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本发明公开了一种三烷氧基硅烷基异氰酸酯的制备方法,具有以下步骤:将捕氯剂溶解于水中,然后加入到反应装置中并搅拌,控制温度为-50;将三光气和三烷氧基硅烷基胺分别溶解于有机溶剂中,然后分别加入到反应装置中,搅拌反应10min20min,控制温度为-510;将反应后的溶液分相,水相用有机溶剂萃取13次,合并有机相后进行干燥,抽滤、脱除有机溶剂;减压蒸馏即得三烷氧基硅烷基异氰酸酯。本发明所用的捕氯剂价格。