《一种微型波导的制备方法.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《一种微型波导的制备方法.pdf(14页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
本发明涉及半导体工艺和MEMS工艺技术领域的一种微型波导的制备方法,所述方法包括:在基片上制作微型波导的底面金属壁;在制作完底面金属壁的基片上制作微型波导侧壁胶图形;在所述微型波导侧壁胶图形的侧面和顶面制作微型波导侧壁和顶壁的起镀层;在所述起镀层上制作电镀保护胶膜,并将制作微型波导侧壁和顶壁的区域暴露出来;对所述起镀层进行电镀,并形成微型波导侧壁和顶壁;去除所述侧壁胶图形、电镀保护胶膜及未电镀的起。