生长单晶坯料的装置.pdf

上传人:b*** 文档编号:325622 上传时间:2018-02-09 格式:PDF 页数:20 大小:661.92KB
返回 下载 相关 举报
摘要
申请专利号:

CN01139701.2

申请日:

2001.11.27

公开号:

CN1356408A

公开日:

2002.07.03

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情:

授权|||实质审查的生效|||公开

IPC分类号:

C30B15/00

主分类号:

C30B15/00

申请人:

希特隆股份有限公司;

发明人:

李洪雨; 崔埈荣; 赵铉鼎; 俞学道

地址:

韩国庆尚北道

优先权:

2000.11.27 KR 2000-71000

专利代理机构:

中科专利商标代理有限责任公司

代理人:

刘晓峰

PDF下载: PDF下载
内容摘要

一种生长单晶坯料的装置,该装置具有一容器室,一石英坩埚设置在容器室内,石英坩埚用于生长置入坩埚内提拉的具有一定直径D的单晶坯料,石英坩埚被包裹在固定到转轴的坩埚支撑内,一围绕坩埚支撑的圆柱形加热器;一围绕圆柱形加热器的保温器,所述的保温器阻止由加热器辐射的热传递到所述容器室的壁内,热屏蔽包括设置在单晶坯料和坩埚之间的第一圆柱形屏蔽部分,连接到第一屏蔽部分的上部的第二法兰型屏蔽部分,和连接到第一屏蔽部分的下部并朝向坯料凸起的第三屏蔽部分。

权利要求书

说明书

生长单晶坯料的装置.pdf_第1页
第1页 / 共20页
生长单晶坯料的装置.pdf_第2页
第2页 / 共20页
生长单晶坯料的装置.pdf_第3页
第3页 / 共20页
点击查看更多>>
资源描述

《生长单晶坯料的装置.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《生长单晶坯料的装置.pdf(20页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。

一种生长单晶坯料的装置,该装置具有一容器室,一石英坩埚设置在容器室内,石英坩埚用于生长置入坩埚内提拉的具有一定直径D的单晶坯料,石英坩埚被包裹在固定到转轴的坩埚支撑内,一围绕坩埚支撑的圆柱形加热器;一围绕圆柱形加热器的保温器,所述的保温器阻止由加热器辐射的热传递到所述容器室的壁内,热屏蔽包括设置在单晶坯料和坩埚之间的第一圆柱形屏蔽部分,连接到第一屏蔽部分的上部的第二法兰型屏蔽部分,和连接到第一屏蔽。

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置:首页 > 化学;冶金 > 晶体生长〔3〕


copyright@ 2017-2020 zhuanlichaxun.net网站版权所有
经营许可证编号:粤ICP备2021068784号-1