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本发明公开了一种有机无机/杂化纳米级多孔防反射涂层及其制备方法。以聚(甲基丙烯酸甲酯-b-甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)为前驱体通过溶胶-凝胶过程得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层或以聚(甲基丙烯酸甲酯-b-甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)与正硅酸乙酯的混合物为前驱体通过溶胶-凝胶过程得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层,有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层的厚度为42.5162.8nm,孔隙率为23.2。