XYZ轴台板.pdf

本发明提供了一种有线性马达的XYZ轴台板，该XYZ轴台板有基座、多个线性引导装置、工作台、X轴驱动线性马达、Y轴驱动线性马达以及Z轴驱动线性马达。该线性马达设置成由电枢以及能够相对于该电枢进行相对运动的活动元件构成。该线性马达还有：一个磁极齿排，该磁极齿排与电枢的一个磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；以及另一磁极齿排，该磁极齿排与活动元件的另一磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；该一个磁极齿排的第一级磁极齿和该另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，该一个磁极齿排的第二级磁极齿和该另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，且活动元件布置在该一个和另一第一级磁极齿排以及该一个和另一第二级磁极齿排之间。

1.  一种XYZ轴台板，包括：
基座；
多个线性引导装置；
工作台；
X轴驱动线性马达；
Y轴驱动线性马达；以及
Z轴驱动线性马达，
其中：所述线性马达设置成由电枢以及能够相对于该电枢进行相对运动的活动元件构成；以及
所述线性马达还有：一个磁极齿排，该磁极齿排与所述电枢的一个磁极进行磁连接，并布置成沿与所述活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；以及另一磁极齿排，该另一磁极齿排与所述活动元件的另一磁极进行磁连接，并布置成沿与所述活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；所述一个磁极齿排的第一级磁极齿和所述另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于所述活动部件的运动方向交替布置，所述一个磁极齿排的第二级磁极齿和所述另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于所述活动部件的运动方向交替布置，且所述活动元件布置在所述一个和另一磁极齿排的第一级以及所述一个和另一磁极齿排的第二级之间。

2.  根据权利要求1所述的XYZ轴台板，其中：所述线性引导装置的导轨布置在包括所述基座的东部、西部、南部和北部的四个部分处，所述导轨整体形成为使得由所述导轨引导以便能自由运动的滑动器与所述电枢的相对运动方向形成垂直角度，所述活动元件与所述工作台相连，从而形成十字形，且沿东西方向布置的所述电枢和沿另一南北方向布置的所述活动元件作为X轴驱动线性马达以及Y轴驱动线性马达而分别进行驱动。

3.  根据权利要求1所述的XYZ轴台板，其中：所述线性引导装置的四个导轨布置在所述基座上的、包括西部、东部、南部和北部的四个部分，所述活动元件进行交叠，并布置成保持间隙，以便形成十字形，由所述导轨引导以便自由运动的滑动器与活动元件的两端相连，这样，滑动器和活动元件之间的相对运动方向彼此垂直，所述多个电枢通过集中在所述线性引导装置的内侧而与所述工作台形成一体，布置成东西方向的所述电枢以及布置在南北方向的所述电枢作为X轴驱动线性马达和Y轴驱动线性马达而分别进行驱动。

4.  根据权利要求1所述的XYZ轴台板，其中：所述线性引导装置的导轨布置在所述基座中，这样，X和Y轴彼此垂直交叉，由所述导轨引导以便能自由运动的滑动器与电枢形成一体，这样，相对运动方向垂直，所述电枢与所述工作台相连，以便形成L形，沿东西方向布置的电枢以及沿南北方向布置的电枢作为X轴驱动线性马达和Y轴驱动线性马达而分别进行驱动。

5.  根据权利要求1所述的XYZ轴台板，其中：XY台板和Z轴线性引导装置分别能够以角度θ驱动。

6.  根据权利要求2所述的XYZ轴台板，其中：XY台板和Z轴线性引导装置分别能够以角度θ驱动。

7.  根据权利要求3所述的XYZ轴台板，其中：XY台板和Z轴线性引导装置分别能够以角度θ驱动。

8.  根据权利要求4所述的XYZ轴台板，其中：XY台板和Z轴线性引导装置分别能够以角度θ驱动。

9.  根据权利要求1所述的XYZ轴台板，其中：各线性引导装置独立布置在所述基座上，或者一个轴向线性引导装置与另一轴向线性装置交叠，从而使用所述线性马达。

10.  根据权利要求2所述的XYZ轴台板，其中：各线性引导装置独立布置在所述基座上，或者一个轴向线性引导装置与另一轴向线性装置交叠，从而使用所述线性马达。

11.  根据权利要求3所述的XYZ轴台板，其中：各线性引导装置独立布置在所述基座上，或者一个轴向线性引导装置与另一轴向线性装置交叠，从而使用所述线性马达。

12.  根据权利要求4所述的XYZ轴台板，其中：各线性引导装置独立布置在所述基座上，或者一个轴向线性引导装置与另一轴向线性装置交叠，从而使用所述线性马达。

13.  根据权利要求1至12中任意一个所述的XYZ轴台板，还包括：闭环控制系统，该闭环控制系统由所述线性马达、传感器、控制部分以及动力驱动部分构成，该传感器检测在所述电枢和所述活动元件以及磁极之间的相对移动，该控制部分反馈传感器的信号。

14.  根据权利要求1至12中任意一个所述的XYZ轴台板，还包括：开环控制系统，该开环控制系统由所述线性马达、控制部分以及动力驱动部分构成。

15.  根据权利要求1至12中任意一个所述的XYZ轴台板，还包括：控制系统，该控制系统由所述线性马达、动力驱动部分以及控制部分构成，该控制部分包括估算装置，用于检测所述线性马达的感应电压，并根据所述检测电压值来估算在所述电枢和所述活动元件之间的相对磁极位置。

16.  根据权利要求1至12中任意一个所述的XYZ轴台板，还包括：控制系统，该控制系统包括线性马达、动力驱动部分以及控制部分，该控制部分包括估算装置，用于检测流过所述线性马达的电流，并根据所述电流检测值来估算在所述电枢和所述活动元件之间的相对磁极位置。

17.  根据权利要求1至16中任意一个所述的XYZ轴台板，其中：布置有多个所述同轴驱动线性马达电枢，且当磁极间距设置为P时，相邻的不同电枢的磁极齿之间的间距设置为(k·P+P/M){(k＝0、1、2…)，(M＝2、3、4…)}{其中，k是在相邻电枢可以布置的范围内自由选定的数字，M是马达的相数}。

18.  根据权利要求1至17中任意一个所述的XYZ轴台板，其中：在所述XY台板和所述基座的中心部分中都提供有通孔。

19.  根据权利要求1至18中任意一个所述的XYZ轴台板，其中：
在所述基座和所述工作台之间提供有压缩空气悬浮功能或磁悬浮功能。

20.  一种半导体制造步进器装置、机床或暴露装置，它有如权利要求1至19中任意一个所述的XY台板或XYZ轴台板。

XYZ轴台板
技术领域
发明领域
本发明涉及一种XYZ轴台板，尤其是涉及一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板用于在步进器装置、机床和其它暴露(exposing)装置中定位时标(mask)，该步进器装置用于制造半导体。
现有技术的说明
在普通XYZ轴台板中，在采用线性马达的情况下，在线性马达的结构中，旋转机构进行断开和开启，以便以线性方式进行驱动。
在XYZ轴台板中，因为在现有技术中公开的线性马达在电枢和活动元件之间有大量漏磁通，且磁引力沿一个方向施加在电枢和活动元件之间的部分上，因此较大负载施加在该活动元件的支承机构上，从而有在该结构中产生损伤的问题。
发明简介
本发明的目的提供一种XYZ轴台板，其中，通过减小经过电枢和活动元件之间部分的磁通泄漏量，从而使在电枢和活动元件之间产生的磁引力较小。
根据本发明的一个方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板有基座、多个线性引导装置、工作台、X轴向驱动线性马达、Y轴向驱动线性马达以及Z轴向驱动线性马达。优选是，该线性马达设置成由电枢以及能够相对于该电枢进行相对运动的活动元件构成。而且，优选是，该结构形成为这样，即线性马达还有：一个磁极齿排(teethrow)，该磁极齿排与电枢的一个磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；以及另一磁极齿排，该磁极齿排与活动元件的另一磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；该一个磁极齿排的第一级磁极齿和该另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，该一个磁极齿排的第二级磁极齿和该另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，且活动元件布置在该一个和另一磁极齿排的第一级以及该一个和另一磁极齿排的第二级之间。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：线性引导装置的导轨布置在包括基座的东部、西部、南部和北部的四个部分处，该导轨整体形成为使得由导轨引导以便能自由运动的滑动器与电枢的相对运动方向形成垂直角度，该活动元件与工作台相连，从而形成十字形，且沿东西方向布置的电枢和沿另一南北方向布置的活动元件作为X轴向驱动线性马达以及Y轴向驱动线性马达而分别进行驱动。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：线性引导装置的四个导轨布置在基座上的、包括西部、东部、南部和北部的四个部分，活动元件进行交叠，并布置成保持间隙，以便形成十字形，由导轨引导以便自由运动的滑动器与活动元件的两端相连，这样，滑动器和活动元件之间的相对运动方向彼此垂直，多个电枢通过集中在线性引导装置的内侧而与工作台形成一体，布置成东西方向的电枢以及布置在南北方向的电枢作为X轴向驱动线性马达和Y轴向驱动线性马达而分别进行驱动。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：线性引导装置的导轨布置在基座中，这样，X和Y轴彼此垂直交叉，由导轨引导以便能自由运动的滑动器与电枢形成一体，这样，相对运动方向垂直，电枢与工作台相连，以便形成L形，沿东西方向布置的电枢以及沿南北方向布置的电枢作为X轴向驱动线性马达和Y轴向驱动线性马达而分别进行驱动。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：XY台板和Z轴向线性引导装置分别能够以角度θ驱动。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：各线性引导装置独立布置在基座上，或者一个轴向线性引导装置与另一轴向线性装置交叠，从而使用线性马达。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板还包括闭环控制系统，该闭环控制系统由线性马达、传感器、控制部分以及动力驱动部分构成，该传感器检测在电枢和活动元件以及磁极之间的相对移动，该控制部分反馈传感器的信号。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板还包括开环控制系统，该开环控制系统由线性马达、控制部分以及动力驱动部分构成。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板还包括控制系统，该控制系统由线性马达、动力驱动部分以及控制部分构成，该控制部分包括估算装置，用于检测线性马达的感应电压，并根据感应电压值来估算在电枢和活动元件之间的相对磁极位置。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板还包括控制系统，该控制系统包括线性马达、动力驱动部分以及控制部分，该控制部分包括估算装置，用于检测流过线性马达的电流，并根据电流检测值来估算在电枢和活动元件之间的相对磁极位置。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：布置有多个同轴驱动线性马达电枢，且当磁极间距设置为P时，相邻的不同电枢的磁极齿之间的间距设置为(k·P+P/M){(k＝0、1、2…)，(M＝2、3、4…)}{其中，k是在相邻电枢可以布置的范围内自由选定的数字，M是马达的相数}。
根据本发明地另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：在XY台板和基座的中心部分中都提供有通孔。
根据本发明的另一方面，提供了一种XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为这样：在基座和工作台之间提供有压缩空气悬浮功能或磁悬浮功能。
根据本发明的另一方面，提供了一种半导体制造步进器装置、机床或暴露装置，它们有如前述任意一个特征中所述的XY台板或XYZ轴台板。
下面将介绍本发明的上述特征和其它特征。
附图的简要说明
图1是表示根据本发明实施例的、具有线性马达的XYZ轴台板的基本结构的示意图；
图2是用于本发明中的线性马达的示意图；
图3A是表示线性马达的磁通流的概念的示意图；
图3B是表示由分开的芯构成的组件的示意图；
图4是表示模制线性马达和滑动器组合的结构的示意图；
图5A和5B是根据本发明使用线性马达的结构的控制方框图；
图6A和6B是根据本发明使用线性马达的结构的另一控制方框图；
图7是表示根据本发明实施例具有线性马达的XYZ轴台板的示意图；
图8是表示根据本发明另一实施例具有线性马达的XYZ轴台板的示意图；
图9是表示根据本发明再一实施例具有线性马达的XYZ轴台板的示意图；以及
图10是表示根据本发明又一实施例具有线性马达的XYZ轴台板的示意图。
优选实施例的详细说明
下面将参考附图介绍本发明的实施例。
图1是根据本发明实施例的XYZ轴台板的基本结构的示意图；
在图1中，参考标号101表示基座，参考标号102表示线性引导装置的导轨，参考标号103表示工作台，参考标记3X表示X轴驱动线性马达的电枢，参考标记3Y表示Y轴驱动线性马达的电枢，参考标记3Z表示Z轴驱动线性马达的电枢，参考标记6X、6Y和6Z表示沿相应轴的活动元件，而参考标号108表示臂。因此，具有线性马达的XYZ轴台板由上述元件构成。电枢3X有部分X1和X2。电枢3Y有部分Y1和Y2。电枢3Z有部分Z1和Z2。
而且，根据空气悬浮操作或磁悬浮操作，可以在基座101和工作台103之间获得光滑运动。能够沿X和Y轴方向在基座101上运动的部分能够用作XY轴台板。
图2是表示用于沿一个轴驱动的线性马达的示意图，根据本发明实施例，该线性马达用于XYZ轴台板中。
在图2中，线性马达是由电枢3和可相对于该电枢3进行相对运动的活动元件6构成，该线性马达还有一个磁极齿排，该磁极齿排与电枢的一个磁极1进行磁连接，并布置成沿与活动元件运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级。
而且，线性马达有另一磁极齿排，该磁极齿排与活动元件的另一磁极2进行磁连接，并布置成沿与活动元件运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级。摇摆型马达构成为使所述磁极齿排的第一级磁极齿和另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，一个磁极齿排的第二级磁极齿和另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，活动元件布置在一个和另一第一级磁极齿排以及一个和另一第二级磁极齿排之间。
这时，在电枢中的上部磁极齿11a和底部磁极齿21b定义为第一相对部分，底部磁极齿12b和上部磁极齿22a定义为第二相对部分。因此，电枢构成为这样，第(2n-1)个铁芯成为第一相对部分，第(2n)个铁芯成为第二相对部分(其中，n＝1、2、3…)。
而且，一个线圈4容纳于电枢3中，线性马达的结构为这样，活动元件6保持在第一相对部分之间，该活动元件保持在第二相对部分之间，以及该活动元件可相对于电枢进行相对运动。这时，电枢由铁芯、永磁体和线圈4构成，且该活动元件6可以由永磁体、磁性本体和线圈这些材料中的一种或多种构成。
图3A和3B表示了本发明的线性马达的磁通流的概念的示意图以及由层叠钢板构成的组件的示意图。当结构形成为如图2所示时，在本实施例的线性马达的各个相对部分中的上部磁极齿11a或22a和底部磁极齿21b或12b之间的间隙中形成电枢3，在该电枢3中，磁通在该上部磁极齿和底部磁极齿之间交替沿垂直方向流动，因此，活动元件6通过该间隙进行相对运动，如图3A所示。
而且，在本实施例的线性马达中，因为施加在活动元件6和上部磁极齿上的吸引力以及施加在活动元件6和底部磁极齿上的吸引力具有基本相同的幅值，且该吸引力沿相反方向施加，总吸引力变得很小。因此，可以使活动元件6的磁极齿和电枢3之间的吸引力变小，并可以减小支承机构的负载。
在图3B中，电枢由层叠钢板构成，并构成为使多组第一相对部分和第二相对部分交替布置。而且，磁极部分(对应于上部磁极齿11a或22a以及底部磁极齿12b或21b)通过层叠金属板单独形成，然后进行装配，该磁极部分有铁芯部分(对应于图5中的铁芯5)和相对部分，电枢线圈布置在该铁芯部分中，而活动元件保持在该相对部分之间。
图4表示了模制由图3B中所示的层叠钢板构成的电枢的视图。
线性引导装置的导轨102保持在滑动槽111之间，以便以与电枢3中的线性引导装置的滑动器110形成一体的方式进行引导和支承。
图5A、5B、6A和6B表示了根据本发明使用线性马达的控制方框图。
图5A表示了构成闭环控制系统的方框图，该闭环控制系统包括：传感器(未示出)，该传感器检测由电枢和活动元件构成的线性马达(马达)、电枢和活动元件以及磁极之间的相对移动；控制部分(控制器)，该控制部分反馈传感器的信号(信号)；以及动力驱动部分(驱动器和电源)。
图5B表示了构成开环控制系统的方框图，该开环控制系统包括：线性马达(马达)，该线性马达由电枢和活动元件构成；控制部分(控制器)；以及动力驱动部分(驱动器和电源)。
图6A表示了构成无磁极传感器的控制系统的方框图，该无磁极传感器控制系统包括：由电枢和活动元件构成的线性马达(马达)、电压传感器、控制部分(控制器)以及动力驱动部分(驱动器和电源)。在本实施例中，由线性马达产生的感应电压(Eo)通过利用电压传感器而在控制部分中读出。在控制部分中，通过感应电压的大小来估算磁极位置，并向动力驱动部分输出用于驱动线性马达的信号。在本结构的控制系统中，在线性马达部分中没有安装磁极位置传感器的情况下，线性马达可以稳定(不会不同步)驱动。
图6B表示了构成无磁极传感器的控制系统的方框图，该无磁极传感器控制系统包括：由电枢和活动元件构成的线性马达(马达)、电流传感器、控制部分(控制器)以及动力驱动部分(驱动器和电源)。在本实施例中，流过线性马达的电流(I)通过利用电流传感器而在控制部分中读出。在控制部分中，线性马达的感应电压通过施加给线性马达的电压以及检测的电流值来计算，从而估算磁极位置。在本结构的控制系统中，在线性马达部分上没有安装磁极位置传感器的情况下，线性马达可以稳定(不会不同步)驱动。
图7表示了在图1中所示的基座101上的XY台板的细节。具有线性马达的该XY台板构成为这样：线性引导装置的导轨102布置在包括基座101的东部、西部、南部和北部的四个部分处，该导轨整体形成为使得由导轨引导以便能自由运动的滑动器110与电枢的相对运动方向形成垂直角度，活动元件与工作台相连，从而形成十字形，且沿东西方向布置的电枢和沿另一南北方向布置的活动元件作为X轴驱动线性马达以及Y轴驱动线性马达而分别进行驱动。
用于本实施例中的线性马达构成为这样：电枢3X1(电枢3X的X1部件)和电枢3X2(电枢3X的X2部件)以成对形式构成X轴驱动线性马达的电枢，不过，相同的原理也用于Y轴和Z轴的情况。
在图7中，通常电枢3X1和电枢3X2串联布置，这样，电枢3X1的磁极齿以及电枢3X2的磁极齿之间的间距满足公式(k·P+P/M){(k＝0、1、2…)，(M＝2、3、4…)}。其中，P是磁极间距(磁极间距P从电枢磁极间距Ps和活动元件磁极间距Pm中选择)，M是马达的相数。多个永磁体布置在活动元件6中，并使相邻磁极不同。
在图7中，电枢3X1和电枢3X2串联布置，并使电枢3X1的磁极齿以及电枢3X2的磁极齿之间的间距满足公式{(k·P；k＝0、1、2…)}，且多个永磁体可以布置成使电枢6X1(在电枢6X中对应于X1的部分)和电枢6X2(在电枢6X中对应于X2的部分)之间的磁极中心满足公式(kP+P/M)。
换句话说，电枢6X1和6X2通过变化间距(k·P+P/M)整体形成。相对而言，电枢6X1和6X2对齐，电枢3X1和3X2的中心可以为变化间距(k·P+P/M)。
当对电枢3X1和3X2的线圈4进行激励，从而交替产生运动磁场时，在通过上部磁极表面和底部磁极表面之间的间隙8的各个磁极间距处形成沿相反方向的磁通流，由于运动必须的P/2，从而产生推动力，使得活动元件6相对运动，并使得与该活动元件相连的工作台103自由运动。
在图7中，铁磁性基质和非磁性基质可以在活动元件6中组合，或者通常可以使用永磁体。而且，通过将线圈缠绕成产生环绕活动元件6的运动磁场以代替永磁体，并使场电流流过电枢3，从而可以获得相对自由运动的线性马达。
这里，在图7中，对串联布置的两个电枢的结构进行了说明，不过，也可以串联布置有多个电枢。在某些情况下，该结构可以形成为这样：两个电枢并联布置，且两个活动元件形成一体，或者多个电枢并联布置，且多个活动元件形成一体。
这里，对本发明实施例的两相线性马达进行了说明，不过，本发明可以采用多相线性马达，例如三相、四相、五相等。
图8、9和10表示了根据本发明另一实施例的XYZ轴台板。
图8表示了另一实施例，该实施例构成为使图7中所示的电枢3X1和3X2在一侧集中到一个部分。具有线性马达的XY台板构成为使线性引导装置的导轨102布置在基座101中，这样，X和Y轴彼此垂直交叉，由导轨102引导以便能自由运动的滑动器与电枢形成一体，这样，相对运动方向是垂直的，电枢6X和6Y与工作台103相连，以便形成L形，沿东西方向布置的电枢3X以及沿南北方向布置的电枢3Y作为X轴向驱动线性马达和Y轴向驱动线性马达而分别进行驱动。因为线性马达可以如上述组合，因此提高了布置的自由度。而且，可以减少线性马达的数目。
图9表示了XY台板，该XY台板构成为这样：线性引导装置的四个导轨102布置在基座上的、包括西部、东部、南部和北部的四个部分，活动元件6X和6Y进行交叠，并布置成保持间隙，以便形成十字形，由导轨102引导以便自由运动的滑动器110与活动元件的两端相连，这样，滑动器和活动元件之间的相对运动方向彼此垂直，多个电枢通过集中在线性引导装置的内侧而与工作台103形成一体，布置成东西方向的电枢3X以及布置在南北方向的电枢3Y作为X轴向驱动线性马达和Y轴向驱动线性马达而分别进行驱动。因为线性马达可以如上述进行组合，可以使电线结构简单。
图10表示了具有线性马达的XYZ轴台板，该XYZ轴台板构成为使分别有工具的XY台板和Z轴向线性引导装置能够以角度θ驱动。因此，工具中的加工自由度增加。也可以添加印刷装置和观察装置例如显微镜等，以代替工具。
而且，因为在XY台板和基座的中心部分处都提供有通孔，较长物品可以安装在工作台上。因此，可以扩大处理物品的范围。
如上所述，根据本发明的实施例，因为线性马达可以缩短磁路的、用于有效磁通的磁通路径，并减少磁极齿的泄漏磁通，因此能提高效率。而且，在本发明的线性马达中，因为施加在活动元件6和上部磁极齿上的吸引力以及施加在活动元件6和底部磁极齿上的吸引力具有相同的幅值，且该吸引力沿相反方向施加，总吸引力变得很小。因此，可以使活动元件6的磁极齿和电枢3之间的吸引力变小，并可以减小支承机构的负载，从而可以提高耐久性。而且，可以减少部件的数目，并可以使XY台板较薄。而且，根据上述结构，可以提供具有XYZ轴台板或XY台板的半导体制造步进器装置、机床、暴露装置等。
根据本发明，可以提供效率提高和具有很高耐久性的XY台板或XYZ轴台板。