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一种大<em>数值</em><em>孔径</em>物镜波像差检测装置及方法.pdf
一种大<em>数值</em><em>孔径</em>的投影物镜光学系统.pdf
一种用于大<em>数值</em><em>孔径</em>的极紫外光刻掩模结构.pdf
一种抗弯曲大芯径高<em>数值</em><em>孔径</em>多模光纤.pdf
<em>数值</em><em>孔径</em>控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法.pdf
基于快速建模的大<em>数值</em><em>孔径</em>光刻投影物镜波像差检测方法.pdf
用于高<em>数值</em><em>孔径</em>系统的静态和动态径向横向电偏振器.pdf
用于高<em>数值</em><em>孔径</em>和浸润式光刻的分级式抗反射涂层.pdf
一种大视场大<em>数值</em><em>孔径</em>紫外光投影光刻物镜镜头.pdf
一种<em>数值</em><em>孔径</em>可控的微透镜阵列的电辅助制造方法.pdf
一种高精度显微物镜<em>数值</em><em>孔径</em>的测量方法及系统.pdf
测量和监控曝光机台的<em>数值</em><em>孔径</em>的方法、控片和光掩模.pdf
一种大视场高<em>数值</em><em>孔径</em>的ILINE光刻机投影物镜.pdf
一种用于高<em>数值</em><em>孔径</em>投影光刻系统的照明模式产生装置.pdf
一种大<em>数值</em><em>孔径</em>的折反射浸没投影光学系统.pdf
一种大<em>数值</em><em>孔径</em>光刻机投影物镜波像差检测方法.pdf
一种基于数字全息的高<em>数值</em><em>孔径</em>半球面形检测系统.pdf
基于高<em>数值</em><em>孔径</em>柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置.pdf
一种基于全反射的显微物镜<em>数值</em><em>孔径</em>测量方法及系统.pdf
一种大视场高<em>数值</em><em>孔径</em>全球面光刻机投影物镜.pdf
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