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1、10申请公布号CN104043899A43申请公布日20140917CN104043899A21申请号201310527097722申请日20131030102013002682920130313KRB23K26/06201401B23K26/0020140171申请人三星显示有限公司地址韩国京畿道龙仁市72发明人尹永俊金志勋田民镐金英培74专利代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司11286代理人鲁恭诚王彬54发明名称皮秒激光加工设备57摘要本发明提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，所述相位差控制器被构。
2、造为改变所述皮秒激光束的相位差。30优先权数据51INTCL权利要求书2页说明书7页附图8页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书7页附图8页10申请公布号CN104043899ACN104043899A1/2页21一种皮秒激光加工设备，包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，所述相位差控制器被构造为改变所述皮秒激光束的相位差。2根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位差控制器包括相位延迟膜。3根据权利要求2所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位延迟膜被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为大约四分之一波长的相位。
3、差。4根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位差控制器被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为大约四分之一波长的相位差。5根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备还包括工作台，用于安装工件，所述工件被穿过所述相位差控制器的所述皮秒激光束照射。6根据权利要求5所述的皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备还包括固定器，被构造为固定所述工件。7根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备，其中，所述皮秒激光器被构造为输出所述皮秒激光束，使得所述皮秒激光束是基本线偏振的。8一种皮秒激光加工设备，包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，并且所。
4、述相位差控制器被构造为连续地改变所述皮秒激光束的相位差。9根据权利要求8所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位差控制器包括相位延迟膜。10根据权利要求9所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位延迟膜被构造为旋转。11根据权利要求10所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位延迟膜被构造为每分钟旋转800到1600次。12根据权利要求11所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位延迟膜的旋转轴基本平行于所述皮秒激光束的传播方向。13根据权利要求9所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位延迟膜被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为四分之一波长的相位差。14根据权利要求9所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位延。
5、迟膜被构造为沿第一方向和不同于第一方向的第二方向绕着旋转轴反复地旋转。15一种皮秒激光加工设备，包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束并连续地改变所述皮秒激光束的振荡方向；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上。16根据权利要求15所述的皮秒激光加工设备，其中，所述皮秒激光器被构造为绕着所述皮秒激光束被输出的方向旋转。17根据权利要求16所述的皮秒激光加工设备，其中，所述皮秒激光器被构造为每分钟旋转800到1600次。18根据权利要求15所述的皮秒激光加工设备，其中，所述相位差控制器被构造为将权利要求书CN104043899A2/2页3所述皮秒激光束的相位差改变为四分之一波长的相位差。19一。
6、种皮秒激光加工设备，包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；振荡方向控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，所述振荡方向控制器被构造为连续地改变所述皮秒激光束的振荡方向；相位差控制器，位于穿过所述振荡方向控制器的所述皮秒激光束的路径上。20根据权利要求19所述的皮秒激光加工设备，其中，所述振荡方向控制器还包括第一电极；第二电极，面对所述第一电极；扭曲向列TN液晶层，位于第一电极和第二电极之间，其中，所述振荡方向控制器被构造为连续地改变第一电极和第二电极之间的电势差。权利要求书CN104043899A1/7页4皮秒激光加工设备0001本申请要求于2013年3月13日提交到韩国知识产权局的第10201。
7、30026829号韩国专利申请的优先权，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被全部包含于此。技术领域0002本发明的实施例涉及一种皮秒激光加工设备。背景技术0003由于电子产品或在电子产品中使用的部件的尺寸变得更小，所以对高精度加工技术的需求正在增加。另外，所使用的制造工艺的类型和材料的类型变得更加多样化。为了实现各种具有高精度的加工并为了加工各种材料，激光加工设备正在被广泛地使用。0004激光加工设备使用脉冲激光器。根据脉冲宽度，脉冲激光器可被分为纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器。根据脉冲激光器的设计和类型，与其它脉冲激光器相比，从皮秒激光器发射的激光束可具有相对优良的线性偏振特性。然而，根。
8、据激光束的振幅的变化，在工件上可形成波纹。通常，当激光束具有较短的脉冲宽度时，产生较少的热量并形成较少的波纹。0005当工件由利用皮秒激光器的激光加工设备加工时，在所述工件上可形成波纹。因为所述工件的被照射部分由于相对少的热量的产生而不会融化，所以所述波纹会残留。结果，所述工件的表面状况会变差。发明内容0006本发明的实施例提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备能减少工件上波纹的形成。0007本发明的实施例还提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备能改善工件的表面状况。0008然而，本发明的实施例并不局限于这里所阐述的一个。通过参照下面给出的本发明的详细描述，对于本发明所属领域的。
9、普通技术人员来说，本发明的以上和其它方面将变得更加清楚。0009根据本发明的实施例，提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，所述相位差控制器被构造为改变所述皮秒激光束的相位差。0010所述相位差控制器可包括相位延迟膜。0011所述相位延迟膜可被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为大约四分之一波长的相位差。0012所述相位差控制器可被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为大约四分之一波长的相位差。0013所述皮秒激光加工设备可包括工作台，用于安装工件，所述工件被穿过所述相位说明书CN104043899A2/7页。
10、5差控制器的所述皮秒激光束照射。0014所述皮秒激光加工设备可包括固定器，被构造为固定所述工件。0015所述皮秒激光器可被构造为输出所述皮秒激光束，使得所述皮秒激光束是基本线偏振的。0016根据本发明的另一方面，提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，并且被构造为连续地改变所述皮秒激光束的相位差。0017所述相位差控制器可包括相位延迟膜。0018所述相位延迟膜可被构造为旋转。0019所述相位延迟膜可被构造为每分钟旋转800到1600次。0020所述相位延迟膜的旋转轴可基本平行于所述皮秒激光束的传播方向。00。
11、21所述相位延迟膜可被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为四分之一波长的相位差。0022所述相位延迟膜可被构造为沿第一方向和不同于第一方向的第二方向绕着旋转轴反复地旋转。0023根据本发明的另一方面，提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束并连续地改变所述皮秒激光束的振荡方向；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上。0024所述皮秒激光器可被构造为绕着所述皮秒激光束被输出的方向旋转。0025所述皮秒激光器可被构造为每分钟旋转800到1600次。0026所述相位差控制器被构造为将所述皮秒激光束的相位差改变为四分之一波长的相位差。0027根据本发明的另。
12、一方面，提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；振荡方向控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，所述振荡方向控制器被构造为连续地改变所述皮秒激光束的振荡方向；相位差控制器，位于穿过所述振荡方向控制器的所述皮秒激光束的路径上。0028所述振荡方向控制器可包括第一电极；第二电极，面对所述第一电极；扭曲向列TN液晶层，位于第一电极和第二电极之间，其中，所述振荡方向控制器被构造为连续地改变第一电极和第二电极之间的电势差。附图说明0029下面结合附图对本发明的示例性实施例进行详细描述，本发明的实施例的以上和其它方面及特点将变得更加清楚，附图中0030图1是根据本。
13、发明的实施例的皮秒激光加工设备的侧视图；0031图2是示出根据本发明的实施例的第一皮秒激光束的偏振分量的曲线图；0032图3是示出根据本发明的实施例的第一皮秒激光束的振荡方向的曲线图；0033图4是示出根据本发明的实施例的第二皮秒激光束的偏振分量的曲线图；0034图5是示出根据本发明的实施例的第二皮秒激光束的振荡方向的曲线图；0035图6是根据本发明的另一实施例的相位差控制器的透视图；说明书CN104043899A3/7页60036图7是示出根据本发明的另一实施例的入射到相位差控制器的第一皮秒激光束的振荡方向的曲线图；0037图8是根据本发明的另一实施例的相位差控制器的透视图；0038图9是根。
14、据本发明的另一实施例的皮秒激光加工设备的侧视图；0039图10是根据本发明的另一实施例的皮秒激光加工设备的侧视图；0040图11是图10中所示的振荡方向控制器的剖视图。具体实施方式0041通过参照下面对附图和各种实施例的详细描述，本发明的实施例的方面和特点以及实现所述实施例的方法将会变得更容易理解。然而，本发明可以以许多不同的形式来实施，并且不应该被理解成限于这里阐述的实施例。更确切地说，提供这些实施例以便本公开将是彻底的和完全的，并且将本发明构思充分地传达给本领域的技术人员，本发明的实施例仅由权利要求及其等同物所限定。因此，在一些实施例中，公知的结构和装置未被示出，以便不必要的细节不会使得本。
15、发明的描述模糊。相同的标号始终表示相同的部件。在附图中，为了清晰度而夸大了层和区域的厚度。0042应该理解，当部件或层被称为“在另一部件或层上”或者“连接到另一部件或层”，所述部件或层可以直接在另一部件或层上或者连接到另一部件或层，或者也可以存在中间部件或层。相反，当部件被称为“直接在另一部件或层上”或者“直接连接到另一部件或层”时，不存在中间部件或层。这里所使用的诸如“和/或”的术语包括一个或多个相关的列出项的任意组合和全部组合。0043应该理解，虽然在此可使用“第一”、“第二”等术语来描述各种部件，但是这些部件不被这些术语限制。这些术语仅仅用于将一个部件与另一部件进行区分。因此，例如，在不。
16、脱离本发明的教导的情况下，下面讨论的第一部件、第一组件或第一部分也可以被称为第二部件、第二组件或第二部分。0044现在将参照附图对本发明的实施例进行更充分地描述，在附图中示出了本发明的示例性实施例。0045图1是根据本发明实施例的皮秒激光加工设备的侧视图。参照图1，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器10和相位差控制器20。0046皮秒激光器10输出第一皮秒激光束L1。第一皮秒激光束L1可以是具有皮秒级的脉冲宽度的脉冲激光束。第一皮秒激光束L1的脉冲宽度可以是几皮秒到几十皮秒，但不限于几皮秒到几十皮秒。第一皮秒激光束L1可具有相对优良的线性偏振特性，并且可以是基本线偏振的。0047现在将参照图2。
17、和图3对第一皮秒激光束L1进行更详细地描述。图2是示出根据本发明实施例的第一皮秒激光束L1的偏振分量的曲线图。图3是示出根据本发明实施例的第一皮秒激光束L1的振荡方向的曲线图。0048参照图2，第一皮秒激光束L1可以被分为第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y。第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y彼此垂直。因为第一皮秒激光束L1具有相对优良的线性偏振特性，所以在第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y之间可以基本上无相位差。在这种情况下，如图3中所示，第一皮秒激光束L1的振幅可说明书CN104043899A4/7页7穿过XY坐标系的第二象限和第四象限线性地振荡。0049。
18、根据一些实施例，第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y可具有半波长的相位差。在这种情况下，第一皮秒激光束L1的振幅可穿过XY坐标系的第一象限和第三象限线性地振荡。0050返回参照图1，相位差控制器20可被放置在第一皮秒激光束L1的光路上，以改变第一皮秒激光束L1的相位差。相位差控制器20可改变第一皮秒激光束L1的相位差，并输出第二皮秒激光束L2。这里，所述相位差是指电磁波的水平偏振分量和竖直偏振分量之间的相位的差异。作为第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y之间的相位差的改变的结果，可产生第二皮秒激光束L2。根据一些实施例，相位差控制器20可包括相位延迟膜。0051现在将参照图。
19、4和图5对第二皮秒激光束L2进行更详细地描述。图4是示出根据本发明实施例的第二皮秒激光束L2的偏振分量的曲线图。图5是示出根据本发明实施例的第二皮秒激光束L2的振荡方向的曲线图。0052参照图4，第二皮秒激光束L2可以被分为第二水平偏振分量L2X和第二竖直偏振分量L2Y。第二水平偏振分量L2X和第二竖直偏振分量L2Y彼此垂直。第二水平偏振分量L2X和第二竖直偏振分量L2Y可以存在除了半波长的倍数之外的相位差。0053在图4中，第二水平偏振分量L2X的相位比第二竖直偏振分量L2Y的相位超前四分之一波长。然而，本发明不限于此。当第二水平偏振分量L2X的相位比第二竖直偏振分量L2Y的相位超前四分之一。
20、波长时，相位差控制器20可将第一皮秒激光束L1的相位差改变为四分之一波长的相位差。也就是说，相位差控制器20可延迟第一竖直偏振分量L1Y，以使其滞后于第一水平偏振分量L1X四分之一波长。根据一些实施例，相位差控制器20可以是相位延迟膜，所述相位延迟膜延迟第一竖直偏振分量L1Y，以使其滞后于第一水平偏振分量L1X四分之一波长。0054如图5中所示，当第二水平偏振分量L2X的相位超前于第二竖直偏振分量L2Y的相位四分之一波长时，第二皮秒激光束L2的振幅可以逆时针作圆周旋转。因此，第二皮秒激光束L2的振幅的变化幅度可比第一皮秒激光束L1的振幅的变化幅度更小。当通过将第一皮秒激光束L1直接照射到工件P。
21、A而加工所述工件PA时，根据线性偏振的具有指向性的第一皮秒激光束L1的振幅的变化，波纹可形成在所述工件PA上。在本发明的当前实施例中，所述皮秒激光加工设备不是将第一皮秒激光束L1直接照射到工件PA，而是通过相位差控制器20将第一皮秒激光束L1照射到工件PA。从而，减小了第一皮秒激光束L1的振幅的变化，进而减少形成在工件PA上的波纹。因此，所述皮秒激光加工设备能改善工件PA的表面状况。0055根据一些实施例，相位差控制器20可延迟第一竖直偏振分量L1X以使其滞后于第一水平偏振分量L1Y四分之一波长。因此，第二竖直偏振分量L2Y可超前于第二水平偏振分量L2X四分之一波长，第二皮秒激光束L2的振幅可。
22、以顺时针作圆周转动。在这种情况下，如图4和图5中所示，第二皮秒激光束L2的振幅的变化幅度可比第一皮秒激光束L1的振幅的变化幅度更小。因此，所述皮秒激光加工设备能减少形成在工件PA上的波纹，从而改善工件PA的表面状况。0056根据另一些实施例，相位差控制器20可将第一竖直偏振分量L1Y延迟除了四分之一波长的倍数之外的相位差。在这种情况下，第二皮秒激光束L2可以是椭圆偏振的。即使说明书CN104043899A5/7页8当第二皮秒激光束L2是椭圆偏振的时，第二皮秒激光束L2的振幅的变化也可比基本线偏振的第一皮秒激光束L1的振幅的变化更小。因此，即使当相位差控制器20将第一皮秒激光束L1延迟除了四分之。
23、一波长的倍数之外的相位差时，因为第二皮秒激光束L2的振幅的变化比第一皮秒激光束L1的振幅的变化更小，所以所述皮秒激光加工设备也能减少形成在工件PA上的波纹，从而改善工件PA的表面状况。0057返回参照图1，所述皮秒激光加工设备还可包括工作台30和固定器40。工件PA可被安装在工作台30上。工作台30可被移动，以便第二皮秒激光束L2能照射工件PA的期望部分。根据一些实施例，工作台30可不被移动例如，工作台30可相对于皮秒激光器10是固定的或牢固的。相反，皮秒激光器10可被移动，以便第二皮秒激光束L2可被照射到工件PA的期望部分。根据其它实施例，工作台30和皮秒激光器10都可被移动。固定器40可固。
24、定住工件PA，以防止或基本上防止工件PA相对工作台30的运动。图1中示出的固定器40的形状仅是示例，并且固定器40的形状可以被改变为本发明的实施例所属领域的普通技术人员已知的其他形状。0058以下，将参照图6和图7对本发明的另一实施例进行描述。图6是根据本发明的另一实施例的相位差控制器21的透视图。图7是示出根据本发明另一实施例的入射到相位差控制器21的第一皮秒激光束L1的振荡方向的曲线图。虽然在图6和图7中未示出，但是根据当前的实施例的皮秒激光器10、工作台30和固定器40与图1中那些利用相同名称标识的构件基本相同或基本相似。0059参照图6，相位差控制器21可以由相位延迟膜形成。相位差控制。
25、器21可沿着第一方向R1旋转。当从相位差控制器21的第二皮秒激光束L2所出射的表面的方向看时，第一方向R1可以是顺时针方向。相位差控制器21的旋转轴可以基本平行于第一皮秒激光束L1或第二皮秒激光束L2的传播方向，但不限于此。0060如图7中所示，当相位差控制器21沿着第一方向R1旋转时，入射到相位差控制器21的第一皮秒激光束L1的振荡方向可沿着关于相位差控制器21的逆时针方向旋转。在这种情况下，第二皮秒激光束L2的相位差连续地变化，从而导致第二皮秒激光束L2的偏振状态连续地变化。例如，第二皮秒激光束L2的偏振状态可按照线偏振、椭圆偏振、圆偏振和线偏振的顺序连续地变化。如果第二皮秒激光束L2的偏。
26、振状态连续地变化，则第二皮秒激光束L2的振荡方向不具有指向性。因此，当第二皮秒激光束L2照射到工件PA时，能减少波纹的形成，从而改善工件PA的表面状况。0061根据一些实施例，相位差控制器21每分钟可旋转800到1600次。当相位差控制器21缓慢地旋转时，第二皮秒激光束L2的偏振状态可缓慢地变化。这可减小第二皮秒激光束L2的振荡方向对于抑制波纹的形成的影响。当相位差控制器21旋转过快时，由于相位差控制器21的旋转产生的振动可破坏工件PA的表面状况。因此，相位差控制器21每分钟旋转800到1600次能够通过连续改变第二皮秒激光束L2的偏振状态而减小波纹的形成，并能够降低来自相位差控制器21的振动。
27、的影响。结果，可改善工件PA的表面状况。0062根据一些实施例，相位差控制器21可沿着与第一方向R1相反的方向旋转。即使当相位差控制器21沿着与第一方向R1相反的方向旋转时，第二皮秒激光束L2的相位差也连续地变化，从而连续地改变第二皮秒激光束L2的偏振状态。在这种情况下，第二皮秒激光束L2的振荡方向不具有指向性。因此，当第二皮秒激光束L2照射到工件PA时，能减少说明书CN104043899A6/7页9波纹的形成，从而改善工件PA的表面状况。0063在图6和图7中，由相位延迟膜形成的相位差控制器21被旋转，以连续改变第二皮秒激光束L2的相位差。然而，这仅仅是示例，第二皮秒激光束L2的相位差可通过。
28、利用本领域普通技术人员已知的其它方法被连续地改变。例如，在第一皮秒激光束L1被分为第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y之后，如果通过连续地改变第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y之间的路程差而将第一水平偏振分量L1X和第一竖直偏振分量L1Y结合，则能产生相位差连续变化的第二皮秒激光束L2。0064以下，将参照图8对本发明的另一实施例进行描述。图8是根据本发明另一实施例的相位差控制器22的透视图。虽然在图8中未示出，但是根据当前的实施例的皮秒激光器10、工作台30和固定器40与图1中那些利用相同名称标识的构件基本相同或基本相似。0065参照图8，相位差控制器22可以由相位延迟。
29、膜形成。相位差控制器22可沿着第一方向R1和第二方向R2反复地旋转。也就是说，在相位差控制器22沿着第一方向R1旋转特定的角度之后，它可沿着第二方向R2旋转特定的角度，然后再沿着第一方向R1旋转特定的角度。当从相位差控制器21的第二皮秒激光束L2所出射的表面的方向看时，第一方向R1可以是顺时针方向，第二方向R2可以是逆时针方向。即使当相位差控制器21沿着第一方向R1和第二方向R2反复地旋转时，第二皮秒激光束L2的偏振态状也可连续地变化，从而导致第二皮秒激光束L2的振荡方向不具有指向性。因此，当第二皮秒激光束L2照射到工件PA时，可减少波纹的形成，从而改善工件PA的表面状况。0066以下，将参照。
30、图9对本发明的另一实施例进行描述。图9是根据本发明另一实施例的皮秒激光加工设备的侧视图。0067参照图9，皮秒激光器11可连续改变第一皮秒激光束L1的振荡方向。第一皮秒激光束L1的振荡方向可沿着如图7中所示的逆时针方向或者沿着顺时针方向旋转。如果第一皮秒激光束L1的振荡方向被连续地改变，则具有连续变化的振荡方向的第一皮秒激光束L1可进入相位差控制器20，从而引起第二皮秒激光束L2的相位差连续地变化。在这种情况下，第二皮秒激光束L2的偏振状态可连续地变化，从而导致第二皮秒激光束L2的振荡方向不具有指向性。因此，当第二皮秒激光束L2照射到工件PA时，可减少波纹的形成，从而改善工件PA的表面状况。0。
31、068皮秒激光器11可旋转，以连续地改变第一皮秒激光束L1的振荡方向。第一皮秒激光束L1可绕着平行于第一皮秒激光束L1被输出的方向而旋转。根据一些实施例，第一皮秒激光束L1可以以每分钟800到1600次的速度旋转。0069在图9中，皮秒激光器11旋转，以连续地改变第一皮秒激光束L1的振荡方向。然而，这仅仅是示例，皮秒激光器11可输出通过本领域的普通技术人员已知的其他方法而连续地改变振荡方向的第一皮秒激光束L1。0070根据当前的实施例的皮秒激光器10、工作台30和固定器40与图1中那些利用相同名称标识的构件基本相同或基本相似，因此忽略对它们的描述。0071以下，参照图10和图11对本发明的另一。
32、实施例进行描述。图10是根据本发明另一实施例的皮秒激光加工设备的侧视图。图11是图10中所示的振荡方向控制器50的剖视图。0072参照图10，所述皮秒激光加工设备包括皮秒激光器10、相位差控制器20和振荡方说明书CN104043899A7/7页10向控制器50。振荡方向控制器50被放置在第一皮秒激光束L1的路径上。振荡方向控制器50可通过连续地改变第一皮秒激光束L1的振荡方向而输出第三皮秒激光束L3。0073第三皮秒激光束L3的振荡方向可沿着如图7中所示的逆时针方向旋转，或者沿着顺时针方向旋转，或者沿着顺时针方向和逆时针方向反复地旋转。相位差控制器20可被放置在第三皮秒激光束L3的路径上，并通。
33、过连续地改变第三皮秒激光束L3的相位差而输出第二皮秒激光束L2。当第三皮秒激光束L3的相位差连续地变化时，第二皮秒激光束L2的相位差也连续地变化，因此导致第二皮秒激光束L2的偏振状态连续地变化，并使第二皮秒激光束L2的振荡方向不具有指向性。因此，当第二皮秒激光束L2照射到工件PA时，可减少波纹的形成，从而改善工件PA的表面状况。0074皮秒激光器10和相位差控制器20的其它特点和方面与图1中那些利用相同名称标识的对应物的特点和方面基本相同或基本相似，因此它们的详细描述被忽略。0075现在将参照图11对振荡方向控制器50进行更详细地描述。参照图11，振荡方向控制器50可包括第一电极51、第二电极。
34、52和扭曲向列TN液晶层53。第一电极51和第二电极52可被彼此面对地设置在TN液晶层53的相对表面上。第一电极51和第二电极52可由透明的导电材料形成。例如，第一电极51和第二电极52可由氧化铟锡ITO或氧化铟锌IZO组成，但是不限于由氧化铟锡ITO或氧化铟锌IZO组成。电压可被加到第一电极51和第二电极52中的每个，以使在第一电极51和第二电极52之间产生电势差V。所述电势差V可连续地变化。第一皮秒激光束L1可进入第一电极51，第三皮秒激光束L3可从第二电极52出射。0076TN液晶层53可被设置在第一电极51和第二电极52之间。TN液晶层53可根据电势差V而改变穿过其中的电磁波的振荡方向。
35、。由于TN液晶层53可根据电势差V而改变穿过其中的电磁波的振荡方向，所以当电势差V连续地变化时，第三皮秒激光束L3的振荡方向可连续地变化。当第三皮秒激光束L3的振荡方向连续地变化时，第二皮秒激光束L2的相位差可连续变化，导致第二皮秒激光束L2的偏振状态连续地变化，并使第二皮秒激光束L2的振荡方向不具有指向性。因此，当第二皮秒激光束L2照射到工件PA时，可减少波纹的形成，从而改善工件PA的表面状况。0077返回参照图10，皮秒激光加工设备还可包括工作台30和固定器40。根据当前的实施例的工作台30和固定器40可与图1中那些利用相同名称标识的构件基本相同或基本相似，因此忽略对它们的描述。0078本。
36、发明的实施例提供下面的优点中的至少一个。0079即，可减少工件PA上的波纹的形成。0080另外，可改善工件PA的表面状况。0081然而，本发明的效果并不局限于在此所阐述的一个。通过参照权利要求及其等同物，对于本发明所属领域的普通技术人员来说，本发明的以上和其它方面将变得更加清楚。说明书CN104043899A101/8页11图1说明书附图CN104043899A112/8页12图2说明书附图CN104043899A123/8页13图3说明书附图CN104043899A134/8页14图4说明书附图CN104043899A145/8页15图5图6说明书附图CN104043899A156/8页16图7说明书附图CN104043899A167/8页17图8图9说明书附图CN104043899A178/8页18图10图11说明书附图CN104043899A18。