微透镜及其制造方法、光学装置、激光打印机及其打印头 【技术领域】
本发明涉及一种微透镜的制造方法和由此得到的微透镜，以及装备了此微透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用头和激光打印机。
背景技术
近年，提供了具备多个被称为微透镜的微小透镜的光学装置。这种光学装置具有例如配备了激光器的发光装置、光纤的光互连、具有汇集入射光的聚光镜的固体摄像元件等。
但是构成这样的光学装置的微透镜，以往由采用模具的成形法或光刻法成型。(例如参照专利文献1)。
另外近年还提出了使用打印机等所采用的液滴喷出法，形成具有微细图案地微透镜的提案(例如参照专利文献2)。
但是对于采用模具的成形法和光刻法，为了要形成微透镜，就需要模具和复杂的制造工序，这样就会带来成本的升高，同时在任意位置形成任意形状的微透镜也很困难。
只采用液滴喷出法，虽然在任意位置形成微透镜容易，但是控制其形状成为所希望的形状很困难。同时虽然喷出液滴的喷出头通常有多个喷嘴，但是这些喷嘴间，例如略微构造上的差异等，就会使喷出量产生微妙的差异，即由此喷出量的差异为起因，使得到的微透镜形状的均匀性遭到破坏，其结果引起光学特性的散乱。
专利文献1：特开2000-35504号公报；
专利文献2：特开2000-280367号公报。
【发明内容】
本发明是鉴于上述情况所作的发明，其目的在于提供一种任意控制其形状，具有良好聚光功能等的光学特性，同时抑制其差异的微透镜的制造方法以及微透镜，进而提供配备了此微透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用头和激光打印机。
为了达到上述目的，本发明的微透镜的制造方法，包括：在基体上形成基座构件的工序；对上述基座构件表面实施疏液处理的工序；由配备了多个喷嘴的液滴喷头，至少用其中的两个喷嘴，在上述经过疏液处理的基座构件表面上喷出多滴透镜材料，在上述基座构件上形成微透镜的工序。
依据这种微透镜制造方法，因为在基座构件上形成微透镜，所以通过适当地形成基座构件表面的大小和形状，所得到的微透镜的大小和形状就能适当形成。另外由于对基座构件的表面进行了疏液处理，被喷出配置的透镜材料相对于基座构件表面的接触角就能较大，这样就可能使基座构件表面装载的透镜材料的量更多，如此在基座构件表面装载的透镜材料的量更多的状态下，因为能够喷出多滴的透镜材料，所以通过适当地调整滴数，就可以使得到的微透镜的大小和形状都得到良好的控制，也就是说也可能形成例如近似于球形的微透镜。
另外特别是由配备了多个喷嘴的液滴喷头、至少使用其中的两个喷嘴，喷出多滴液滴，所以即使各个喷嘴之间在喷出量上有差异，由于采用两个以上的喷嘴形成一个微透镜，就可以减轻由于喷嘴间喷出量的差异带来的影响。由此可以抑制所得到的微透镜形状的不均匀性，就可以防止光学特性的分散差异。
在上述微透镜的制造方法中，在上述疏液处理工序中，优选在由上述基座构件形成材料所形成的平面上配置上述透镜材料时，按照该透镜材料的接触角大于或等于20°那样进行疏液处理，以发挥疏液性。
这样的话，由于喷出配置的透镜材料相对于基座构件表面的接触角确实变大，就能够使基座构件上面装载的透镜材料的量进一步增多。
在上述微透镜的制造方法中，在形成上述基座构件的工序中，优选上述基座构件的表面形状形成为圆形、或者椭圆形、或者多边形。
如果这样作，就可能形成更接近于球形的微透镜，即通过适当地形成其曲率，就可能调整聚光功能等的光学特性。
在上述微透镜的制造方法中，优选在采用上述液滴喷出法喷出透镜材料时，按照所形成的微透镜的表面曲率为事先所设定的曲率那样，决定喷出的滴数。
如果这样，由于表面曲率是按照事先所设定的曲率而形成的，通过让光从表面透过，就能够形成具有所希望的光学特性的微透镜。
在上述微透镜的制造方法中，上述透镜材料也可以由非溶剂类的光透过性树脂构成。
这样作，由于所得到的微透镜的大小、形状由喷出的透镜材料的滴数更好确定，所以通过适当地调整喷出的滴数，能够使获得的微透镜更加精度优良地形成为所希望的大小、形状。
本发明的微透镜，在基体上所形成的基座构件的表面上形成，上述基座构件的表面进行了疏液处理；上述微透镜是由配备了多个喷嘴的液滴喷头，至少由其中的两个喷嘴，在经过上述疏液处理的基座构件上喷出多滴透镜材料而形成。
依据此微透镜，由于是在基座构件上形成微透镜，所以通过适当地形成基座构件表面的大小和形状，就可以形成大小和形状都适当的微透镜。另外由于基座构件表面经过了疏液处理，喷出配置的透镜材料相对于基座构件表面的接触角变大，即能够使基座构件上面装载的透镜材料的量增多。通过适当地调整喷出的透镜材料的滴数，就能够使得到的微透镜的大小和形状都成为得到良好控制的微透镜，例如可能形成近似于球形的微透镜。
另外特别是由配备了多个喷嘴的液滴喷头、至少使用其中的两个喷嘴，喷出多滴液滴，形成微透镜，即使各个喷嘴之间在喷出量上有差异，由于采用了两个以上的喷嘴，形成一个微透镜，所以可以减轻由于喷嘴间喷出量的差异带来的影响。由此可以抑制所得到的微透镜形状的不均匀性，就可以防止光学特性的分散差异。
在上述微透镜中，优选上述基座构件的表面形状为圆形、或者椭圆形、或者为多边形。
这样作，就可能形成更接近于球形的微透镜，即通过适当的形成曲率，就能成为聚光功能等的光学特性得到很好调整的微透镜。
在上述微透镜中，与上述基座构件的表面平行的微透镜的横截面的最大外径，优选大于上述基座构件的表面的外径。
这样的话，由于具有比基座构件表面的外径更大的横断面，此微透镜形成接近于球形的形状，也就是说，通过适当地形成其曲率，就能够成为聚光功能等的光学特性得到很好调整的微透镜。
在上述微透镜中，优选上述基座构件具有透光性。
这样的话，在基座构件侧面配置了发光源的情况下，从此发光源发出的光经过微透镜的表面能很好地发射，即根据此表面的曲率能使聚光功能等得到很好的发挥。
本发明的光学装置，包括面发光激光器、和由上述微透镜的制造方法所得到的微透镜，或者上述微透镜；将上述微透镜设置在上述面发光激光器的发射端。
依据此光学装置，由于在所述面发光激光器的发射端设置了大小和形状都得到良好控制的微透镜，通过此微透镜就可以对发光激光器发出的发射光很好地汇集，也就是说，其可以成为具有良好的发光特性(光学特性)的装置。
本发明的光传送装置，包括上述光学装置、光接收元件、和将上述光学装置发出的发射光传送到上述光接收元件的光传送机构。
依据此光传送装置，由于设置了上述的具有良好发光特性(光学特性)的光学装置，其成为具有良好传送特性的光传送装置。
本发明的激光打印机用头，包括上述光学装置。
依据此激光打印机用头，由于设置了上述的具有良好发光特性(光学特性)的光学装置，其成为具有良好描绘特性的激光打印机用头。
本发明的激光打印机，包括上述激光打印机用头。
依据此激光打印机，由于设置了上述的具有良好描绘特性的激光打印机用头，此激光打印机本身具有优良描绘特性。
【附图说明】
图1(a)～(e)表示本发明的微透镜的制造工序图。
图2(a)～(c)表示喷墨头的概略构成图。
图3(a)、(b)表示本发明的微透镜的制造工序图。
图4(a)～(c)表示本发明的微透镜的示意图。
图5(a)～(c)表示微透镜的聚光功能的示意图。
图6是说明采用疏液处理的透镜材料的接触角的图。
图7表示本发明的激光打印机用头的概略构成图。
图中：1-GaAs基板，2-面发光激光器，3-基体，4-基座构件材料层，4b-基座构件，7-透镜材料，8a-微透镜，18-喷嘴，34-喷墨头(液滴喷头)。
【具体实施方式】
以下对本发明进行详细说明。
首先对本发明的微透镜的制造方法进行说明。本发明的微透镜制造方法由以下各部分构成：在基体上形成基座构件的工序、对上述基座构件的表面疏液处理的工序、由配备了多个喷嘴的液滴喷头，至少使用其中的两个喷嘴在上述经过疏液处理的基座构件的表面喷出多滴透镜材料、在上述基座构件上形成微透镜的工序。
本发明所说的基体是指具有能够形成上述基座构件的面这样的物质，具体来说指玻璃底板和半导体底板，然后在其上形成各种功能性薄膜和功能性要素。另外所谓的可以形成上述基座构件的面，既可以是平面也可以是曲面，对于基体本身的形状也并无特别的限制，可以采用各种形状。
本发明中，如图1(a)所示，例如采用GaAs底板1，在此GaAs底板1上形成多个面发光激光器2将其作为基体3准备好，然后在此基体3的表面即成为上述面发光激光器2的发射端的表面，设置基座构件的形成材料，形成基座构件的材料层4。同时在面发光激光器2的发射端的周围形成由聚酰亚胺树脂等构成的绝缘层(图中未表示)。这里作为基座构件的形成材料，优选具有透光性的材料，即从上述面发光激光器2的发射光的波长范围内几乎不产生吸收，亦即优选实质上能够透过此发射光的材料，例如适合使用聚酰亚胺树脂、丙烯树脂、环氧树脂或者氟树脂等，特别是聚酰亚胺树脂更适合使用。
本实施方式中，作为基座构件的形成材料使用了聚酰亚胺树脂。然后在基体3上涂抹了此聚酰亚胺树脂的前身，之后经过约150℃的加热处理，成为图1(a)所示的基座构件材料层4。同时对于此基座构件材料层4，在此阶段不让其充分固化，能够保持其形状程度的硬度即可。
如此由聚酰亚胺树脂形成基座构件材料层4之后，如图1(b)所示此基座构件材料层4上面再形成抗蚀剂层5。然后将已形成为给定图案的掩模6覆盖在抗蚀剂层5上进行曝光，之后显影，这样就形成了图1(c)所示的抗蚀剂图案5a。
然后，将抗蚀剂图案5a作为掩模，例如使用碱类溶液通过湿蚀刻法将基座构件材料层4成型。由此如图1(d)所示在基体3上形成基座构件图案4a。这里，对于形成的基座构件图案4a，形成其表面形状为圆形或者椭圆形或者为多边形，在其上形成微透镜为优选。本实施方式中采用的表面形状为圆形。另外此圆形表面的中心位置，依据基体3上形成的上述面发光激光器2的发射端(图中未表示)的正上方位置而形成。
之后，如图1(e)所示，除去抗蚀剂图案5a，然后经过约350℃热处理，使基座构件图案4a充分固化，成为基座构件4b。
接着对此基座构件4b的表面进行疏液处理。对于此疏液处理，例如在空气环境中，适合采用以四氯氟甲烷为处理气体的等离子体处理法(CF4等离子体处理法)。此CF4等离子体处理法的条件为：例如等离子功率为50～1000kW，四氯氟甲烷(CF4)的气体流量为50～100ml/min，相对于等离子体放电电极，基体3的传送速度为0.5～1020mm/sec，基体温度为70～90℃。
另外，作为处理气体并非仅限定于四氯氟甲烷，也可以采用氟氯化碳类的气体。通过这样的疏液处理，在基座构件4a的表面在其构成的树脂中引入氟，由此可以赋予其高疏液性。
这里对于这样的疏液处理，特别是对于采用上述基座构件4b的形成材料所形成的平面在配置后述的透镜材料时，优选进行使该透镜材料的接触角20°以上可以发挥疏液性这样的处理。
也就是说如图6所示，利用上述基座构件4b的形成材料(本例中采用聚酰亚胺树脂)形成基座构件材料层4，其表面为平面。然后对此表面实行上述的疏液处理，接着在此表面上利用液滴喷出法喷洒透镜材料7。
这样透镜材料7成为对应于基座构件材料层4表面的湿润性的形状的液滴。此时，如果基座构件材料层4的表面张力为γS，透镜材料7的表面张力为γL，基座构件材料层4和透镜材料7之间的界面张力为γSL，透镜材料7相对于基座构件材料层4的接触角为θ，则γS、γL、γS1和θ之间，有以下的公式成立：
γS＝γS1+γL·cosθ
正如后面所述，成为微透镜的透镜材料7，其曲率受到根据上述公式决定的接触角θ的限制。也就是说，透镜材料7被固化后所得到的透镜的曲率是决定最终的微透镜的形状的要素之一。即本发明中，要想使得到的微透镜的形状更加接近于球形，根据疏液处理使基座构件材料层4和透镜材料7之间的界面张力γS1加大，上述接触角θ加大，即优选在20°以上。
这样，如图6所示接触角θ在20°以上的条件下，通过在上述基座构件4b的表面进行疏液处理，如后述的在此基座构件4b的表面喷出配置的透镜材料7相对于基座构件4b表面的接触角θ’确实变大。即能够在基座构件表面上装载的透镜材料量更多，由此很容易通过喷出量(喷出滴数)来控制其形状。
这样在基座构件4b表面进行疏液处理之后，采用液滴喷出法在此基座构件4b上喷出多滴透镜材料7。这里所谓的液滴喷出法可以采用分配器法和喷墨法等。分配器法作为喷出液滴的方法是一般的方法，是在比较大的范围喷出液滴时有效的方法。喷墨法是采用喷墨头喷出液滴的方法，能够在μm级的单位控制液滴喷出的位置，另外因为喷出液滴的量也能控制在微微升级的单位，所以特别适用于微细的透镜(微透镜)的制造。
因此本实施方式中作为液滴喷出法采用了喷墨法。此喷墨法作为喷墨头34，采用了例如图2(a)所示，配置了不锈钢制的喷嘴板12和振动板13，介入分隔构件(容器板)14将两者接合的装置。在喷嘴板12和振动板13之间，由分隔构件14形成多个腔室15…和贮留室16，这些腔室15…和贮留室16通过通路17连通。
各个腔室15和贮留室16的内部由要喷出的液体(透镜材料)填满，它们之间的通路17起到从贮留室16向腔室15提供液体的供给口的作用。另外在喷嘴板12上，从腔室15中喷射液体的孔状喷嘴18，例如图2(b)所示，由在喷墨头34的底面上，纵向2列横向12列排列的状态形成。另外在振动板13上，在贮留室16内形成开口孔19，孔19中液体贮箱(图中未表示)介入软管(图中未表示)连接。
另外振动板13的面向腔室15的反面上，如图2(c)所示，接合了压电元件(压电元件)20。此压电元件20夹在一对电极21、21之间，因为通电时向外突出并弯曲，在本发明中作为喷出装置发挥作用。
据此构成，接合了压电元件20的振动板13，与压电元件20一起同时向外侧弯曲，由此可以增大腔室15的容积。这样，腔室15内和贮留室16内已连通，当贮留室16内填充了液体时，相当于腔室15内增大的体积部分的液体，从贮留室16经由通路17流入。
在此状态下，如果将压电元件20的通电解除，压电元件20和振动板13同时回到原来的形状，由于腔室15也回归原来的容积，腔室15内部液体的压力上升，由喷嘴18喷出液体的液滴22。
此外，作为喷墨头的喷出机构，也可以使用采用了上述的压电元件(压电元件)20的电-机械变换体以外的元件，例如作为能量产生元件采用电热变换体的方式、称为带电控制性、加压振动性的连续方式、静电吸引方式，也可以采用通过激光等的电磁波照射发热，通过此发热作用喷出液体的方式。
另外喷出的透镜材料7，即作为成为微透镜的透镜材料7，使用透光性树脂。具体说，可以列举出聚甲基丙烯酸甲脂、聚甲基丙烯酸羟乙脂、聚甲基丙烯酸环已脂等的聚丙烯酸类树脂；聚二甘醇双烯丙基碳酸酯、聚碳酸酯等的烯丙类树脂；甲基丙烯酸树脂、聚氨酯树脂、聚酯树脂、聚氯乙烯树脂、聚醋酸乙烯树脂、纤维树脂、聚酰胺树脂、氟类树脂、聚丙烯类树脂、聚苯乙烯类树脂等热可塑性或者热固化性的树脂，可以使用其中的一种或者几种混合使用。
本发明中，作为上述的透光性树脂，特别适合地使用了非溶剂类的树脂。此非溶剂类的透光性树脂，使用有机溶剂将透光性树脂溶解，并不成为液体，例如通过单体稀释此透光性树脂，将其液体化，成为能够经由喷墨头34喷出的物质。另外对于此非溶剂类的透光性树脂，通过配合使用联二咪唑类化合物等的光聚合开始剂，能够作为放射线照射固化型的物质使用。也就是说通过配合使用这样的光聚合开始剂，能够赋予上述透光性树脂放射线照射固化性。这里所说的放射线，是可视光、紫外线、远紫外线、X线、电子线等的总称，特别是一般采用紫外线。
由上述构成的喷墨头34，向如图3(a)所示的基座构件4b上喷出多滴，例如10～30滴这样的透镜材料7，在基座构件4b上形成微透镜的前身8。这里的喷墨头34，如图2(b)所示，在其喷嘴板12上面喷嘴18纵横排列形成多个喷嘴，这些喷嘴18之间由于例如其位置的差异等，其喷出量上有微妙的差异。
因此在本发明中，当从此喷墨嘴34喷出多滴墨材料7的液滴时，并非由一个喷嘴18将所有的液滴全部喷出，而是采用两个以上的喷嘴18，从这些喷嘴向一个基座构件5b表面喷出透镜材料7。
例如在一个基座构件5b上面喷出10滴墨材料7，形成微透镜的前身8的情况下，如图2(b)所示的喷嘴18之中，在横向排列的12个喷嘴18之中，从一侧按照顺序每个喷嘴分别喷出1滴，10个喷嘴18共计喷出10滴，形成微透镜的前身8。
或者如图2(b)所示的横向排列的喷嘴18之中，使用相邻的两个喷嘴18在一个基座构件5b上面从这些喷嘴18中交替的分别喷出1滴，2个喷嘴18分别平均喷出5滴，共计喷出10滴，形成微透镜的前身8也可以。
另外这些喷出例子只是利用多个喷嘴18喷出多滴液体的众多方式中的一部分，除了这些以外，当然还可以采用其它各种的喷出方式。
因为采用了两个以上的喷嘴18喷出多滴液体，即使在各个喷嘴18之间存在喷出量上的差异，通过采用两个以上的喷嘴形成一个微透镜的前身8，能够减轻喷嘴18之间喷出量的差异带来的影响。另外特别是如采用10个喷嘴18的例子，如果使用多个喷嘴18喷出液滴，能够进一步减轻由喷嘴18之间的差异带来的影响，这种形式是优选的。
在本实施方式中，由于采用了喷墨法喷出透镜材料7，因此能够在基座构件的几乎中心部分精度优良的配置透镜材料7。另外通过上述的在基座构件4b上疏液处理，喷出的透镜材料7的液滴在基座构件4b的表面不容易扩散，也就是说在基座构件4b上配置的透镜材料7不会从基座构件4b上面洒落，在基座构件4b上面能够保持稳定状态。还有，断续地喷出多滴(如本例中30滴)，由此喷出的透镜材料7所构成的微透镜前身8，其横断面(和基座构件4b的表面平行的平面)最终要大于基座构件4b的表面。
也就是说，在透镜材料7喷出的初期，由于透镜材料7的喷出量少，如图4(a)所示，在向基座构件4b的表面全体扩散的状态过程中，作为其整体不会有大的隆起，相对于基座构件4b的表面的接触角θ’为锐角。
从这种状态如果继续喷出透镜材料7，后喷出的透镜材料7当然比先喷出的透镜材料7的密接性要高，因此如图4(b)所示，之后不会洒落而是成为一体。这样此一体化的透镜材料7其体积增大而隆起，由此相对于基座构件4b表面的接触角θ’增大，最终超过直角。
然后在这种状态下如果透镜材料7的喷出还继续的话，特别是由喷墨法喷出的每滴的量不会很大，这样在基座构件4b的表面就可以保持全体的平衡，其结果形成如图4(c)所示的接触角θ’很大的钝角，其结果成为接近于球形的状态。
这样在基座构件4b的表面进行疏液处理，通过在此疏液处理的表面精度良好地控制喷出量以及喷出位置，喷出少量的液滴的喷墨法(液滴喷出法)，喷洒多滴透镜材料7，从接触角θ’比较小的锐角到比较大的钝角，能够分步制作微透镜的前身8的形状。也就是根据要形成的微透镜的形状，事先决定喷出的合适的液滴数，这样能够形成所希望的形状的微透镜。
这样在形成所希望形状(本实施方式中如图4所示接近于球形的形状)的微透镜前身8之后，如图3(b)所示对这些微透镜前身8固化处理，形成微透镜8a。
作为微透镜前身8的固化处理，如前所述，作为透镜材料7并非加入有机溶剂，而是采用放射线照射赋予其固化性，特别适合采用紫外线(波长λ＝365nm)照射的处理方法。
另外经紫外线照射固化处理之后，例如优选进行100℃、1小时左右的热处理。通过这样的热处理，即使在经紫外线照射进行固化处理阶段产生固化不均，也能够减少此固化不均，可以得到全体几乎均匀的固化度。
这样形成微透镜8a后，根据需要切断基体3，形成单片或者阵列状，制作成所要求的形状。
另外由如此制造的微透镜8a和在基体3上事先形成的上述面发光激光器2，可以得到本发明一实施方式的光学装置。
对于这样的微透镜的制造方法，因为在基座构件4b上形成微透镜8a，通过适当的形成基座构件4b表面的大小和形状，就能够使得到的微透镜8a形成适当大小和形状。另外由于基座构件4b的表面进行了疏液处理，喷出配置的透镜材料7相对于基座构件4b表面的接触角θ’能够加大，由此能够在基座构件4b表面装载更多量的透镜材料7。由于在基座构件4b表面能够放更多量的透镜材料7，因为使其喷出多滴透镜材料7，通过适当调整滴数，能够很好的控制得到的微透镜8a的大小和形状。
即可以将上述的微透镜8a的形状，如图4(a)～(c)所示的各种形状，即从平坦的形状(图4(a))到侧面接近半球形的形状(图4(b))，再到侧面接近球形的形状(图4(c))，分步制作。也就是说，特别是本实施方式的情况下，在基体3上形成的面发光激光器2发出的发射光(发光光)通过基座构件4b，从和此基座构件4b相反的一侧，即微透镜8a的表面发射，如图4(a)～(c)所示，因为此微透镜8a的表面曲率能够适当分步制作，所以能够将此微透镜8a的聚光功能根据事先的设定进行调整。
即，例如由面发光激光器2的发射光(发光光)作为发射光通过基座构件4b入射到微透镜8a的情况下，事先根据发射光的发射的程度，将微透镜8a的形状，即微透镜8a的表面曲率成为事先设定的曲率，这样经面发光激光器2的放射光(发射光)，例如如图5(a)～(c)所示，能够经微透镜8a很好的汇集。
相反当经面发光激光器2等发光源发出的光，没有放射性，而具有直进性的情况下，使其透过微透镜8a，能够使此透过光具有放射性。
如前所述因为使用两个以上的喷嘴18喷出多滴滴液，因此即使每个喷嘴18之间在喷出量上有差异，通过由两个以上的喷嘴形成一个微透镜的前身8，就能够减轻喷嘴18间喷出量的差异带来的影响。由此，能够抑制得到的微透镜8a形状的不均匀性、防止光学特性的散乱、形成具有良好光学特性的微透镜8a。
特别是如图4(a)、(c)所示，与基座构件4b表面的外径A相比，采用与上述表面平行的横断面之中最大的横断面之外径B增大的方式，形成微透镜8a，这样此微透镜8a与图4(a)所示等相比接近于球形。也就是说由于其表面曲率能够比较小，聚光性能能够进一步提高。
另外对于由如此制造的微透镜8a和在基体3上形成的上述面发光激光器2构成的光学装置，正如前面所述，其大小和形状得到良好的控制，而且由于在上述面发光激光器2的发射端配置了能够防止分散偏差的微透镜8a，此微透镜8a能够很好的汇集面发光激光器2的发射光，也就是说其成为具有良好的发光特性(光学特性)的装置。
在上述实施方式中，是在基体3上形成基座构件材料层4，由此基座构件材料层4形成基座构件4b。本发明并非仅限定于此，例如对于由透光性材料形成基体3的表层部分的情况等，由此表层部分直接形成基座构件也可以。
另外对于基座构件4b的形成方法，并非限定于上述光刻法。也可以采用其它的形成方法，例如选择成长法和转印法等。
还有对于基座构件4b的表面形状，根据所形成的微透镜要求的特性，也可以形成三角形和四边形等各种形状，另外对于基座构件4b自身的形状，也可以是圆锥和倒圆锥形等各种形状。
上述实施方式中，微透镜8a是在基座构件4b表面已经形成的状态下作为透镜使用，发挥其作用，本发明并非仅限定于此，也可以采用恰当的方法从基座构件4b切开或者剥离，将微透镜8a作为单独的光学构件使用。这种情况下，对于制造中所采用的基座构件4b，当然没有必要具有透光性。
在本发明中，配置了由上述面发光激光器2和微透镜8a构成的光学装置，再加上传送从此光学装置发出的发射光的光纤和光导波路等构成的光传送装置，和接收由此光传送装置传送的光的光接收元件，就能够作为光传送装置发挥功能。
对于这样的光传送装置由于配备了上述的具有良好发光特性(光学特性)的光学装置，所以此光传送装置也具有良好的传送特性。
本发明的激光打印机用头，配备了上述光学装置而构成。即此激光打印机用头所使用的光学装置，包括：如图7所示，将多个面发光激光器2直线排列构成面发光激光器阵列2a，对于构成此面发光激光器阵列2a的各个面发光激光器2a配置的微透镜8a。对于面发光激光器2设置了TFT等的驱动元件(图中未表示)，在此激光打印机用头中设置了温度补偿电路(图中未表示)。
由配备了如此构成的激光打印机用头，构成本发明的激光打印机。
对于这样的激光打印机用头，由于配备了上述的具有良好发光特性(光学特性)的光学装置，所以是具有良好的描绘特性的激光打印机用头。
对于配置了这样的激光打印机用头的激光打印机，由于配备了上述的具有良好描绘特性的激光打印机用头，所以其本身也是具有优良的描绘特性的激光打印机。
本发明的微透镜，在上述用途以外，也能适用于其它各种光学装置，例如可以作为固体摄像装置(CCD)的光接收面和光纤的光结合部等设置的光学部件使用。