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一种磷化氢快速生成方法,主要包括有:(一)投入药剂、(二)抽气、(三)注入氮气、(四)洒水、(五)清除等五个步骤。实施该方法的装置,主要包括一防爆耐压槽体,该槽体连结有残渣排除系统、磷化氢纯化系统、氮气注入系统及高压洒水系统,其中该磷化氢纯化系统并连接于一减压库,而槽体内是一反应室,反应室上设有一投药口,由此可将反应物投入反应室中,再由负压的减压库吸气,使反应室内的气体经磷化氢纯化系统纯化,并在反。