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1、(10)申请公布号 CN 102859418 A (43)申请公布日 2013.01.02 C N 1 0 2 8 5 9 4 1 8 A *CN102859418A* (21)申请号 201180021834.5 (22)申请日 2011.05.02 2010-105671 2010.04.30 JP G02B 27/52(2006.01) G01J 9/02(2006.01) G01N 21/45(2006.01) (71)申请人浜松光子学株式会社 地址日本静冈县 (72)发明人岩井秀直 藤本正俊 (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限 公司 11322 代理人杨琦 (54) 发明名。
2、称 观察装置 (57) 摘要 本发明的目的在于提供一种即使是在使用每 一个像素的读出速度为低速的光检测器的情况 下也能够以高灵敏度高速地获得移动的对象物 的相位图像的观察装置。观察装置(1)具备光源 部(10)、第1调制器(20)、第2调制器(30)、透镜 (40)、射束分离器(41)、光检测器(46)以及运算 部(50)。透镜(40)输入在移动的对象物(2)所 产生的散射光而形成对象物(2)的傅里叶变换图 像。光检测器(46)关于u方向的各个位置在各个 时刻输出表示以对应于经过透镜(40)到达受光 面上的各个位置的光的多普勒频移量的频率进行 随时间变化的数据的关于v方向的总和的数据。 运算部。
3、(50)根据光检测器(46)的输出而获得对 象物(2)的图像。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2012.10.30 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2011/060562 2011.05.02 (87)PCT申请的公布数据 WO2011/136382 JA 2011.11.03 (51)Int.Cl. 权利要求书5页 说明书41页 附图57页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 5 页 说明书 41 页 附图 57 页 1/5页 2 1.一种观察装置,其特征在于: 具备: 光源部,将光照射到移动的对象物; 检测部,将作为规定。
4、平面上的方向的垂直于所述对象物的移动方向的方向作为第1方 向,将作为垂直于该第1方向的所述规定平面上的方向的平行于所述对象物的移动方向的 方向作为第2方向,此时,对于所述第1方向的各个位置在各个时刻输出表示以对应于到达 所述规定平面上的各个位置的光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的、关于所 述第2方向的总和的数据,其中,所述规定平面为在通过由所述光源部进行的光照射而在 所述对象物所产生的散射光中到达所述规定平面的光中由于所述对象物的移动而引起的 多普勒频移效应成为一定的平面; 运算部,进行关于将所述规定平面上的所述第1方向的位置以及时刻作为变量的数 据的与时刻变量相关的一维傅里叶变换、。
5、以及关于该傅里叶变换后的数据的二维傅里叶变 换,从而将由该二维傅里叶变换获得的数据作为所述对象物的图像而获得, 所述检测部包含: 光学系统,输入从所述光源部输出的光,在所述对象物的后段将该输入的光分割为两 个而作为第1光以及第2光,在用调制器调制所述第2光之后,在所述规定平面上使所述第 1光与该调制后的第2光发生外差干涉; 光检测器,在所述规定平面上具有受光面,在该受光面上在所述第1方向上具有像素 构造。 2.如权利要求1所述的观察装置,其特征在于: 运算部具备: 进行与所述时刻变量相关的一维傅里叶变换的第1傅里叶变换部; 进行所述二维傅里叶变换的第2傅里叶变换部, 所述第2傅里叶变换部具备进。
6、行与频率相关的一维傅里叶变换的第3傅里叶变换部、 以及进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换的第4傅里叶变换部。 3.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于所述透镜的所述第1方向上的后焦点面,且被配置于所 述透镜的所述第2方向上的后焦点面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换 部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 4.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成。
7、所述对象物的夫 琅和费衍射图像的面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的夫琅和费衍射图像 的面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换 部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 5.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 权 利 要 求 书CN 102859418 A 2/5页 3 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的夫 琅和费衍射图像的面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的图像的成像面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第。
8、3傅里叶变换 部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 6.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的夫 琅和费衍射图像的面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的菲涅耳衍射图像的 面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换 部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 7.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物。
9、的图 像的成像面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的夫琅和费衍射图像的面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换 部、所述第3傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置, 所述透镜进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 8.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的图 像的成像面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的图像的成像面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换 部、。
10、所述第3傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置, 所述透镜进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 9.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的图 像的成像面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的菲涅耳衍射图像的面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换 部、所述第3傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置, 所述透镜进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 10.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进。
11、一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的菲 涅耳衍射图像的面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的夫琅和费衍射图像的 面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换 权 利 要 求 书CN 102859418 A 3/5页 4 部、所述第4傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 11.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成对象物的菲涅耳 衍射图像的面。
12、,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的图像的成像面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换 部、所述第4傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 12.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的菲 涅耳衍射图像的面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的菲涅耳衍射图像的 面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换 部、所述第4傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。。
13、 13.如权利要求2所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的菲 涅耳衍射图像的面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的菲涅耳衍射图像的 面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换 部、所述第3傅里叶变换部、所述第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 14.一种观察装置,其特征在于: 具备: 光源部,将光照射到移动的对象物; 检测部,将作为规定平面上的方向的垂直于所述对象物的移动方向的方向作为第1方 向,将作为垂直于该第1方向的所述规定平面上的方。
14、向的平行于所述对象物的移动方向的 方向作为第2方向,此时,对于所述第1方向的各个位置在各个时刻输出表示以对应于到达 所述规定平面上的各个位置的光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的、关于所 述第2方向的总和的数据,其中,所述规定平面为在通过由所述光源部进行的光照射而在 所述对象物所产生的散射光中到达所述规定平面的光中由于所述对象物的移动而引起的 多普勒频移效应成为一定的平面; 运算部,关于将所述规定平面上的所述第1方向的位置以及时刻作为变量的数据,进 行与时刻变量相关的一维傅里叶变换、与频率相关的一维傅里叶变换、以及与所述第1方 向相关的一维傅里叶变换,从而将由这些一维傅里叶变换获得的数。
15、据作为所述对象物的图 像而获得, 所述检测部包含: 光学系统,输入从所述光源部输出的光,在所述对象物的后段将该输入的光分割为两 个而作为第1光以及第2光,在用调制器调制第2光之后,在所述规定平面上使所述第1光 与该调制后的第2光发生外差干涉; 权 利 要 求 书CN 102859418 A 4/5页 5 光检测器,在所述规定平面上具有受光面,并在该受光面上在所述第1方向上具有像 素构造。 15.如权利要求14所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的图 像的成像面,且被配置于所述在第2。
16、方向上形成所述对象物的图像的成像面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换部 的顺序进行配置, 所述透镜进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 16.如权利要求14所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的图 像的成像面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的夫琅和费衍射图像的面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换部 的顺序进行配置, 所述透镜进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 17.如权利。
17、要求14所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备配置于所述光源部与所述检测部之间的透镜, 所述检测部的受光面被配置于由所述透镜而在所述第1方向上形成所述对象物的图 像的成像面,且被配置于在所述第2方向上形成所述对象物的菲涅耳衍射图像的面, 以所述光源部、所述透镜、所述检测部、所述第1傅里叶变换部、所述第3傅里叶变换部 的顺序进行配置, 所述透镜进行与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 18.如权利要求117中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 所述运算部进一步具备修正包含于由与所述时刻变量相关的一维傅里叶变换获得的 数据中的初始相位的初始相位修正部。 19.如权利要求118中的任意一项所述。
18、的观察装置,其特征在于: 所述检测部存在多个, 所述运算部进一步具备求取来自所述多个检测部的输出的总和的输出总和器。 20.如权利要求119中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 所述运算部进一步具备进行与所述第2方向相关的傅里叶变换或者菲涅耳变换的变 换部。 21.如权利要求113以及1820中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 所述运算部在由与所述时刻变量相关的一维傅里叶变换获得的数据中对于将第1调 制频率与第2调制频率的差频作为中心且在前后包含奈奎斯特频率的区域的数据进行所 述二维傅里叶变换。 22.如权利要求1417中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 所述运算部在由与所述时。
19、刻变量相关的一维傅里叶变换获得的数据中对于将第1调 制频率与第2调制频率的差频作为中心且在前后包含奈奎斯特频率的区域的数据进行与 权 利 要 求 书CN 102859418 A 5/5页 6 所述频率相关的一维傅里叶变换以及与所述第1方向相关的一维傅里叶变换。 23.如权利要求122中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 进一步具备检测所述对象物的移动速度的速度检测部, 所述运算部根据由所述速度检测部检测的所述对象物的速度,在与所述时刻变量相关 的一维傅里叶变换或者所述二维傅里叶变换的时候进行与所述对象物的速度变化相关的 修正。 24.如权利要求123中的任意一项所述的观察装置,其特征在于:。
20、 向所述对象物的光的照射是透过照明的光学配置。 25.如权利要求123中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 向所述对象物的光的照射是反射照明的光学配置。 26.如权利要求125中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 所述光源部是生成单一纵向模式的光的光源。 27.如权利要求125中的任意一项所述的观察装置,其特征在于: 所述光源部是生成宽频带的光的光源。 28.如权利要求27所述的观察装置,其特征在于: 所述光源部是锁模激光。 权 利 要 求 书CN 102859418 A 1/41页 7 观察装置 技术领域 0001 本发明涉及观察对象物的相位图像的装置。 背景技术 0002 细胞或玻。
21、璃体等无色透明的对象物(相位物体)因为根据在光被照射到该对象物 的时候所产生的透过光的强度分布(振幅图像)进行观察是困难的,所以要根据该透过光的 相位分布(相位图像)进行观察。作为这样的观察对象物的相位图像的装置,可以列举相位 差显微镜或者微分干涉显微镜。但是,这些装置不能够获得对象物的光学性厚度的定量信 息。 0003 作为观察对象物的相位图像而获得定量信息的技术,众所周知的是使用专利文献 1或者非专利文献1所记载的相移(phase shift)法的技术。在这些根据相移法的观察装 置中,从光源输出的波长的光被两分支,1个分支光透过对象物并被作为物体光,另一个 分支光被作为参照光,从而对由这些。
22、物体光和参照光的干涉而引起的二维图像进行摄像。 于是,参照光的光路长度被作为每/4而不同的光路长度并获得4枚二维图像。对于这4 枚二维图像实施规定的运算从而获得对象物的振幅图像以及相位图像。 0004 现有技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献1:日本专利第3471556号公报 0007 非专利文献 0008 非专利文献1:F.Le Clerc,et al,Numerical heterodyne holography with two-dimensional photodetector arrays,Optics Letters,Vol.25,No.10,pp.716-718( 2。
23、000). 发明内容 0009 发明所要解决的问题 0010 在使用了专利文献1或者非专利文献1所记载的相移法的观察装置中,在获得4 枚二维图像的期间,需要对象物为静止的状态。对于获得移动的对象物的相位图像来说,需 要使用帧频高且可以高速摄像的光检测器,从而在可以认为对象物静止的期间获得4枚二 维图像。但是,可以高速摄像的光检测器,价格高,或者,像素数少且空间分辨率差。另外,即 使在曝光时间内,因为最多也是在可以认为对象物静止的期间内,所以从SN的方面来看, 画质也差且灵敏度也低。 0011 本发明是为了解决上述问题而完成的发明,其目的在于,提供一种即使是在使用 每一个像素的读出速度为低速的光。
24、检测器的情况下也能够获得移动的对象物的相位图像 的观察装置。例如,其目的在于,提供一种与具有纵m、横n的像素的二维检测器相比较能够 以n倍的速度高速地获得移动的对象物的相位图像,进一步能够获得对在视野内移动的物 体进行多重曝光的效果,SN提高且灵敏度也提高的观察装置。 说 明 书CN 102859418 A 2/41页 8 0012 解决问题的技术手段 0013 本发明的观察装置,其特征在于,具备:(1)光源部,将光照射到移动的对象物; (2)检测部,将在通过由所述光源部进行的光照射而在所述对象物产生的散射光中到达规 定平面的光中由于对象物的移动而引起的多普勒频移(Doppler shft)效。
25、应成为一定的规 定平面上的方向作为第1方向,将垂直于该第1方向的规定平面上的方向作为第2方向,此 时,对于第1方向的各个位置在各个时刻输出表示以对应于到达规定平面上的各个位置的 光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的关于第2方向的总和的数据;(3)运算 部,进行关于将规定平面上的第1方向的位置以及时刻作为变量的数据的与时刻变量相关 的傅里叶变换、以及关于该傅里叶变换后的数据的二维傅里叶变换,将由该二维傅里叶变 换获得的数据作为对象物的图像来加以获得。在此,第1方向是垂直于对象物的移动方向 的方向,第2方向是平行于对象物的移动方向的方向。 0014 在本发明的观察装置中,移动的对象物由光源。
26、部而被照射光,从而产生散射光。该 散射光接受对应于散射方向的量的多普勒频移。该散射光被检测部接收。将在到达规定平 面的光中由于对象物的移动而引起的多普勒频移效应成为一定的规定平面上的方向作为 第1方向,将垂直于该第1方向的规定平面上的方向作为第2方向。对于第1方向的各个 位置在各个时刻从检测部输出表示以对应于经过光学系统而到达规定平面上的各个位置 的光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的关于第2方向的总和的数据。在运算 部中,进行关于将规定平面上的第1方向的位置以及时刻作为变量的数据的与时刻变量相 关的傅里叶变换、关于该傅里叶变换后的数据的二维傅里叶变换,从而由该二维傅里叶变 换获得的数。
27、据作为对象物的图像而获得。 0015 检测部包含:(a)光学系统,输入从光源部输出的光,在对象物2的后段将该输入 的光分割为两个而作为第1光以及第2光,在用调制器调制第2光之后,在规定平面上使第 1光与该调制后的第2光发生外差干涉(heterodyne interferometry);(b)光检测器,在 规定平面上具有受光面并在该受光面上在第1方向上具有像素构造。 0016 运算部具备进行与时刻变量相关的一维傅里叶变换的第1傅里叶变换部、进行二 维傅里叶变换的第2傅里叶变换部;第2傅里叶变换部也可以具备进行与频率相关的一维 傅里叶变换的第3傅里叶变换部、进行与第1方向相关的一维傅里叶变换的第4。
28、傅里叶变 换部的傅里叶变换部。 0017 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于透镜的第1方向上的后焦点面,且被配置于透镜的第2方向上的后 焦点面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换 部的顺序进行配置。 0018 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的夫琅和费衍射(Fraunhofer diffraction)图像的面,且被配置于在第2方向上形成对象物的夫琅和费衍射图像的面 上,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶。
29、变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的 顺序进行配置。 0019 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的夫琅和费衍射图像的面,且被 说 明 书CN 102859418 A 3/41页 9 配置于在第2方向上形成对象物的图像的成像面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变 换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 0020 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的夫琅和费衍射图像的面,且被 配置于在第2方向。
30、上形成对象物的菲涅耳衍射(Fresnel diffraction)图像的面,并以光 源部、透镜、检测部、第1傅里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行 配置。 0021 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的图像的成像面,且被配置于在 第2方向上形成对象物的夫琅和费衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变 换部、第4傅里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置,透镜进行 与第1方向相关的一维傅里叶变换。 0022 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与。
31、检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的图像的成像面,且被配置于在 第2方向上形成对象物的图像的成像面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变换部、第4 傅里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置,透镜进行与第1方 向相关的一维傅里叶变换。 0023 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的图像的成像面,且被配置于在 第2方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变换 部、第4傅里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的。
32、顺序进行配置,透镜进行与 第1方向相关的一维傅里叶变换。 0024 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,且被配 置于在第2方向上形成对象物的夫琅和费衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅 里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 0025 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,且被配 置于在第2方向上形成对象物的图像的成像面,并以光源部。
33、、透镜、检测部、第1傅里叶变换 部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 0026 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,且被配 置于在第2方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里 叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 0027 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,且被配 置于在。
34、第2方向上形成对象物的菲涅耳衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里 叶变换部、第4傅里叶变换部、第3傅里叶变换部、第4傅里叶变换部的顺序进行配置。 0028 本发明的观察装置具备:光源部,将光照射到移动的对象物;检测部,将作为在通 说 明 书CN 102859418 A 4/41页 10 过由光源部进行的光照射而在对象物所产生的散射光中到达规定平面的光中由于对象物 的移动而引起的多普勒频移效应成为一定的规定平面上的方向的垂直于对象物的移动方 向的方向作为第1方向,将作为垂直于该第1方向的规定平面上的方向的平行于对象物的 移动方向的方向作为第2方向,此时,对于第1方向的各个位置在各个时。
35、刻输出表示以对应 于到达规定平面上的各个位置的光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的、关于 第2方向的总和的数据;运算部,关于将规定平面上的第1方向的位置以及时刻作为变量 的数据,进行与时刻变量相关的一维傅里叶变换、与频率相关的一维傅里叶变换以及与第1 方向相关的一维傅里叶变换,从而将由这些一维傅里叶变换获得的数据作为对象物的图像 而获得;检测部包含:光学系统,输入从光源部输出且透过对象物的光,将该输入的光分割 为两个而作为第1光以及第2光,在用调制器调制第2光之后,在规定平面上使第1光与该 调制后的第2光发生外差干涉(heterodyne interferometry);光检测器,在规。
36、定平面上具 有受光面并在该受光面上在第1方向上具有像素构造。 0029 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的图像的成像面,且被配置于在 第2方向上形成对象物的图像的成像面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变换部、第3 傅里叶变换部的顺序进行配置,透镜包含对来自对象物2的衍射光进行与第1方向相关的 一维傅里叶变换的作用。 0030 本发明的观察装置中,也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检 测部的受光面被配置于由透镜而在第1方向上形成对象物的图像的成像面,且被配置于在 第2方向上形成对象物的夫。
37、琅和费衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变 换部、第3傅里叶变换部的顺序进行配置,透镜包含对来自对象物2的衍射光进行与第1方 向相关的一维傅里叶变换的作用。 0031 也可以进一步具备配置于光源部与检测部之间的透镜,检测部的受光面被配置于 由透镜而在第1方向上形成对象物的图像的成像面,且被配置于在第2方向上形成对象物 的菲涅耳衍射图像的面,并以光源部、透镜、检测部、第1傅里叶变换部、第3傅里叶变换部 的顺序进行配置,透镜包含对来自对象物2的衍射光进行与第1方向相关的一维傅里叶变 换的作用。 0032 本发明的观察装置中,运算部也可以进一步具备修正包含于由与时刻变量相关的 一维傅。
38、里叶变换而获得的数据中的初始相位的初始相位修正部。 0033 本发明的观察装置中,检测部也可以存在多个,运算部进一步具备求取来自多个 检测部的输出的总和的输出总和器。 0034 本发明的观察装置也可以进一步具备进行与第2方向相关的傅里叶变换或者菲 涅耳(Fresnel)变换的变换部。 0035 运算部也可以在由傅里叶变换获得的数据中对于将第1调制频率与第2调制频率 的差频作为中心且在前后包含奈奎斯特频率(Nyquist frequency)的区域的数据进行二维 傅里叶变换。 0036 运算部也可以在由与时刻变量相关的一维傅里叶变换获得的数据中对于将第1 调制频率与第2调制频率的差频作为中心且在。
39、前后包含奈奎斯特频率的区域的数据进行 与频率相关的一维傅里叶变换。 说 明 书CN 102859418 A 10 5/41页 11 0037 本发明的观察装置中,也可以进一步具备检测对象物的移动速度的速度检测部。 在此情况下,运算部能够根据由速度检测部检测的对象物的速度,在时间方向的一维傅里 叶变换或者二维傅里叶变换的时候进行与对象物的速度变化相关的修正。 0038 本发明的观察装置,向对象物的光的照射可以是透过照明的光学配置,也可以 是反射照明的光学配置。本发明的观察装置,光源部可以是生成单一纵向模式的光的光 源,也可以是生成宽频带的光的光源,在后者的情况下,也可以是锁模激光(mode lo。
40、cked laser)。 0039 发明的效果 0040 根据本发明,即使是在使用每一个像素的读出速度为低速的光检测器的情况下, 也能够获得移动的对象物的相位图像。例如,与具有纵m、横n的像素的二维检测器相比较 能够以n倍的速度高速地获得移动的对象物的相位图像。进而,因为能够获得对在视野内 移动的物体进行多重曝光的效果,所以SN提高且灵敏度也提高。 附图说明 0041 图1是说明本实施方式的观察装置的对象物的相位图像的取得的原理的示意图。 0042 图2是说明在对象物所产生的散射光的散射方向的示意图。 0043 图3是说明在对象物所产生的散射光到达透镜的后焦点面的位置的示意图。 0044 图4。
41、是进一步说明在对象物所产生的散射光到达透镜的后焦点面的位置的示意 图。 0045 图5是说明在对象物进行移动的情况下在对象物所产生的散射光到达透镜的后 焦点面的位置的示意图。 0046 图6是说明在对象物进行移动的情况下在对象物所产生的散射光到达透镜的后 焦点面为止的光路长度的变化的示意图。 0047 图7是说明在对象物所产生的散射光的散射方向单位矢量与移动的对象物的速 度矢量所成的角度的示意图。 0048 图8是表示本实施方式的观察装置1的构成的示意图。 0049 图9是表示本实施方式的观察装置1的详细构成的示意图。 0050 图10是说明本实施方式的观察装置1中的对象物2、透镜40以及光检。
42、测器46之 间的配置关系的示意图。 0051 图11是表示在本实施方式的观察装置1中采用第1配置例的情况下由光检测器 46进行摄像的干涉图像的例子的示意图。 0052 图12是表示包含于本实施方式的观察装置1中的透镜40的构成例的示意图。 0053 图13是表示在本实施方式的观察装置1中采用第1配置例的情况下由光检测器 46进行摄像的干涉图像中的频率分布的例子的示意图。 0054 图14是示意性地表示在本实施方式的观察装置1中采用第1配置例的情况下在 uv平面上观测的信号的示意图。 0055 图15是示意性地表示在本实施方式的观察装置1中采用第1配置例的情况下且 在没有由调制器20、30进行的。
43、频移的情况(f0)下在uv平面上观测的信号的示意图。 0056 图16是示意性地表示在本实施方式的观察装置1中采用第1配置例的情况下关 说 明 书CN 102859418 A 11 6/41页 12 于各个un获得表示平行于v方向的直线上的信号h1hN的总和的信号s1(un,t)的操作 的示意图。 0057 图17是表示在第1实施例中所使用的对象物2的示意图。 0058 图18是表示由第1实施例所获得的数据的示意图。 0059 图19是表示由第1实施例所获得的数据的示意图。 0060 图20是表示第1实施例中的初始相位0的示意图。 0061 图21是表示第1配置例中的光检测部46以及运算部50。
44、的构成的方块图。 0062 图22是示意性地表示在本实施方式的观察装置1中采用第2配置例的情况下在 uv平面上观测的信号的示意图。 0063 图23是表示第2配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0064 图24是表示第2配置例中的透镜40、光检测部46以及运算部50的构成的方块 图。 0065 图25是表示在第2实施例中所使用的对象物2的示意图。 0066 图26是表示在第2实施例中所获得的数据的示意图。 0067 图27是表示在第2实施例中所获得的数据的示意图。 0068 图28是表示在第3配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0069 图29是表示第3配置例中的光检测部46以及运算部50。
45、的构成的方块图。 0070 图30是由第4配置例的运算部50进行的运算的模式图。 0071 图31是表示第4配置例中的光检测部46以及运算部50的构成的方块图。 0072 图32是由第5配置例的运算部50进行的运算的模式图。 0073 图33是表示第5配置例中的光检测部46以及运算部50的构成的方块图。 0074 图34是由第6配置例的运算部50进行的运算的模式图。 0075 图35是表示第6配置例中的光检测部46以及运算部50的构成的方块图。 0076 图36是表示第7配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0077 图37是表示第8配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0078 图38是表示。
46、第9配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0079 图39是表示第10配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0080 图40是表示第11配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0081 图41是表示第12配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0082 图42是表示第13配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0083 图43是表示第14配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0084 图44是表示第15配置例中的透镜40的构成例的示意图。 0085 图45是表示第1第15配置例中的运算器构成的概略的方块图。 0086 图46是表示第16配置例中的运算器构成的概略的方块图。 0087 图47是表示第1。
47、6配置例中的运算器构成的概略的变形例的方块图。 0088 图48是表示第16配置例中的运算器构成的概略的变形例的方块图。 0089 图49是表示第16配置例中的运算器构成的概略的变形例的方块图。 0090 图50是表示第16配置例中的运算器构成的概略的变形例的方块图。 0091 图51是表示第16配置例中的时间波形s (m) (u,t)的图表。 说 明 书CN 102859418 A 12 7/41页 13 0092 图52是表示第16配置例中的时间波形S (m) (u,)的图表。 0093 图53是疑似彩色表示具有各个位置(m,n)上的最大振幅的频率的示意图。 0094 图54是表示对线段I。
48、上的像素进行总和的结果的频率光谱S(u 1 ,)的振幅和 相位的示意图。 0095 图55是表示第16配置例中的G(u,d)和复数振幅(complex amplitude)g的 示意图。 0096 图56是表示第18配置例中的运算器构成的概略的变形例的方块图。 0097 图57是表示第18配置例中的第2方向变换器的输入图像的示意图。 0098 图58是表示第18配置例中的第2方向变换器的输入图像的示意图。 0099 图59是表示在第18实施例中所获得的数据的示意图。 0100 图60是表示在第18实施例中所获得的数据的示意图。 0101 图61是表示第17第19配置例的变形例的构成的方块图。 。
49、0102 图62是表示第17第19配置例的变形例的构成的方块图。 0103 图63是表示第20配置例中的透镜构成的示意图。 具体实施方式 0104 以下,参照附图,对用于实施本发明的方式进行详细的说明。还有,在附图的说明 中,将相同的符号标注于相同的要素,省略重复的说明。 0105 本实施方式的观察装置是利用在将光照射到移动的对象物的时候所产生的多普 勒频移(Doppler shift)效应,特别是利用在对象物所产生的散射光的行进方向与多普勒 频移量之间存在一定关系的现象,取得对象物的相位图像的观察装置。首先,使用图1图 7,对于由本实施方式的观察装置进行的对象物的相位图像的取得,对原理性的事项进行说 明。 0106 图1是说明由本实施方式的观察装置进行的对象物的相位图像的取得的原理的 示意图。在该图中,表示有。