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氮气氛生长氮浓度可控微氮<em>硅单晶</em>的方法.pdf
直拉<em>硅单晶</em>炉热场的气流控制方法及装置.pdf
制造掺杂高挥发性异物的<em>硅单晶</em>的方法.pdf
直拉<em>硅单晶</em>炉的硅熔体液面位置及<em>单晶</em>棒直径的测量方法.pdf
直拉<em>硅单晶</em>的镓元素掺杂方法及所用掺杂装置.pdf
<em>硅单晶</em>的生产方法以及实现该方法的加热装置.pdf
一种优化碳化<em>硅单晶</em>生长的方法.pdf
一种碳化<em>硅单晶</em>切割线定位的方法.pdf
一种区熔气相掺杂<em>硅单晶</em>的生产方法.pdf
碳化<em>硅单晶</em>的制造方法和碳化硅基板.pdf
双上炉体连续加料<em>硅单晶</em>炉及其使用方法.pdf
用于重掺直拉<em>硅单晶</em>制造的掺杂方法及其掺杂漏斗.pdf
一种用<em>硅单晶</em>薄片制造晶体管的方法.pdf
一种增加直拉<em>硅单晶</em>装料量的方法及装置.pdf
碳化<em>硅单晶</em>、碳化硅晶片和半导体器件.pdf
清洗剂和碳化<em>硅单晶</em>基板的制造方法.pdf
一种提高直拉<em>硅单晶</em>生长速度的新型导流筒.pdf
一种具有晶格补偿的重掺硼<em>硅单晶</em>衬底.pdf
生产高强度直拉<em>硅单晶</em>用的籽晶的制备方法.pdf
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