强度可以改变透过率的元件。 <BR>参照光镜604使从激光分歧的参照光几乎100%被反射,并将参照光向反射镜605的方向引导。 <BR>在此,对参照光镜604的配置进行说明。设将信号光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程为ld0,参照光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程为lm0。即,初期光程ld0及初期光程lm0,都是用真空中的折射率n(n=1)换算后的光程。此时,初期光程差用|ld0‑lm0|来表示。根据波长可变激光器601的中心振荡波长λ0,波长可变激光器601的振荡波长可变范围Δλ,以及由于传输信号中含有的杂讯成分或装置的温度变化导致的信号光调制部606的折射率的变化等引起的、用真空的折射率n(n‑‑1)换算后的信号光和参照光的光程差的变动幅度Δl的关系,来配置参照光镜213,使得初期光程lm0满足上式(6)。此时,初期光程ld0用光程的变动的中心值来计算。也就是说,将信号光的光路长度用真空中的折射率n(n=1)换算后的光程在ld0±(Δl/2)的范围变化。 <BR>干涉光检测部608检测根据传输信号被调制的信号光和参照光相互干涉的干涉光,将检测出的干涉光转换为电信号,并将电信号作为干涉光检测信号输出。干涉光检测部608例如与图7所示的干涉光检测部215结构相同。图7的说明与第1实施例相同。 <BR>信号处理部609具有变动成分检测部610、波长控制信号生成部611以及再生信号处理部612。 <BR>变动成分检测部610从干涉光检测部608输出的干涉光检测信号中检测由于热或杂讯等外部干扰产生的光路变动所引起的变动成分,生成并输出表示检测出的变动成分的变动成分信号。在此,当信号光调制部606的信号调制是相位调制时,变动成分中也会包含信号成分。例如,将作为变动成分的因素之一的装置的温度变化导致的光路变动杂讯用真空中的折射率换算后的真空换算光路变动杂讯,与再生信号的频率带域相比,具有与温度的时间变化同等的低频率。于是,变动成分检测部610通过利用LPF(低通滤波器)能够只提取基于温度变化的变动成分。 <BR>另外,当信号光调制部606的信号调制是强度调制时,变动成分检测部610可以在波长可变激光器601的波长可变响应速度能够对应的全部的频率带域,生成表示变动杂讯成份的变动成分信号。 <BR>波长控制信号生成部611根据变动成分检测部610输出的变动成分信号,生成用于控制波长可变激光器601的振荡波长的振荡波长控制信号。 <BR>再生信号处理部612从干涉光检测部608输出的干涉光检测信号中除去变动成分,生成并输出再生信号。例如,针对将作为变动成分的因素之一的装置的温度变化导致的光路变动的杂讯用真空中的折射率换算后的真空换算光路变动杂讯,再生信号处理部612通过利用HPF(高通滤波器)抑制变动成分,可以提取S/N较好的再生信号。 <BR>根据此结构,由于信号光与参照光的初期光程差满足上述的式(6),在波长可变激光器601的振荡波长可变范围内控制振荡波长,因此可以消除调制信号以外的变动杂讯成份。 <BR>另外,在本实施例中,光通信装置60相当于调制信号检测装置的一个例子,波长可变激光器601相当于波长可变激光的一个例子,光分歧部602相当于光分歧器的一个例子,参照光镜604相当于参照光镜的一个例子,信号光调制部606相当于光调制元件的一个例子,干涉部607相当于干涉部的一个例子,干涉光检测部608相当于干涉光检测部的一个例子,变动成分检测部610及波长控制信号生成部611相当于波长控制信号生成部的一个例子,再生信号处理部612相当于再生信号处理部的一个例子。 <BR>另外,在本实施例中,调整参照光镜604在光轴方向的位置,使参照光的初期光程lm0满足式(6),但本发明并不仅限于此。也可以只改变信号光的初期光程ld0,或者改变参照光的初期光程lm0和信号光的初期光程ld0双方以满足式(6)。例如,可以通过在信号光的光路上配置迂回路或折射率高的元件,增大用真空的折射率换算后的光程,使信号光的初期光程ld0满足式(6)。 <BR>另外,在本实施例中,通过将波长可变激光器601在与光轴垂直的面内预先旋转地配置,射入光分歧部602的激光的偏振面可以改变信号光与参照光的强度比,但本发明并不仅限于此。例如,也可以在波长可变激光器601和光分歧部602之间插入λ/2板。通过让λ/2板旋转,使激光的偏振面旋转,可以改变信号光与参照光的强度比。 <BR>另外,在本实施例中,说明过干涉光检测部608的结构与图7所示的干涉光检测部215结构相同,但并不仅限于此。干涉光检测部608例如也可以是图9所示的结构。 <BR>另外,在本实施例中,为了除去将频率带域比信号成分的频率带域低的温度变化导致的光路变动成分用真空中的折射率换算后的真空换算光路变动成分,变动成分检测部610及再生信号处理部612利用了LPF或HPF,但本发明并不仅限于此。变动成分检测部610及再生信号处理部612也可以通过对干涉光检测信号进行傅立叶变换,将时间领域信号变换为频率领域信号,在频率领域将带域分开,从而除去不要的成分。 <BR>另外,在本实施例中,作为外部干扰的变动因素的一例,对温度变化导致的光路变动成分用真空中的折射率换算后的真空换算光路变动成分这样的比信号成分低的频率带域的光路变动因素进行了说明,但变动成分检测部610及再生信号处理部612也可以除去比信号成分高的频率成分的变动因素。在此情况下,变动成分检测部610可以利用截除比信号带域高的频率的HPF,除去不需要的成分。另外,再生信号处理部612也可以利用截除比信号带域高的频率的LPF,除去不需要的成分。 <BR>另外,在本实施例中,变动成分检测部610利用LPF检测变动杂讯成分,再生信号处理部612利用HPF除去比调制信号带域低的频率,但本发明并不仅限于此。变动成分检测部610也可以用BEF(band‑elimination&nbsp;filter,带阻滤波器)代替LPF检测变动杂讯成份,再生信号处理部612也可以用BPF(band‑pass&nbsp;filter,带通滤波器)代替HPF除去信号带域以外的变动杂讯成份。 <BR>另外,在本实施例中,光分歧部602及干涉部607是由偏振光分束器构成,但本发明并不仅限于此。 <BR>例如,光分歧部602及干涉部607都可以是反射率和透过率的比为1比1的分束器。在这种情况下,射入半分束器的分离面的光被分歧成强度为1比1的信号光和参照光。另外,被分歧的信号光被位于光路上的反射镜603反射,并透过在光路上的信号光调制部606,到达干涉部607。被分歧的参照光被位于光路上的参照光镜604反射,并被位于光路上的反射镜605反射,到达干涉部607。干涉部607输出信号光与参照光干涉的干涉光。 <BR>另外,在本实施例中,也可以采用信号处理部609被集成在一个LSI上的结构。 <BR>另外,在本实施例中,信号处理部609的功能也可以通过计算机可执行的程序及计算机来实现。例如,信号处理部609的程序可用图11所示的流程图表示。 <BR>(第5实施例) <BR>图15是本发明第5实施例的光通信装置的结构的示意图。 <BR>在图15中,对与图14相同的构成要素采用相同的符号,并省略其说明。 <BR>图15中,光通信装置70通过基于应传输的数据(传输信号)来调制光的强度或相位,传输数据。光通信装置70包括波长可变激光器601、光分歧部602、反射镜603,605、参照光镜604、信号光调制部606、干涉部607、干涉光检测部608、反射镜驱动部613和信号处理部701。 <BR>信号处理部701具有变动成分检测部610、波长控制信号生成部611、再生信号处理部612及控制信号处理部614。 <BR>控制信号处理部614根据从干涉光检测部608获得的干涉光检测信号,生成镜驱动信号,并向镜驱动部613输出。镜驱动部613通过从控制信号处理部614输出的驱动信号被控制。 <BR>在图15中,镜驱动部613改变参照光镜604的位置。通过改变参照光镜604的位置可以改变参照光的初期光程lm0。这样,对应于信号光的初期光程ld0的变化,或由于不同的激光器的替换或装置内的温度变化导致的中心振荡波长λ0的变化等,可以配置参照光镜604以便始终满足式(6)。 <BR>另外,在本实施例中,光通信装置70相当于调制信号检测装置的一例,镜驱动部613相当于参照光镜驱动部的一例。 <BR>另外,第5实施例的光通信装置70的动作与第4实施例的光通信装置60的动作相同,因此省略其说明。而且,关于使参照光镜604移动的処理,由于与第2实施例的使参照光镜213移动的处理相同,因此省略其说明。 <BR>(第6实施例) <BR>图16是本发明第6实施例的物体形状测量装置的结构的示意图。 <BR>在图16中,物体形状测量装置80通过对形状测量对象物体801照射激光,检测来自形状测量对象物体801的反射光,测量形状测量对象物体801的形状。物体形状测量装置80包括载物台802、载物台旋转马达803、光学头驱动部804、伺服电路805、光学头部806、信号处理部816。 <BR>形状测量对象物体801是配置在信号光的光路上的具有指定的表面形状的物体。载物台旋转马达803使搭载形状测量对象物体801的载物台802以指定的转速旋转。 <BR>光学头部806包括波长可变激光器809、偏振光分束器810、λ/4板811,812、参照光镜813、物镜807、透镜驱动部808、干涉光检测部815、λ/2板823、镜驱动部824。光学头806将光束照射到形状测量对象物体801,检测由形状测量对象物体801反射的信号光和参照光相互干涉的干涉光,输出电信号。 <BR>波长可变激光器809射出激光。若设中心振荡波长为λ0,能够进行任意强度以上的振荡的振荡波长可变范围为Δλ,则波长可变激光器809可根据振荡波长控制信号,使振荡波长在λ0±(Δλ/2)的范围变化。 <BR>偏振光分束器810让射入分离面的水平偏振光几乎100%透过,使垂直偏振光几乎100%被反射。偏振光分束器810将从波长可变激光器809射出的激光分歧成垂直偏振光的信号光和水平偏振光的参照光。另外,被分歧的信号光和参照光两次通过位于各自的光路上的λ/4板811,812,其偏振方向旋转90度,并返回偏振光分束器810。在此,由于信号光及参照光的偏振方向各自旋转了90度,因此,偏振光分束器810与分歧时相反,让变成水平偏振的信号光几乎100%透过,使变成垂直偏振的参照光几乎100%被反射。据此,来自偏振光分束器810的光成为偏振面相互正交的信号光和参照光的干涉光。 <BR>在此,通过将波长可变激光器809预先旋转来配置,射入偏振光分束器810的激光的偏振面能够改变信号光和参照光的强度比。 <BR>物镜807使信号光聚光到形状测量对象物体801,并将形状测量对象物体801反射的信号光变成平行光。成为平行光的信号光返回去路的信号光的光路。另外,物镜807通过透镜驱动部808在聚焦方向上被驱动。 <BR>λ/4板811,812通过透过将直线偏振光变换成圆偏振光,将圆偏振光变换成直线偏振光。直线偏振光通过两次透过λ/4板811,812,成为偏振面旋转了90度的直线偏振光。例如,垂直偏振光被变换成水平偏振光,水平偏振光被变换成垂直偏振光。 <BR>参照光镜813被配置在参照光的光路上,使从激光分歧的参照光几乎100%被反射。被参照光镜813反射的参照光返回与去路同样的光路。 <BR>在此,对参照光镜813的配置进行说明。若设信号光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程为ld0,参照光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程为lm0,则初期光程差用|ld0‑lm0|来表示。根据波长可变激光器809的中心振荡波长λ0、波长可变激光器809的振荡波长可变范围Δλ、以及除形状测量对象物体801的凸凹以外,还由于旋转振动导致的载物台802的面抖动变动或者光学头部806的振动而引起的用真空中的折射率换算后的信号光与参照光的光程差的变动幅度Δl之间的关系,配置参照光镜813使初期光程lm0满足上述的式(6)。此时,初期光程ld0用由于旋转振动导致的载物台802的面抖动变动或光学头部806的振动而引起的光程的变动的中心值来计算。也就是说,将信号光的光程用真空中的折射率n(n=1)换算后的光程在ld0±(Δl/2)的范围变化。 <BR>干涉光检测部815检测从形状测量对象物801反射来的信号光和参照光相互干涉的干涉光,将检测出的干涉光转换为电信号,并将电信号作为干涉光检测信号输出。干涉光检测部815例如与图7所示的干涉光检测部215结构相同。图7的说明与第1实施例相同。 <BR>镜驱动部824改变参照光镜813的位置。通过改变参照光镜813的位置可以改变参照光的初期光程lm0。这样,对应于由不同形状的形状测量对象物体801的更换产生的信号光的初期光程ld0或光程差的变动幅度Δl的变化,或由于不同的激光器的更换或装置内的温度变化导致的中心振荡波长λ0的变化等,可以配置参照光镜813,以便始终满足式(6)。 <BR>伺服电路805利用伺服误差信号控制透镜驱动部808,使物镜807的光束聚光状态成为最合适。另外,伺服电路805还控制光学头驱动部804,使照射光束的位置移动到从载物台802中心的最合适的半径位置。另外,伺服电路805还将载物台旋转马达803的转数控制在最合适。 <BR>信号处理部816具有变动成分检测部817、波长控制信号生成部818、再生信号处理部819以及控制信号处理部820。 <BR>变动成分检测部817从干涉光检测部815输出的干涉光检测信号中检测由载物台802或光学头部806的振动导致的光路变动产生的变动成分,生成并输出表示检测出的变动成分的变动成分信号。在此,例如,作为变动成分的因素之一的载物台802的面抖动的杂讯具有与载物台802的回转的带域同等的频率。于是,变动成分检测部817通过使用BPF(带通滤波器),可以只提取由于载物台802的面抖动导致的变动成分。另外,采用BPF的截断频率根据形状测量对象物体801的形状、或载物台旋转马达803的旋转速度等可以改变的结构。 <BR>波长控制信号生成部818基于变动成分检测部817输出的变动成分信号,生成控制波长可变激光器809的振荡波长的振荡波长控制信号。 <BR>再生信号处理部819从干涉光检测部815输出的干涉光检测信号中除去变动成分,生成并输出再生信号。例如,针对作为变动成分的因素之一的载物台802的面抖动导致的杂讯,再生信号处理部819通过利用BEF(带阻滤波器)抑制变动成分,可以提取S/N较好的再生信号。 <BR>控制信号处理部820基于干涉光检测部815输出的干涉光检测信号,生成伺服误差信号,并向伺服电路805输出伺服误差信号。 <BR>根据此结构,由于信号光与参照光的初期光程差满足上述的式(6),在波长可变激光器809的振荡波长可变范围内控制振荡波长,因此可以消除与让参照光镜动作同等的光路变动成分。 <BR>另外,在本实施例中,物体形状测量装置80相当于调制信号检测装置的一个例子,波长可变激光器809相当于波长可变激光器的一个例子,偏振光分束器810相当于光分歧器的一个例子,参照光镜813相当于参照光镜的一个例子,偏振光分束器810相当于干涉部的一个例子,干涉光检测部815相当于干涉光检测部的一个例子,变动成分检测部817及波长控制信号生成部818相当于波长控制信号生成部的一个例子,再生信号处理部819相当于再生信号处理部的一个例子。 <BR>另外,在本实施例中,是调整参照光镜813在光轴方向的位置,使参照光的初期光程lm0满足式(6),但本发明并不仅限于此。也可以只改变信号光的初期光程ld0,或者改变参照光的初期光程lm0和参照光的初期光程ld0双方以满足式(6)。例如,可以通过改变形状测量对象物体801或载物台802的配置位置,使信号光的初期光程ld0满足式(6)。另外,也可以在信号光的光路上配置迂回路或折射率高的元件,通过增长用真空的折射率换算后的光程,使信号光的初期光程ld0满足式(6)。 <BR>另外,在本实施例中,通过在与光轴垂直的面内预先旋转地配置波长可变激光器809,射入偏振光分束器810的激光的偏振面可以改变信号光与参照光的强度比,但本发明并不仅限于此。例如,也可以在波长可变激光器809和偏振光分束器810之间插入λ/2板823。通过旋转λ/2板823,使激光的偏振面旋转,可以改变信号光与参照光的强度比。 <BR>另外,本实施例中,说明了干涉光检测部815的结构是与图7所示的干涉光检测部215的结构相同,但并不仅限于此。干涉光检测部815例如也可以是图9所示的结构。 <BR>另外,本实施例中,为了除去信号成分的频率带域以外的变动杂讯成分,变动成分检测部817及再生信号处理部819使用了BPF或BEF,但本发明并不仅限于此。变动成分检测部817及再生信号处理部819也可以通过对干涉光检测信号进行傅立叶变换,将时间领域信号变换为频率领域信号,在频率领域将带域分开,从而除去不需要的成分。 <BR>另外,本实施例中,信号处理部816被配置在光学头部806之外,但也可以采用光学头部806包含信号处理部816的结构。 <BR>另外,本实施例中,也可以采用信号处理部816被集成在一个LSI上的结构。 <BR>另外,本实施例中,信号处理部816的功能也可以通过计算机可执行的程序及计算机来实现。例如,信号处理部816的程序可用图11所示的流程图表示。 <BR>(第7实施例) <BR>本发明的第7实施例,对第1实施例的光盘装置的光学头部206内的各部的配置作了进一步地改良。 <BR>首先,为了使本实施例更容易理解,利用图17、图18以及图19,对激光谐振器长度、由激光器与光盘介质或反射镜形成的外部谐振器以及返回光进行说明。 <BR>图17是表示从搭载在光学头部的激光器输出的激光的光谱强度的一个例子的示意图。图18是模式地表示作为激光振荡的一个例子,激光谐振器内的多纵模(multi‑longitudinalmode)的激光振荡的状态的示意图。作为引起这样的多纵模激光振荡的激光器170,例如有法布里珀罗型激光器(Fabry‑Perot&nbsp;Laser)。作为一例示出在激光器170内,在如图17所示的用从波长λ1至波长λ5与激光谐振器内可能存在的驻波相对应的5个波长引起激光振荡的情况。在激光器170中能够振荡的波长,是与真空中内部谐振器长Lld除以整数所得的值相等的波长,且仅限于激光器170的激光介质能发光的波长,其中,真空中内部谐振器长Lld基于内部谐振器的折射率nld和内部谐振器长lld,按照下式(10)求出并用真空中的折射率为1换算所得。 <BR>Lld=nldlld&nbsp;&nbsp;……(10) <BR>图19是用于说明外部谐振器的图。图19模式地示出激光器170的前端面或后端面与光盘介质或光学元件(例如,反射镜)之类的反射部180之间的关系。 <BR>在图19中,将激光器170的前端面作为激光射出的射出端面。将从激光器170的射出端面至反射部180的距离与激光的光路上的折射率相乘所得的值作为真空中外部谐振器长Lout。真空中外部谐振器长Lout是指,当外部谐振器具有折射率时,用真空中的折射率为1换算后的外部谐振器的光程。在真空中外部谐振器长Lout满足某特定的条件时,即使在激光器170的射出端面与反射部180之间,从激光器170射出的激光也可能作为驻波存在。在外部谐振器也存在驻波时,由激光器170的内部谐振器和外部谐振器会形成意想不到的激光谐振器。据此,该意想不到的激光谐振器的激光振荡成了杂讯。 <BR>尤其是在光盘装置中,反射部180(例如,作为光盘介质内的反射面的信息记录层)不可能总是处在固定的位置。因此,意想不到的外部谐振器引起的多个波长重叠而形成的驻波的幅度较大时,返回光量的变化也增大,导致激光振荡杂讯增大。 <BR>接下来,对返回光杂讯增大的真空中外部谐振器长Lout的条件用具体例子进行说明。当真空中外部谐振器长Lout满足下式(11)时(反射部180在图19的位置1801时),图18和图19所示的从波长λ1到波长λ5的全部的波长,在外部谐振器内也可能作为驻波存在。 <BR>Lout=jLld(j:正整数)……(11) <BR>图19所示的驻波190表示将满足上式(11)时的从波长λ1至波长λ5的全部的波长合成后的驻波。也就是说,表示当真空中外部谐振器长Lout为真空中内部谐振器长Lld的正整数倍时,从激光器170射出的激光中所包含的所有的波长的光,在外部谐振器也可能作为驻波存在。 <BR>另外,当真空中外部谐振器长Lout和真空中内部谐振器长Lld满足下式(12)时(反射部180在图19的位置1802时),图18和图19所示的波长λ1、波长λ3及波长λ5,在外部谐振器也可能作为驻波存在。 <BR><MATHS num="0005"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>out</MI> </MSUB><MO>=</MO> <MFRAC><MROW><MN>2</MN> <MI>k</MI> <MO>-</MO> <MN>1</MN> </MROW><MN>2</MN> </MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(k:正整数)……(12) <BR>图19所示的驻波191表示将满足上式(12)时的波长λ1、波长λ3及波长λ5合成后的驻波。也就是说,表示当真空中外部谐振器长Lout从真空中内部谐振器长Lld的正整数倍的距离起缩短真空中内部谐振器长Lld一半的距离时,在激光器170内被激光振荡的波长中,波的数为偶数的波长的光,在外部谐振器也可能作为驻波存在。 <BR>也就是说,为了避免满足上式(11)的驻波的发生和满足上式(12)的驻波的发生,必须避免使真空中外部谐振器长Lout成为真空中内部谐振器长Lld的1/2的值的整数倍的长度。并且,也存在波的数目为3的倍数的驻波,或波的数为4的倍数的驻波,很明显同样的现象会发生。 <BR>因此,为了完全避免正整数m的倍数的波的数目的驻波,针对每个m,都必须避免使真空中外部谐振器长Lout成为真空中内部谐振器长Lld的1/m的值的整数倍的长度。但是,通过比较图19的驻波190和驻波191可知,显然可能存在的驻波的波长的数目越少影响就越小。 <BR>另外,内部谐振器长lld可以比较简单地测量,但测量内部谐振器的折射率是非常困难的。因此,可以通过测量真空中内部谐振器长Lld求出。例如,通过利用激光器170和反射镜可以测量相当于真空内部谐振器长Lld的长度。首先,配置激光器170和反射镜,让在激光器170振荡的激光被反射镜反射而返回激光器170。若这样配置激光器170和反射镜,激光器170的射出端面和反射镜成为外部谐振器。 <BR>在此,如果通过让反射镜的位置变化来改变外部谐振器长,则会出现几个返回光杂讯增大的点。作为返回光杂讯测量的一个例子,在激光器170和反射镜之间,可以配置诸如半反射镜那样的将激光分歧的光学元件,测量被分歧的光的强度杂讯。返回光杂讯增大的外部谐振器长与表示像Lld、2Lld及3Lld那样的真空中内部谐振器长Lld的正整数倍的距离一致。因此,很明显,测量返回光杂讯增大的2点之间的最小距离就等于测量真空中内部谐振器长Lld。 <BR>另外,在此为了说明,以5个波长被激光振荡的激光作为例子进行了说明,但本发明并不仅限于此。在利用了振荡波长未满5个或5个以上的多纵模振荡的激光的拾光器和光盘装置中,也能获得同样的效果。 <BR>其次,对本实施例的光盘装置在以下作具体的说明。图20是本发明第7实施例的光盘装置内的光学头部的结构的示意图。在图20中,对与图4相同的构成要素采用相同的符号,并省略其说明。 <BR>光盘装置90包括光盘旋转马达202(未图示)、光学头驱动部204、伺服电路205(未图示)、光学头部206以及信号处理部216(未图示)。另外,在图20中,省略了光盘旋转马达202、伺服电路205及信号处理部216。 <BR>波长可变激光器209具有内部谐振器。若设波长可变激光器209的内部谐振器长为lld、折射率为nld,则真空中的折射率为1时的真空中内部谐振器长Lld可通过上述的式(10)求得。另外,设从波长可变激光器209的射出端面到偏振光分束器(PBS)210的分割面为止的、考虑了各光学元件的折射率、长度及真空中的距离的激光的光程用真空中的折射率n(n=1)换算后的真空中换算光程为LBS。同样,设从PBS210的分割面到光盘介质201的信息记录层160为止的用真空中的折射率换算后的信号光的真空中换算光程为Lsig,设从PBS210的分割面到参照光镜213为止的、考虑了各光学元件的折射率、长度及真空中的距离的用真空中的折射率换算后的参照光的真空中换算光程为Lref。但是,在当光盘介质201旋转时,信号光的光程受信息记录层160的面抖动引起的变动的影响大的情况下,设从PBS210的分割面到信息记录层160的面抖动范围的中心为止的光程为用真空中的折射率换算的值。 <BR>在此,图17的信号光的真空中换算光程Lsig及参照光的真空中换算光程Lref,与信号光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程ld0及参照光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初期光程lm0满足以下关系。 <BR><MATHS num="0006"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>sig</MI> </MSUB><MO>&amp;ap;</MO> <MFRAC><MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>,</MO> </MROW>]]&gt;</MATH></MATHS><MATHS num="0007"><MATH><![CDATA[ <mrow> <MSUB><MI>L</MI> <MI>ref</MI> </MSUB><MO>&amp;ap;</MO> <MFRAC><MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>为了减少返回光引起的杂讯,信号光和参照光的上述真空中换算距离都必须为不会产生很多驻波的距离。对于信号光的返回光,为了使波长可变激光器209的射出端面与光盘介质201的信息记录层160不至于成为存在很多驻波的外部谐振器,配置光学头部206内的各光学元件(波长可变激光器209、偏振光分束器210以及参照光镜213),以满足下式(13)。 <BR><MATHS num="0008"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>sig</MI> </MSUB><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;ap;</MO> <MFRAC><MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MSUB><MI>sL</MI> <MI>ld</MI> </MSUB></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(s:正整数)……(13) <BR>对于参照光的返回光,为了使波长可变激光器209的射出端面与参照光镜213不至于成为存在很多驻波的外部谐振器,配置光学头部206内的各光学元件(波长可变激光器209、偏振光分束器210以及参照光镜213),以满足下式(14)。 <BR><MATHS num="0009"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>ref</MI> </MSUB><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;ap;</MO> <MFRAC><MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MSUB><MI>tL</MI> <MI>ld</MI> </MSUB></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(t:正整数)……(14) <BR>另外,为了让被分割的信号光与参照光干涉,配置光学头部206内各光学元件(波长可变激光器209、偏振光分束器210及参照光镜213),以使信号光的真空中换算光程Lsig与参照光的真空中换算光程Lref的差满足下式(15)。 <BR><MATHS num="0010"><MATH><![CDATA[ <mfenced open='' close=''><MTABLE><MTR><MTD><MSUB><MI>uL</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MO>-</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MO>|</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>sig</MI> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>ref</MI> </MSUB><MO>|</MO> <MO>≤</MO> <MSUB><MI>uL</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MO>+</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC></MTD></MTR><MTR><MTD><MROW><MO>(</MO> <MSUB><MI>uL</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MO>-</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MFRAC><MROW><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> </MROW><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MSUB><MI>uL</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MO>+</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>)</MO> </MROW></MTD></MTR></MTABLE></MFENCED>]]&gt;</MATH></MATHS>(u:正整数)……(15) <BR>在此,Lcoh表示从波长可变激光器209输出的激光的可干涉距离。可干涉距离Lcoh利用激光的振荡波长频谱的半值全幅Δv和光速c以下式(16)表示。 <BR><MATHS num="0011"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MO>=</MO> <MFRAC><MI>c</MI> <MI>Δv</MI> </MFRAC><MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>16</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>通过以满足上式(13)、式(14)及式(15)的方式配置光学头部206内的各光学元件(波长可变激光器209、偏振光分束器210及参照光镜213),可以降低由信号光和参照光的返回光引起的杂讯,并且,可以让参照光和信号光干涉的干涉光射入干涉检测部215。 <BR>根据此结构,由于信号光与参照光的初期光程差满足上述的式(6),在波长可变激光器209的振荡波长可变范围内控制振荡波长,因此可以消除光路变动成分。而且,既能通过降低由信号光与参照光的返回光引起的外部共振来抑制返回光杂讯,又能通过让信号光与参照光干涉来用参照光增幅微弱的信号光。因此,与以往的光盘装置相比,即使对于更高密度化及更多层化的大容量的光盘介质,也可以实现再生信号S/N高的光盘装置。 <BR>另外,将上式(13)、式(14)及式(15)进一步一般化,可用下述的式(17)、式(18)及式(19)来表示。 <BR><MATHS num="0012"><MATH><![CDATA[ <mrow><MFRAC><MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MI>S</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(s:正整数,m:正整数)……(17) <BR><MATHS num="0013"><MATH><![CDATA[ <mrow><MFRAC><MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MI>t</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(t:正整数)……(18) <BR><MATHS num="0014"><MATH><![CDATA[ <mrow><MI>u</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC><MO>-</MO> <MFRAC><MI>ΔL</MI> <MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MFRAC><MROW><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> </MROW><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MI>u</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC><MO>+</MO> <MFRAC><MI>ΔL</MI> <MN>2</MN> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(u:整数)……(19) <BR>在上述的式(17)、式(18)及式(19)中,Lld表示将波长可变激光器209的内部谐振器长与波长可变激光器209的内部谐振器折射率相乘求得的波长可变激光器209的真空中内部谐振器长,LBS表示从波长可变激光器209的射出端面到偏振光分束器(光分歧器)210为止的从波长可变激光器209射出的激光的真空中换算光程,ΔL表示从波长可变激光器209射出的激光的干涉容许光程。 <BR>波长可变激光器209、偏振光分束器210及参照光镜213被配置在同时满足上述的式(17)~(19)的位置。 <BR>另外,在本实施例中,各光学元件被配置成使真空换算光程满足式(13)、式(14)及式(15),但通过控制各光学元件的位置使真空换算光程满足式(13)、式(14)及式(15)也能得到同样的效果。例如可以增设驱动参照光镜213的驱动机构来改变参照光镜213的位置。另外,参照光镜213的位置控制,也可以通过检测波长可变激光器209的振荡波长的变化或光盘介质201的面抖动等来进行。另外,参照光镜213的驱动机构也可以用与驱动物镜207的透镜驱动部208的驱动机构同样的驱动机构来改变位置。 <BR>另外,在本实施例的式(15)中,是用可干涉距离Lcoh来定义信号光的光程与参照光的光程的光程差的范围,但在S/N超过系统的容许范围时,也可以将各光学元件配置或控制成使光程差处于用小于可干涉距离Lcoh的值来定义的范围内。 <BR>另外,在本实施例的图20中,分割前的激光的光路、信号光的光路及参照光的光路都是通过各光学元件和空气而形成的,但本发明并不仅限于此。例如,分割前的激光的光路、信号光的光路及参照光的光路的一部分或全部也可以利用纳米光子(Nanophotonics)材料、光波导路或光纤等复合光学功能元件而形成。 <BR>另外,在本实施例中,用图20对光学头部206内的各光学元件的位置关系进行了说明,只要让真空中换算光程满足式(13)、式(14)及式(15)即可,但也可以让波长可变激光器209内振荡的驻波中,波的数为偶数的全部的波长在外部谐振器不同时成为驻波。具体而言,可以配置或控制光学头部206内的各光学元件(波长可变激光器209、偏振光分束器210及参照光镜213),使真空中换算光程满足下述的式(20)、式(21)和式(22)。 <BR><MATHS num="0015"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>Sig</MI> </MSUB><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;ap;</MO> <MFRAC><MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MSUP><MI>s</MI> <MO>′</MO> </MSUP><MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(s′:正整数)……(20) <BR><MATHS num="0016"><MATH><![CDATA[ <mrow><MSUB><MI>L</MI> <MI>ref</MI> </MSUB><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;ap;</MO> <MFRAC><MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MSUP><MI>t</MI> <MO>′</MO> </MSUP><MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(t′:正整数)……(21) <BR><MATHS num="0017"><MATH><![CDATA[ <mfenced open='' close=''><MTABLE><MTR><MTD><MSUP><MI>u</MI> <MO>′</MO> </MSUP><MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>-</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MO>|</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>sig</MI> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>ref</MI> </MSUB><MO>|</MO> <MO>≤</MO> <MSUP><MI>u</MI> <MO>′</MO> </MSUP><MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC></MTD></MTR><MTR><MTD><MROW><MO>(</MO> <MSUP><MI>u</MI> <MO>′</MO> </MSUP><MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>-</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MO>|</MO> <MFRAC><MROW><MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB></MROW><MN>2</MN> </MFRAC><MO>|</MO> <MO>≤</MO> <MSUP><MI>u</MI> <MO>′</MO> </MSUP><MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>coh</MI> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>)</MO> </MROW></MTD></MTR></MTABLE></MFENCED>]]&gt;</MATH></MATHS>(u′:整数)……(22) <BR>另外,在本实施例中,用图20对光学头部206内的各光学元件的位置关系进行了说明,只要让真空中换算光程满足式(13)、式(14)及式(15)即可,并不一定限定于光学元件的配置或控制。通过在分割前的激光的光路中、信号光的光路中以及参照光的光路中插入一个或多个折射率为1以上的光学元件,使真空中换算光程满足式(13)、式(14)及式(15)也能得到同样的效果。 <BR>另外,真空中内部谐振器长Lld对波长可变激光器209的输入电流值或环境温度有依赖性。因此,可以求出能够取得的真空中内部谐振器长Lld的全体的平均值(Lld(ave)),或在使用频率高的温度环境下且设定了使用频率高的输入电流值时的基准值(Lld0)等适当的一个真空中内部谐振器长度,并将其代入式(13)、式(14)及式(15)的真空中内部谐振器长Lld。 <BR>另外,光学头部还可以具有伴随波长可变激光器209的波长可变动作,驱动参照光镜213的镜位置的参照光镜驱动部。另外,参照光镜驱动部的结构可以采取与在第2实施例中说明的镜驱动部223相同的结构。 <BR>另外,当光盘介质201具有多层反射层(信息记录层)时,信号光的真空中换算光程Lsig为从偏振光分束器210到指定的一层反射层(例如,S/N最低的反射层等)为止的长度,但也可以为从偏振光分束器210到所有的反射层为止的长度的平均值。 <BR>如上所述的具体实施例主要包括具有以下结构的发明。 <BR>本发明的一个方面所涉及的调制信号检测装置是检测调制信号的调制信号检测装置,包括:射出激光、能够变更振荡波长的波长可变激光器;将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光的光分歧器;配置在所述参照光的光路上的参照光镜;使被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉的干涉部;检测由所述干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号的干涉光检测部;基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号的波长控制信号生成部;其中,当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为Δl,所述波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0‑lm0|满足下式(23)。 <BR><MATHS num="0018"><MATH><![CDATA[ <mrow><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> <MO>&gt;</MO> <MFRAC><MI>Δl</MI> <MI>Δλ</MI> </MFRAC><MSUB><MI>λ</MI> <MI>o</MI> </MSUB><MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>23</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>根据此结构,能够变更振荡波长的波长可变激光器射出激光。光分歧器将所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光。参照光镜被配置在所述参照光的光路上。干涉部使被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉。干涉光检测部检测所述干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号。波长控制信号生成部,基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号。在此,当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为Δl,所述波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0‑lm0|满足上述的式(23)。 <BR>因此,由于参照光和信号光的初期光程差满足上述式(23),在波长可变激光器的振荡波长可变范围内控制振荡波长,所以可以消除信号光和参照光的光程的变动成分,从而能够检测出较高S/N比的调制信号。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,上述波长控制信号生成部从所述干涉光检测信号检测调制信号带域以外的带域的变动成分,并基于检测出的所述变动成分,生成所述振荡波长控制信号。 <BR>根据此结构,由于来自干涉光检测信号的调制信号带域以外的带域的变动成分得以检测,振荡波长控制信号基于检测出的变动成分而生成,因此能够生成不需要的外部干扰引起的变动成分被消除的振荡波长控制信号。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,还包括:使所述信号光聚光的物镜;根据所述干涉光检测信号生成对应于所述物镜的聚焦位置的伺服误差信号的伺服误差信号生成部;其中,所述波长控制信号生成部基于所述伺服误差信号生成所述振荡波长控制信号。 <BR>根据此结构,物镜使信号光聚光。伺服误差信号生成部根据干涉光检测信号生成对应于物镜的聚焦位置的伺服误差信号。而且,波长控制信号生成部基于伺服误差信号生成振荡波长控制信号。 <BR>因此,根据对应于物镜的聚焦位置的伺服误差信号,能够计算信号光的光路变动成为,从而能够生成更稳定的波长可变激光器的振荡波长控制信号。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述信号光通过配置在所述信号光的光路上的记录有数据的光盘介质而被调制,所述调制信号检测装置还包括通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,再生记录于所述光盘介质中的所述数据的再生信号处理部。 <BR>根据此结构,信号光通过配置在信号光的光路上的记录有数据的光盘介质而被调制。再生信号处理部通过根据干涉光检测信号生成再生信号,再生记录于光盘介质中的数据。 <BR>由于再生信号根据干涉光检测信号而生成,该再生信号中包含由光盘介质的信息记录面调制的调制信号,因此能够再生记录于光盘介质中的数据。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述信号光通过配置在所述信号光的光路上的具有指定的表面形状的物体而被调制,所述调制信号检测装置还包括通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,测量所述物体的表面形状的再生信号处理部。 <BR>根据此结构,信号光通过配置在信号光的光路上的具有特定的表面形状的物体而被调制。再生信号处理部通过根据干涉光检测信号生成再生信号,测量物体的表面形状。 <BR>由于再生信号根据干涉光检测信号而生成,该再生信号中包含由物体的表面形状的凹凸形状而调制的调制信号,因此能够测量物体的表面形状。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,还包括:配置在所述信号光的光路上,其光学特性随应该传输的数据而变化的光调制元件;其中,所述干涉部使通过所述光调制元件而被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉,所述调制信号检测装置还包括通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,利用光传输所述数据的再生信号处理部。 <BR>根据此结构,配置在信号光的光路上的光调制元件的光学特性随应该传输的数据而变化。干涉部使通过光调制元件而被调制的信号光和被参照光镜反射的参照光相互干涉。再生信号处理部通过根据干涉光检测信号生成再生信号,利用光传输数据。 <BR>由于再生信号根据干涉光检测信号而生成,该再生信号中包含由应传输的数据而调制的调制信号,因此能够利用光传输数据。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述光学特性为折射率。根据此结构,通过基于应传输的数据改变元件的折射率,能够调制通过该元件的光。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述光学特性为透过率。根据此结构,通过基于应传输的数据改变元件的透过率,能够调制通过该元件的光。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,还包括:通过移动所述参照光镜的位置,使所述初期光程差|ld0‑lm0|变化的参照光镜驱动部。 <BR>根据此结构,参照光镜驱动部通过移动参照光镜的位置,使初期光程差|ld0‑lm0|变化。 <BR>由于通过改变参照光镜的位置能够改变参照光的初期光程lm0,因此能够根据信号光的初期光程ld0的变化,或者中心振荡波长为λ0的变化等配置参照光镜,以便始终满足上述的式(23)。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述波长可变激光器具有内部谐振器;当设所述波长可变激光器的内部谐振器的长度和所述波长可变激光器的内部谐振器的折射率的乘积所得到的所述波长可变激光器在真空中的内部谐振器长度为Lld,从所述波长可变激光器的射出端面到所述光分歧器为止的从所述波长可变激光器射出的激光在真空中的换算光程为LBS,从所述波长可变激光器射出的激光的干涉允许光程为ΔL时,所述波长可变激光器、所述光分歧器及所述参照光镜被配置在同时满足下式(24)至(26)的位置。 <BR><MATHS num="0019"><MATH><![CDATA[ <mrow><MFRAC><MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MI>S</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(s:正整数,m:正整数)……(24) <BR><MATHS num="0020"><MATH><![CDATA[ <mrow><MFRAC><MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MN>2</MN> </MFRAC><MO>+</MO> <MSUB><MI>L</MI> <MI>BS</MI> </MSUB><MO>&amp;NotEqual;</MO> <MI>t</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(t:正整数)……(25) <BR><MATHS num="0021"><MATH><![CDATA[ <mrow><MI>u</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC><MO>-</MO> <MFRAC><MI>ΔL</MI> <MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MFRAC><MROW><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> </MROW><MN>2</MN> </MFRAC><MO>≤</MO> <MI>u</MI> <MFRAC><MSUB><MI>L</MI> <MI>ld</MI> </MSUB><MI>m</MI> </MFRAC><MO>+</MO> <MFRAC><MI>ΔL</MI> <MN>2</MN> </MFRAC></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS>(u:整数)……(26) <BR>根据此结构,波长可变激光器具有内部谐振器。当波长可变激光器的内部谐振器的长度和波长可变激光器的内部谐振器的折射率的乘积所得到的波长可变激光器在真空中的内部谐振器长度为Lld,从波长可变激光器的射出端面到光分歧器为止的从波长可变激光器射出的激光在真空中的换算光程为LBS,从波长可变激光器射出的激光的干涉允许光程为ΔL时,波长可变激光器、光分歧器及参照光镜被配置在同时满足上述的式(24)至(26)的位置。 <BR>由于波长可变激光器、光分歧器及参照光镜被配置在同时满足上述的式(24)至(26)的位置,因此能够降低信号光和参照光的返回光的由于外部共振产生的杂讯,从而能够检测出较高S/N比的调制信号。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述干涉允许光程ΔL为所述激光的可干涉距离。 <BR>根据此结构,由于干涉允许光程ΔL为激光的可干涉距离,因此可干涉距离可利用激光的振荡波长频谱的半值全幅和光速容易计算得出。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,所述式(24)至(26)中的所述正整数m为1。根据此结构,能够避开正整数的倍数的波的数目的驻波,能够降低信号光和参照光的返回光的由于外部共振产生的杂讯。 <BR>而且,在上述的调制信号检测装置中,优选,还包括:使所述参照光镜移动到同时满足上式(24)至(26)的位置的参照光镜驱动部。 <BR>根据此结构,参照光镜驱动部使参照光镜移动到同时满足上式(24)至(26)的位置。由于通过改变参照光镜的位置能够改变参照光的初期光程lm0,因此能基于信号光的初期光程ld0的变化,或者中心振荡波长为λ0的变化等,配置参照光镜,以便始终满足上述的式(24)至(26)。 <BR>本发明的另一个方面所涉及的调制信号检测方法,是检测调制信号的调制信号检测方法,包括:从能够变更振荡波长的波长可变激光器射出激光的激光射出步骤;将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光的光分割步骤;调制所述信号光的调制步骤;由配置在所述参照光的光路上的参照光镜反射所述参照光的参照光反射步骤;使在所述调制步骤被调制的所述信号光和在所述参照光反射步骤被反射的所述参照光相互干涉的干涉步骤;检测在所述干涉步骤产生的干涉光并输出干涉光检测信号的干涉光检测步骤;处理所述干涉光检测信号的信号处理步骤;其中,所述信号处理步骤包含,基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号的波长控制信号生成步骤,当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为Δl,所述波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0‑lm0|满足下式(27)。 <BR><MATHS num="0022"><MATH><![CDATA[ <mrow><MO>|</MO> <MSUB><MI>ld</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>-</MO> <MSUB><MI>lm</MI> <MN>0</MN> </MSUB><MO>|</MO> <MO>&gt;</MO> <MFRAC><MI>Δl</MI> <MI>Δλ</MI> </MFRAC><MSUB><MI>λ</MI> <MI>o</MI> </MSUB><MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MO>&amp;CenterDot;</MO> <MROW><MO>(</MO> <MN>27</MN> <MO>)</MO> </MROW></MROW>]]&gt;</MATH></MATHS> <BR>根据此结构,在激光射出步骤,从可以变更振荡波长的波长可变激光器射出激光。在光分割步骤,将从波长可变激光器射出的激光分割为信号光和参照光。在调制步骤,信号光被调制。在参照光反射步骤,通过配置在参照光的光路上的参照光镜反射参照光。在干涉步骤,使在调制步骤被调制的信号光和在参照光反射步骤被反射的参照光相互干涉。在干涉光检测步骤,检测在干涉步骤产生的干涉光并输出干涉光检测信号。在信号处理步骤,处理干涉光检测信号。在波长控制信号生成步骤,基于干涉光检测信号生成用于控制波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号。在此,当设信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld0,参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm0,以真空中的折射率换算出的信号光和参照光的光程差的变动幅度为Δl,波长可变激光器的中心振荡波长为λ0,波长可变激光器的振荡波长可变范围为Δλ时,初期光程差|ld0‑lm0|满足上述的式(27)。 <BR>因此,由于参照光和信号光的初期光程差满足上述的式(27),在波长可变激光器的振荡波长可变范围内控制振荡波长,所以可以消除信号光和参照光的光程的变动成分,从而能够检测出较高S/N比的调制信号。 <BR>另外,为实施发明的实施例的各项所说明的具体的实施方式或实施例,只不过是使本发明的技术内容更明确起见,并不限定于那些具体的实施例而狭义地解释,只要是在本发明的精神及权利要求的范围内,可以进行种种变更来实施。 <BR>产业上的可利用性 <BR>本发明所涉及的调制信号检测装置及调制信号检测方法,能够以较高S/N比检测调制信号,适用于检测调制信号的调制信号检测装置及调制信号检测方法。另外,本发明所涉及的调制信号检测装置及调制信号检测方法也可应用在光通信装置或物体形状测量装置等用途。</p></div> </div> </div> </div> <div class="tempdiv cssnone" style="line-height:0px;height:0px; overflow:hidden;"> </div> <div id="page"> <div class="page"><img src='https://img.zhuanlichaxun.net/fileroot2/2018-8/28/ca5cfc83-8419-4b4c-9b0d-875801f4a1ff/ca5cfc83-8419-4b4c-9b0d-875801f4a1ff1.gif' alt="调制信号检测装置及调制信号检测方法.pdf_第1页" width='100%'/></div><div class="pageSize">第1页 / 共48页</div> <div class="page"><img src='https://img.zhuanlichaxun.net/fileroot2/2018-8/28/ca5cfc83-8419-4b4c-9b0d-875801f4a1ff/ca5cfc83-8419-4b4c-9b0d-875801f4a1ff2.gif' alt="调制信号检测装置及调制信号检测方法.pdf_第2页" width='100%'/></div><div class="pageSize">第2页 / 共48页</div> <div class="page"><img src='https://img.zhuanlichaxun.net/fileroot2/2018-8/28/ca5cfc83-8419-4b4c-9b0d-875801f4a1ff/ca5cfc83-8419-4b4c-9b0d-875801f4a1ff3.gif' alt="调制信号检测装置及调制信号检测方法.pdf_第3页" width='100%'/></div><div class="pageSize">第3页 / 共48页</div> </div> <div id="pageMore" class="btnmore" onclick="ShowSvg();">点击查看更多>></div> <div style="margin-top:20px; line-height:0px; height:0px; overflow:hidden;"> <div style=" font-size: 16px; background-color:#e5f0f7; font-weight: bold; text-indent:10px; line-height: 40px; height:40px; padding-bottom: 0px; margin-bottom:10px;">资源描述</div> <div class="detail-article prolistshowimg"> <p>《调制信号检测装置及调制信号检测方法.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《调制信号检测装置及调制信号检测方法.pdf(48页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。</p> <p >1、(10)申请公布号 CN 103038826 A (43)申请公布日 2013.04.10 C N 1 0 3 0 3 8 8 2 6 A *CN103038826A* (21)申请号 201280002214.1 (22)申请日 2012.06.11 2011-135306 2011.06.17 JP G11B 7/135(2012.01) G01B 9/02(2006.01) G01B 11/24(2006.01) G11B 7/005(2006.01) (71)申请人松下电器产业株式会社 地址日本大阪府 (72)发明人伊藤清贵 日野泰守 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任 公司。</p> <p >2、 11021 代理人汪惠民 (54) 发明名称 调制信号检测装置及调制信号检测方法 (57) 摘要 光分歧部(902)将从波长可变激光器(901) 射出的激光分割为信号光和参照光,干涉部 (905)使被调制的信号光和被参照光镜(904)反 射的参照光相互干涉,信号处理部(907)基于干 涉光检测信号,生成用于控制波长可变激光器 (901)的振荡波长的振荡波长控制信号,在设信 号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出 的初期光程为ld 0 ,参照光通过的光路的长度以真 空中的折射率换算出的初期光程为lm 0 ,以真空中 的折射率换算出的信号光和参照光的光程差的变 动幅度为l,波长可变激光器(9。</p> <p >3、01)的中心振 荡波长为 0 ,波长可变激光器(901)的振荡波长 可变范围为时,初期光程差|ld 0 -lm 0 |满足 |ld 0 -lm 0 |(l/) 0 。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2013.01.29 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2012/003779 2012.06.11 (87)PCT申请的公布数据 WO2012/172769 JA 2012.12.20 (51)Int.Cl. 权利要求书3页 说明书28页 附图16页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 3 页 说明书 28 页 附图 16 页 1。</p> <p >4、/3页 2 1.一种调制信号检测装置,用于检测调制信号,其特征在于包括: 波长可变激光器,射出激光、能够变更振荡波长; 光分歧器,将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光; 参照光镜,配置在所述参照光的光路上; 干涉部,使被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉; 干涉光检测部,检测由所述干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号; 波长控制信号生成部,基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光器 的振荡波长的振荡波长控制信号,其中, 当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld 0 ,所述 参照光通过的光路的长度以真空中的折射率。</p> <p >5、换算出的初期光程为lm 0 ,以真空中的折射率 换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为l,所述波长可变激光器的中 心振荡波长为 0 ,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为时, 初期光程差|ld 0 -lm 0 |满足下式(1), 2.根据权利要求1所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述波长控制信号生成部, 从所述干涉光检测信号检测调制信号带域以外的带域的变动成分,并基于检测出的所述变 动成分,生成所述振荡波长控制信号。 3.根据权利要求1或2所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括: 物镜,使所述信号光聚光; 伺服误差信号生成部,根据所述干涉光检测信号,生成对应于所述物镜的聚焦。</p> <p >6、位置的 伺服误差信号,其中, 所述波长控制信号生成部,基于所述伺服误差信号生成所述振荡波长控制信号。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于: 所述信号光,通过被配置在所述信号光的光路上的记录有数据的光盘介质而被调制, 所述调制信号检测装置还包括,通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,再生记 录于所述光盘介质中的所述数据的再生信号处理部。 5.根据权利要求1至3中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于: 所述信号光,通过被配置在所述信号光的光路上的具有指定的表面形状的物体而被调 制, 所述调制信号检测装置还包括,通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,测量所 述物。</p> <p >7、体的表面形状的再生信号处理部。 6.根据权利要求1或2所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括: 光调制元件,被配置在所述信号光的光路上,其光学特性随应该传输的数据而变化;其 中, 所述干涉部,使通过所述光调制元件而被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的 所述参照光相互干涉, 所述调制信号检测装置还包括,通过根据所述干涉光检测信号生成再生信号,利用光 传输所述数据的再生信号处理部。 权 利 要 求 书CN 103038826 A 2/3页 3 7.根据权利要求6所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述光学特性为折射率。 8.根据权利要求6所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述光学特性为透过。</p> <p >8、率。 9.根据权利要求1至8中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括:参照 光镜驱动部,通过移动所述参照光镜的位置,使所述初期光程差|ld 0 -lm 0 |变化。 10.根据权利要求1至9中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于: 所述波长可变激光器,具有内部谐振器; 当设所述波长可变激光器的内部谐振器的长度和所述波长可变激光器的内部谐振器 的折射率的乘积所得到的所述波长可变激光器在真空中的内部谐振器长度为L ld ,从所述波 长可变激光器的射出端面到所述光分歧器为止的从所述波长可变激光器射出的激光在真 空中的换算光程为L BS ,从所述波长可变激光器射出的激光的干涉允许光程为L时。</p> <p >9、, 所述波长可变激光器、所述光分歧器及所述参照光镜被配置在同时满足下式(2)至 (4)的位置, 其中,s、m、t为正整数,u为整数。 11.权利要求10所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述干涉允许光程L为所 述激光的可干涉距离。 12.根据权利要求10或11所述的调制信号检测装置,其特征在于:所述式(2)至(4) 中的所述正整数m为1。 13.根据权利要求10至12中任一项所述的调制信号检测装置,其特征在于还包括:参 照光镜驱动部,使所述参照光镜移动到同时满足所述式(2)至(4)的位置。 14.一种调制信号检测方法,用于检测调制信号,其特征在于包括: 从能够变更振荡波长的波长可变激光器射出。</p> <p >10、激光的激光射出步骤; 将从所述波长可变激光器射出的所述激光分割为信号光和参照光的光分割步骤; 调制所述信号光的调制步骤; 由配置在所述参照光的光路上的参照光镜反射所述参照光的参照光反射步骤; 使在所述调制步骤被调制的所述信号光和在所述参照光反射步骤被反射的所述参照 光相互干涉的干涉步骤; 检测在所述干涉步骤产生的干涉光并输出干涉光检测信号的干涉光检测步骤; 处理所述干涉光检测信号的信号处理步骤;其中, 所述信号处理步骤包含,基于所述干涉光检测信号,生成用于控制所述波长可变激光 器的振荡波长的振荡波长控制信号的波长控制信号生成步骤, 当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程。</p> <p >11、为ld 0 ,所述 参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm 0 ,以真空中的折射率 换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为l,所述波长可变激光器的中 权 利 要 求 书CN 103038826 A 3/3页 4 心振荡波长为 0 ,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为时, 初期光程差|ld 0 -lm 0 |满足下式(5), 权 利 要 求 书CN 103038826 A 1/28页 5 调制信号检测装置及调制信号检测方法 技术领域 0001 本发明涉及一种通过检测强度或相位被调制的信号光与参照光相互干涉而导致 的干涉光,来检测调制信号的调制信号检测装置及调。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>12、制信号检测方法,是一种可应用于光 盘介质、光数据传输以及光数据通信以及利用光的物体形状测量等的技术。 背景技术 0002 光盘作为大容量信息记录介质已被广泛应用。为了光盘大容量化的技术开发,通 过利用更短波长的激光和更大数值孔径(NA)的物镜而进行了从CD到DVD进而蓝光光盘的 技术开发。最近,利用被称为云的互联网上的在线存储器的服务逐年扩大,包含HDD(硬盘 驱动器)或闪存在内的存储器的大容量化倍受期待。 0003 针对光盘的进一步的大容量化,进行了如下所述的开发。 0004 首先,关于激光的短波长化,射出300nm多的紫外线区域的激光的半导体激光器 得以实用化。然而,由于300nm以下的紫。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>13、外线区域的光在空气中明显地减弱,所以,不能期 望基于激光的短波长化会带来很大的效果。 0005 其次,关于高NA化,利用NA为1以上的SIL(固体浸没透镜)方式提高记录面密 度的技术已经开发。而且,通过利用在比光衍射界限还小的区域产生的近场光来提高记录 面密度的研究也在进行。此外,目前,市场上出现的光盘中BD-XL具有3层或4层记录面, 通过使记录面进一步多层化来谋求大容量化的开发也正在进行。 0006 如上所述,随着光盘大容量化的推进,尤其是在多层化中,由于光盘的记录面的反 射而使被调制的信号光量进一步降低,不能充分确保再生信号的S/N的问题逐渐显现。因 此,今后,为了推进光盘的大容量化,进。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>14、一步提高检测信号的S/N变得十分必要。 0007 作为进一步提高光盘的再生信号的S/N的技术,有利用光的干涉的检测方式。这 种检测方式中,将来自激光器的光分歧成照射到光盘的信号光和不照射到光盘的参照光, 让来自光盘的反射光(再生光)与参照光相互干涉。然后,通过提高参照光的光量,使基于 信号光的微弱的信号振幅增幅。这种技术虽然具有能够以较高的S/N检测微小的再生光的 优点,但由于利用光的干涉,所以一旦参照光和来自光盘的反射光之间的相位发生变动,被 再生的信号中会含有杂讯成分。为此,需要有新的改进,例如,专利文献1和专利文献2公 开了该解决方案。 0008 图21是以往的干涉型的光盘装置的结构示意。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>15、图。 0009 在专利文献1中,为了谋求再生光和参照光的光程差的稳定化,如图21所示,在参 照光镜111附加了用于调整参照光的光程的镜驱动部112。据此,对应于光盘101旋转时的 面抖动等引起的光程的变动或温度等引起的光程随时间的变化,将信号振幅总是控制在为 最大。 0010 在专利文献2中,记述了使用锥体棱镜(Corner Cube Prism)作为参照光镜,将锥 体棱镜搭载在与物镜相同的致动器上,根据光盘的种类或读出的记录层来调整被干涉的光 的光程的方式。 说 明 书CN 103038826 A 2/28页 6 0011 在光盘领域,实现高传输率和高密度的装置时,光信号的S/N的降低限制了。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>16、其进 步。与此相同,在光通信或利用光的界面(光总线(Optical Bus)或光USB(Universal SerialBus)等领域,为了实现高传输率也需要高的S/N。即使在这些光通信或利用光的界 面的领域,为了以低能耗实现高传输率,代替调制激光的强度传送数据的方式,调制激光产 生的光的相位传送数据的方式也正在成为主流。为此,在接收侧准确地控制光的相位,除去 在通信路产生的光相位的变动因素的光相位控制技术变得很重要。 0012 在利用光的干涉检测光相位时,必需精密地控制检测出的信号光的相位与用于干 涉的光的相位的平均的相对关系。如果检测出的信号光的平均相位和干涉的光的相位不能 维持一定的关系。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>17、,检测信号的检测灵敏度就会大幅度降低。为此,为了使这种检测方式实用 化,相位关系的控制变得非常重要。 0013 然而,由于光的波长只有数m至400nm非常短,只要干涉光的光程和信号光的光 程微妙地变化数十nm左右,信号的检测灵敏度会受到很大的影响。这就意味着需要使干涉 光的光程和信号光的光程以数十nm的精度保持为一定。在光程存在变动因素时,会出现光 程的控制非常困难的问题。例如,在光盘的情况下,由于光盘记录面的波纹的影响,来自光 盘的再生光的光程在200m左右的范围变化很大。为了回避这种影响,专利文献1公开了 一种使光学系统一体化来追随光盘记录面的波纹,并且用致动器修正缓慢的变动的技术。 00。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>18、14 然而,在专利文献1的结构中,如果光盘倾斜、信号光的角度发生变化,则导致信 号光的光程发生变化。通过致动器以数十nm的精度追随光程的变动非常困难,尤其是在某 种程度的高频率带域变动的抑制完全不可能。为此,为了使专利文献1的技术实用化,需要 使基于光盘记录面的波纹的变动足够小几乎接近于零,这种变动极大地防碍了实用化。 0015 另外,专利文献2公开了将锥体棱镜搭载在物镜的致动器上,使参照光的光路与 信号光的光路同样变化的结构。在专利文献2所公开的结构中,也同样会出现由于光盘记 录面的波纹,参照光的光程和信号光的光程产生变动的问题,实用化非常困难。 0016 由于光的频率非常高,直接检测光相位。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>19、在现在的技术中不可能。为此,除利用信号 光和参照光的光干涉来检测光相位的方法以外,用其他的方法无法检测光相位。然而,由于 用于光通信、光总线或光盘的光的波长在数m至400nm非常短,在上述的技术(利用光干 涉的基于参照光的相位检测技术)中,需要将参照光和信号光的平均相位准确地控制在光 的波长的数十分之一的技术。在光盘、光通信及光总线等各方面,虽然参照光和信号光的光 相位的变动因素有所不同,但分别需要纳米级的光相位控制。 0017 专利文献1:日本专利公开公报特开2007-317284号。 0018 专利文献2:日本专利公开公报特开2009-252337号。 发明内容 0019 本发明为了解决上。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>20、述的问题,其目的在于提供一种能够以较高的S/N比检测调制 信号的调制信号检测装置及调制信号检测方法。 0020 本发明的一个方面所涉及的调制信号检测装置,是检测调制信号的调制信号检测 装置,包括:射出激光、能够变更振荡波长的波长可变激光器;将从所述波长可变激光器射 出的所述激光分割为信号光和参照光的光分歧器;配置在所述参照光的光路上的参照光 镜;使被调制的所述信号光和被所述参照光镜反射的所述参照光相互干涉的干涉部;检测 说 明 书CN 103038826 A 3/28页 7 由所述干涉部产生的干涉光并输出干涉光检测信号的干涉光检测部;基于所述干涉光检测 信号,生成用于控制所述波长可变激光器的振。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>21、荡波长的振荡波长控制信号的波长控制信号 生成部,其中,当设所述信号光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为 ld 0 ,所述参照光通过的光路的长度以真空中的折射率换算出的初期光程为lm 0 ,以真空中的 折射率换算出的所述信号光和所述参照光的光程差的变动幅度为l,所述波长可变激光 器的中心振荡波长为 0 ,所述波长可变激光器的振荡波长可变范围为时,初期光程差 |ld 0 -lm 0 |满足下式(1)。 0021 0022 根据此结构,能够变更振荡波长的波长可变激光器射出激光。光分歧器将波长可 变激光器射出的激光分割为信号光和参照光。参照光镜被配置在参照光的光路上。干涉部 使被调制的。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>22、信号光和被参照光镜反射的参照光相互干涉。干涉光检测部检测由干涉部产生 的干涉光并输出干涉光检测信号。波长控制信号生成部基于干涉光检测信号,生成用于控 制所述波长可变激光器的振荡波长的振荡波长控制信号。在此,当设信号光通过的光路的 长度以真空中的折射率换算出的初期光程为ld 0 ,参照光通过的光路的长度以真空中的折 射率换算出的初期光程为lm 0 ,以真空中的折射率换算出的信号光和参照光的光程差的变 动幅度为l,波长可变激光器的中心振荡波长为 0 ,波长可变激光器的振荡波长可变范 围为时,初期光程差|ld 0 -lm 0 |满足上述的式(1)。 0023 根据本发明,由于参照光和信号光的初期光程。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>23、差满足上述式(1),振荡波长被控制 在波长可变激光器的振荡波长可变范围内,因此,可以消除信号光和参照光的光程的变动 成分,从而能够检测出高S/N比的调制信号。 0024 本发明的目的、特征以及优点,通过以下的详细说明和附图将更为明确。 附图说明 0025 图1是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的一个例子的示意图。 0026 图2是用于说明波长可变激光器的中心振荡波长和振荡波长可变范围的示意图。 0027 图3是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的另一个例子的示意图。 0028 图4是表示本发明第1实施例的光盘装置的结构的示意图。 0029 图5是用于说明在光盘介质中信号光的强度被调制的一。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>24、个例子的示意图。 0030 图6是用于说明在光盘介质中信号光的相位被调制的一个例子的示意图。 0031 图7是第1实施例的干涉光检测部的具体结构的一个例子的示意图。 0032 图8是第1实施例的信号处理部的具体结构的一个例子的示意图。 0033 图9是第1实施例的干涉光检测部的具体结构的另一个例子的示意图。 0034 图10是表示图4所示的光盘装置的调制信号检测方法的一个例子的流程图。 0035 图11是表示图10所示的信号处理的一个例子的流程图。 0036 图12是本发明第2实施例的光盘装置的结构的示意图。 0037 图13是本发明第3实施例的光盘装置的结构的示意图。 0038 图14是本发。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>25、明第4实施例的光通信装置的结构的示意图。 0039 图15是本发明第5实施例的光通信装置的结构的示意图。 说 明 书CN 103038826 A 4/28页 8 0040 图16是本发明第6实施例的物体形状测量装置的结构的示意图。 0041 图17是从搭载于光学头的激光器输出的激光的光谱强度的一个例子的示意图。 0042 图18是模式地表示作为激光振荡的一个例子,在激光谐振器内的多纵模的激光 振荡的状态的示意图。 0043 图19是用于说明外部谐振器的示意图。 0044 图20是本发明第7实施例的光盘装置内的光学头的结构的示意图。 0045 图21是以往的干涉型光盘装置的结构的示意图。 具体实。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>26、施方式 0046 以下,参照附图说明本发明的实施方式。另外,以下的实施方式是将本发明具体化 的一个例子,并不用于限定本发明的技术范围。 0047 首先利用图1至图3对第1至7实施例的共同的构成要件及其原理进行说明,然 后再对各实施例进行具体地说明。 0048 图1是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的一个例子的示意图。图1所示 的调制信号检测装置包括:波长可变激光器901、光分歧器902、信号光调制部903、参照光 镜904、干涉部905、干涉光检测部906及信号处理部907。 0049 图1中,从波长可变激光器901射出的激光通过光分歧器902被分成信号光和参 照光。信号光的强度或相位通过。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>27、信号光调制部903被调制。调制后的信号光透过信号光调 制部903或被信号光调制部903反射,向干涉部905行进。另一方面,参照光通过参照光镜 904而被反射,向干涉部905行进。 0050 信号光调制部903只要具备调制再生光的光相位的功能,则能够采用各种各样的 方式。在光盘装置中,例如,光盘介质相当于信号光调制部903,信号光通过在光盘介质上形 成的记录坑的凹凸而被调制。另外,在光通信或光总线(light bus)等中,根据传输数据调 制光的相位的光相位调制器相当于信号光调制部903。而且,在检测物体的表面形状的检测 装置中,例如,物体相当于信号光调制部903,信号光通过检测表面形状的物体的。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>28、表面的凹 凸而被调制。 0051 在此,将由光分歧器902分歧后经由信号光调制部903到达干涉部905为止的信 号光所通过的路程(光路长)用真空中的折射率n(n1)换算后的信号光的光程设为ld。 同样,将由光分歧器902分歧后经由参照光镜904到达干涉部905为止的参照光所通过的 路程(光路长)用真空中的折射率n(n1)换算后的参照光的光程设为lm。 0052 干涉部905将信号光与参照光合波,输出干涉光。干涉光检测部906检测干涉光, 将检测出的干涉光转换为电信号,作为干涉光检测信号输出。信号处理部907对干涉光检 测信号实施处理。 0053 干涉光检测信号包含信号光和参照光的强度以及被信号。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>29、光调制部903调制的相 位差的信息。这种被检测的相位差的信息除了包含被信号光调制部903调制的信号以外, 还包含光的相位因受到在信号光路径和参照光路径产生的各种各样的外部干扰的影响而 发生变动的主要因素。光的波长为数m至400nm非常短。因此,只要稍微有一点外部干 扰就会轻易地导致光的相位发生变化,成为很大杂讯的主要原因。进一步,激光的波长的变 动、微小的折射率的变动、元件由于振荡产生的微小的倾斜、或温度变化等非常多的因素都 说 明 书CN 103038826 A 5/28页 9 成为光的相位变动的因素。 0054 一般来说,这些变动因素对于频率而言,由于以12分贝/Oct衰减,因此很多的外 。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>30、部干扰因素集中在低频率。通过检测由干涉光检测部906检测出的光的相位信息的低域成 分,调整光程以使变动得以抑制,这些变动因素在某种程度上能被消除。专利文献1中,公 开了在参照光的光路中设置可机械地移动的镜,通过控制镜的位置来除去低域成分的变动 的结构。 0055 然而,在专利文献1中,由于利用了机械地移动的镜,因此能够除去的变动的频率 带域较低。更严重的是,需要以光的波长的数十分之一以下的精度(nm精度)来进行镜位 置的控制和稳定的镜角度的控制。因此,由于可以控制的外部干扰的量,频率带域以及精度 不够,所以当利用干涉来检测光的相位时,受到技术上的制约或应用范围的制约,难以实现 适合广泛的应用且。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>31、廉价的装置。 0056 作为提高控制性能的方法,通过改变激光的波长来控制检测出的相位信息的低域 成分的方法在光通信领域的尖端技术中被应用。然而,为了除去较大的相位变动因素必需 提高控制增益,为此,存在如果不增大激光的波长范围就无法确保控制增益的问题。本发明 提供解决此问题的技术,以下对该解决方法进行简单的说明。 0057 如图1所示,设信号光的光程为ld,参照光的光程为lm,被分割的信号光与参照光 的光程差为|ld-lm|。另外,若设波长可变激光器901的振荡波长为 0 ,则为了让信号光和 参照光的相位在干涉部905对齐,并且引起信号变成最大的干涉,以满足以下的条件式(2) 为条件。 0058。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>32、 |ld-lm|k o (k为0或正整数)(2) 0059 在此,当设调制信号检测装置中最大的光程差的变动幅度为l(l为用真空中 的折射率换算后的信号光与参照光的光程差的变动幅度)时,将光程差变动的中心值作为 初期光程差|ld 0 -lm 0 |,并代入上述的式(2),用以下的式(3)求得k。 0060 0061 在振荡波长可变范围,为了吸收光程差的变动幅度l,需要满足以下的关 系式(4)。 0062 |ld 0 -lm 0 |+lk( o +A) (4) 0063 如果将式(3)代入式(4)进行整理,则导出以下的等式(5)。 0064 0065 据此,在振荡波长可变范围,为了吸收光程差的变动。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>33、幅度l,需要式(5)中 的右边比左边大。于是,将式(5)的等号置换为不等号,整理得出以下的关系式(6)。 0066 0067 光程差的变动幅度l用振荡波长可变范围和|ld 0 -lm 0 |/ 0 的乘积来表示。 因此,如果将作为参照光和信号光的光程差|ld 0 -lm 0 |设计得较大,则能够用较小的波长变 化吸收非常大的光程差变动。 0068 图2是用于说明波长可变激光器的中心振荡波长和振荡波长可变范围的示意图。 说 明 书CN 103038826 A 6/28页 10 作为波长可变激光器经常使用的结构,通过从外部向半导体激光器的波导路的一部分施加 电压,使波导路的折射率变化的方法被使用。。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>34、这种一般的波长可变激光器的振荡波长可变 范围为10nm左右。因此,当参照光和信号光不存在光程差时,只能在10nm左右的范 围控制相位变动。对此,例如,若采用光的波长为400nm,|ld 0 -lm 0 |为0.4mm的结构,能对 1000倍的光程差变动进行追随。 0069 这样,通过让参照光的光路和信号光的光路预先存在光程差,可以使同一波长变 化的增益增大,因此能够简单地增加控制系统的增益。如果控制系统的增益增大,则控制残 渣减小,控制性能得以提高。在能预测光程差的变动幅度l的系统中,如果上式(6)所示 的关系成立,则控制系统可以吸收光程差的变动幅度l。另外,初期光程差|ld 0 -lm 0 。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>35、|越 大,光程差的变动幅度l的抑制效果就越高。 0070 另外,上述说明是针对图1所示的结构进行的,但图3所示的结构中参照光和信号 光的关系也同样,图3所示的结构也能获得同样的效果。 0071 图3是本实施例的调制信号检测装置的概要结构的另一个例子的示意图。图3所 示的调制信号检测装置包括波长可变激光器901、光分歧器902、信号光调制部903、参照光 镜904、干涉光检测部906及信号处理部907。图3中,对与图1相同的构成要件赋予相同 的符号,并省略其说明。 0072 图3中,从波长可变激光器901射出的激光通过光分歧器902被分成信号光和参 照光。信号光的强度或相位通过信号光调制部903。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>36、而被调制。调制后的信号光被信号光调 制部903反射,向光分歧器902行进。另一方面,参照光被参照光镜904反射,向光分歧器 902行进。 0073 在图3所示的调制信号检测装置中,光分歧器902具有图1所示的干涉部905的 功能。光分歧器902将来自波长可变激光器901的光分歧成信号光和参照光,并使由信号 光调制部903调制的信号光和由参照光镜904反射的参照光相互干涉。 0074 光分歧器902将信号光和参照光合波,输出干涉光。干涉光检测部906检测干涉 光,并将检测出的干涉光转换为电信号,作为干涉光检测信号输出。信号处理部907对干涉 光检测信号实施信号处理。 0075 (第1实施例) 0。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>37、076 图4是本发明第1实施例的光盘装置的结构的示意图。 0077 图4中,光盘装置20利用从记录信息的光盘介质201生成的时钟信号,从光盘介 质201再生数据,或向光盘介质201记录数据。 0078 光盘装置20包括光盘旋转马达202、光学头驱动部204、伺服电路205、光学头部 206、信号处理部216。伺服电路205利用伺服误差信号控制透镜驱动部208,以便使物镜 207的光束的聚光状态和扫描状态成为最佳。另外,伺服电路205控制光学头驱动部204, 使光学头部206向光盘介质201的最适合的半径位置移动。另外,伺服电路205基于光束 照射在光盘介质201上的半径位置,将光盘旋转马达20。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>38、2的转数控制在理想的转数。 0079 光盘介质201具有至少一层以上的数据记录面。在数据记录面形成有轨道,轨道 上按指定的数据格式记录有信息。图5和图6是用于说明在光盘介质201的信号光调制的 示意图。图5是用于说明光盘介质201中信号光的强度被调制的例子的示意图,图6是用 于说明光盘介质201中信号光的相位被调制的例子的示意图。 说 明 书CN 103038826 A 10 7/28页 11 0080 首先,利用图5,对光盘介质201中信号光的强度被调制的例子进行说明。通过在 记录面201a的轨道上形成反射率互不相同的标记201m和空格201s,数据被记录。当信号 光照射到标记201m和空格。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>39、201s时,由于标记201m与空格201s的反射率变化强度被调制 的信号光被反射。 0081 其次,利用图6,对光盘介质201的信号光的相位被调制的例子进行说明。通过在 记录面201a内形成透过率或折射率变化的连续的槽201g或不连续的孔201h,数据被记录。 当信号光照射到这些槽201g或孔201h时,由于从射入光盘介质201后至到达反射的位置 为止的距离不同相位被调制的信号光被反射。 0082 光盘旋转马达202使光盘介质201以指定的转数旋转。光学头部206具备波长 可变激光器209、偏振光分束器210、/4板211、212、参照光镜213、物镜207、透镜驱动部 208、干涉光检测部2。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>40、15。光学头部206向光盘介质201照射光束,一边扫描轨道一边检测被 光盘介质201反射的光和参照光干涉后的光,并输出电信号。 0083 波长可变激光器209射出激光。若设中心振荡波长为 0 ,能够进行任意强度以上 的振荡的振荡波长可变范围为,则波长可变激光器209根据振荡波长控制信号,可使 振荡波长在 0 (/2)的范围变化。 0084 偏振光分束器210将从波长可变激光器209射出的光分割为信号光和参照光。另 外,偏振光分束器210使通过配置在信号光的光路上的光盘介质201而被调制的信号光和 被参照光镜213反射的参照光相互干涉。 0085 偏振光分束器210让射入分离面的水平偏振光几乎1。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>41、00透过,使垂直偏振光几 乎100被反射。偏振光分束器210将从波长可变激光器209射出的激光分歧成垂直偏振 的信号光和水平偏振的参照光。另外,被分歧的信号光和参照光两次通过位于各自的光路 上的/4板211,212,其偏振方向旋转90度,并返回偏振光分束器210。在此,由于信号光 及参照光的偏振方向各自旋转了90度,因此,偏振光分束器210与分歧时相反,让变成水平 偏振的信号光几乎100透过,使变成垂直偏振的参照光几乎100被反射。据此,来自偏 振光分束器210的光成为偏振面相互正交的信号光和参照光的干涉光。 0086 在此,通过将波长可变激光器209预先旋转来配置,射入偏振光分束器210的激。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>42、光 的偏振面能够改变信号光和参照光的强度比。 0087 物镜207使信号光聚光于光盘介质201,并使被光盘介质201反射的光成为平行 光。成为平行光的信号光返回去路的信号光的光路。另外,物镜207通过透镜驱动部208 在聚焦方向和跟踪方向被驱动。 0088 /4板211、212,通过透过将直线偏振光变换成圆偏振光,将圆偏振光变换成直 线偏振光。直线偏振光通过两次透过/4板211,212,成为偏振面旋转了90度的直线偏振 光。例如,垂直偏振光被变换成水平偏振光,水平偏振光被变换成垂直偏振光。 0089 参照光镜213配置在参照光的光路上,使从激光分歧的参照光几乎100被反射。 被参照光镜213反。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>43、射的光返回与去路相同的光路。 0090 在此,对参照光镜213的配置进行说明。设信号光通过的光路的长度用真空中的 折射率换算后的初期光程为ld 0 ,参照光通过的光路的长度用真空中的折射率换算后的初 期光程为lm 0 ,初期光程差用|ld 0 -lm 0 |来表示。信号光通过的光路的长度为自被偏振光分 束器210分歧起经由光盘介质201到达偏振光分束器210为止的路程,参照光通过的光路 说 明 书CN 103038826 A 11 8/28页 12 的长度为自被偏振光分束器210分歧起经由参照光镜213到达偏振光分束器210为止的路 程。 0091 根据波长可变激光器209的中心振荡波长 0 。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>44、、波长可变激光器209的振荡波长可 变范围以及由于光盘介质201的面抖动变动或光学头部206的振动而引起的用真空 中的折射率换算后的信号光与参照光的光程差的变动幅度l之间的关系,配置参照光镜 213,使初期光程lm 0 满足上述的式(6)。在此,初期光程ld 0 用由于光盘介质201的面抖动 变动或光学头部206的振动而引起的光程的变动的中心值来计算。也就是说,将信号光的 光路长度用真空中的折射率n(n1)换算后的光程在ld 0 (l/2)的范围变化。 0092 干涉光检测部215检测被光盘介质201反射的信号光和参照光相互干涉的干涉 光,将检测出的干涉光转换为电信号,并将电信号作为干涉光检测。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>45、信号输出。 0093 图7是第1实施例的干涉光检测部215的具体结构的一个例子的示意图。图7所 示的干涉光检测部215包括/2板401、偏振光分束器402、第1检测器403、第2检测器 404以及差分信号计算部405。 0094 /2板401使入射的干涉光的偏振方向旋转45度。偏振光分束器402让偏振方 向被旋转了45度的干涉光的水平偏振光几乎100透过,使垂直偏振光几乎100被反射。 第1检测器403和第2检测器404是输出与入射的光量相应的电信号的元件。第1检测器 403检测偏振方向被旋转了45度的干涉光的水平偏振光,并输出与光量相应的电信号。第 2检测器404检测偏振方向被旋转了45度的。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>46、干涉光的垂直偏振光,并输出与光量相应的电 信号。差分信号计算部405输出从第1检测器从403输出的电信号与从第2检测器404输 出的电信号的差分信号。 0095 在此,将干涉光的偏振状态用琼斯矢量(Jones Vector)表示如下。 0096 0097 其中,Ed为被光盘介质201反射的信号光的电场,Em为被参照光镜213反射的参 照光的电场。另外,上述矢量的第一成分表示水平偏振光,第二成分表示垂直偏振光。当上 述光通过/2板401时,琼斯矢量如下。 0098 0099 其次,透过偏振光分束器402的光(水平偏振光)的电场和反射的光(垂直偏振 光)的电场分别用下式(7)表示。 0100 01。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>47、01 据此,第1检测器403和第2检测器404检测信号用下式(8)表示。 0102 说 明 书CN 103038826 A 12 9/28页 13 0103 式(8)中,为检测器的变换效率,为基于信号光和参照光的光程差的相位 差。根据这些检测信号,由差分信号计算部405得出的差分信号为下式(9)。 0104 2|E d |E m |cos (9) 0105 式(9)为将被光盘介质201反射的信号光的电场、参照光的电场、包含信号调制的 相位变动成分全部相乘的乘法公式。信号光的电场和参照光的电场的相乘表示信号光的电 场通过参照光的电场而被增幅。因此,即使在Ed因光盘介质201的反射率低而减小、只检。</p> <p style='height:0px;padding:0;margin:0;overflow:hidden'>48、 测信号光也得不到正确的再生信号的情况下,通过使信号增幅能够得到正确的再生信号。 0106 但是,式(9)的被大致分成作为再生信号成分的1、作为因各种各样的原 因而产生的光路的变动成分的2。光路的变动成分通常比光的波长的几千倍还大。由于 再生信号成分1是光的波长的量级,如果不能稳定地进行控制使变动成分2为零, 则完全无法检测再生信号。为了实现这样高精度的控制,在本实施例的光盘装置中,将检测 出的光路变动成分反馈给波长可变激光器209,通过该控制循环,来实现变动成分2的 除去。以下,对这种变动成分的除去方法进行说明。 0107 信号处理部216处理干涉光检测信号。信号处理部216基于干涉光检测信号,生 成再生记录于光盘介质201的数据的再生信号、控制光盘旋转马达202、光学头驱动部204 以及透镜驱动部208的伺服误差信号、控制波长可变激光器209的振荡波长的振荡波长控 制信号。通过将从干涉光检测部215输出的干涉光检测信号作为输入,用高通滤波器(HPF) 抽出调制信号成分的带域,从而将再生信号与相位变动成分(光路变动成分)分离。有关 具体的结构用图8进行说明。 0108 图8是第1实施例的信号处理部216的具体结构的一个例子的示意图。图8所示 的信号处理部216包括变动成分检测部217、波长控制信号生成部218、再生信号处理部。</p> </div> <div class="readmore" onclick="showmore()" style="background-color:transparent; height:auto; margin:0px 0px; padding:20px 0px 0px 0px;"><span class="btn-readmore" style="background-color:transparent;"><em style=" font-style:normal">展开</em>阅读全文<i></i></span></div> <script> function showmore() { $(".readmore").hide(); $(".detail-article").css({ "height":"auto", "overflow": "hidden" }); } $(document).ready(function() { var dh = $(".detail-article").height(); if(dh >100) { $(".detail-article").css({ "height":"100px", "overflow": "hidden" }); } else { $(".readmore").hide(); } }); </script> </div> <script> var defaultShowPage = parseInt("3"); var id = "4095256"; var total_page = "48"; var mfull = false; var mshow = false; function DownLoad() { window.location.href='https://m.zhuanlichaxun.net/d-4095256.html'; } function relate() { var reltop = $('#relate').offset().top-50; 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