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1、10申请公布号CN104133341A43申请公布日20141105CN104133341A21申请号201410177846222申请日20140429201309502520130430JPG03F1/64201201B08B17/0020060171申请人信越化学工业株式会社地址日本东京都72发明人堀越淳74专利代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司11280代理人王勇李科54发明名称防尘薄膜组件57摘要本发明的目的在于提供一种通过设为适当的粘合层的截面形状而使其长期不产生松弛并且外观优良的防尘薄膜组件。本发明为在防尘薄膜组件框架的一侧框架表面上借助于涂敷在该框架表面上的粘合层粘贴有防。
2、尘薄膜的防尘薄膜组件，其特征在于，所述粘合层的与防尘薄膜组件框架的长方向直交的截面的与防尘薄膜相对侧的截面形状由曲率半径R10以上且R1000以下的凸曲线构成。另外，本发明的凸曲线优选为大致弓形。30优先权数据51INTCL权利要求书1页说明书5页附图1页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书5页附图1页10申请公布号CN104133341ACN104133341A1/1页21一种防尘薄膜组件，在防尘薄膜组件框架的一侧框架表面上，借助于涂敷在该框架表面上的粘合层粘贴有防尘薄膜，其特征在于，所述粘合层的与防尘薄膜组件框架长方向直交的截面的与防尘薄膜相对侧的截面形状由。
3、曲率半径R10以上且R1000以下的凸曲线构成。2如权利要求1所述的防尘薄膜组件，其特征在于，所述截面为大致弓形。3如权利要求1或权利要求2所述的防尘薄膜组件，其特征在于，在所述防尘薄膜组件框架的另一端的框架表面上，设置有用于将防尘薄膜组件粘贴于基板上的粘着剂层和用于保护该粘着剂层的剥离层。权利要求书CN104133341A1/5页3防尘薄膜组件技术领域0001本发明涉及在制造半导体器件、集成电路封装、印刷电路板、液晶显示器或有机EL显示器等时作为防尘器使用的光刻技术用等的防尘薄膜组件。背景技术0002在大规模集成电路、超大规模集成电路等的半导体的制造或者液晶显示器等的制造过程中，要向半导体晶。
4、片或液晶用原板上照射光来形成电路图案，然而，这里存在这样的问题，即，当所用的光掩模或精密掩模以下，仅记为光掩模上附着了灰尘时，除了边缘变得不规整外，基底会变黑弄脏，从而导致尺寸、品质以及外观受损。0003因此，这些作业通常是在无尘室里进行，但尽管如此，要保持光掩模总时清洁是很困难的。所以，通常在光掩模的表面上，作为防尘器贴附防尘薄膜组件之后进行曝光。这样一来，由于异物不直接附着在光掩模的表面而是附着于防尘薄膜上，所以在光刻时只要把焦点对准光掩模上的图案，防尘薄膜组件上的异物便与转印无关。0004一般来讲，这种防尘薄膜组件由防尘薄膜组件框架和防尘薄膜构成，而在构成防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架的。
5、下端，形成有用于将防尘薄膜组件粘贴到光掩模上的、由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯树脂、丙烯酸树脂、有机硅树脂構成的粘着剂层以及用于保护该粘着剂层的离型层隔离膜。0005而在防尘薄膜组件框架的另一端的表面上粘贴有防尘薄膜，该防尘薄膜通常使用透光性良好的纤维素酯或氟树脂等的材料制造而成。例如，专利文献1中记载了一种制造方法，是将纤维素酯溶解于有机溶剂中，然后将其浇注在平滑的玻璃上摊平，形成均匀的薄膜后进行干燥，从而制成防尘薄膜。另外，专利文献2中记载了一种醋酸丁酸纤维素树脂薄膜的成型方法。专利文献3中记载的方法是，溶解氟系聚合物，利用旋转涂布机将其涂布在平滑的平板上，从而形成均匀的防尘薄膜。0006另外，。
6、专利文献4中记载了使用由二有机聚硅氧烷组成物构成的粘合剂将防尘薄膜固定于防尘薄膜组件框架；专利文献5中记载了使用有机硅类粘合剂将防尘薄膜粘贴于防尘薄膜组件框架。0007专利文献0008专利文献1日本特开昭58219023号公报0009专利文献2美国专利第4861402号说明书0010专利文献3日本特公昭6327707号公报0011专利文献4日本特许第2945201号0012专利文献5日本特许第4185232号发明内容0013如上所述，防尘薄膜通过各种粘合剂粘贴到防尘薄膜组件框架上，但是，目前为止，在该粘贴时对于粘合层表面的形状丝毫未被考虑，通常是不特定形状或不规则形状。说明书CN1041333。
7、41A2/5页40014因此，产生了涂布了粘合剂的防尘薄膜的一部分未粘合或一部分未接触等的问题。而且，由于这种粘合不良或接触不良导致粘合面积的下降，会引起防尘薄膜与防尘薄膜组件框架之间的粘合力降低，所以会产生防尘薄膜松弛，最坏的情况，防尘薄膜从防尘薄膜组件框架脱落的问题。此外，由于粘合层的形状不规则，如果防尘薄膜与防尘薄膜组件框架的粘合部分呈现斑状、波状等的不规则形状，由于包含有气泡，还会产生外观不良的问题。0015因此，本发明鉴于以上问题而完成，目的在于提供一种通过设为适当的粘合层的截面形状而使其长期不产生松弛并且外观良好的、用于光刻技术等的防尘薄膜组件。0016本发明人为达到上述目的进行了。
8、深入的探讨，结果发现，粘合层的截面形状的不同，会使防尘薄膜与防尘薄膜组件框架之间的粘合力及粘合后的外观产生很大差别。通过进一步的研究发现，若粘合剂层的截面形状为由曲率半径R10以上且R1000以下的凸曲线构成，粘合不良问题将得到解决，从而促成了本发明。0017即，本发明是一种防尘薄膜组件，在防尘薄膜组件框架的一侧框架表面上，借助于涂敷在该框架表面上的粘合层粘贴有防尘薄膜，其特征在于，所述粘合层的与防尘薄膜组件框架的长方向直交的截面的与防尘薄膜相对侧的截面形状为由曲率半径R10以上且R1000以下的凸曲线构成。0018并且，本发明的所述截面优选为大致弓形，在所述防尘薄膜组件框架的另一端的框架表面。
9、上，设有用于将防尘薄膜组件粘贴于基板上的粘着剂层和用于保护该粘着剂层的剥离层。0019根据本发明，粘合不良或接触不良被消除，接触面积大，故防尘薄膜与防尘薄膜组件框架之间能够获得足够的粘合力，从而能够提供一种粘贴于防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜长期不会松弛而且外观优良的防尘薄膜组件。附图说明0020图1是本发明的粘合层的截面形状为弓形的防尘薄膜组件的纵剖面图。0021图2是图1的防尘薄膜组件的俯视图顶视图。0022图3是比较例的粘合层的截面形状为曲率半径小的弓形的防尘薄膜组件的纵剖面图。0023图4是图3的防尘薄膜组件的俯视图顶视图。0024图5是比较例的粘合层的截面形状为平面的防尘薄膜组件的纵剖。
10、面图。0025图6是图5的防尘薄膜组件的俯视图顶视图。具体实施方式0026以下对本发明的一个实施方式进行具体说明，但本发明并非限定于此。0027图1是示出基于本发明的粘合层形状的一个实施方式的防尘薄膜组件的剖面示意图。图2是图1的俯视图顶视图。在该防尘薄膜组件中，防尘薄膜11借助于粘合层15绷设于防尘薄膜组件框架12的上端面，所述防尘薄膜组件框架12为与基板光掩模或其玻璃基板部分的形状对应的通常四方框状长方形框状或正方形框状，而在防尘薄膜组件框架12的下端面，形成有用于将防尘薄膜组件粘贴于基板上的粘着剂层13，在该粘着剂层13的下端面，以可剥离的方式贴有用于保护粘着剂层13的离型层隔离膜14。。
11、说明书CN104133341A3/5页50028需要说明的是，关于防尘薄膜11、防尘薄膜组件框架12、粘着剂、粘合剂以及隔离膜14的材质，没有特别限制，可以使用公知的材质。0029借助于粘合层15将防尘薄膜11粘贴到防尘薄膜组件框架12时，由于该粘合层15的剖面形状的不同会使粘合后的外观及防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12之间的粘合力产生很大差别，因此，在本发明中，将粘合层15的剖面形状设为由凸曲线构成并且该凸曲线的所有部分的曲率半径均在R10以上且R1000以下的范围之内的形状。并且，优选该曲率半径为R20以上且R800以下。0030因为当该曲率半径小到不足R10时，粘合层15的剖面的曲率变。
12、得苛刻，在粘贴防尘薄膜时，即使将防尘薄膜11向防尘薄膜组件框架12上按压，防尘薄膜11也无法与整个粘合面接触，粘合面积变少，故防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力降低。0031另外，因为当该曲率半径大到超过R1000时，粘合层15的剖面几乎变成了水平与防尘薄膜组件框架的粘合面平行的平板状，因此，根据防尘薄膜11的粘贴方式，在防尘薄膜11与粘合层15之间会残留气泡，从而由粘合面积的减少而使粘合力降低。0032如图1所示，在本发明的实施方式中，粘合层15的剖面形状为大致弓形，其曲率半径为R10以上且R1000以下的形状。若为这种大致弓形，能够将防尘薄膜11粘贴于涂布有粘合剂的整个粘合面，故。
13、优选。0033实施例0034实施例10035以下，对实施例进行说明。在该实施例1中，作为粘合剂，用甲苯和2，2，4三甲基戊烷将有机硅粘合剂X403122产品名，信越化学工业株式会社制稀释至浓度为10，在铝制的防尘薄膜组件框架12的上端，以粘合层15的剖面形状成为曲率半径R360的方式进行涂布。然后，将防尘薄膜组件框架12加热至130使甲苯和2，2，4三甲基戊烷挥发从而使粘合剂固化。0036另一方面，在制备防尘薄膜时，使用CYTOPCTXS产品名，旭硝子公司制作为材料，用溶剂CTSOLV180产品名，旭硝子公司制将其稀释成了浓度为5。然后。使用旋转涂布机在200MM、厚度12MM的表面经过研磨的。
14、有机硅基板上将该溶液形成为膜厚1的透明膜，然后在200下干燥15分钟形成薄膜，并将该薄膜从基板上剥离，从而制备了防尘薄膜11。0037接着，将以上制作的防尘薄膜11粘贴到先前准备的防尘薄膜组件框架12上。此时，最初防尘薄膜11与粘合层15的圆弧状的顶部接触而开始粘合，随着将防尘薄膜11向防尘薄膜组件框架12按压或者随着将防尘薄膜组件框架12向防尘薄膜11按压，防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12的粘合部分向周围扩展，最终实现了使防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12在整个粘合面上粘合。0038然后，对防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示出的值虽然为15KN/CM，但由于在该。
15、值处防尘薄膜11发生的断裂，所以，可以说防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的实际的粘合力为15KN/CM以上。0039实施例20040在该实施例2中，作为粘合剂，用NOVEC7300产品名称，住友3M株式会社制将CYTOPCTXS产品名，旭硝子公司制稀释至浓度为6，在铝制的防尘薄膜组件框架12的说明书CN104133341A4/5页6上端，以粘合层15的剖面形状成为曲率半径R100的方式进行涂布。然后，将防尘薄膜组件框架12加热至130使NOVEC7300挥发从而使粘合剂固化。除此之外，与实施例1同样地进行了制作。0041然后，对防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示。
16、出的值虽然为15KN/CM，但与实施例1相同，由于在该值处防尘薄膜11发生的断裂，所以，可以说防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的实际的粘合力为15KN/CM以上。0042实施例30043在该实施例3中，以粘合层15的剖面形状成为曲率半径R10的方式将有机硅粘合剂涂布于防尘薄膜组件框架12上，除此之外，与实施例1同样地进行了制作。0044然后，对防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示出的值虽然为15KN/CM，但与实施例1相同，由于在该值处防尘薄膜11发生的断裂，所以，可以说防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的实际的粘合力为15KN/CM以上。0045实施例4004。
17、6在该实施例4中，以粘合层15的剖面形状成为曲率半径R1000的方式将有机硅粘合剂涂布于防尘薄膜组件框架12上，除此之外，与实施例1同样地进行了制作。0047然后，对防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示出的值虽然为15KN/CM，但与实施例1相同，由于在该值处防尘薄膜11发生的断裂，所以，可以说防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的实际的粘合力为15KN/CM以上。0048比较例0049比较例10050以下，对比较例进行说明。在该比较例1中，粘合层15的剖面形状如图3所示，以成为曲率半径R5的方式将有机硅粘合剂涂布于防尘薄膜组件框架12上，除此之外，与实施例1同样地进。
18、行了制作。0051然后，对比较例1的防尘薄膜11与粘合层15的粘合面进行观察发现，由于粘合层15的剖面的圆弧曲率太小，防尘薄膜11未在整个粘合层15上粘合，如图4所示，残留有非粘合部分17，故粘贴不充分。并且，对防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示出的值为06KN/CM，此时也出现了防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的剥离。0052比较例20053在该比较例2中，粘合层15的剖面形状如图5所示，以与防尘薄膜组件框架12的粘合面平行的方式将有机硅粘合剂涂布于防尘薄膜组件框架12上，除此之外，与实施例1同样地进行了制作。0054然后，对比较例2的防尘薄膜11与粘合层15。
19、的粘合面进行观察发现，在防尘薄膜11与粘合层15之间残留有气泡，如图6所示，也残留有非粘合部分17。并且，对防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示出的值为07KN/CM，此时出现了防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的剥离。0055比较例30056在该比较例3中，以粘合层15的剖面形状成为曲率半径R2000的方式将有机硅粘合剂涂布于防尘薄膜组件框架12上，除此之外，与实施例1同样地进行了制作。说明书CN104133341A5/5页70057然后，对比较例3的防尘薄膜11与粘合层15的粘合面进行观察发现，在防尘薄膜11与粘合层15之间残留有气泡。并且，对防尘薄膜11与防尘。
20、薄膜组件框架12间的粘合力进行了测定，结果示出的值为07KN/CM，此时也出现了防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12间的剥离。0058将以上实施例14及比较例13归纳于下列表1中。0059表100600061上表结果表明，当粘合层的剖面形状为大致弓形并且该弓形的凸曲线的曲率半径在R10以上且R1000以下的范围的形状时，能够将防尘薄膜11与防尘薄膜组件框架12强固地粘合，并且粘合面的外观也非常好。相反，当粘合层15的剖面形状不是弓形，或者虽然为大致弓形但曲率半径不在R10以上且R1000以下的范围之内时，粘合力低且粘合面的外观也不好。0062标号说明006311防尘薄膜006412防尘薄膜组件框架006513粘着层006614隔离膜006715粘合层006816防尘薄膜与粘合剂的粘合部分006917防尘薄膜与粘合剂的非粘合部分说明书CN104133341A1/1页8图1图2图3图4图5图6说明书附图CN104133341A。