具体实施方式
下面参照附图对本发明的一个实施例进行描述。
除特殊说明以外，限定天车10的前进方向为正向，来对组成
部件的前后和横向位置进行描述。
此外，在下面的说明中，天车10运送的物品具体是指一个设
有大量半导体晶片的盒子9。但是，运送的物品并不局限于盒子9。
盒子9沿竖直方向设有大量隔板。半导体晶片水平排列在每个隔
板上。
此外，在下面的说明中，辊式输送机8、8即指天车10在车
主体前进方向的正交方向装卸物品的装卸物品的输送装置，如权
利要求中所描述。辊式输送机54即指设在上部工位中的输入输出
装置。辊式输送机46即指设在寄存部中的装卸装置。但是本发明
不应限于这些结构。
首先，简要描述天车系统1的结构。
如图1所示，一个用于使天车10、10…沿着其移动的行驶
路径2呈环形安装在半导体工厂等的绝对无尘室中。一个自动仓
库5和多个处理装置4、4…沿着行驶路径2排列在环的外部以
构成天车系统1。
自动仓库5是一个小的存储工位，盒子9、9…临时存储在
其中。将自动仓库5作为一个起始点，处理装置4、4…按处理
顺序沿图中实心箭头所示方向排列。一个和天车系统1分离的系
统将盒子9输入到自动仓库5，盒子9被临时存放在其中。当天车
10到达自动仓库5时，盒子9被输出并传递到天车10。盒子9依
照处理步骤的顺序被陆续地运送到处理装置4、4…。一旦在处
理装置4、4…上的处理过程完成，盒子9被再一次输入到自动
仓库5并输出到所述与天车系统1分离的系统。
现在描述处理装置4。
如图2和3所示，在处理装置4的与行驶路径2相对的一侧
的下部设有一个输入端口和一个输出端口。输入端口和输出端口
分别设有一个地面工位41。地面工位41、41从处理装置4的内部
伸出到外部，且每个地面工位分别具有一个安置在行驶路径正下
方的端部41a(靠近行驶路径)。
此外，行驶路径在相应面工位41、41上方分别形成通道口20、
20，以使盒子9能在竖直方向上通过每个通道口20。如图4所示，
在竖直方向上通过通道口20的盒子9被在每个地面工位41的外
端41a与位于行驶路径2上的天车10之间传递。
地面工位41设有一个输送装置例如辊式输送机，以在地面工
位41外端41a和内端41b(背离行驶路径2)之间运送盒子9。
一个传递装置形成在处理装置中，该传递装置包括一个水平
关节式传递机械手。传递装置在地面工位41的内端41b和处理装
置4中的一个容放隔板之间传递盒子9。然后，多个盒子9被存储
在处理装置4的容放隔板上。晶片被从盒子9、9…取出，然后
一起转经受处理例如清洁。由此，处理装置4每次处理从多个盒
子9、9…取出的晶片。
如图2和3所示，一个寄存部45在行驶路径横向内侧(环形
行驶路径内侧)设置在处理装置4的地面工位41、41的斜上方，
以临时存储盒子9。寄存部45通过悬挂部件43、43从清洁室的天
花板表面悬挂下来并几乎与行驶路径2平行排列。
每个悬挂部件43分别由一个下部框架43a和分别垂直于下部
框架43a的前端和后端(相对于行驶路径2的延伸方向)的支撑
杆43b、43b构成。支撑杆43b、43b从清洁室天花板表面悬挂下
来。两个悬挂部件43、43与行驶路径2平行排列。寄存部45固
定在悬挂部件43、43的下部框架43a、43a上，以使其载置表面
在水平方向延伸。
支撑寄存部45的结构并不局限于悬挂部件43、43，而是可以
固定在置于清洁室地面上的支撑部件上，从而沿竖直方向延伸。
也就是，对这种结构没有特别的限制。
寄存部45设有多个辊式输送机46、46…，作为装卸盒子的
装置。辊式输送机46、46…沿着行驶路径2设置。一个盒子被
临时存储在一个辊式输送机46上。
每个辊式输送机46分别包括多个辊48、48…和用于驱动所
述辊48、48…的驱动装置(图中未示出)，辊48、48…和驱
动装置一起设置在一个框架内，该框架在俯视图中显示为正方形。
每个辊48、48…比盒子9底面的宽度稍长，并部分地从框架的
顶表面伸出。驱动装置是这样构成的，即一个驱动滑轮装在一个
驱动电机的电机轴上，并将一条传动带缠绕在驱动滑轮和装于相
对应辊48、48…的旋转轴上的从动滑轮上。
由此，每个辊式输送机46、46…设有一个驱动装置并能被
其独立地驱动。辊式输送机46上的盒子9通过辊48、48…输入，
并在相对于行驶路径2的延伸方向的横向被运送。
在上述的结构中，寄存部45的每个辊式输送机46、46…设
有驱动装置。但是，辊式输送机46、46…可与天车10的辊式输
送机8、8联动。例如，天车10的每个辊式输送机8、8可设有一
个能向前和向后移动的运送辊，而不是给每个寄存部45的辊式输
送机46、46…装备驱动装置。在这种情况下，运送辊紧靠辊式
输送机46给它传输一个驱动力。结果，寄存部45的辊式输送机
46、46…可被移动。
另一方面，每个寄存部45的辊式输送机46、46…可设有一
个能向前和向后移动的运送辊。在这种情况下，运送辊抵靠着天
车10的辊式输送机8、8，以将一个驱动力从相对应的一个寄存部
45的辊式输送机46、46…传输到辊式输送机8。结果，天车10
的辊式输送机8、8可被移动。
为寄存部45装卸的盒子9、9…的方法并不局限于辊式输送
机46、46…。也可以使用其它方法。
寄存部45被如此设置，即辊式输送机46、46…的运送表面
与在行驶路径2上行驶的天车10的辊式输送机8、8位于相同的
高度。
此外，在每个辊式输送机46的靠近行驶路径2的一端分别设
有一个制动件49，制动件49被构造成可在竖直方向自由移动，从
而可从辊式输送机46的传运送表面升高和降低。制动件49从运
送表面升高可防止辊式输送机46上的盒子跌落。另一方面，制动
件49从运送表面降低以允许盒子9被输送到天车10上。
此外，从每个辊式输送机46的背离行驶路径2的一端伸出一
个伸出部分46b。伸出部分46b用作一个制动件，以防止辊式输送
机46上的盒子9从辊式输送机46的与行驶路径2相反的一侧跌
落。防止辊式输送机46上的盒子9跌落的装置并不局限于由制动
件49和伸出部分46b组成的结构。也可以使用其它结构。
在上述装置中，寄存部45在行驶路径2的横向内侧(环形行
驶路径内侧)设置在处理装置4的斜上方。
但是，如图1所示，如果处理装置4低于行驶路径2，则寄存
部45也可以在行驶路径2横向外侧(环形行驶路径外侧)设置在
处理装置4上方。
如果寄存部45、45分别在行驶路径2两侧设置在处理装置4
上方，则首先，天车10只须陆续地传递各个盒子9到置于行驶路
径右侧或左侧的寄存部45。在设置在任一侧的所有寄存部45的辊
式输送机46、46…装载了盒子9、9…以后，其它盒子9被传
递到设置在相反侧的寄存部45的辊式输送机46、46…上。
或者，天车10可以从行驶路径2的上游或下游侧开始传递各
个盒子9，并在位于行驶路径2一侧的寄存部45与位于行驶路径
2另一侧的寄存部45之间交替盒子。盒子9、9…被传递的顺序
没有特别的限制。
此外，每个寄存部45可以沿行驶路径2设置在处理装置4、4
之间。
如果寄存部45沿行驶路径2设置在处理装置4、4之间，则
天车10首先将盒子9传递到处理装置4上方的寄存部45，该处理
装置4位于寄存部45的上游或下游。在置于处理装置4上方的所
有寄存部45的辊式输送机46、46…装载了盒子9、9…以后，
其它盒子9被传递到位于处理装置4之间的寄存部45的各个辊式
输送机46a、46a上。
寄存部45、45…的位置不特别局限为在行驶路径2的一侧。
因此，可使用其它方式设置。
现在对自动仓库5进行描述。
如图2和5所示，自动仓库5的与行驶路径2相对的一侧的
上部设有一个进口和出口。进口和出口分别设有一个上部工位52、
52，盒子9被传递到此。上部工位52、52从自动仓库5的内部伸
出到外部。上部工位52、52的外端(靠近行驶路径2)设置在行
驶路径2一侧(在环形行驶路径外侧并靠近环形行驶路径)。
每个上部工位52包括一对作为输入输出装置的辊式输送机
54、54。该对辊式输送机54、54相对于行驶路径2的延伸方向前
后设置。该对辊式输送机54、54设在与行驶路径2上天车10的
辊式输送机8、8相同的高度。辊式输送机54、54通过连接部件
53、53…连接在一起，使得辊式输送机54、54之间维持固定的
距离。
该对辊式输送机54、54支撑着盒子9底面的相反端(相对于
行驶路径2的延伸方向的前后端)，从而在相对于行驶路径2的延
伸方向的横向运送盒子。制动件55、55分别设置在每个辊式输送
机54的外端(靠近行驶路径2)和内端(靠近自动仓库5)。制动
件55、55被构造成可在竖直方向上自由移动，使得其从辊式输送
机54的运送表面升高或者降低。
制动件55、55从运送表面升高，可防止在辊式输送机54、54
上的盒子9跌落。另一方面，制动件55、55从运送表面降低可允
许盒子9被输送到天车10或自动仓库5内的塔式起重机56和从
其接收。
此外，寄存部45跨越行驶路径2与自动仓库5的上部工位52、
52相对设置。寄存部45被设置在行驶路径2的横向内侧(环形通
道的内侧)。盒子9通过天车10而从自动仓库5的每个上部工位
52、52传递到寄存部45。
此外，自动仓库5的与行驶路径2相对的一侧下部形成一个
进口和一个出口。每个进口和出口分别设有下部工位51、51。
下部工位51、51从自动仓库5的内部伸出到外部，并设有诸
如辊式输送机等输送装置。输送装置将盒子9相对于自动仓库5
输入或输出。下部工位51、51用于例如允许操作者输入和输出特
急物品。
自动仓库5包括分别形成在靠近行驶路径2的侧部和背离行
驶路径2的侧部的容纳部分。塔式起重机56设置在容纳部分之间
的中央空间中。容纳部分内设有大量隔板50、50…，以放置盒
子9。一个轨道(图中未示出)置于容纳部分之间的中央空间的地
面上，使得其在行驶路径2的延伸方向上延伸。塔式起重机56包
括：一个运行车57，其在轨道上运行，一个立柱58，其置于运行
车57上并在竖直方向延伸，以及一个水平关节式传递装置59，其
可沿立柱58升高和降低。塔式起重机56适于在水平方向沿轨道
移动。传递装置59的顶端部分像一个叉子，用于铲起盒子9的底
面。通过运行车57的水平移动和传递装置59的垂直移动的组合，
盒子9可被传递到下部工位51、上部工位52和隔板56、56…。
利用上述结构，盒子9、9…被从设在天车系统1外部的一
个系统传递到自动仓库5的下部工位51、51。自动仓库5的上部
工位52、52输送盒子9、9…到位于行驶路径2上方的各天车
10。塔式起重机56在下部工位51和隔板50之间、上部工位52
和隔板50之间或下部工位51和上部工位52之间传递盒子。
现在描述行驶路径2的结构。
如图2所示，行驶路径2包括：一对轨道24L和24R；连接
部件25、25…，它们将轨道24L和24R的底面连接在一起；以
及防跌落部件26、26，它们在行驶路径2的延伸方向上安装在轨
道24L和24R之间。行驶路径2通过悬挂部件30、30…从清洁
室的天花板悬挂下来。
如图3所示，悬挂部件30包括一对悬挂杆31、31和一个悬
挂框架32。悬挂框架32由顶端框32a和侧杆32b、32b组成。顶
端框32a的横向相反端固定到悬挂杆31、31的相应下端。侧杆32b、
32b的上端固定到顶端框相应的横向相反端。连接部件25、25…
的横向相反端固定到侧杆32b、32b相应的下端。
由此，连接部件25、25…通过悬挂部件30、30…而悬挂
着。轨道24L和24R的底面分别固定到连接部件25的顶面各横向
端。
如图2所示，在行驶路径2的延伸方向上，大量连接部件25、
25…间隔一定距离设置。连接部件25、25…用于维持轨道24L
和24R之间的固定距离。
如需要，连接部件25、25…可在轨道24L和24R的底面将
它们简单连接在一起，不用通过悬挂部件30、30…悬挂。
但是，连接部件25、25…不设置在处理装置4的工位41、
41的上方。连接部件29、29设在工位41、41的上方并且位于轨
道24L和24R的底面之间。通过连接部件29、29和轨道24l、24r
围成一个通道口20。
轨道24L(24R)由多个具有适当长度并至少在其纵向相反端
固定支撑在连接部件25、25上的轨道部件24l、24l…(24r、
24r…)组成。轨道部件24l、24l…(24r、24r…)在行驶
路径2的延伸方向上连接在一起构成轨道24L(24R)。
每个轨道部件24l、24r分别包括一个水平行驶部分和形成在
所述行驶部分的横向外侧并在竖直方向延伸的导向部分，并且具
有L形的横截面。另外，轨道部件24l还具有设在行驶部分横向
内端并在竖直方向延伸的导向部分。位于轨道部件24l横向两侧的
导向部分的相应上端设有伸出部分，它们相对而立。一个导槽被
轨道部件24l的行驶部分、导向部分和伸出部分围绕形成。天车
10的导向辊12(后面描述)沿着导槽而被引导。然后，伸出部分
防止导向辊12滑出导槽。
每个防跌落部件26分别由多个具有适当长度并在纵向连接在
一起的防跌落杆26a、26a…组成。在每个连接部件25(29)的
顶面具有两个支架，二者之间设有固定的横向距离。防跌落部件
26可移动地连接到支架上。
在上述结构中，防跌落杆26a、26a…安装在连接部件25、
25…29、29…之间。但是，防跌落杆26a、26a…不设置在
通道口20中。
由此，依照本实施例，为安全起见，两个防跌落部件26、26
安装在轨道24l、24r之间。即使盒子9从天车10或轨道24l、24r
之间的其它部件上跌落，在碰撞到地面之前可被防跌落部件26、
26抓住。防跌落部件26、26的数量、结构等没有特别的限制。
现在描述天车10的结构。
如图6所示，天车10在车主体10a的中央部分中设有一个物
品容纳空间10b。物品容纳空间10b的底侧和横向相反侧是敞开
的，以使盒子9可通过这些区域(见图7)。也就是，天车10在车
主体10a的右侧、左侧和底侧分别为盒子9设有一个传递口。
如图7所示，车主体10a的前后下端通过一个支撑部件15连
接在一起。一个驱动电机16固定在支撑部件15上，以使它的长
度方向与车主体10a的前后方向相对应。驱动电机16和它的支撑
部件15设置在车主体10a的横向相反端中的一端，以致于不会干
扰从物品容纳空间10b通过一个升降机7而被提升和降低的盒子
9。驱动电机16的顶面设置在天车10的辊式输送机8的运送表面
的下方，以致于不干扰被运送的盒子9。
驱动轮11连接到驱动电机16相应的横向外侧，以使它们的
轴在横向水平方向延伸。驱动电机通过一个传力机构(图中未示
出)如伞齿轮传输力。驱动轮11设置在车主体10a前后方向中央
部分。在每个驱动轮的前面和后面，相对应的导向辊12、12连接
到支撑部件15上，以使它们的轴在竖直方向延伸。在侧视图中，
导向辊12、12呈现为安置在相对于驱动轮轴的前后对称位置上。
每个驱动轮11从车主体10a的底面向下伸出，并抵靠在轨道
部件24l的行驶部分上。导向辊12沿着轨道部件24l的导槽被引
导。
在车主体10a下端与驱动轮15相反的一侧(轨道24R一侧)
设有一对从动轮14、14。从动轮14、14由可自由改变其方向的脚
轮组成。从动轮14、14分别设置在车主体10a的底面的前端和后
端，以使它们的轴在水平方向延伸。
此外，如图6所示，在车主体10a的顶面的前部和后部分别
设有一对分支装置。如果行驶路径2出现分支或其它情况时使用
分支装置17、17。每个分支装置17包括一个设置在车主体10a
的顶面横向中央部分的导向辊18和分别设置在导向辊横向两侧的
分支辊19、19。辊18、19、19设置为其轴在竖直方向延伸。分支
辊19被构造成可以在竖直方向自由移动。
另外，车主体10a的相应横向端的顶部设有集电单元60、60，
用于从安装在行驶路径2上的供电线获得电能。集电单元60、60
的重量占车主体10a全部重量的较大比例。因此，集电单元60、
60设置在车主体10a横向两侧，以维持整个车主体10a的重量的
平衡。这样使车主体往前平滑地运行，例如，沿弯曲部分。此外
由于行驶路径具有一个分支部分，因此在某些区域内置于行驶路
径一侧的供电线必须安装在行驶路径2的相对侧。由此，通过在
车主体10a的横向两侧设置集电单元60、60，天车10即使在这样
的分支部分等处也可被供应电能。
每个集电单元60包括一个E形铁氧体磁心61和一个集电线
圈62。磁心61在三个位置例如它的顶部、中部和底部上具有伸出
部分，这些伸出部分在横向向外方向延伸。集电线圈62缠绕在中
部伸出部分。磁心61的设置使得供电线分别位于由中部伸出部分
与顶部和底部伸出部分之间形成的上端和下端凹坑内。
集电线圈62接收通过供电线传导高频电流而产生的磁场。然
后，利用电磁感应现象从集电线圈62产生的诱导电流获得电能。
如此，集电单元通过供电线以不接触方式为驱动轮11的驱动电机
16和控制装置提供电能。
此外，天车10在物品容纳空间10b内包括：升降机7，其在
竖直方向相对于处理装置4的地面工位41输送和接收盒子9，和
一对辊式输送机8、8，它们在车主体前进方向的正交方向相对于
自动仓库的上部工位52输送和接收盒子9。
如图4所示，天车10的顶端物品容纳空间10b的上方设有一
个滑动装置70。升降机7的主体71连接到滑动装置70上。升降
机主体71设有升降装置，用于在卡盘作用下提升和降低一个升降
部分72。滑动装置70适于在车主体前进方向的正交方向移动到升
降机主体71内。因此，即使地面工位41由于安装错误等而在前
进方向的正交方向上从升降机正下方的位置略微偏移，通过移动
升降机主体71，盒子9也能被准确地传递，使得盒子9被置于地
面工位41的外端41a的放置部分的正上方。
如果轨道24R被置于地面工位41的外端41a的放置部分的正
上方，则轨道24R必须具有一个凹槽。
在这一方面，所有的地面工位41、41…可以置于行驶路径
2上的天车10的正下方，而滑动装置70被从天车10中略去。在
这种情况下，升降机主体71连接到车主体10a的位于物品容纳空
间10b上方的顶面。滑动装置70可设置成向着放置部分微调节地
面工位41的外端41a。
四个卷筒连接到升降机7的主体。传动带73、73…围绕着
相应卷筒卷绕，升降部分72通过传动带73、73…悬挂，以致于
可自由地升降。升降部分72被这样构成为可自由地升降，在其底
面设有一个可夹持盒子9的卡盘。卡盘夹持住形成在盒子9顶端
的上部凸缘9a。
此外，如图6所示，在车主体10a相应内侧下部，所述一对
辊式输送机8、8分别设在物品容纳空间10b的前面和后面。辊式
输送机8、8是用于在车主体前进方向的正交方向运送盒子9的装
置。每个辊式输送机8、8具有设置在纵向(在车主体的左右方向)
的大量辊88、88…。辊88、88…从辊式输送机8的主体顶面
部分地伸出，以支持盒子9底面的相反端(天车10前进方向上的
前后端)中相应的一端。
驱动电机连接到一个辊式输送机8上，一个驱动滑轮连接到
驱动电机的驱动轴。从动滑轮连接到相应辊88、88…的旋转轴，
一个传动带绕着驱动滑轮和所有的从动滑轮。由此，所有辊88、
88…同步旋转。
另一辊式输送机8不设有驱动电机。因此辊88、88…被构
成为可自由旋转。这样提供出一种输送装置，其用一个输送机8
作为驱动输送机，用另一个输送机8作为从动输送机。
盒子9底面的相反端(相对于天车10前进方向的前后端)置
于一对辊式输送机8、8上。具体地讲，在盒子9底面的各端形成
台阶部分9c、9c(见图8)。台阶部分9c、9c位于辊式输送机8、
8的辊88、88…上(参看图7)，以防止盒子9在相对于其运送
方向的横向(相对于天车10前进方向的前后方向)偏移。
在本实施例中，盒子9的底面各端设有台阶部分9c、9c。或
者，盒子9底面可以是平坦的，辊式输送机8、8上设有导杆以防
止盒子9倾斜移动。
当盒子9底面的一侧端(相对于天车10前进方向的前或后端)
被驱动辊式输送机8运送时，放置着盒子9底面的另一侧端的从
动辊式输送机8旋转。结果，盒子9在该对辊式输送机8、8上被
直线运送。
在自动仓库5的上部工位52设有所述一对辊式输送机54、54，
它们的结构类似于天车10的一对辊式输送机8、8。由此，一个辊
式输送机54用作驱动输送机，而另一个辊式输送机54用作从动
输送机。
如上所述，依据本发明的实施例，对于天车10的一对辊式输
送机8、8和自动仓库5的上部工位52的一对辊式输送机54、54，
一个辊式输送机8(54)用作驱动输送机，而另一个辊式输送机8
(54)用作从动输送机。但是，另一辊式输送机8(54)也可以由
一个驱动辊式输送机构成，即两个辊式输送机8、8(54、54)均
由驱动输送机构成。在这种情况下，通过同步驱动两个辊式输送
机8、8(54、54)，盒子9在辊运送器8、8(54、54)上被直线
运送。
天车10的每个辊式输送机8的末端(在车主体10a的相应侧
壁开口处)分别设有可在竖直方向移动的制动件89。当盒子9被
运送时，制动件89在各个辊式输送机8、8的运送表面上伸出以
防止盒子9跌落。另一方面，当盒子9被输送到自动仓库5的上
部工位52的辊式输送机54、54时，制动件89从各个辊式输送机
8的运送表面下降。
如图8所示，天车10还包括移动机构80、80，它们用于使辊
式输送机8、8相互靠近和远离。辊式输送机8、8被移动机构80、
80带动相互靠近的位置称作“传递位置”。(图8A)。辊式输送机
8、8被移动机构80、80带动相互远离的位置称作“后退位置”(图
8B)。
在传递位置，辊式输送机8、8之间的间距和自动仓库5的上
部工位5 2的辊式输送机54、54之间的间距相同，其小于盒子9
的宽度(即在相对于车主体前进方向的前后方向长度)。这样可以
输送盒子9到自动仓库5的上部工位52。
另一方面，在后退位置，辊式输送机8、8之间的间距大于盒
子9的宽度。由此，辊式输送机8、8置于升降机7与处理装置4
的地面工位4 1或与自动仓库5的下部工位51之间。在这一位置，
不会阻碍盒子9的输送。结果，升降机7的升降部分72能在竖直
方向上从辊式输送机8、8之间通过。
每个移动机构80由一个齿轮齿条机构、一个连杆机构和一个
用于在水平方向前后移动相应辊式输送机8、8的机构组成。辊式
输送机8、8的构造如上面所描述。
用于在相对于天车10前进方向的正交方向上相对于自动仓库
5的上部工位52输送和接收盒子9的装置并不局限于辊式输送机
8、8。也可以应用其它方式构造输送装置。
此外，一个车载控制器110安装在天车10上。如图9所示，
车载控制器110连接到驱动轮11的驱动电机16、用于升降机7和
滑动装置70的驱动部、辊式输送机8的辊88、88的驱动电机、
移动机构80、80的驱动部、分支装置17、17的驱动部，以及天
车10上的装备。
现对天车10的运行控制进行描述。示出位置信息的标记贴附
在行驶路径2的适当位置上，例如，在行驶路径2中的通道口20
的前面位于处理装置4的工位41、41上方的位置。
另外，作为天车10的控制装置的车载控制器110存储着行驶
路径2的地图信息(数据)，以便能不断地确定天车10现在的运
行位置。安装在天车10上的一个编码器用于指示运行距离。结果，
车载控制器110根据地图信息和运行距离确定出天车10当前位
置。
为此，天车10的车载控制器110还知道贴附在行驶路径2上
的大量标记的位置。天车10用一个读取器探测标记，以检查其当
前在哪运行。
然后，当读取器探测到一个标记时，如果编码器确定出天车
10当前位置与地图信息相应标记位置不相符，则由编码器确定出
的当前位置将根据地图信息上的该标记位置而被校正。
由此，根据存储在车载控制器110中地图信息和编码器探测
到的运行距离，天车10不断地确定出它当前位置。此外，读取器
用于探测标记以检查当前位置。因此，运用这种双重系统能准确
确定出当前位置。
天车10如上所述确定出它在行驶路径2上的运行位置；根据
地图信息和标记执行运行控制。例如，当目的工位41上方的通道
口20前面的标记被探测到时，执行控制以将天车10减速控制，
使其停在通道口20。
如果天车10将盒子9输送到处理装置4的地面工位41、自动
仓库5的上部工位52或寄存部45的辊式输送机46，其根据存储
在车载控制器10的地图信息确定现在所在的停止位置(用于地面
工位41的停止位置，用于上部工位52的停止位置，或用于辊式
输送机46的停止位置)。天车10的车载控制器10确定是使用升
降机7还是使用辊式输送机8输送盒子9。如果使用辊式输送机8，
车载控制器10还要确定出辊88、88被旋转驱动的方向。
可使用一个高级控制器统一控制天车系统1的多个天车10、
10…。然后，当天车10停在用于地面工位41、上部工位52或
辊式输送机46的停止位置时，该高级控制器可给天车10一个关
于是使用升降机7还是辊式输送机8、8的指令。
当盒子9被输送到处理装置4的地面工位41时，升降机7被
天车10选择。另一方面，当盒子9被运送到自动仓库5的上部工
位51或寄存部45的辊式输送机46时，辊式输送机8、8被天车
10选择。在这种场合，当选择辊式输送机8时，确定驱动电机是
正向旋转还是反向旋转，取决于上部工位52或辊式输送机46是
设置在行驶路径2的横向外侧(环形行驶路径外侧)还是在横向
内侧(环形行驶路径内侧)。
现在对用安装在天车10上的升降机7传递盒子9的流程进行
描述。
如图4所示，当在行驶路径2上行驶的天车10停在作为目的
地的处理装置4的工位41时，车载控制器10确定升降机7用作
当前运送操作的输送装置。
通道口20位于停止的天车10下方。由此，支持着升降机7
的滑动装置70用于调节升降机7的水平位置，以使其置于地面工
位41上的盒子9的正上方。
然后，天车10的车载控制器110启动移动机构80、80，以将
辊式输送机8、8移动到后退位置。然后车载控制器10降低升降
机7的升降部分(见图8B)。升降部分通过辊式输送机8、8之间
并通过通道口20到达地面工位41上的盒子9处。然后，升降部
分72的卡盘夹持住盒子9，并且升降部分被提升。升降部分72
通过通道口20和辊式输送机8、8。然后，盒子9被容纳在物品容
纳空间10b内。随后支持着升降机主体71的滑动装置70被移回
到原来的位置。
在盒子9被这样完全容纳以后，移动机构80、80被又一次启
动，以将辊式输送机8、8移动到传递位置(见图8A)。这时，盒
子9被升降机7的升降部分72夹持并悬在物品容纳空间10b内。
由此，辊式输送机8、8位于传递位置，以防止盒子9跌落。或者，
升降部分72可以被略微地降低，以将盒子9放在辊式输送机8、8
上(见图7)。
相反地，如果被天车10保持的盒子9被运送到处理装置4的
地面工位41，则升降机7用于执行与如上所述基本相同的流程。
现在对用安装在天车10上的辊式输送机8、8传递盒子9的
流程进行描述。
如图5(或图3)所示，当天车10停在或靠近自动仓库5(或
寄存部45的辊式输送机46)的上部工位52时，车载控制器110
确定辊式输送机8、8用作当前传递操作的传递装置。辊式输送机
8、8的旋转驱动方向也被确定。
停止的天车10的辊式输送机8、8位于面对且靠近自动仓库5
(或寄存部45的辊式输送机46)的辊式输送机54、54处，以使
所有的辊式输送机8、8和54、54位于相同高度上的一条直线上。
天车10的车载控制器110选择传递装置。然后车载控制器110降
低辊式输送机8、8上的与自动仓库5(或寄存部45)靠近的制动
件89、89和辊式输送机上的与天车10靠近的制动件55、55(或
辊式输送机46上的与天车10靠近的制动件49)。这时，天车10
的辊式输送机8、8的上与自动仓库5相对的制动件89、89保持
相对于运送表面升高，以起到制动的作用。
然后，自动仓库的辊式输送机54(或寄存部45的辊式输送机
46)或者天车10的驱动辊式输送机8被驱动，以将盒子9通过自
动仓库5的辊式输送机54、54(或寄存部45的辊式输送机46)
输出。此外，盒子9通过天车10的辊式输送机8、8而被引入。
盒子9被这样从自动仓库5(或寄存部45)运送到天车10。当盒
子9被装载在天车10上时，靠近自动仓库5(或寄存部45)的制
动件89、89升高以防止盒子9跌落。
在盒子9被完全容置在天车10中后，天车10开始运行到作
为目的地的处理装置4。
为防止盒子9在传输过程中振动，盒子9被悬挂着，可前后
移动的压力部件可以在车主体10a的相应内侧分别设置在物品容
纳空间10b的前面和后面，用于在运送过程中支持盒子9的各侧
面(相对于天车10前进方向的前后侧)。优选的是，在每个压力
部件的抵靠部分上设置一个弹性体，用于在运送中降低因抵靠盒
子9而可能产生的振动的幅值并吸收振动。此外，一个可在竖直
方向或天车10的前进方向前进和后退的弹性部件设置在辊式输送
机8、8的顶面。然后，盒子9可通过弹性部件置于辊式输送机8、
8上。
相反，如果天车10传递盒子9到自动仓库5的上部工位52
(或寄存部45的辊式输送机46)，则利用天车10的辊式输送机8、
8和自动仓库5的上部工位52的辊式输送机54、54(或寄存部45
的辊式输送机46)实施与如上所述基本相同的流程。
由此，天车10被构造成相对于位于行驶路径2一侧的寄存部
45的辊式输送机46输送和接收盒子9。与天车设有一个升降机并
且相对于行驶路径下方的临时物品存放装置输送和接收物品的结
构相比，盒子可在短时间内被输送和接收，以使操作更佳容易和
高效。
现在对天车系统1中的用于使天车10传递和运送盒子9的流
程进行描述。
如图1所示，自动仓库5的上部工位52上的盒子9被传递于
上部工位52的辊式输送机54、54与停在上部工位52一侧的未装
载的空天车10的辊式输送机8、8之间。然后，天车10运送盒子
9到作为下一目的地的处理装置4。或者，盒子9在辊式输送机8、
8上沿横向移动通过停在上部工位52一侧的空天车10。盒子9以
跨越行驶路径2面对着上部工位52站立的方式被运送到寄存部45
的辊式输送机46上。
或者，在后一情况下，多个盒子9可以被从自动仓库5陆续
输出，然后通过一个停在自动仓库5的上部工位52一侧的空天车
10而被陆续传递到寄存部45的各个辊式输送机46、46…。
在这种情况下，假定自动仓库5的上部工位52的辊式输送机
54、54、停在辊式输送机54、54一侧的空天车10的辊式输送机8、
8和寄存部45的辊式输送机46在俯视图中排列在一条直线上。也
就是，假定上部工位52和寄存部45的辊式输送机46相对于行驶
路径2对称排列。那么，自动仓库5的上部工位52上的盒子9从
上部工位52的辊式输送机54、54开始在空天车10的辊式输送机
8、8上移动，从而被直接运送到寄存部45的辊式输送机46，而
不需要移动天车10。但是，对于置于辊式输送机45上方的上游或
下游的辊式输送机46，自动仓库5的上部工位52上的盒子9被从
上部工位52的辊式输送机54、54传递到空天车10的辊式输送机
8、8。然后，天车10略微地向前或向后移动。结果，盒子9被从
天车10的辊式输送机8、8传递到上游或下游的辊式输送机46。
然后，辊式输送机46、46…上的盒子9被陆续传递到已抵
达寄存部45一侧并与自动仓库5的上部工位52相面对的天车10、
10…。盒子9、9…然后被运送到作为目的地的处理装置4。
在这种情况下，寄存部45的辊式输送机46、46…上的盒子
9、9…以先进先出的方式被传递。
例如，当从自动仓库5输出的多个盒子9、9…通过一个空
天车10而被临时放置在寄存部上时，它们被陆续放置在各个辊式
输送机46上；第一个盒子9置于寄存部45下游(相对于天车10
的前进方向)的辊式输送机46上，最后一个盒子9置于最上游的
辊式输送机46上。然后，当临时放置的盒子9、9…被传递到抵
达寄存部45一侧的多个空天车10、10…上时，首先放置盒子9
的下游辊式输送机46上的盒子9被首先传递。
或者，相反地，从自动仓库5输出的多个盒子9、9…被陆
续临时置于各个辊式输送机46上；第一个盒子9置于最上游辊式
输送机46上，最后一个盒子9置于最下游辊式输送机46上。然
后，当临时放置的盒子9、9…被传递到抵达寄存部45一侧的多
个空天车10、10…上时，首先放置盒子9的上游辊式输送机46
上的盒子9被首先传递。
此外，统一控制天车系统1的一个高级控制器可以控制用于
将从临时放置盒子的自动仓库5输出的多个盒子9、9…放置在
其上的辊式输送机46、46…的顺序。随后，当临时放置的盒子
9、9…被传递到抵达寄存部45一侧的多个空天车10、10…上
时，根据控制器的一个指令，从一个首先被临时置于辊式输送机
46上的盒子9开始被陆续传递。
如前所述，处理装置4每次处理多个盒子9、9…内的晶片。
处理装置4可以处理过的盒子9、9…的最大数量是有限的。因
此，当可被处理的最大数量的盒子9、9…装入处理装置4时，
即使持有盒子9的天车10到达，由于处理装置4不再装入盒子9，
因此新到达的盒子9会被传递到靠近处理装置4的寄存部45。
需要利用处理装置4花费相对长的时间处理盒子9、9…内
的晶片。由此，当持有各个盒子9的天车10在处理过程中接连到
达时，新到达的盒子9被临时放置在靠近处理装置4的寄存部45
上。
然后，一旦处理装置4已经完成其处理过程，多个盒子9、9
从首先输入的开始通过输出口而被陆续输出到地面工位41。盒子
9然后被停在地面工位41正上方的行驶路径2上的天车10的升降
机7传递。
由此，已处理的多个盒子9、9…从地面工位41被陆续装在
各个天车10、10…上，然后被运送到用于进行下一个处理步骤
的处理装置4。然后，另一个空天车10到达处理装置4，以将临
时存储在靠近处理装置4的寄存部45的辊式输送机46上的盒子
9、9…陆续传递到处理装置4的地面工位41，以利用处理装置
4对它们进行处理。
这时，寄存部45的每个辊式输送机46上的盒子9被传递到
停在这个辊式输送机46一侧的天车10的辊式输送机8、8。这个
天车10被移到用于被传递盒子9的地面工位41的正上方位置。
然后，盒子9被升降机7报持并在竖直方向通过通道口20传递到
地面工位41。
但是，对于从位于地面工位41正上方的通道口20看位于目
标地面工位41一侧并靠近它的辊式输送机46(这个辊式输送机
46与地面工位41在俯视图中呈直线排列)上的盒子9而言，这个
盒子9被从辊式输送机46传递到天车10上的辊式输送机8、8。
盒子9然后被升降机7传递到位于下方的地面工位41，其中天车
10保持停止状态。
也是在这场合，寄存部45的辊式输送机46、46…上的多个
盒子9、9…被以先进先出的方式传递到处理装置4的地面工位
41。
然后，多个新的盒子9、9…被从地面工位41装入处理装置
4。然后处理装置4执行一系列的操作。
一旦多个盒子9、9…依照上面的流程在最后的装置4中被
处理完毕，它们被陆续从首先输入的盒子开始输出到地面工位41。
盒子9、9…被传递到停止在位于地面工位41正上方的行驶路径
2上的天车10上。
由此，多个盒子9、9…被陆续传递到各个天车10、10…并
被运送到自动仓库5。然后，每个天车10停在自动仓库5一侧。
盒子9然后从天车10的辊式输送机8、8被传递到自动仓库5的
上部工位52的辊式输送机54、54。盒子9最后被输入到自动仓库
5。
如上所述，盒子9从自动仓库5输出然后被运送到天车10。
在被运送时，盒子9经过处理装置4、4…处理，随后，盒子9
被输入到自动仓库5。
天车10装备有在竖直方向输送盒子9的升降机7和在水平方
向输送盒子9的辊式输送机8、8。这使得天车10可用于更多的用
途。在向处理装置4的地面工位41输送盒子9时，天车10利用
作为控制装置的车载控制器110将辊式输送机8、8设置在后退位
置，然后升高或降低升降机。另一方面，在向自动仓库5的上部
工位52或寄存部45的辊式输送机46输送盒子9时，天车10利
用车载控制器110将辊式输送机8、8设置在传递位置，然后启动
它们。
当天车10向行驶路径2下方的地面工位41输送盒子9时，
移动机构80、80将辊式输送机8、8移动到后退位置。这样，通
过升降机7而被升高和降低的盒子9不会与辊式输送机8、8相互
干扰。这样可以将升降机7和辊式输送机8、8布置在天车10中，
以达到一个紧凑布局。
另外，通过使用移动机构80、80移动辊式输送机8、8到传
递位置，可防止由升降机7支持在物品容纳空间10b内的盒子9
跌落。因此，提高了系统的安全性。
在这样的结构中，分别装备有升降机7和辊式输送机8、8的
天车10在行驶路径2上运行。但是，也可以使分别装备有升降机
7和辊式输送机8、8的天车10和仅装备有升降机7而未装备辊式
输送机8、8的天车10同时在行驶路径2上运行。
装备有升降机7和辊式输送机8、8的天车系统10以下称作
第一天车。只装备有辊式输送机8、8的天车系统10以下称作第
二天车。第二天车的制造比第一天车更经济。因此，通过在天车
系统1中使用最小数量的第一天车和相对较多的第二天车，可降
低天车系统1的构造成本。
在同时设有第一天车和第二天车系统中，第一天车在自动仓
库5的上部工位52和处理装置4地面工位41之间、在处理装置4
地面工位41和不同的处理装置4地面工位41之间、在寄存部45
的辊式输送机46和处理装置4的地面工位之间传递盒子9。第二
天车主要在自动仓库5与寄存部45的辊式输送机46之间、在寄
存部45的辊式输送机46与不同的寄存部45的辊式输送机46之
间传递盒子9。
如前所述，多个盒子9、9…被一起装入处理装置4。然后，
处理装置4每次处理多个盒子9。随后，处理装置4陆续将处理过
的盒子9、9…直接装入到相应第一天车上。可以利用相应第一天
车将多个盒子9、9…运送到下一个处理装置4。或者，可以利用
单个第一天车将处理过的盒子9、9…从地面工位41陆续传递到
靠近处理装置4的寄存部45。然后，已被运送到寄存部45的多个
盒子9被陆续置于相应第二天车上，然后被运送到下一个处理装
置4。
上面对依据本发明的天车系统1的结构进行了描述。
权利要求中定义的天车并不局限于在前面实施例中的用于将
盒子9支承在轨道241、24r上方的安装型天车10。天车系统也可
以是在轨道下方悬挂着物品运送的悬挂型的。
关于悬挂型天车，在轨道241、24r下方设有一个物品容纳空
间。物品容纳空间下有一个开口以使盒子9在竖直方向上通过的
开口。开口也可设在天车前进方向(盒子9的传递方向)的正交
方向上的天车侧面上。盒子9可在水平方向通过这些开口。物品
容纳空间的顶板上设有一个升降机。作为水平移动装置的辊式输
送机分别设置在物品容纳空间的前面和后面。辊式输送机向前和
向后移动，从而不与通过升降机而升高和降低的盒子9相互干扰。
此外，在处理装置4的处理过程中，空盒子9被存储在处理
装置4中。但是，其也可以被临时存储在寄存部45中。
如上所述结构的本发明可产生如下效果。
首先，依据权利要求1中描述的本发明的一个方面，天车配
备有输送装置，该输送装置被构造成相对于设在行驶路径一侧的
寄存部输送和接收物品并且包含装卸的装置。与利用升降机相对
于行驶路径下方的临时物品放置装置输送和接收物品的传统结构
相比，物品可在短时间内被输送和接收，以使操作更容易、更高
效。
依据权利要求2中描述的本发明的一个方面，天车配备有输
送装置，该输送装置能在短时间内相对于上部工位输送和接收物
品，所述上部工位设置在行驶路径一侧并包含输入输出装置。这
也使操作更容易、更高效。
依据权利要求3中描述的本发明的一个方面，天车的升降机
用于相对于设在行驶路径下方的地面工位输送和接收物品，从而
提高了天车系统的通用性。
依据权利要求4中描述的本发明的一个方面，天车停在寄存
部和上部工位之间。因此，物品可在短时间内通过天车从寄存部
被输送到上部工位，或执行相反操作。当物品通过天车从寄存部
被输送到上部工位或执行相反操作时，天车仅用于转运物品。此
外，设置在天车上的物品能被装载在寄存部或上部工位上。或者，
来自寄存部或上部工位新的物品能被装载在天车上。装载和卸载
可以基本上同时进行，从而可以减少传递所要求的时间。