照明光源及使用了该照明光源的2维图像显示设备.pdf

在使用了检流镜与多边形扫描仪的2维射束扫描方法中，多边形扫描仪体积大，且噪音大。此外，在让小型镜振动的方法中，也存在根据扫描角而产生明亮度分布的问题。因此，本发明提供一种照明光源及使用了该照明光源的2维图像显示设备，让MEMS镜等比较小的镜在其谐振频率附近振动，来扫描射束。此时，通过使用补正光学系统来补正扫描角，以实现均匀的照明。

权利要求书
1.  一种照明光源，其特征在于至少包括：
相干光源；
射束扫描装置，让上述相干光源射出的光进行扫描；和
补正光学系统，补正由上述射束扫描装置所扫描的射束的扫描角；其中，
上述射束扫描装置包括镜部和镜部振动装置，上述镜部，通过上述镜部振动装置在上述镜部的1次谐振频率附近被驱动。

2.  根据权利要求1所述的照明光源，其特征在于：上述补正光学系统由具有3次球面像差的聚光光学系统构成。

3.  根据权利要求1或2所述的照明光源，其特征在于还包括光遮蔽装置，用来遮蔽上述相干光源射出的光中的、基于上述射束扫描装置的扫描角相对最大扫描角的比例为指定的比例或该指定比例以上的光。

4.  根据权利要求1至3中的任一项所述的照明光源，其特征在于：通过了上述补正光学系统后的光的扫描速度，在扫描角为零的点取最小值。

5.  根据权利要求1至4中的任一项所述的照明光源，其特征在于：通过了上述补正光学系统后的光的扫描速度，在扫描角为零的点为扫描速度最大值的90％或90％以下。

6.  根据权利要求2至5中的任一项所述的照明光源，其特征在于：上述光遮蔽装置遮蔽上述相干光源射出的光的时间，在操作时间的30％或30％以内。

7.  根据权利要求1所述的照明光源，其特征在于：上述补正光学系统由自由曲面镜构成。

8.  根据权利要求1至7中的任一项所述的照明光源，其特征在于：上述相干光源包括红色相干光源、绿色相干光源及蓝色相干光源。

9.  根据权利要求1至8中的任一项所述的照明光源，其特征在于：至少上述绿色相干光源是由将具有红外波长的相干光源射出的光进行波长变换从而产生绿色光的二次高次谐波产生装置构成。

10.  一种2维图像显示设备，其特征在于至少包括：
照明光源，如权利要求1至9中的任一项所述；和
投影光学系统，将上述照明光源射出的光投影于投影屏上。

说明书照明光源及使用了该照明光源的2维图像显示设备
技术领域
本发明涉及一种使用了液晶板或DMD等2维空间光调制元件的图像投影设备。
背景技术
图7示意的是以往的激光显示器的概略结构，该现有技术已在例如，非专利文献1(Baker et al，“A large screen real-time displaytechnique，”Proc.Society for Information Display 6th Nat’l Symp.，85-101(1965))等中有详细记述。从RGB3色激光光源100a～c射出的光，经分色镜(dichroic mirror)102a、102b被合波，再由多边形扫描仪(polygonscanner)104在水平方向(X方向)、电扫描仪(Galvanometer scanner)105在垂直方向(Y方向)扫描，然后被照射在投影屏108上。此时，按照输入视频信号，由光调制器106a～106c进行强度调制，从而影像被显示在投影108屏上。例如，为显示相当于NTSC视频信号的动画，要每秒显示30帧水平方向的扫描线约500行，而每秒水平扫描线的数目则成为15000行。这可以通过例如设多边形扫描仪104为30面，并让其以3万rpm旋转来实现。检流镜(Galvanometer mirror)105在垂直方向上每秒往返振动30次。水平方向的分辨率，相对此扫描速度由光调制器的调制速度来决定。譬如，为了以上述的扫描速度，在水平方向上得到500TV行的分辨率，根据500×15000＝7500000，则需要10MHz左右的带宽(bandwidth)。此带宽可通过使用了音响光学效果的光调制器(light modulator)或使用了电光学效果的光调制器得以实现。
此结构的显示器的特征在于，由于RGB每个光源的光均为单色光，所以通过使用适当波长的激光光源，而使色纯度高、色彩鲜艳的图像显示成为可能。例如，作为红色光源，使用波长647.1纳米的氪离子激光(krypton ionlaser)，作为蓝色光源，使用波长441.6纳米的氦镉激光(helium-cadmiumlaser)，作为绿色光源，使用波长532纳米的钕浆(Neodymiumdope)YAG激光的第2高次谐波，由此可显示各自色彩鲜艳的单颜色。
然而，在图7的结构中，如上所述，因需要让30面的多边形扫描仪104以3万rpm旋转，因而存在设备增大且噪音增加的问题。另外，由于当多边形扫描仪104的入射射束位于反射面的边界线上时，反射射束被分成2个方向，因而无法进行图像显示，只有当入射射束射入到任意一个反射面之内时，图像显示才成为可能。由此，为得到充分的光利用率，多边形扫描仪104的反射面，必须要充分大于入射射束的直径。因此，在增加了多边形扫描仪104的反射面的数目时，也必须要确保一定的面积，这样就加大了多边形扫描仪104的大小。
发明内容
因此，本发明鉴于如上所述的问题，其目的在于提供一种小型且安静性较高，可均匀地照明投影屏等的照明光源，及使用了该照明光源的2维图像显示设备。
为达到此目的，本发明提供的一种照明光源，至少包括相干光源、让上述相干光源射出的光进行扫描的射束扫描装置，及补正由上述射束扫描装置所扫描的射束的扫描角的补正光学系统，其中，上述射束扫描装置包括镜部与镜部振动装置，上述镜部通过上述镜部振动装置，在上述镜部的1次谐振频率附近被驱动。
根据此结构，相干光源射出的光，可投影于作为投影屏而发挥作用的指定墙壁等上，此时，该光通过射束扫描装置而在投影屏上进行扫描。此射束扫描装置可以是让光以1维进行扫描的结构，也可以是以2维进行扫描的结构。当为1维扫描的结构时，通过在外部设置在与其扫描方向垂直的方向上进行扫描的机构，可以使图像显示在譬如2维的投影屏上。
此外，在驱动射束扫描装置所具备的镜部时，若根据通常的驱动方法则很难增大振幅，而又因驱动力的不均或空气阻力等因素，驱动不能稳定。所以，通过由镜部振动装置在1次谐振频率附近进行驱动，可以实现具有扫描投影屏所需要的足够大的振幅、且稳定的驱动。
然而，在这样的情况下，因镜部扫描光的扫描角相对时间呈正弦波的变化，因而在投影屏的图像等中会产生明亮度分布。即，在扫描角较小的投影屏的中心附近，因扫描速度快而使光的轨迹变得暗淡，而在扫描角较大的投影屏的边缘附近，因扫描速度慢，而使光的轨迹变得明亮。
因此，通过补正光学系统进行补正，以使得譬如在扫描角较小的区域，扫描速度放慢，而在扫描角较大的区域，扫描速度加快。由此，可实现小型且安静性较高、还可均匀地照明投影屏等的照明光源。
附图说明
图1是本发明地2维图像显示设备的实施方式1的概要结构图。
图2是射束扫描装置的扫描角随时间变化的示意图。
图3是作为补正光学系统而使用了圆柱镜时的扫描角及扫描速度随时间变化的示意图。
图4是本发明的光遮蔽装置的一实施方式的概要结构图。
图5是本发明的2维图像显示设备的实施方式2的概要结构图。
图6是本发明的2维图像显示设备的实施方式3的概要结构图。
图7是以往的2维图像显示设备的概要结构图。
具体实施方式
以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(实施方式1)
以下参照附图对本发明所涉及的实施方式进行详细说明。
图1是本发明的2维图像显示设备的概要结构图。对应输入视频信号而在光强度调制装置10被进行了强度调制的从激光光源1射出的光，照射2维MEMS镜3。2维MEMS镜3，是由10微米左右厚度的硅结晶(siliconcrystal)形成的可动镜，通过蚀刻技术(etching technique)而被保持在从底面基板向上浮出来的位置上。中央镜部31，从上下方向通过梁构件(means ofbeam)与镜保持部32连接。另外，镜保持部32，从左右方向通过梁构件而得以支撑。中央镜部31的下侧，在底面基板上形成有左右分开的电极，通过向中央镜部31与底面基板上的电极之间施加电压，则因其静电力，中央镜部31在梁构件上产生扭转的方向、即以左右旋转轴为中心发生倾斜。
与镜保持部32对应的底面基板上形成有上下分开的电极，通过向镜保持部32与底面基板上的电极之间施加电压，则因其静电力，镜保持部32在梁构件上产生扭转的方向，即以上下旋转轴为中心倾斜。通过同时控制该两轴方向的倾斜，则可以在2维方向自由地设定中央镜部的倾斜。由于中央镜部31的尺寸较小，约为1mm的四角形，且旋转力矩也小，所以，可根据梁构件的厚度或宽度的设计，增大扭转方向的1次谐振频率，从而可在左右方向的旋转轴中心容易得到较高的1次谐振频率。在本实施方式及以下的实施方式2、3中，2维MEMS镜3可作为射束扫描装置而发挥其作用。即，中央镜部31作为镜部、镜保持部32或底面基板上电极等作为镜部振动装置而发挥其作用。
如上所述，为显示NTSC的视频影像，需要在X方向每秒产生15000条的扫描线。当设中央镜部31为1mm的四角形，梁构件的宽度为50微米，梁构件的长度为200微米时，1次谐振频率约为15kHz，正好可以得到显示视频信号所需要的扫描频率。此外，Y方向的谐振频率为4kHz。为显示视频信号所需要的Y方向的扫描频率为每秒30次，从而形成100倍或100倍以上的谐振频率。
这样，在使用MEMS镜快速扫描射束时，由于镜子在谐振点附近被驱动，所以扫描角相对时间呈正弦波的变化，从而产生了明亮度分布。图2是表示扫描角随时间变化的示意图。如图所示，在扫描角以正弦波变化时，当扫描角较小时，扫描速度几乎不变，而随着扫描角的增大，扫描速度变慢。因此，在1维方向上以正弦波状扫描有一定明亮度的射束时，会产生在扫描角较小的位置上射束的轨迹暗淡，在扫描角较大的位置上射束的轨迹明亮的不合适的情况。
为解决此问题，在本发明的2维图像显示设备中，使用了射束扫描角补正光学系统。具体如图1所示，让由MEMS镜反射后的射束，射入具有凹面形状的圆柱镜(补正光学系统的一例)2中。圆柱镜2的曲率，在中心附近、即射束扫描角较小的区域较大，而在周边部分、即射束扫描角较大时射束所通过的部分较小。换言之，圆柱镜2具有3次球面像差。因此，当射束通过圆柱镜2的周边部分时，扫描角会以更快的速度增加，从而可抑制因上述的扫描速度的不同而引起的明亮度分布的不合适。
图2中的虚线表示在使用了圆柱镜2时的扫描角随时间的变化。由此可知，与没有使用圆柱镜2时相比，扫描角有所增大，补正后线性范围12也比(补正前)线性范围11增大。即，作为对扫描角进行了时间微分所得到的量的扫描速度，处于某一定的范围内的时间变长，所以，可以将投影屏上的亮度分布抑制得较小。
图3是作为补正光学系统而使用了圆柱镜时的扫描角及扫描速度随时间变化的示意图。在此，曲线V1及V2分别表示使用圆柱镜2的前后的扫描速度随时间的变化。另外，曲线A1及A2表示分别使用圆柱镜2的前后的扫描角随时间的变化。纵轴的扫描角及扫描速度，分别以最大扫描角及最大扫描速度为基准而进行了规格化。另外，横轴的时间表示谐振周期的一半的时间，以四分之一的周期时间作为1而进行了规格化。
由该图的曲线V1可知，当没有使用圆柱镜2时，在扫描角为0(零)(时间为0(零))的点上扫描速度最大，随着扫描角的增大，扫描速度变小。在此，若使用圆柱镜2，则如曲线V2所示，在扫描角为零的点的扫描速度变小，并以此点为最小值而变化。进一步，与没有使用圆柱镜2时(曲线V1)相比，宽度在时间轴(横轴)方向上扩展。这意味着扫描速度处于某一定的范围内的时间有所增长，与如图2所示的、通过使用圆柱镜2而使线性范围扩展的情形相对应。此外，此效果还起因于圆柱镜2是具有3次球面像差的聚光光学系统。这样，由于扫描速度处于某一定的范围内的时间占操作时间的比例增加，从而可将投影屏上的明亮度分布抑制得较小。
另外，由该图中的曲线V2可知，若将圆柱镜2设定成扫描角为零的点时的扫描速度降至最大扫描速度的90％，便可减小扫描速度的不稳定。由于投影屏上的明亮度与扫描速度的倒数是相对应的，所以，明亮度分布较指定值、譬如25％还要小的范围(图中的扫描速度为0.75至1.0之间)占操作时间的比例增加，成为全体的70％或70％以上。并且还以遮蔽剩余的30％或30％以内的光，使其到达不了投影屏为佳。
图4是本发明所涉及的光遮蔽装置的一实施方式的概要结构图。在此，只对X方向的扫描进行说明。由2维MEMS镜3反射的光，通过圆柱镜2。此时，若只有圆柱镜2，则通过的光照射投影屏9上的指定的区域(遮蔽前照射区域)。然而，如上所述，遮蔽前照射区域的端部，与中心附近相比，由于光的扫描速度慢，所以被照射得明亮，作为投影屏整体来看，则产生较大的明亮度分布。
因而，在本实施方式中，设置了用来遮蔽照射遮蔽前照射区域的端部的光的光遮蔽装置20。在本实施方式中，是让其紧贴于圆柱镜2的面向2维MEMS镜3的一侧而进行配置的。这也可以是譬如让由金属或其他材料(碳黑等)形成的板紧贴于圆柱镜2而予以配置，也可以是通过蒸镀(vapordeposition)或喷射(sputter)等而将此类材料直接形成于圆柱镜2的面上。进一步，光遮蔽装置20，也可不必紧贴于圆柱镜2上予以配置，而是将由金属或其他材料(碳黑等)形成的板配置于圆柱镜2与2维MEMS镜3之间，或圆柱镜2与投影屏9之间。无论是哪种情况，都由于遮蔽装置20有效地遮蔽照射遮蔽前照射区域的端部的光，而使投影屏上的明亮度分布减少，从而可实现光的利用效率较高的照明光源。
以上只对X方向的扫描进行了说明，但因Y方向的扫描也相同，所以，省略其说明。此外，该光遮蔽装置20，也可单独使用于X方向或Y方向，也可同时使用于X方向及Y方向。
这种明亮度分布的补正，也可以通过如下等方法来进行，譬如，可根据扫描位置让光源的发光量发生变化，即在扫描周边部位时，让光源的发光量减少等方法，但此时却存在一种问题，即在显示相同明亮度的图像时，需要有更高输出的光源。
此外，本发明的2维图像显示设备，在将二次高次谐波产生装置使用于光源时则更为有效。通常，二次高次谐波产生装置，作为其基本波光源多采用固体激光。例如，532纳米的绿色激光，通过由YAG固体激光产生的1064纳米的红外光的波长变换而生成，但由于YAG固体激光无法快速调制其输出，所以，用如上所述的根据扫描位置来控制光源的发光量的方法无法抑制明亮度分布。对此，本发明的2维图像显示设备，因可以固定光源的发光光量，所以即使在使用不能快速进行调制的光源时，也可有效地发挥其作用。
此外，在本实施方式中，举例说明的是使用一种激光光源时的结构，但如果使用将多个激光光源射出的光合波后进行射束扫描的结构，便可构成全色的2维图像显示设备。
另外，在以往的使用了多边形扫描仪的水平扫描时，是以水平状态进行单一方向扫描的，与此相对，采用了本发明的镜子时，使用两个方向的扫描则更为有效。
(实施方式2)
图5示意的是本发明所使用的补正光学系统的其他实施方式。图5是与图1的光学系统的X方向对应的方向的光学结构。在此，作为扫描角补正光学系统，采用自由曲面镜(补正光学系统的一实施方式)5。自由曲面镜5，在其中心部位、即射束扫描角较小的区域具有凹面形状，而在其周边部位、即射束扫描角较大的区域具有凸面形状。射束在通过自由曲面镜5的周边部位时，扫描角更快速地增大，从而可抑制因上述的扫描速度的不同所引起的明亮度分布。
另外，也可在此自由曲面镜5上设置上述的光遮蔽装置。此时，譬如也可以在自由曲面镜5的反射面一侧，通过蒸镀(vapor deposition)或喷射(sputter)等方法，将金属或其他材料(碳黑等)直接形成于自由曲面镜5的面上。还可以是光遮蔽装置20，将由上述的材料形成的板配置于自由曲面镜5与2维MEMS镜3之间、或自由曲面镜5与投影屏9之间的不遮光路的位置上。
(实施方式3)
图6示意的是将本发明的照明光源与投影光学系统进行组合而构成了2维图像显示设备的实施方式。到实施方式2为止的结构中，对激光光源1射出的光即进行2维扫描又进行强度调制，而直接在投影屏上形成图像，与此相对，在图6所示的本实施方式中，让激光光源1射出的光以固定的光量发光，使用2维MEMS镜3与扫描角补正光学系统4，来照明空间光调制元件6。空间光调制元件6，可采用譬如使用了TN液晶元件的、2维排列了多个光开关的液晶板等。空间光调制元件6以均匀的明亮度分布被照明，而通过此元件所形成的2维图像，则通过投影镜(投影光学系统)8被投影于投影屏9上。
在以上所述的实施方式1～3中，是对由2维MEMS镜3反射1个激光光源1射出的光进行了说明，但作为RGB的每个光源，使用适当波长的相干光源，来投影彩色图像也是可能的(参照图7)。此时，从RGB3色的相干光源射出的光，按照输入视频信号，由光调制器进行了强度调制后，经分色镜(dichroic mirror)被合波。然后，被合波的1束光束射入1个2维MEMS镜3中，以2维方向振动。由此，可实现能够投影色纯度高、色彩清晰的图像的照明光源。
实施方式的概述
以下概括说明本发明的实施方式。
(1)如上所述，本发明所提供的照明光源，最好是，至少包括相干光源、让上述相干光源射出光进行扫描的射束扫描装置、补正由上述射束扫描装置所扫描的射束的扫描角的补正光学系统，其中，上述射束扫描装置包括镜部和镜部振动装置，上述镜部通过上述镜部振动装置而在上述镜部的1次谐振频率附近被驱动。
根据此结构，相干光源所射出的光，可投影于作为投影屏而发挥作用的指定的墙壁上，此时，该光通过射束扫描装置而在投影屏上进行扫描。此射束扫描装置可以是让光进行1维扫描的结构，也可以是让光进行2维扫描的结构。当为1维扫描的结构时，通过在外部设置在与其扫描方向垂直的方向上进行扫描的装置，则可以让图像显示在譬如2维投影屏上。
此外，在驱动射束扫描装置所具备的镜部时，若根据一般的驱动方法则很难增大振幅，而又因驱动力的不均或空气阻力等因素，驱动不稳定。所以，通过由镜部振动装置在1次谐振频率附近进行驱动，可以实现具有扫描投影屏所需要的足够大的振幅、且稳定的驱动。
然而，在这样的状态下，由于镜部扫描光的扫描角相对时间呈正弦波的变化，因而在投影屏上的图像等中会产生明亮度分布。即，在扫描角较小的投影屏的中心附近，因扫描速度快而使光的轨迹变得暗淡，而在扫描角较大的投影屏的边缘附近，因扫描速度慢，而使光的轨迹变得明亮。
因此，通过补正光学系统进行补正，以使得譬如在扫描角较小的区域，扫描速度放慢，而在扫描角较大的区域，扫描速度加快。由此，可实现小型且安静性较高，并可均匀地照明投影屏等的照明光源。
(2)本发明的照明光源是照明光源(1)，以上述补正光学系统由具有3次球面像差的聚光光学系统形成为佳。根据此结构，因补正光学系统具有3次球面像差，所以可进行补正，使得在扫描角较小的区域中，扫描速度变慢，而在扫描角较大的区域中，扫描速度变快。因而，可以使由镜部扫描的光的扫描速度在投影屏上几乎保持固定，从而使均匀地照明投影屏等成为可能。进一步，3次球面像差，也可以通过譬如截面为圆的一部分的圆柱镜所产生。所以，具有上述功能的补正光学系统制作容易，从而可抑制制造成本。
(3)本发明的照明光源是照明光源(1)或(2)，以还包括用来遮蔽上述相干光源射出的光中的，基于上述射束扫描装置的扫描角相对最大扫描角所占的比例，为指定的比例或该指定比例以上的光的光遮蔽装置为佳。
根据此结构，在最大扫描角附近的扫描速度较慢的区域的光，被光遮蔽装置遮蔽，而到达不了投影屏。因此，可将由镜部扫描的光的扫描速度的变化抑制得较小，从而使均匀地照明投影屏等成为可能。在此，指定的比例可根据情况来设定，例如，可以设定成能遮蔽扫描角相对最大扫描角的比例为0.9或0.9以上的光，也可以为了进一步抑制扫描速度的变化，而设定成能遮蔽0.8或0.8以上的光。若此比值变小，就使投影屏上的光的投影范围变窄，但若离开投影屏相应的距离，则也可以使投影范围变宽。
(4)本发明的照明光源是照明光源(1)至(3)中的任何之一，以通过了上述补正光学系统后的光的扫描速度，在扫描角为零的点取最小值为佳。
不使用补正光学系统时，在扫描角为零(“0”)的点，扫描速度最大，随着扫描角的增大，扫描速度减小。在此，譬如，作为补正光学系统，若使用具有3次球面像差的聚光光学系统，或具有用4次函数表示的表面形状的自由曲面镜等，则在扫描角为零的点的扫描速度减小，且在此点取最小值。由此，因扫描速度处在某一定范围内的时间变长，所以该时间占操作时间的比例也增加，从而可将投影屏上的明亮度分布抑制得较小。
(5)本发明的照明光源是照明光源(1)至(4)中的任何之一，以通过了上述补正光学系统后的光的扫描速度，在扫描角为零的点，成为扫描速度最大值的90％或90％以下为佳。
根据此结构，由于补正光学系统被设定成，在扫描角为零的点的扫描速度降至扫描速度最大值的90％，因而扫描速度的不稳定得以减小。因投影屏上的明亮度与扫描速度的倒数有较好的对应，由此使得明亮度分布比指定值还要小的范围占操作时间的比例增加。因而，可实现投影屏上的明亮度分布较小，且光的利用效率较高的照明光源。
(6)本发明的照明光源是照明光源(2)至(5)中的任何之一，以上述光遮蔽装置遮蔽上述相干光源射出的光的时间，占操作时间的30％或30％以内为佳。根据此结构，由于可以使用操作时间的70％，因而能够实现光的利用效率较高的照明光源。此时，例如，作为补正光学系统，若采用具有3次球面像差的聚光光学系统，则可将投影屏上的明亮度分布抑制得减小25％左右。
(7)本发明的照明光源是照明光源(1)，以上述补正光学系统由自由曲面镜形成为佳。在此，自由曲面镜在中心部位，即扫描角较小的区域具有凹面形状，而在周边部位，即扫描角较大的区域具有凸面形状。这意味着例如，由自由曲面镜的入射光与反射光形成的平面的截面形状，是像4次函数所记述的一样的曲面。由此形状，当光通过自由曲面镜的中心部位时，扫描角变小，而当光通过周边部位时，扫描角变大。因此，可抑制因扫描速度的不同而引起的明亮度分布，从而可实现能够均匀地照明投影屏等的照明光源。进一步，具有用4次左右的次数的函数所记述的截面形状的补正光学系统，由于制作容易，所以可抑制制造成本。
(8)本发明的照明光源是照明光源(1)至(7)中的任何之一，以上述相干光源包括红色相干光源、绿色相干光源及蓝色相干光源为佳。根据此结构，由于RGB每个光源的光均为单色光，并使用适当波长的相干光源，因而可实现能够投影色纯度高、色彩鲜艳的彩色图像的照明光源。
(9)本发明的照明光源是照明光源(1)至(8)中的任何之一，以至少上述绿色相干光源，包括将具有红外波长的相干光源射出的光进行波长变换，产生绿色光的二次高次谐波产生装置为佳。根据此结构，由于至少绿色相干光源，是将具有红外波长的相干光源射出的光的波长变换成一半的光源，因而为单色光，其色纯度高，且亮度高。此外，蓝色相干光源也可由产生蓝色光的二次高次谐波产生装置所成，也可由射出蓝色光的半导体激光光源等构成。并且，红色相干光源以由射出红色光的半导体激光光源等形成为佳。通过采用这些光源，可实现能够投影色彩鲜艳的彩色图像的照明光源。
(10)如上所述，本发明提供的2维图像显示设备，最好是，至少包括权利要求1至9的任一项所述的照明光源，及将上述照明光源发出的光投影于投影屏上的投影光学系统为佳。根据此结构，则可实现小型且安静性较高，还可在投影屏等上均匀地显示图像的2维图像显示设备。
本发明虽然进行了详细的说明，但上述的说明不过是所有情形中的示例，此发明并不局限于此。没有例示的无数的变形例也不排除在本发明之外。
产业上的利用可能性
本发明所涉及的2维图像显示设备，能通过耗电低的小型射束扫描装置而得到均匀的照明光分布，可利用于电视显像器、投影型数据显示器、家庭影院系统、剧场用电影投影设备、大画面广告媒体等。此外，还可使用于半导体曝光设备等影印石板技术所涉及的制造设备中。