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一种膜电极低压电解式臭氧发生器的膜电极及其阳极和阳极的制作方法涉及电解臭氧发生器的膜电极。本发明采用电催化活性高、耐蚀性高、无二次污染的硼掺杂金刚石作为阳极催化剂,进一步,利用气相沉积法将硼掺杂金刚石直接沉积于多孔钛板上,并与聚合物质子交换膜热压成集多孔钛板、阳极催化剂与聚合物质子交换膜于一体的阳极结构。与现有技术相比,该阳极结构不仅制备工艺简单,组装方便,有利于批量生产,而且沉积于多孔钛板表面的。