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1、10申请公布号CN104094160A43申请公布日20141008CN104094160A21申请号201380007932222申请日20130108201202186120120203JPG02B26/10200601B81B3/0020060171申请人船井电机株式会社地址日本国大阪府大东市72发明人村山学久后耕一井上尚树藤井仁74专利代理机构隆天国际知识产权代理有限公司72003代理人宋晓宝向勇54发明名称MEMS器件以及具有投影功能的电子设备57摘要在MEMS器件1中，第一驱动部40被分割成第一驱动部分41和第二驱动部分42。第二驱动部50被分割成第三驱动部分51和第四驱动部分52。
2、。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件10倾斜。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2014080486PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/0501332013010887PCT国际申请的公布数据WO2013/114917JA2013080851INTCL权利要求书4页说明书17页附图16页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书4页说明书17页附图16页10申请公布号CN104094160ACN104094160A1/4页21一种MEMS器件1，其特征在于，具有光学部件10，驱动部21、2。
3、2，其包含驱动单元30，用于使所述光学部件倾斜，所述驱动单元30具有第一驱动部40、第二驱动部50和第一连接部60，所述第一驱动部40以及第二驱动部50在第一方向上延伸并且沿与所述第一方向大致垂直的第二方向配置，所述第一连接部60连接所述第一驱动部和所述第二驱动部；所述第一驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第一驱动部分41和所述第一方向的另一侧的第二驱动部分42，所述第二驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第四驱动部分52和经由所述第一连接部与所述第二驱动部分连接的所述第一方向的另一侧的第三驱动部分51，所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分相互独立地被驱动控制。
4、，通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件倾斜。2根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜，所述第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在所述第一方向以及所述第二方向上延伸，所述第一方向以及所述第二方向在同一平面内相互大致垂直。3根据权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，通过对所述第一驱动部分和所述第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述。
5、第三驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，来使所述光学部件围绕所述第一旋转轴线倾斜。4根据权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，通过对所述第一驱动部分和所述第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第二驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使所述光学部件围绕所述第二旋转轴线倾斜。5根据权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，通过对所述第一驱动部分和所述第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第三驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使所述光学部件围绕所述第一旋转轴线倾斜，通过对所述第一驱动部分和所述第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第二。
6、驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使所述光学部件围绕所述第二旋转轴线倾斜，在所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分中，通过组合围绕所述第一旋转轴的驱动控制和围绕所述第二旋转轴的驱动控制，使所述光学部件在2个轴方向上分别围绕所述第一旋转轴以及所述第二旋转轴倾斜。6根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，权利要求书CN104094160A2/4页3所述第一驱动部的所述第一驱动部分和所述第二驱动部分在所述第一驱动部的所述第一方向的中央部附近被分割，所述第二驱动部的所述第三驱动部分和所述第四驱动部分在所述第二驱动部的所述第一方向的中央部附近被分割。
7、。7根据权利要求6所述的MEMS器件，其特征在于，所述第一驱动部的所述第一驱动部分以及所述第二驱动部分以在所述第一方向上具有大致相同长度的方式形成，所述第二驱动部的所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分以在所述第一方向上具有大致相同长度的方式形成。8根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述第一驱动部的所述第一驱动部分和所述第二驱动部分以在所述第一方向上隔开第一距离的状态形成，所述第二驱动部的所述第三驱动部分和所述第四驱动部分以在所述第一方向上隔开第二距离的状态形成，所述第一距离以及所述第二距离分别小于所述第一驱动部在所述第二方向上的宽度以及所述第二驱动部在所述第二方向上的宽度。9根据权。
8、利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述驱动部以夹入所述光学部件的方式设置有一对，一对所述驱动部形成为，以所述光学部件的大致中央为对称中心大致点对称。10根据权利要求9所述的MEMS器件，其特征在于，对处于大致点对称的关系的所述一对驱动部进行相互不同的驱动控制。11根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述驱动单元沿所述第二方向配置有多个，所述驱动部还包含第二连接部31，所述第二连接部31连接所述驱动单元的所述第一驱动部分和邻接的所述驱动单元的所述第四驱动部分，并且，所述驱动部通过使多个所述驱动单元连接来蜿蜒地形成。12根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，通过对压电体44。
9、施加电压来使所述压电体变形，以驱动所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分，并且所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别具有第一驱动电极41A、第二驱动电极42A、第三驱动电极51A以及第四驱动电极52A，通过对所述第一驱动电极、第二驱动电极、第三驱动电极以及第四驱动电极分别施加不同的电压，来对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分相互独立地进行驱动控制。13根据权利要求12所述的MEMS器件，其特征在于，还具有可动部16，配置有所述光学部件并与所述驱动部的一端连接，固定部23，固定所述驱动部。
10、的另一端；所述驱动部还包含能够检测所述驱动部的基于所述压电体的变形的驱动的检测用电权利要求书CN104094160A3/4页4极381A、382A，所述检测用电极设置在位于所述驱动部的固定在所述固定部上的另一端的所述驱动单元上。14根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，还具有可动部226，配置有所述光学部件并与所述驱动部的一端连接，固定部223，固定所述驱动部的另一端，隔片270，用于在使所述光学部件和所述驱动部在与所述第一方向和所述第二方向大致垂直的第三方向上分离的状态下，将所述光学部件层叠配置在所述可动部上。15根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述光学部件进行共振驱动。
11、，并且，所述驱动部进行非共振驱动。16一种具有投影功能的电子设备100，其特征在于，具有激光产生部104、105、106，产生激光，控制部102，对所输入的影像进行解析，来识别像素信息，激光扫描部1，包含扫描激光的MEMS器件1，所述MEMS器件具有光学部件10，能够扫描激光，驱动部21、22，其包含驱动单元30，用于使所述光学部件倾斜，所述驱动单元30具有第一驱动部40、第二驱动部50和第一连接部60，所述第一驱动部40以及第二驱动部50在第一方向上延伸并且沿与所述第一方向大致垂直的第二方向配置，所述第一连接部60连接所述第一驱动部和所述第二驱动部；所述第一驱动部被分割成所述第一方向的一侧的。
12、第一驱动部分41和所述第一方向的另一侧的第二驱动部分42，所述第二驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第四驱动部分52和经由所述第一连接部与所述第二驱动部分连接的所述第一方向的另一侧的第三驱动部分51，所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分相互独立地被驱动控制，通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件倾斜。17根据权利要求16所述的具有投影功能的电子设备，其特征在于，该电子设备还具有能够对所述电子设备的振动进行检测的振动检测部，所述控制部进行特定控制来对手抖进行修正，该特定控制是指，。
13、基于所述振动检测部所检测的由手抖引起的所述电子设备的振动来使所述MEMS器件的所述光学部件倾斜的控制。18根据权利要求16所述的具有投影功能的电子设备，其特征在于，通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜，所述第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在所述第一方向以及权利要求书CN104094160A4/4页5所述第二方向上延伸，所述第一方向以及所述第二方向在同一平面内相互大致垂直。19根据权利要求18所述的具有投影功能的电子设备，其特征在于，通过对所述第一驱动部分和所。
14、述第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第三驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，来使所述光学部件围绕所述第一旋转轴线倾斜。20根据权利要求18所述的具有投影功能的电子设备，其特征在于，通过对所述第一驱动部分和所述第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第二驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使所述光学部件围绕所述第二旋转轴线倾斜。权利要求书CN104094160A1/17页6MEMS器件以及具有投影功能的电子设备技术领域0001本发明涉及MEMS器件以及具有投影功能的电子设备，特别是涉及具有用于使光学部件倾斜的驱动部的MEMS器件以及配置有包含该MEMS器。
15、件的激光扫描部的具有投影功能的电子设备。背景技术0002以往，公知有具有用于使光学部件倾斜的驱动部的MEMSMICROELECTROMECHANICALSYSTEMS微机电系统器件。例如，公开在日本特开2010148265号公报中。0003在日本特开2010148265号公报中公开有光学反射元件MEMS器件，该光学反射元件具有反射镜部；弯曲MEANDER形振子，以夹入反射镜部的方式设有一对且一端与反射镜部连接；框状的支承体，连接各个弯曲形振子的另一端。该弯曲形振子包含通过进行规定的驱动控制而各自变形为规定形状的多个驱动元件。此外，多个驱动元件被分为统一进行驱动控制的第一系统；以及统一进行与第一。
16、系统不同的驱动控制的第二系统。这里，在日本特开2010148265号公报的弯曲形振子中，在第一系统和第二系统各自的驱动元件组，进行成为彼此相反的驱动状态的驱动控制。而且，通过由弯曲形振子蓄积各系统的驱动元件的变形，可使反射镜部围绕规定的旋转轴线共振摆动。0004现有技术文献0005专利文献0006专利文献1日本特开2010148265号公报发明内容0007但是，在日本特开2010148265号公报的光学反射元件中，由于在第一系统以及第二系统中分别进行统一的驱动控制，所以在第一系统内的驱动元件彼此之间不能进行相互不同的驱动控制，并且在第二系统内的驱动元件彼此之间不能进行相互不同的驱动控制。即，存。
17、在以下问题由于仅能够使弯曲形振子蓄积沿所决定的一个方向的位移，所以仅能使反射镜部围绕基于振动板的一个方向的位移的一个轴的旋转轴线进行倾斜。0008本发明是为解决上述问题而提出的，本发明的目的之一在于提供一种能使光学部件围绕多个旋转轴线倾斜的MEMS器件。0009本发明的第一局面的MEMS器件，具有0010光学部件，0011驱动部，其包含驱动单元，用于使光学部件倾斜，驱动单元具有第一驱动部、第二驱动部和第一连接部，第一驱动部以及第二驱动部在第一方向上延伸并且沿与第一方向大致垂直的第二方向配置，第一连接部60连接第一驱动部和第二驱动部；0012第一驱动部被分割成第一方向的一侧的第一驱动部分和第一方。
18、向的另一侧的第二驱动部分，0013第二驱动部被分割成第一方向的一侧的第四驱动部分和经由第一连接部与第二说明书CN104094160A2/17页7驱动部分连接的第一方向的另一侧的第三驱动部分51，0014第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分相互独立地被驱动控制，0015通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使光学部件倾斜。0016在本发明的第一局面的MEMS器件中，如上所述，第一驱动部被分割成第一方向的一侧的第一驱动部分和第一方向的另一侧的第二驱动部分，第二驱动部被分割成第一方向的另一侧的第三驱动部分和第一方向的一侧的第四驱。
19、动部分，通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件倾斜，由此，由于能够对能进行不同的驱动控制的第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分的不同驱动状态进行组合，所以能使第一驱动部的驱动状态和第二驱动部的驱动状态不同。由此，与第一驱动部的驱动状态和第二驱动部的驱动状态相同的情况不同，不仅能够使光学部件围绕1个轴的旋转轴线倾斜，还能使光学部件围绕其以外的旋转轴线倾斜。其结果，能够使光学部件围绕多个旋转轴线倾斜。0017在本发明的第一局面的MEMS器件中，优选通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相。
20、互独立地进行驱动控制，使光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜，第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在第一方向以及第二方向上延伸，第一方向以及第二方向在同一平面内大致相互垂直。如果这样构成，则能够使用于围绕第一旋转轴倾斜的驱动控制和用于围绕第二旋转轴倾斜的驱动控制相互独立，并且能够对围绕第一旋转轴的倾斜和围绕第二旋转轴线的倾斜进行组合，容易使光学部件在2个轴方向上倾斜。0018此时，优选通过对第一驱动部分和第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对第三驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，来使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。如果这样构成，与使第一驱动部分、第二驱动部分、。
21、第三驱动部分以及第四驱动部分完全独立并分别进行用于使它们驱动的驱动控制的情况相比，能够将驱动控制的系统集约为两个，相应地能够在简单的驱动控制下使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。0019在使光学部件在2个轴方向上倾斜的结构中，优选通过对第一驱动部分和第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对第二驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜。如果这样构成，则与使第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分完全独立并分别进行用于使它们驱动的驱动控制的情况相比，能够将驱动控制的系统集约为两个，相应地，能够在简单的驱动控制下使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜。0020。
22、在使光学部件在上述2轴方向上倾斜的结构中，优选通过对第一驱动部分和第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对第三驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜，通过对第一驱动部分和第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对第二驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜，在第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分中，通过组合围绕第一旋转轴的驱动控制和围绕第二旋转轴的驱动控制，使光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴以及第二旋转轴倾斜。如果是这样构成，则能使光学说明书CN104094160A3/17页8部件在2个轴方向上。
23、分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜。0021在上述第一局面的MEMS器件中，优选第一驱动部的第一驱动部分和第二驱动部分在第一驱动部的第一方向的中央部附近被分割，第二驱动部的第三驱动部分和第四驱动部分在第二驱动部的第一方向的中央部附近被分割。如果这样构成，则能以第一驱动部以及第二驱动部的中央部附近为边界使驱动状态不同，所以与在离开中央部的位置上分割第一驱动部以及第二驱动部的情况相比，能更稳定地使第一驱动部以及第二驱动部进行驱动。由此，能可靠地控制光学部件的倾斜。0022此时，优选第一驱动部的第一驱动部分以及第二驱动部分以在第一方向上具有大致相同的长度的方式形成，第二驱动部的第三驱动部分以及。
24、第四驱动部分以在第一方向上具有大致相同的长度的方式形成。如果这样构成，则能将第一驱动部分的驱动特性和第二驱动部分的驱动特性设为大致相同，并且能够将第三驱动部分的驱动特性和第四驱动部分的驱动特性设为大致相同，所以能进一步稳定地使第一驱动部以及第二驱动部进行驱动。由此，能可靠地控制光学部件的倾斜。0023在上述第一局面的MEMS器件中，优选第一驱动部的第一驱动部分和第二驱动部分以在第一方向上隔开第一距离的状态形成，第二驱动部的第三驱动部分和第四驱动部分以在第一方向上隔开第二距离的状态形成，第一距离以及第二距离分别小于第一驱动部在第二方向上的宽度以及第二驱动部在第二方向上的宽度小。如果这样构成，则能。
25、在第一驱动部中充分确保第一驱动部分和第二驱动部分的形成区域，并且能够在第二驱动部中充分确保第三驱动部分和第四驱动部分的形成区域。由此，能以能够充分确保光学部件的倾斜的方式来形成第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分。0024在上述第一局面的MEMS器件中，优选驱动部以夹入光学部件的方式设置一对，一对驱动部形成为，以光学部件的大致中央为对称中心大致点对称。如果这样构成，则通过组合一对驱动部的驱动状态，能使光学部件较大地倾斜。此外，通过将一对驱动部形成为以光学部件的大致中央为对称中心大致点对称，能将一对驱动部的驱动特性设置成大致相同，所以与一对驱动部不对称的情况相比，能容易控制光。
26、学部件的倾斜。0025此时，优选对处于大致点对称的关系的一对驱动部进行相互不同的驱动控制。如果这样构成，则通过对处于大致点对称的关系的一对驱动部的相互不同的驱动状态进行组合，能容易地使光学部件围绕多个旋转轴线倾斜。0026在上述第一局面的MEMS器件中，优选驱动单元沿第二方向配置有多个，驱动部还包含第二连接部，第二连接部连接驱动单元的第一驱动部分和邻接的驱动单元的第四驱动部分，并且，驱动部通过使多个驱动单元连接来蜿蜒地形成。如果这样构成，则通过连接多个驱动单元，能对多个驱动单元的驱动状态进行组合，来使光学部件发生更大倾斜。此外，通过将驱动部蜿蜒地形成，能抑制驱动部仅在第一方向以及第二方向中的任。
27、意一个方向上变得过长，并充分确保驱动部的全长。0027在上述第一局面的MEMS器件中，优选通过对压电体施加电压来使压电体变形，以驱动第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分，并且，第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别具有第一驱动电极、第二驱动电极、第三驱动电极以及第四驱动电极，通过对第一驱动电极、第二驱动电极、第三驱动电极以及第四驱动电极分别施加不同的电压，来对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第说明书CN104094160A4/17页9四驱动部分相互独立地进行驱动控制。如果这样构成，则通过对第一驱动电极、第二驱动电极、第三驱动电极、第四驱动电。
28、极上施加分别不同的电压，能容易地对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分相互独立地进行驱动控制。0028此时，优选还具有可动部，配置有光学部件并与驱动部的一端连接；固定部，固定驱动部的另一端，驱动部还包含能够检测驱动部的基于压电体的变形的驱动的检测用电极，检测用电极设置在位于驱动部的固定在固定部上的另一端的驱动单元上。如果这样构成，则能基于检测用电极的检测结果更可靠地控制驱动部的驱动。此外，通过在位于驱动部的固定在固定部上的另一端的驱动单元上设置检测用电极，能将检测用电极设置在固定部的附近，所以能容易地将布线从固定部延长到检测用电极。0029在上述第一局面的MEMS器件中，还。
29、具有可动部，配置有光学部件并与驱动部的一端连接；固定部，固定驱动部的另一端；隔片，用于在使光学部件和驱动部在与第一方向和第二方向大致垂直的第三方向上分离的状态下，将光学部件层叠配置在可动部上。如果这样构成，则能沿第三方向层叠配置光学部件和可动部以及驱动部，所以与光学部件和可动部以及驱动部配置在沿第一方向以及第二方向延伸的同一平面内的情况相比，能够抑制MEMS器件在第一方向以及第二方向上变大。此外，由于能够分离光学部件和驱动部，所以能抑制因光学部件和驱动部接触而引起的、光学部件的倾斜与期望的倾斜偏离的现象。0030在上述第一局面的MEMS器件中，优选光学部件进行共振驱动，并且驱动部进行非共振驱动。
30、。如果这样构成，则通过使光学部件进行共振驱动，光学部件就能扫描较大范围。此外，通过使驱动部进行非共振驱动，与驱动部进行共振驱动的情况相比，能抑制在驱动部的驱动控制变困难，并且能够容易地维持光学部件倾斜的状态。0031本发明的第二局面的具有投影功能的电子设备，具有激光产生部，产生激光；控制部，对所输入的影像进行解析，来识别像素信息；激光扫描部，包含扫描激光的MEMS器件，MEMS器件包含光学部件，能够扫描激光；驱动部，其包含驱动单元，用于使光学部件倾斜，驱动单元具有第一驱动部、第二驱动部和第一连接部，第一驱动部以及第二驱动部在第一方向上延伸并且沿与第一方向大致垂直的第二方向配置，第一连接部连接第。
31、一驱动部和第二驱动部；0032第一驱动部被分割成第一方向的一侧的第一驱动部分和第一方向的另一侧的第二驱动部分，0033第二驱动部被分割成第一方向的一侧的第四驱动部分和经由第一连接部与第二驱动部分连接的第一方向的另一侧的第三驱动部分，0034第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分相互独立地被驱动控制，0035通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使光学部件倾斜。0036在本发明的第二局面的具有投影功能的电子设备中，如上，第一驱动部被分割成第一方向的一侧的第一驱动部分和第一方向的另一侧的第二驱动部分，第二驱动部被分割成第一方向的。
32、另一侧的第三驱动部分和第一方向的一侧的第四驱动部分，通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件倾斜，由此，由于能够对能进行不同的驱动控制的第一驱动部分、第二驱动部分、说明书CN104094160A5/17页10第三驱动部分以及第四驱动部分的不同驱动状态进行组合，所以能使第一驱动部的驱动状态和第二驱动部的驱动状态不同。由此，与第一驱动部的驱动状态和第二驱动部的驱动状态相同的情况不同，不仅能够使光学部件围绕1个轴的旋转轴线倾斜，还能使光学部件围绕其以外的旋转轴线倾斜。其结果，能够使光学部件围绕多个旋转轴线倾斜。因此，由于能够通过可围绕多个。
33、旋转轴线倾斜的光学部件来扫描激光，所以在具有投影功能的电子设备中，能精密地调整激光的扫描位置。0037在上述第二局面的具有投影功能的电子设备中，优选该电子设备还具有能够对电子设备的振动进行检测的振动检测部，控制部进行特定控制来对手抖进行修正，该特定控制是指，基于振动检测部所检测的由手抖引起的电子设备的振动来使MEMS器件的光学部件倾斜的控制。如果这样构成，能在具有投影功能的便携型电子设备中可靠地对手抖进行修正。0038在上述第二局面的具有投影功能的电子设备中，优选，通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分的各个相互独立进行驱动控制，使光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转。
34、轴线以及第二旋转轴线倾斜，第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在第一方向以及第二方向上延伸，第一方向以及第二方向在同一平面内相互大致垂直。如果这样构成，则能使用于围绕第一旋转轴线倾斜的驱动控制和用于围绕第二旋转轴线倾斜的驱动控制相互独立，并且对围绕第一旋转轴线的倾斜和围绕第二旋转轴线的倾斜进行组合，能够容易使光学部件在2个轴方向上倾斜。0039在上述第二局面的具有投影功能的电子设备中，优选通过对第一驱动部分和第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对第三驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。如果这样构成，与使第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动。
35、部分完全独立并分别进行用于使它们驱动的驱动控制的情况相比，能够将驱动控制的系统集约为两个，相应地能以简单的驱动控制来使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。0040在上述第二局面的具有投影功能的电子设备中，优选通过对第一驱动部分和第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对第二驱动部分和第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使光学部件围绕第二旋转轴线倾斜。如果这样构成，则与使第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分完全独立并分别进行用于使它们驱动的驱动控制的情况相比，能够将驱动控制的系统集约为两个，相应地，能以简单的驱动控制使光学部件围绕第一旋转轴线倾斜。0041根据本发明，如上所述，能够使。
36、光学部件围绕多个旋转轴线倾斜。附图说明0042图1是表示本发明的第一实施方式的便携型电子设备的结构的框图。0043图2是表示本发明的第一实施方式的激光扫描部的俯视图。0044图3是表示本发明的第一实施方式的激光扫描部的立体图。0045图4是沿图3的600600线的剖视图。0046图5是沿图3的700700线的剖视图。0047图6是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A1倾斜时的激光说明书CN104094160A106/17页11扫描部的电压施加控制的示意图。0048图7是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A1倾斜时的驱动单元的驱动控制的侧视图。0049图8是表示在本发。
37、明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A1倾斜时的驱动部的驱动的侧视图。0050图9是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A1倾斜时的激光扫描部的立体图。0051图10是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A2倾斜时的激光扫描部的电压施加控制的示意图。0052图11是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A2倾斜时的驱动单元的驱动控制的侧视图。0053图12是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A2倾斜时的一侧的驱动部的驱动的侧视图。0054图13是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A2倾斜时的另一侧的驱动部的驱动的侧视图。0055图。
38、14是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部围绕旋转轴线A2倾斜时的激光扫描部的立体图。0056图15是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部在2个轴方向上倾斜时的激光扫描部的电压施加控制的示意图。0057图16是表示在本发明的第一实施方式的光扫描部在2个轴方向上倾斜时的激光扫描部的立体图。0058图17是表示本发明的第二实施方式的激光扫描部的俯视图。0059图18是表示本发明的第二实施方式的手抖修正部的俯视图。0060图19是表示本发明的第二实施方式的手抖修正部的倾斜的立体图。0061图20是表示本发明的第三实施方式的激光扫描部的俯视图。0062图21是表示本发明的第一变形例的激光扫描部的俯视图。
39、。0063图22是表示本发明的第二变形例的激光扫描部的俯视图。具体实施方式0064第一实施方式0065首先，参考图1图5说明本发明的第一实施方式中的便携型电子设备100的结构。另外，便携型电子设备100是本发明的“具有投影功能的电子设备”的一例。0066如图1所示，本发明的第一实施方式的便携型电子设备100具有输入端子101，从外部输入影像信号；控制部102，对从输入端子101输入的影像信号进行解析来识别像素信息；激光控制部103，用于将像素信息作为影像输出；红色激光二极管104；绿色激光二极管105；蓝色激光二极管106；激光扫描部1。即，便携型电子设备100具有能将所输入的影像信息作为影像。
40、输出的投影功能。另外，红色激光二极管104、绿色激光二极管105以及蓝色激光二极管106是本发明的“激光产生部”的一个例子，激光扫描部1是本发明的“MEMS器件”的一个例子。说明书CN104094160A117/17页120067此外，激光控制部103根据控制部102所识别的像素信息，来控制红色激光二极管104、绿色激光二极管105以及蓝色激光二极管106的发光。此外，红色激光二极管104能够发出红色激光，绿色激光二极管105能够发出绿色激光，蓝色激光二极管106能够发出蓝色激光。此外，激光扫描部1通过反射来自红色激光二极管104、绿色激光二极管105以及蓝色激光二极管106的激光，将影像投影。
41、到规定的投影位置。0068此外，便携型电子设备100还具有加速度传感器107。加速度传感器107具有用于检测便携型电子设备100的因手部抖动而引起的振动的动作方向的功能。此外，控制部102使激光扫描部1的后述的光扫描部10在2个轴方向上向与加速度传感器107所检测出的因手部抖动而引起的振动的移动方向相反的方向倾斜，由此调整由激光扫描部1投影的影像的投影位置。其结果，可抑制因手部抖动而引起的影像的抖动变形。另外，在后面说明激光扫描部1中的光扫描部10在2个轴方向上的倾斜动作。另外，加速度传感器107是本发明的“振动检测部”的一个例子。0069此外，激光扫描部1包括具有大约10M以上且大约100M。
42、以下的厚度的基材2，如图2所示，并且具有光扫描部10和以包围光扫描部10的方式形成的手抖修正部20。此外，基材2由SI、SUS以及TI中的任一个或者它们的复合材料构成。另外，光扫描部10是本发明的“光学部件”的一个例子。0070此外，光扫描部10包含反射镜部11、共振驱动部12、连接反射镜部11和共振驱动部12的连接部13、以包围反射镜部11、共振驱动部12以及连接部13的方式形成为框状的内框架14、非共振驱动部15。此外，在光扫描部10和手抖修正部20之间配置有可动框架16。另外，可动框架16是本发明的“可动部”的一个例子。0071此外，反射镜部11具有反射来自红色激光二极管104、绿色激光。
43、二极管105以及蓝色激光二极管106参考图1的激光的功能。此外，共振驱动部12以在激光扫描部1的短边方向X方向上夹入反射镜部11的方式形成有一对。此外，非共振驱动部15以在X方向上夹入反射镜部11、共振驱动部12、连接部13以及内框架14的方式形成有一对，并且具有分别连接有5个驱动部分15A的结构。另外，共振驱动部12以及驱动部分15A能够沿上下方向Z方向、参考图3变形为凸状或凹状。另外，X方向是本发明的“第一方向”的一个例子。0072此外，共振驱动部12使反射镜部11围绕沿激光扫描部1的长边方向在同一平面内与短边方向垂直的方向、Y方向延伸的旋转轴线A1摆动。此外，非共振驱动部15使反射镜部1。
44、1围绕沿激光扫描部1的短边方向X方向延伸的旋转轴线A2摆动。由此，光扫描部10能够扫描激光。此外，共振驱动部12使反射镜部11以大约30KHZ的共振频率进行共振摆动，并且非共振驱动部15以大约60HZ的频率使反射镜部11进行非共振摆动。另外，Y方向是本发明的“第二方向”的一个例子。0073此外，可动框架16以包围内框架14以及非共振驱动部15的方式形成为框状。另外，为了详细说明手抖修正部20的结构，在图3、图6、图9、图10以及图14图16中，没有图示除了可动框架16之外的光扫描部10的内部结构。0074此外，如图2以及图3所示，手抖修正部20包含一对驱动部21以及22，在激光扫描部1的长边方。
45、向Y方向上夹入光扫描部10；固定框架23，与一对驱动部21以及22连接。如图2所示，驱动部21以及22能够使可动框架16光扫描部10在2个轴方向上说明书CN104094160A128/17页13分别围绕旋转轴线A1以及旋转轴线A2倾斜，并且能够维持倾斜的状态。此外，固定框架23以在俯视下包围光扫描部10和一对驱动部21以及22的方式形成为框状，在短边方向X方向上具有约3MM以上且约10MM以下的长度L1，并且在长边方向Y方向上具有约5MM以上且约20MM以下的长度L2。此外，固定框架23被固定在便携型电子设备100参考图1的未图示的固定部分。另外，固定框架23是本发明的“固定部”的一个例子。0。
46、075此外，位于光扫描部10的Y1侧的驱动部21的一端21A经由连接部24与光扫描部10的可动框架16的X2侧且Y1侧的角部连接，并且位于光扫描部10的Y2侧的驱动部22的一端22A经由连接部24与光扫描部10的可动框架16的X1侧且Y2侧的角部连接。由此，驱动部21的一端21A以及驱动部22的一端22A都与可动框架16连接。0076此外，驱动部21的另一端21B经由连接部25与固定框架23的X2侧且Y1侧的角部附近连接，并且驱动部22的另一端22B经由连接部25与固定框架23的X1侧且Y2侧的角部附近连接。由此，驱动部21的另一端21B以及驱动部22的另一端22B都被固定在固定框架23上。0。
47、077此外，如图2所示，驱动部21和驱动部22具有相同的结构，并且被配置成具有以光扫描部10的反射镜部11的中心R为对称点大致点对称的关系。即，驱动部22被配置成具有如下位置关系，即，通过以反射镜部11的中心R为中心进行180度旋转，与驱动部21大致重叠。因此，下面仅详细说明Y1侧的驱动部21。另外，中心R是本发明的“对称中心”的一个例子。0078驱动部21包含沿Y方向相互大致平行配置的3个驱动单元30和2个连接部31。3个驱动单元30分别形成为U字状。此外，连接部31沿Y方向延伸并形成为矩形，并且在X2侧将在Y方向上邻接的一对驱动单元30中的Y1侧的驱动单元30的Y2侧的端部和Y2侧的驱动单。
48、元30的Y1侧的端部连接。其结果，驱动部21形成为，重复配置由U字状的驱动单元30和在X2侧将驱动单元30彼此之间连接的连接部31构成的一系列结构，由此，呈大致S字状蜿蜒。另外，连接部31是本发明的“第二连接部”的一个例子。0079此外，各个驱动单元30具有第一驱动部40，配置在固定框架23侧Y1侧；第二驱动部50，配置在可动框架16侧Y2侧；连接部60，配置在X1侧并连接第一驱动部40和第二驱动部50。第一驱动部40以及第二驱动部50都沿X方向延伸并形成为矩形，并且具有大致相同的形状。此外，连接部60沿Y方向延伸并形成为矩形，并且连接第一驱动部40的X1侧的端部和第二驱动部50的X1侧的端部。
49、。此外，第一驱动部40以及第二驱动部50在Y方向上具有大约20M以上且大约500M以下的宽度W1。另外，连接部60是本发明的“第一连接部”的一个例子。0080在此，在第一实施方式中，第一驱动部40在X方向的大致中央部被分割，而具有沿X方向延伸并形成为矩形的第一驱动部分41以及第二驱动部分42和形成在第一驱动部分41以及第二驱动部分42之间的中央部并且不直接对变形起作用的非驱动部分43。同样地，第二驱动部50在X方向的大致中央部被分割，而具有沿X方向延伸并形成为矩形的第三驱动部分51以及第四驱动部分52和形成在第三驱动部分51以及第四驱动部分52之间的中央部并且不直接对变形起作用的非驱动部分53。0081此外，第一驱动部分41以及第二驱动部分42分别形成在第一驱动部40的X2侧以及X1侧。此外，第三驱动部分51以及第四驱动部分52分别形成在第二驱动部50的X1说明书CN104094160A139/17页14侧以及X2侧。此外，第二驱动部分42和第三驱动部分51在X1侧经由连接部60连接。0082此外，第一驱动部分41、第二驱动部分42、第三驱动部分51以及第四驱动部分52在X方向上具有大致相同的长度L3，并且在Y方向上具有大致相同的宽度W1。此外，非驱动部分43以及53在X方向上具有大致相同的长度L4，并且在Y方向上具有大致相同的宽度W1。这里，非驱动部分43以及53的X。