一种低温型水系正胶剥离液.pdf

摘要
申请专利号：	CN201010139071.1	申请日：	2010.04.01
公开号：	CN101799639A	公开日：	2010.08.11
当前法律状态：	撤回	有效性：	无权
法律详情：	发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G03F 7/42公开日:20100811\|\|\|实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20100401\|\|\|公开
IPC分类号：	G03F7/42	主分类号：	G03F7/42
申请人：	江阴市江化微电子材料有限公司
发明人：	殷福华; 栾成; 邵勇; 朱龙
地址：	214423 江苏省江阴市周庄镇三房巷开发区山泉路18号
优先权：
专利代理机构：	南京众联专利代理有限公司 32206	代理人：	何军
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内容摘要

本发明涉及一种低温型水系正胶剥离液，其特¾是它包括以下质量百分比的组份：N-甲基吡咯烷酮29～31、二甲基乙酰胺23.7～27.7、二乙二醇丁醚24～26、水17～23。本发明具有进行光阻剥离时不攻击金属层、使用工艺温度低、对环境无污染小和对人体健康伤害小的优点。

权利要求书

1.  一种低温型水系正胶剥离液，其特征是它包括以下质量百分比的组份：
N-甲基吡咯烷酮(NMP)    29～31
二甲基乙酰胺(DMAC)     23.7～27.7
二乙二醇丁醚(BDG)      24～26
水                     17～23。

说明书

一种低温型水系正胶剥离液
一、技术领域
本发明涉及一种低温型水系正胶剥离液，尤其涉及一种用于FPD面板生产的光阻剥离的低温型水系正胶剥离液。
二、背景技术
低温型水系正胶剥离液，透明易挥发性液体，易燃，密度(20℃)约为1.0g/ml。低温型水系正胶剥离液主要用于用于FPD面板生产的光阻剥离，其使用工艺温度为80℃左右；目前正胶剥离液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)和超纯水组成，该产品主要存在以下几点缺点：
①用该低温型水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击，导致产品良率降低；
②该低温型水系正胶剥离液的使用工艺温度要求较高，需加热到80℃左右，能耗较大；
③乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)对环境污染大且对人体健康有较大伤害。
④
三、技术内容
针对上述缺点，本发明的目的在于提供一种进行光阻剥离时不攻击金属层、使用工艺温度低、对环境无污染小和对人体健康伤害小的低温型水系剥离液。
本发明的技术内容为，一种低温型水系正胶剥离液，其特征是它包括以下质量百分比的组份：
N-甲基吡咯烷酮(NMP)    29～31
二甲基乙酰胺(DMAC)     23.7～27.7
二乙二醇丁醚(BDG)      24～26
水                     17～23。
本发明的低温型水系正胶剥离液的制备方法，为常规技术即为：
(1)、通过自动上料系统将原料NMP、DMAC、BDG依次打入一调配罐中，当所需要的重量达到后自动停止上料，再开动隔膜泵，经过0.5um过滤器循环过滤2小时；
(2)、将上述制得的混合液经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合液中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
本发明在不改变客户使用效果的前提下，改变配方，提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害，本方法能适用于大规模生产。
本发明与现有技术相比所具有的优点是：
1、本发明的低温型水系正胶剥离液进行光阻剥离时不会攻击金属层。
2、本发明的低温型水系正胶剥离液工艺温度条件为60℃，低于原来的工艺温度80℃，能耗降低。
3、本发明的低温型水系正胶剥离液中的组份对人体健康危害和环境污染小。
四、具体实施例
下面通过实施例进一步描述本发明，但未限于所举的实施例。
含量99％的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，电子级，江阴市江化微电子材料有限公司生产；其指标如表1

类别电子级以％计含量 ≥99.85 色度，Hazen ≤10 水分 ≤0.03 硫酸盐(SO4) ≤5×10^-5 氯化物(Cl) ≤5×10^-5 磷酸盐(PO4) ≤5×10^-5 铝(Al) ≤5×10^-7 砷(As) ≤3×10^-7 钡(Ba) ≤3×10^-7 硼(B) ≤3×10^-7 镉(Cd) ≤3×10^-7 钙(Ca) ≤1×10^-6 铬(Cr) ≤3×10^-7 钴(Co) ≤3×10^-7 铜(Cu) ≤3×10^-7 镓(Ga) ≤3×10^-7

类别电子级以％计金(Au) ≤5×10^-7 铁(Fe) ≤5×10^-7 铅(Pb) ≤3×10^-7 锂(Li) ≤3×10^-7 镁(Mg) ≤3×10^-7 锰(Mn) ≤3×10^-7 镍(Ni) ≤1×10^-6 钾(K) ≤5×10^-7 银(Ag) ≤3×10^-7 钠(Na) ≤5×10^-7 锡(Sn) ≤3×10^-7 锌(Zn) ≤1×10^-6 钛(Ti) ≤3×10^-7

表1
含量为99％的二甲基乙酰胺(DMAC)，电子级，韩国三星公司生产；其指标如表2
类别电子级以％计含量 ≥99.9 水分 ≤0.01 色度，Hazen ≤5 酸度(以HAC计) ≤0.008 碱度(以DMA计) ≤0.0005

类别电子级以％计电导率(20℃)μs/cm ≤0.5 铁(Fe) ≤5×10^-6

表2
含量为99％的二乙二醇丁醚(BDG)，电子级，德国巴斯夫生产；其指标如表3
类别电子级以％计含量 ≥99.9 水分 ≤0.01 色度，Hazen ≤5

表3
例1、称取NMP30kg，在搅拌下加入装有10kg水的反应釜中，充分搅拌均匀15分钟，加入DMAC26kg，BDG24.2kg，加水至100kg，搅拌20分钟后，将制得的混合物经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
例2、称取NMP30kg，在搅拌下加入装有10kg水的反应釜中，充分搅拌均匀15分钟，加入DMAC26kg，BDG24.5kg，加水至100kg，搅拌20分钟后，将制得的混合物经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
例3、称取NMP30kg，在搅拌下加入装有10kg水的反应釜中，充分搅拌均匀15分钟，加入DMAC26kg，BDG25kg，加水至100kg，搅拌20分钟后，将制得的混合物经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
例4、称取NMP30kg，在搅拌下加入装有10kg水的反应釜中，充分搅拌均匀15分钟，加入DMAC26kg，BDG25.5kg，加水至100kg，搅拌20分钟后，将制得的混合物经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
例5、称取NMP30kg，在搅拌下加入装有10kg水的反应釜中，充分搅拌均匀15分钟，加入DMAC26kg，BDG26kg，加水至100kg，搅拌20分钟后，将制得的混合物经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。