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1、(10)申请公布号 CN 103080820 A(43)申请公布日 2013.05.01CN103080820A*CN103080820A*(21)申请号 201180039149.5(22)申请日 2011.06.0961/353163 2010.06.09 US13/151055 2011.06.01 USG02F 1/11(2006.01)G02B 21/00(2006.01)(71)申请人徕卡显微系统复合显微镜有限公司地址德国韦茨拉尔(72)发明人 B威兹高斯基 H比尔克V塞弗里德(74)专利代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280代理人王勇 王博(54) 发明名称声光系统。
2、及使用该声光系统的显微镜和方法(57) 摘要一种声光系统,被描述为包括至少一个具有至少一个连接至晶体的换能器的声光元件,用于生成至少一个声信号以驱动声光元件改变传输通过该声光元件的光的驱动单元,且包括至少一个数字数据处理单元、至少一个将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号的数-模转换器以及将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号的放大器。进一步地,描述了操作该声光元件的显微镜和方法。可实现诸如灵活性、实时补偿非线性效应、以及减少电子器件的数目、尺寸、成本及能耗的多种目的。(30)优先权数据(85)PCT申请进入国家阶段日2013.02.07(86)PCT申请的申请数据PCT/EP2011/。
3、059595 2011.06.09(87)PCT申请的公布数据WO2011/154501 EN 2011.12.15(51)Int.Cl.权利要求书4页 说明书9页 附图14页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书4页 说明书9页 附图14页(10)申请公布号 CN 103080820 ACN 103080820 A1/4页21.一种声光系统,包括:至少一个声光元件(1),所述声光元件(1)具有至少一个换能器(2),其中所述至少一个换能器(2)连接至晶体(3),所述晶体(3)在其输入端接收输入光并由其输出端传送输出光,换能器(2)被配置为接收模拟电子驱动信号、生成声。
4、波并将这些声波传送至晶体(3);驱动单元,用于生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动声光元件(1)改变传输通过该声光元件(1)的光,所述驱动单元包括:数字数据处理单元(35),用于生成数字合成信号,所述数字数据处理单元(35)包括:数字频率计算单元(26),用于计算并生成至少两个初期数字信号,每一初期数字信号形成用于由换能器(2)生成特定声波频率的基础;叠加单元(30),将至少两个初期数字信号合成为一个数字合成信号(31);至少一个数-模转换器(32),将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号;以及放大器(25,33),用于将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号。2.根据权利要求1的声光系统,。
5、进一步包括数字修改单元(29),其配置成将两个初期数字信号的至少一个改变为至少一个改变的数字信号,形成用于生成特定声波频率的基础。3.根据权利要求1或2的声光系统,其中修改单元(29)被配置为将两个初期数字信号改变为两个改变的数字信号,以形成通过至少一个换能器(2)生成不同相位的特定声波频率的基础。4.根据权利要求1-3之一的声光系统,其中数字数据处理单元(35)进一步地包括补偿单元(34),用于改变信号以补偿基于所述模拟电子驱动信号的声波响应中的非线性效应。5.根据权利要求1-4之一的声光系统,进一步地包括温度传感器,所述温度传感器测量所述数-模转换器(32)、所述放大器(25,33)、所述。
6、换能器(2)和所述晶体(3)组成的组中一个器件的至少一个温度,并向所述补偿单元(34)提供基于温度的控制信号,以补偿所述模拟电子驱动信号中基于温度的偏差。6.根据权利要求1-5之一的声光系统,包括至少一个第一和第二换能器(2),其均连接至仅一个声光元件(1)的晶体(3),其中所述第一换能器(2)被配置为向声光元件(1)的晶体(3)传输由第一模拟电子驱动信号生成的第一声波信号,所述第二换能器(2)被配置为向声光元件(1)的晶体(3)传输由第二模拟电子驱动信号生成的第二声波信号。7.根据权利要求1-6之一的声光系统,包括至少第一和第二声光元件(1),每一声光元件都具有晶体(3)和连接至所述晶体(3。
7、)的换能器(2),其中第一声光元件(1)的换能器(2)被配置为将第一频率的第一声波信号传输至第一声光元件(1)的晶体(3),第二声光元件(1)的换能器(2)被配置为将第二频率的第二声波信号传输至第二声光元件(1)的晶体(3),所述第一和第二频率为相同或彼此不同。8.根据权利要求7的声光系统,其中所述第一声光元件(1)不同于所述第二声光元件(1)。9.根据权利要求1-8之一的声光系统,其中至少一个声光元件(1)选自下述器件组成的组:声光可调滤波器AOTF(19)、声光调制器AOM、声光偏转器AOD、声光分束器AOBS、声光合束器AOBM以及移频器。10.根据权利要求8的声光系统,其中所述第一声光。
8、元件(1)是声光可调滤波器AOTF权 利 要 求 书CN 103080820 A2/4页3(19),所述第二声光元件(1)是声光分束器AOBS。11.根据权利要求1-10之一的声光系统,其中被所述声光元件(1)改变的光是由连续波(CW)激光器(18)或脉冲激光器(18)生成的。12.根据权利要求1-11之一的声光系统,其中被声光元件(1)改变的光是由生成宽带连续波长谱的宽带光源(18)生成的。13.根据权利要求12的声光系统,其中所述宽带光源(18)是由下述器件组成的组中之一:超连续光源、超发光光源以及LED光源。14.根据权利要求12或13的声光系统,其中所述模拟电子驱动信号被啁啾以对一定带。
9、宽的光产生影响。15.根据权利要求1-14之一的声光系统,其中被所述声光元件(1)改变的光是由线谱光源(18)生成的,该线谱光源生成具有一个或多个特定波长、或一个或多个窄波带中的至少一个的光。16.根据权利要求1-15之一的声光系统,其中所述模拟电子驱动信号包括至少两个叠加的谐波信号。17.一种显微镜,包括:具有至少一个换能器(2)的至少一个声光元件(1),其中该至少一个换能器(2)连接至晶体(3),所述晶体(3)在其输入端接收输入信号并由其输出端传送输出信号,所述换能器(2)被配置为接收模拟电子驱动信号、生成声波并将这些声波传送至所述晶体(3);光源(18),生成包括至少两个不同波长的输入光。
10、;驱动单元,用于生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动所述声光元件(1)改变传输通过所述声光元件(1)的光,所述驱动单元包括:数字数据处理单元(35),用于生成数字合成信号,该数字数据处理单元(35)包括:数字频率计算单元(26),用于计算并生成至少两个初期数字信号,所述两个初期数字信号(27、28)的每一个形成用于由换能器(2)生成特定声波频率的基础;数字修改单元(29),被配置成将所述两个初期数字信号(27、28)中的至少一个改变为至少一个改变的数字信号,形成用于生成特定声波频率的基础;以及叠加单元(24、30),将所述至少一个改变的数字信号及一个初期数字信号或另一改变的数字信号合成为单个的数。
11、字合成信号;至少一个数-模转换器(32),将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号的;以及至少一个放大器(25、33),用于将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号;入耦合元件,用于将被声光系统被改变的光耦合入光轴;以及物镜(20);其中所述入耦合元件被提供在所述物镜(20)的上游,并被配置为接收从所述至少一个声光元件(1)输出的被改变的光,以及物镜(20)被提供在所述入耦合元件的下游。18.根据权利要求17的显微镜,包括第一声光元件(1)和第二声光元件(1),其中所述第一声光元件为声光可调滤波器AOTF(19),所述第二声光元件为声光分束器AOBS,其被提供在入射光的方向上AOTF(19)。
12、的下游、且在成像目标发射或反射的光的方向上在所述AOTF(19)的上游,其中所述AOBS将目标(21)发射或反射的光分为被传输至探测器(22)权 利 要 求 书CN 103080820 A3/4页4以生成所述成像目标(21)的图像的第一有用光束(5),以及被丢弃的第二多余光束(6)。19.根据权利要求18的显微镜,其中所述探测器(22)连接至生成所述成像目标(21)的图像的计算机(38)。20.根据权利要求19的显微镜,其中所述计算机(38)生成传输至所述扫描器(36)的反馈信号。21.根据权利要求19或20的显微镜,其中所述计算机(38)连接至所述数字数据处理单元(35),并被配置为将控制信。
13、号传输至所述数字数据处理单元(35)。22.一种运行声光系统的方法,所述声光系统包括具有至少一个连接至晶体(3)的换能器(2)的至少一个声光元件(1),用于生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动声光元件(1)改变传输通过所述声光元件(1)的光的驱动单元,且包括至少一个用于生成数字合成信号的数字数据处理单元(35)、至少一个将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号的数-模转换器(32)以及将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号的放大器(25,33),所述方法包括:计算至少两个初期数字信号,其由以数字格式表示两个相应模拟信号的一串位元和字节组成;将至少两个初期数字信号叠加为一个数字合成信号;将数字。
14、合成信号转换为初期模拟驱动信号;将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号;以及将模拟电子驱动信号传送至所述换能器(2)以运行所述换能器(2)生成声波。23.根据权利要求22的方法,进一步地包括在将两个初期数字信号合并成一个数字合成信号之前改变所述两个初期数字信号的至少一个信号。24.根据权利要求23的方法,进一步包括计算所述两个信号之间的相位差从而将数字合成信号中的最大振幅降低至最小,以及相应地在将至少两个初期数字信号叠加为所述合成信号之前改变这些信号之间的相对相位。25.根据权利要求23或24的方法,进一步包括在将所述数字合成信号转换成模拟信号之前,改变所述数字合成信号以补偿所述电子或。
15、声光设置中的非线性效应。26.根据权利要求23-25之一的方法,进一步包括测量由所述数-模转换器(32)、所述放大器(25)、所述换能器(2)和所述晶体(3)组成的组中至少一个器件的温度,并在将所述数字合成信号转换为模拟信号之前,改变所述数字合成信号以补偿温度的影响。27.根据权利要求23-26之一的方法,进一步包括对所述模拟驱动信号进行啁啾以对一定带宽的光产生影响。28.一种声光系统,包括:具有至少一个换能器(2)的至少一个声光元件(1),其中所述至少一个换能器(2)连接至晶体(3),所述晶体(3)在其输入端接收输入信号并由其输出端传送输出信号,所述换能器(2)被配置为接收模拟电子驱动信号、。
16、生成声波并将这些声波传送至所述晶体(3);驱动单元,用于生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动声光元件(1)改变传输通过所述声光元件(1)的光,所述驱动单元包括:数字数据处理单元(29),用于生成可转换为模拟电子驱动信号的数字合成信号,其中模拟所述电子驱动信号能够生成所述换能器(2)中两个不同频率的至少两个不同的声波;权 利 要 求 书CN 103080820 A4/4页5至少一个数-模转换器(32),将所述数字合成信号转换为初期模拟驱动信号的;以及放大器(25、33),用于将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号。权 利 要 求 书CN 103080820 A1/9页6声光系统及使用该声光。
17、系统的显微镜和方法背景技术0001 已知声光系统用于提供一种对光产生影响的有效方式,其滤出一个或多个特定有用波长或波带的光、或者偏转光、或选择性地偏转特定波长或波带的光、或偏转整个光束。0002 声光元件使用在各种方式中,特别地使用在显微领域。例如,用在宽视场显微镜和激光扫描显微镜中,期望的是提供包括特定波长的混合的特定光作为照明待成像目标的入射光。为增强成像质量,调节入射光束中色彩的混合,即光波长的混合是有益的。0003 在共聚焦扫描显微术领域,特别感兴趣的是对特定的波长调节强度、或打开或关闭特定的波长。特别地在既可为共聚焦显微又可为宽视场显微的荧光显微术领域中,以特定的波长激发染料来获得荧。
18、光发射光是重要的(所述荧光发射光被探测并用于生成待成像目标的期望图像)。如果目标被具有不同发射波长的染料染色以获得彩色图像,则特别地需要多个波长。0004 在多种类型的显微术中,需要多于一种的波长,例如在受激发射损耗显微术(STED)领域中,第一波长的光用于激发荧光团,第二波长的光则用于消耗部分激发斑中荧光团的激发态以使有效激发斑变窄从而获得具有更高分辨率的图像。拉曼显微术、相干反斯托克斯拉曼显微术(CARS)及SRS显微术也是使用多个离散波长的光的显微术。0005 总之,在显微镜中常通过声光元件对宽带光或线谱光、或具有离散波长的激光实施滤光、偏转和分束的多种功能。这种声光元件的例子是声光可调。
19、滤波器(AOTF)、声光调制器(AOM)、声光偏转器(AOD)、声光分束器(AOBS)以及声光合束器(AOBM)。0006 在显微术领域中使用的所有各种声光元件中,声光可调滤波器(AOTF)是最常使用的,同时,包括AOTFs的声光合束器(AOBS)也用在显微术领域中。这些类型的声光元件只对特定波长的光产生影响,而不像诸如AOMs、AODs和移频器对整个光产生影响。0007 声光元件的基本结构包括晶体和连接至该晶体的换能器。换能器被配置为接收电信号,典型地接收处于30Mhz至800Mhz射频范围上的电信号。随着该电信号物理地收缩和扩展,换能器将电信号转换成声信号。根据该声信号,晶体物理地振动,因。
20、而形成了选择性地偏转特定波长的光的光学衍射光栅的光学等效体。特别地在AOTF中,晶体的特性使得每一声波波长最后仅导致偏转特定的光波长,或更特别地,仅偏转某一窄带宽的光波长,例如约3nm的带宽,但仅关联于相应声波频率的精确波长被100%地偏转,而在3nm窄带内的相邻波长仅以诸如50%的较低的百分比来偏转。0008 声光元件的典型使用涉及改变驱动换能器的电驱动信号因而改变换能器随时间生成的声信号,主要地,进行振幅调制以改变随时间的信号强度因而调制了各期望的特定波长的偏转光随时间的强度。0009 为了同时对多个频率产生影响,如果需要通过仅仅一个晶体和一个换能器来影响多个波长,射频范围上的电信号需要被。
21、合并或叠加为一个信号。现有技术中,通过诸如压控振荡器(VCO)的振荡电路生成各种射频,在VCO中通过输入电压来控制振荡器频率。典型使用的其他类型的振荡器为锁相环振荡器(PLL)或直接数字合成(DDS)。所有这些频率发生器的共同点是生成如上所述随后被典型地振幅调制的模拟信号。例如,在AOTFs中,频率说 明 书CN 103080820 A2/9页7关联于特定的波长,因此要对每一波长产生影响,就需要各自的频率发生器,而且波长的最大数量由频率发生器的数量决定。特别地在荧光显微术领域中,由于扩展了对其他激发波长的使用而需要提供相应数量的频率发生器,因而存在着显著的限制。另一缺点是难以补偿非线性效应。0。
22、010 如果多个射频而非波长被合并,特别地如果多个频率的模拟电信号被叠加,即被合并为一个合成信号,多个合并的信号增加了最大振幅并引起了较高程度的非线性效应。由于叠加增加了强度,系统更多地进入非线性效应区间。在许多情况下,这被看作为串扰,因为在用户看来不同射频彼此互相影响。相较于仅使用单个波长,对于各特定波长换能器生成较低的声波信号。换句话说,叠加的不同波长的信号越多,用于单个波长的信号强度被降低的程度就越大,从而导致了系统的非线性响应,即生成的声波的强度并不是电信号强度的线性函数。现有技术中先由各个频率发生器生成所有频率,随后由各个振幅调制器进行振幅调制,由于需要探测关于其他频率发生器并结合它。
23、们各个振幅调制器的信号强度的信息,因而补偿这种串扰比较困难。即使探测了这种信息,还需要数据处理并将该信息反馈至各个单独的振幅调制器,因而“实时”补偿是不可能的,而是存在着时间延迟,时间延迟是由于根据其他频率发生器并结合其各个振幅调制器来探测信号强度并且随后对该信息进行数据处理产生的。0011 因而,在现有技术中,仅叠加强度相对较低的信号,且放大器和换能器的尺寸都被适当地设计为仅在线性区间上操作这些信号,即被设计为功率相对较高但仅运行在其工作区间的一小部分上以处于线性区间内。这不仅存在着显著的成本劣势(因为这些功率更高的元件价格更高),而且还导致了其他的技术难题,例如较大的结构尺寸、生成需被耗散。
24、的热、高能耗,以及当入射光偶然被过度放大时还存在着损坏甚至毁坏声光元件的晶体的风险。0012 通常,在叠加多个信号的情况下将最大振幅保持在较低水平的另一可行方案是在叠加这些信号之前控制各个信号彼此之间的相位,即优选地具有以不同的相位合并的各信号,而不是任一或某些其他信号。由于现有技术中频率发生器和其各自的振幅调制器是独立的元件,因而这种技术需要探测各个相位并在随后调节这些相位,因而不能实时进行且需要造价昂贵的探测和数据处理单元。0013 现有技术中的另一难题是过量的电子元件,例如大量的频率发生器和振幅调制器,特别是需要灵活性时(此时需增加更多的频率以用于影响不同波长的光)的多种使用。0014 。
25、本发明的目的之一在于减少能够处理两个或更多信号的声光系统的成本。0015 本发明的另一目的在于就合并为一个驱动信号的生成的信号的多个频率提供了更多的灵活性。0016 本发明的又一目的在于降低声光系统的能耗。0017 本发明的又一目的在于减少电子器件的总数量。0018 本发明的又一目的在于减少电子器件的尺寸和容量,进一步地降低成本且避免由超尺寸器件引起的技术难题。发明内容0019 根据本发明的第一方面,通过一种声光系统实现了本发明的上述和其它目的,该说 明 书CN 103080820 A3/9页8声光系统包括:具有至少一个换能器的至少一个声光元件,其中换能器连接至晶体,晶体在其输入端接收输入光并。
26、由其输出端传送输出光,换能器被配置为接收模拟电子驱动信号,生成声波并将这些声波传送至晶体;驱动单元,生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动声光元件改变传输通过该声光元件的光,所述驱动单元包括:用于生成可转换为模拟电子驱动信号的数字合成信号的数字数据处理单元,其中模拟电子驱动信号能够生成换能器中两个不同频率的至少两个不同的声波;至少一个将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号的数-模转换器;以及用于将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号的放大器。0020 根据本发明的第二方面,通过一种声光系统实现了本发明的上述和其他目的,该声光系统包括:具有至少一个换能器的至少一个声光元件,其中换能器连接至晶体。
27、,晶体在其输入端接收输入光并由其输出端传送输出光,换能器被配置为接收模拟电子驱动信号,生成声波并将这些声波传送至晶体;驱动单元,生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动声光元件改变传输通过该声光元件的光,所述驱动单元包括:用于生成数字合成信号的数字数据处理单元,该数字数据处理单元包括:用于计算并生成至少两个初期数字信号的数字频率计算单元,两个初期数字信号的每一个形成由换能器生成特定声波频率的基础;叠加单元,将至少两个初期数字信号合并为一个数字合成信号;至少一个数-模转换器,将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号;以及用于将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号的放大器。0021 根据本发明的第三。
28、方面,通过共聚焦显微镜实现了上述目的,该共聚焦显微镜包括上述本发明的声光系统,以及用于扫描光线横穿过待成像目标的扫描器;以及物镜;其中扫描器提供在物镜的上游并被配置为接收从所述至少一个声光元件输出的被改变的光,物镜被提供在扫描器的下游,以及用于在叠加两个数字信号之前改变至少一个初期数字信号的修改单元。0022 根据本发明的第四方面,通过一种运行声光系统的方法实现了上述目的,该声光系统包括:具有至少一个换能器的至少一个声光元件,其中换能器连接至晶体,用于生成至少一个模拟电子驱动信号以驱动声光元件改变传输通过该声光元件的光的驱动单元,且包括至少一个用于生成数字合成信号的数字数据处理单元、至少一个将。
29、数字合成信号转换为初期模拟驱动信号的数-模转换器、以及将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号的放大器,所述方法包括:计算至少两个初期数字信号,其由以数字格式分别表示两个模拟信号的一串位元和字节组成;将至少两个初期数字信号叠加为一个数字合成信号;将数字合成信号转换为初期模拟驱动信号;将初期模拟驱动信号放大成为所述模拟电子驱动信号;以及将模拟电子驱动信号传送至换能器以运行换能器生成声波。0023 根据本发明声光系统的优选实施例,修改单元被配置为将两个初期数字信号改变为两个改变的数字信号以形成由至少一个换能器生成不同相位的特定声波频率的基础。特别地,当合成多于两个的初期数字信号时,使各个信号。
30、的相位彼此不同帮助了将最大振幅保持为较低。在分段换能器的情况下,使各个信号的相位彼此不同也是非常有益的。对于一些应用,如果至少两个单个信号的频率是相同的但相位彼此不同,这可能更是有益的,例如在分段换能器的情况下。然而大部分情况下,合并为用于驱动换能器的单个信号的频率是不同的频率,例如以对不同波长的光产生影响。0024 虽然优选地改变单个数字信号的振幅,但从一开始使用随时间变化的振幅(即改说 明 书CN 103080820 A4/9页9变的振幅)来进行计算也是可行的。另外,能够通过放大器来改变振幅。然而,仅通过放大器来改变振幅并不像数字地改变振幅那么有利,这是因为在信号被转换为模拟信号之前可以实。
31、时并更快速地实现数字调制。另一方面,如果从数-模转换器中输出的信号足够强或者数-模转换器包括内嵌的放大器,则系统无需独立的放大器也能运行,否则就在数-模转换器的下游提供独立的放大器。0025 根据本发明声光系统的优选实施例,数字数据处理单元进一步地包括补偿单元,用于改变信号以补偿基于模拟电子驱动信号的声波响应中的非线性效应。非线性效应可发生在从数-模转换器、,调节阻抗的印刷电路板、放大器、换能器直至晶体的整个信号串中发生。由于在将信号转换成模拟信号之前数字地进行补偿,因而可以实时地实施这种补偿。系统非线性响应的一个主要原因是叠加多个频率的多个信号,这一定程度上降低了用于每一单个频率的信号强度。。
32、还可以在数-模转换器之后、甚至在馈入换能器前的电路板之后对模拟电子驱动信号提供补偿。补偿的最终目的是产生期望的声波响应,即提供其强度对光产生期望水平的影响的声波,例如使特定的波长或波带宽偏转作为有用光束。0026 根据本发明声光系统的优选实施例,该系统进一步地包括温度传感器,其测量数-模转换器、放大器、AO晶体和换能器中至少之一的温度,并向补偿单元提供基于温度的控制信号以补偿模拟电子驱动信号中基于温度的偏差。可在克服串音的补偿之外进行这种对温度偏差的补偿。0027 根据本发明声光系统的优选实施例,该系统包括均连接至仅有一个声光元件的晶体的至少一个第一和第二换能器,其中第一换能器被配置为向声光元。
33、件的晶体传输第一频率的第一声波信号,第二换能器被配置为向该声光元件的晶体传输第二频率的第二声波信号。可以被叠加并被传输至第一和第二换能器的信号的数量基本上是无限制的,但实际上由于非线性效应可能存在着一些限制。在同一晶体上提供两个不同的换能器可在上述的补偿以外避免这一问题。0028 根据本发明声光系统的优选实施例,该声光系统包括至少一个第一和第二声光元件,每一声光元件都具有晶体和连接至该晶体的换能器,其中第一声光元件的换能器被配置为将第一频率的第一声波信号传输至第一声光元件的晶体,第二声光元件的换能器被配置为将第二频率的第二声波信号传输至第二声光元件的晶体。例如,如果需要彼此独立地驱动两个声光元。
34、件,这种系统是有益的。因此,根据本发明声光系统的优选实施例,第一声光元件不同于第二声光元件。0029 根据本发明声光系统的优选实施例,至少一个声光元件选自下述器件组成的组:AOTF、AOM、AOD、AOBS、AOBM以及移频器。特别地,根据本发明声光系统的实施例,第一声光元件是AOTF,第二声光元件是AOBS。0030 根据本发明声光系统的优选实施例,被声光元件改变的光是由宽带光源生成的,该宽带光源生成宽带连续波长谱。优选地,宽带光源是由下述器件组成的组中之一:超连续光源、短脉冲激光器、超发光光源以及LED光源。同样,可被“捆”为一束高强度光束的日光也是一种选择。为滤出一定带宽的光,根据优选实。
35、施例,模拟电子驱动信号被啁啾以对一定带宽的光产生影响。0031 根据本发明声光系统的优选实施例,被声光元件改变的光是由线谱光源生成的,该光源生成一个或更多特定波长的光或一个或更多波长窄带的光中的至少一个。说 明 书CN 103080820 A5/9页100032 在根据本发明的显微镜的优选实施例中,该显微镜包括作为声光可调滤波器(AOTF)的第一声光元件,以及提供在自AOTF下游的入射光的方向上、且从AOTF上游的成像目标发射或反射的光的方向上的作为声光分束器(AOBS)的第二声光元件,其中AOBS将目标发射或反射的光分为被传输至探测器以生成成像目标的图像的第一有用光束,以及被丢弃的第二多余光。
36、束。例如,这种显微镜为扫描显微镜,特别地为荧光扫描显微镜,但这种优选实施例也可应用于宽视场显微镜或诸如STED显微镜的特别的高分辨率显微镜。0033 所生成的用于驱动换能器的模拟电子信号典型地是谐波,但也可以为其他形状,例如矩形信号。矩形信号的优点在于能够以全部强度滤出特定的波长带宽,例如3nm,而不是以全部强度仅滤出一个特定波长,同时以例如仅50%的较低的强度滤出窄波带内的波长。对窄带宽内的所有波长接收其全部强度是有利的,如果特定的应用使得某一带宽基本上全部都有期望的效果,例如用于激发特定的染料。如果是这种情况,优选地100%地接收整个带宽,因其增加了有用光的总强度。0034 用于数-模转换。
37、器的时钟频率需要大于奈奎斯特频率。数字数据处理单元优选实施为一整组单元,包括数字频率计算单元、数字修改单元、叠加单元以及可选的补偿单元,其可被配置为并行调度计算时钟频率。换能器典型地在50-150MHz之间的频率上运行,但也可以扩宽至10MHz至2GHz。整组单元的数字频率计算单元、数字修改单元、叠加单元以及可选的补偿单元并不是必须提供在同一数字数据处理单元中,但用于降低电子元件的数量和并行化计算时钟频率时是特别优选的实施例。0035 在根据本发明的显微镜的优选实施例中,探测器连接至生成待成像目标的图像的计算机。0036 在根据本发明的显微镜的优选实施例中,计算机生成传输至扫描器的反馈信号。0。
38、037 在根据本发明的显微镜的优选实施例中,计算机连接至数字数据处理单元并被配置为将控制信号传输至数字数据处理单元。0038 本发明运行声光系统优选的方法包括计算两个信号之间的相位差从而将数字合成信号中的最大振幅降低至最小,以及相应地在将至少两个初期数字信号叠加为合成信号之前改变这些信号之间的相对相位。0039 本发明运行声光系统优选的方法包括在将数字合成信号转换成模拟信号之前增大数字合成信号以补偿换能器中的非线性效应。0040 本发明运行声光系统优选的方法包括测量数-模转换器、放大器、换能器和晶体中至少之一的温度,并在将数字合成信号转换为模拟信号之前增大数字合成信号以补偿温度的影响。0041 本发明运行声光系统优选的方法包括对模拟驱动信号进行啁啾以对一定带宽的光产生影响。附图说明0042 图1示出本发明第一实施例的框图。0043 图2示出本发明第二实施例的框图,其另外地包括数字修改单元。0044 图3示出本发明第三实施例的框图,其另外地包括数字修改单元和数字补偿单元。说 明 书CN 103080820 A10。