《数值孔径控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《数值孔径控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法.pdf(27页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102998790 A (43)申请公布日 2013.03.27 C N 1 0 2 9 9 8 7 9 0 A *CN102998790A* (21)申请号 201210142509.0 (22)申请日 2012.05.10 10-2011-0093647 2011.09.16 KR G02B 26/02(2006.01) G02F 1/29(2006.01) G01N 21/17(2006.01) (71)申请人三星电子株式会社 地址韩国京畿道 (72)发明人崔珉硕 李昇浣 金云培 李银圣 丁奎东 张钟贤 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所 11105 代理。
2、人屈玉华 (54) 发明名称 数值孔径控制单元、可变光学探测器以及深 度扫描方法 (57) 摘要 本发明提供了数值孔径(NA)控制单元、可变 光学探测器以及深度扫描方法。该NA控制单元 包括:孔径调节单元,控制光透射穿过的孔径;以 及聚焦控制单元,设置在关于孔径调节单元的预 定位置、聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的 焦距。该可变光学探测器包括:光透射单元;准 直器,将透射穿过光透射单元的光准直为平行光; NA控制单元,将光聚焦在要被检查的样品上;以 及扫描器,改变透射穿过光透射单元的光的路径, 使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光来 扫描。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权。
3、利要求书4页 说明书11页 附图11页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 4 页 说明书 11 页 附图 11 页 1/4页 2 1.一种数值孔径控制单元,包括: 孔径调节单元,调节光透射穿过的孔径;以及 聚焦控制单元,设置在关于所述孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过所述孔径的 光并具有可调节的焦距。 2.如权利要求1所述的数值孔径控制单元,其中所述孔径调节单元包括机械光阑,所 述机械光阑的孔径尺寸被机械地调节。 3.如权利要求1所述的数值孔径控制单元,其中所述孔径调节单元包括液体光阑,所 述液体光阑的孔径尺寸利用液压来调节。 4.如权利要求1所述的数值。
4、孔径控制单元,其中所述孔径调节单元包括液体光阑,所 述液体光阑的孔径尺寸利用微电流体法来调节。 5.如权利要求4所述的数值孔径控制单元,其中所述孔径调节单元包括: 腔室,形成流体在其中流动的空间; 第一流体和第二流体,容纳在所述腔室中,彼此不混合,所述第一流体和所述第二流体 中的一个由具有光透射性质的材料形成,另一个由具有光阻挡性质或光吸收性质的材料形 成;以及 电极部分,设置在所述腔室内部,所述电极部分中布置有一个或多个电极,电压施加到 该一个或多个电极以在所述腔室中形成电场, 光通过其透射的所述孔径由所述电场引起的所述第一流体与所述第二流体之间的界 面位置的变化来调节。 6.如权利要求5所。
5、述的数值孔径控制单元,其中所述第一流体和所述第二流体中的一 个包括液体金属或极性液体,所述第一流体和所述第二流体中的另一个包括气体或非极性 液体。 7.如权利要求5所述的数值孔径控制单元,其中所述腔室的区域包括: 第一通道;和 第二通道,设置在所述第一通道上方并连接到所述第一通道, 其中所述孔径的范围由在所述第一通道和所述第二通道的每个中发生的所述第一流 体与所述第二流体之间的界面位置的变化来限定。 8.如权利要求7所述的数值孔径控制单元,其中所述第一通道由第一基板、第二基板 和第一间隔物形成,所述电极部分设置在所述第一基板上,所述第二基板与所述第一基板 间隔开并具有形成在所述第二基板的中央部。
6、分中的第一通孔以及形成在所述第二基板的 周边部分中的第二通孔,所述第一间隔物设置为形成所述第一基板与所述第二基板之间的 内部空间。 9.如权利要求8所述的数值孔径控制单元,其中所述第二通道由所述第二基板、第三 基板和第二间隔物形成,所述第三基板与所述第二基板间隔开,所述第二间隔物设置为形 成所述第二基板与所述第三基板之间的内部空间。 10.如权利要求1所述的数值孔径控制单元,其中所述聚焦控制单元包括液晶透镜,在 所述液晶透镜中液晶被施加电场梯度以引起折射率梯度从而调节所述液晶透镜的焦距。 11.如权利要求1所述的数值孔径控制单元,其中所述聚焦控制单元包括液体透镜,所 述液体透镜包括流体表面作为。
7、透镜表面并通过使流体流动来调节该透镜表面的形状从而 权 利 要 求 书CN 102998790 A 2/4页 3 调节该液体透镜的焦距。 12.如权利要求11所述的数值孔径控制单元,其中所述流体的流动由于电润湿而发 生。 13.如权利要求12所述的数值孔径控制单元,其中所述聚焦控制单元包括: 第一流体,具有光透射性质和极性性质; 第二流体,具有光透射性质并不与所述第一流体混合; 腔室,具有容纳所述第一流体和所述第二流体的内部空间; 第一表面,其是所述第一流体与所述第二流体之间的边界表面并形成所述透镜表面; 第二表面,其是所述第一流体与所述第二流体之间的边界表面并引起所述透镜表面的 曲率的变化;。
8、 第一中间板,设置在所述腔室中并具有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔限定对应 于所述透镜表面的透镜的直径,所述第二通孔形成所述第二流体的路径;以及 电极部分,形成电场以改变所述第二表面的位置。 14.如权利要求13所述的数值孔径控制单元,其中所述第一流体包括极性液体,所述 第二流体包括气体或非极性液体。 15.如权利要求11所述的数值孔径控制单元,其中所述流体的流动以加压的方式发 生。 16.一种深度扫描方法,其中光通过在深度方向上扫描样品来照射,该方法包括通过利 用权利要求1所述的数值孔径控制单元同时改变焦距和孔径尺寸来保持预定的数值孔径 (NA)。 17.一种可变光学探测器,包括: 光透射。
9、单元; 准直器,将透射穿过所述光透射单元的光准直为平行光; 权利要求1所述的数值孔径控制单元,将光聚焦在要被检查的样品上;以及 扫描器,改变光透射穿过所述光透射单元的路径,使得所述样品的预定区域被通过所 述数值孔径控制单元的光来扫描。 18.如权利要求17所述的可变光学探测器,其中所述光透射单元包括光纤。 19.如权利要求18所述的可变光学探测器,其中所述扫描器包括致动器,所述致动器 设置在所述光纤的一端上并引起所述光纤的变形以改变光的路径。 20.如权利要求18所述的可变光学探测器,其中所述扫描器包括微机电系统(MEMS)扫 描器,该微机电系统扫描器通过驱动反射镜表面来改变光的路径。 21.。
10、如权利要求20所述的可变光学探测器,其中所述微机电系统扫描器设置在所述孔 径调节单元与所述聚焦控制单元之间。 22.如权利要求21所述的可变光学探测器,还包括光路转换构件,所述光路转换构件 设置在所述孔径调节单元与所述微机电系统扫描器之间以改变透射经过所述孔径调节单 元的光的路径并使光入射在所述微机电系统扫描器上。 23.如权利要求17所述的可变光学探测器,还包括对通过所述NA控制单元的光进行象 差校正的透镜单元。 24.一种图像诊断系统,包括: 权 利 要 求 书CN 102998790 A 3/4页 4 光源单元; 权利要求17所述的可变光学探测器,用于将从所述光源单元发射的光扫描在要被检。
11、 查的组织上;以及 检测器,由该组织所反射的光来检测该组织的图像。 25.一种利用权利要求24的图像诊断系统来检测图像的方法,包括: 利用预定的数值孔径(NA)值来控制所述数值孔径控制单元,使得光聚焦在距离组织表 面的第一深度上; 扫描第一深度的预定区域并检测图像; 控制聚焦控制单元使得所述聚焦控制单元的焦距增大并且光聚焦在距离所述组织表 面的第二深度上,并控制所述孔径调节单元的孔径尺寸使得预定的数值孔径值被保持;以 及 扫描第二深度的预定区域并检测图像。 26.一种图像诊断系统,包括: 光源单元,发射光; 孔径调节单元,调节从所述光源单元发射的光所透射穿过的孔径; 聚焦控制单元,设置在距离所。
12、述孔径调节单元的预定位置,将经过所述孔径的光聚焦 在样品上,并具有可调节的焦距;以及 检测器,由所述样品反射的光来检测所述样品的图像, 其中数值孔径(NA)通过控制所述孔径调节单元和所述聚焦控制单元来控制,获得所述 样品的深度图像而没有改变所述样品与所述聚焦控制单元之间的距离。 27.如权利要求26所述的图像诊断系统,其中所述孔径调节单元包括孔径尺寸被机械 地调节的机械光阑、孔径尺寸利用液压调节的液体光阑、或者孔径尺寸利用微电流体法调 节的液体光阑。 28.如权利要求26所述的图像诊断系统,其中所述聚焦控制单元包括液体透镜,所述 液体透镜将流体表面定义为透镜表面并通过使流体流动来调节该透镜表面。
13、的形状,从而调 节所述液体透镜的焦距。 29.如权利要求28所述的图像诊断系统,其中该流体流动由于电润湿或以加压的方式 而发生。 30.如权利要求26所述的图像诊断系统,其中所述聚焦控制单元包括液晶透镜,在所 述液晶透镜中液晶被施加电场梯度以引起折射率梯度从而调节所述液晶透镜的焦距。 31.如权利要求26所述的图像诊断系统,还包括扫描器,该扫描器将从所述光源单元 发射的光扫描在所述样品的预定水平区域中。 32.一种图像诊断方法,包括: 从光源单元发射光; 控制数值孔径(NA)并将光聚焦在样品的预定位置上;以及 检测从所述样品反射的光。 33.如权利要求32所述的图像诊断方法,还包括分开从所述光。
14、源单元朝向所述样品发 射的光的路径与从所述样品反射的光的路径。 34.如权利要求32所述的图像诊断方法,还包括将从所述光源单元发射的光调制为预 权 利 要 求 书CN 102998790 A 4/4页 5 定的相干光。 35.如权利要求34所述的图像诊断方法,其中将从所述光源单元发射的光调制为预定 的相干光包括:将从所述光源单元发射以朝向参考反射镜照射的光中的一些分开以及利用 从该参考反射镜反射的光来形成相干光。 36.如权利要求32所述的图像诊断方法,还包括对由检测器检测的信号进行信号处理 以产生图像信号。 权 利 要 求 书CN 102998790 A 1/11页 6 数值孔径控制单元、 。
15、可变光学探测器以及深度扫描方法 技术领域 0001 本公开涉及控制数值孔径(NA)的数值孔径(NA)控制单元、包括该NA控制单元的 可变光学探测器以及利用该NA控制单元的深度扫描方法。 背景技术 0002 对于在人体皮肤组织的下层上进行精确断层扫描的技术的需求以及对于关于医 学成像领域中人体皮肤组织的信息的需求正在增加。特别地,由于大部分癌症开始于上皮 的下部细胞中并扩展到皮下组织(其中存在血管)的细胞中,如果能够检测早期的癌症,就 能够极大地减少由癌症引起的伤害。在现有的成像技术诸如磁共振成像(MRI)、x射线计算 机断层扫描(CT)、超声波扫描术等中,当光穿透到人体皮肤组织中时,可以对人体。
16、皮肤组织 内部的层进行断层扫描。然而,由于进行这样的成像技术的装置的分辨率低,可能不能检测 肿瘤较小的早期癌症。另一方面,在已经于近期引入的光学相干断层扫描(OCT)技术中,光 穿透到皮肤中的深度为约2mm至约3mm,因此与现有的成像方法相比该深度较小。进行OCT 技术的装置的分辨率为超声装置的约10倍,因此与进行其他现有成像方法的装置相比较 高。因此,已经开展了致力于通过OCT来检测早期癌症的研究,其中的肿瘤尺寸为约50m 至约100m。然而,由于进行这样的OCT技术的装置的分辨率低于显微镜的分辨率,所以 OCT技术不能替代在检测癌症中实际使用的活组织检查和组织学。 0003 一些OCT研究。
17、者近来开展了研究,通过结合OCT和高分辨表面断层扫描诸如共焦 显微镜检查的特性,其最终目标是实时进行组织内部的癌症诊断而不用进行活组织检查。 然而,显微镜要具有一套光学系统,该系统具有相对高的数值孔径(NA)从而在水平方向实 现相对高的分辨率,而OCT装置需要具有一套光学系统,该系统具有相对低的NA以在深度 方向具有相对均匀的斑点尺寸,也就是相对大的聚焦深度(DOF),从而获得深度信息。 发明内 容 0004 本发明提供了通过选择性地或同时地进行聚焦调整和数值孔径(NA)控制来控制 数值孔径(NA)的数值孔径(NA)控制单元、包括该NA控制单元的可变光学探测器以及利用 该NA控制单元的深度扫描。
18、方法。 0005 额外的方面将部分地在以下的描述中给出,并将部分地从该描述而显然,或者可 以通过实践给出的实施例而习知。 0006 根据本发明的一方面,一种数值孔径(NA)控制单元包括:孔径调节单元,调节光 透射穿过的孔径;以及聚焦控制单元,设置在关于孔径调节单元的预定位置,聚焦穿过孔径 的光并具有可调节的焦距。 0007 孔径调节单元可以包括机械光阑,其孔径尺寸被机械地调节。 0008 孔径调节单元可以包括液体光阑,其孔径尺寸利用液压来调节。 0009 孔径调节单元可以包括液体光阑,其孔径尺寸利用微电流体法来调节。 0010 孔径调节单元可以包括:腔室,形成流体在其中流动的空间;第一流体和第。
19、二流 说 明 书CN 102998790 A 2/11页 7 体,容纳在腔室中,彼此不混合,它们中的一个由具有光透射性质的材料形成,另一个由具 有光阻挡性质或光吸收性质的材料形成;以及电极部分,设置在腔室内部,该电极部分中布 置有一个或多个电极,电压施加到该一个或多个电极从而在腔室中形成电场,光通过其透 射的孔径由电场引起的第一流体与第二流体之间的界面位置的变化来调节。 0011 第一流体和第二流体中的一个可以包括液体金属或极性液体,第一流体和第二流 体中的另一个可以包括气体或非极性液体。 0012 腔室的区域可以包括:第一通道;第二通道,设置在第一通道上方并连接到第一 通道,孔径的范围通过在。
20、第一通道和第二通道的每个中发生的第一流体与第二流体之间的 界面位置的变化来限定。 0013 第一通道可以通过如下形成:第一基板,电极部分设置在第一基板上;第二基板, 与第一基板间隔开并具有形成在第二基板的中央部分中的第一通孔以及形成在第二基板 的周边部分中的第二通孔;以及第一间隔物,设置为形成第一基板与第二基板之间的内部 空间。 0014 第二通道可以通过如下形成:第二基板;第三基板,与第二基板间隔开;以及第二 间隔物,设置为形成第二基板与第三基板之间的内部空间。 0015 聚焦控制单元可以包括液晶透镜,其中液晶被施加电场梯度以引起折射率梯度从 而调节液晶透镜的焦距。 0016 聚焦控制单元可。
21、以包括液体透镜,该液体透镜包括流体表面作为透镜表面并通过 使流体流动来调节该透镜表面的形状从而调节该液体透镜的焦距。 0017 流体的流动可以由于电润湿发生。 0018 聚焦控制单元可以包括:第一流体,具有光透射性质和极性性质;第二流体,具有 光透射性质并不与第一流体混合;腔室,具有容纳第一流体和第二流体的内部空间;第一 表面,其是第一流体与第二流体之间的边界表面并形成透镜表面;第二表面,其是第一流体 与第二流体的边界表面并引起透镜表面的曲率的变化;第一中间板,设置在腔室中并具有 第一通孔和第二通孔,该第一通孔限定对应于透镜表面的透镜的直径,该第二通孔形成第 二流体的路径;以及电极部分,形成电。
22、场从而改变第二表面的位置。 0019 第一流体可以包括极性液体,第二流体可以包括气体或非极性液体。 0020 根据本发明的另一方面,通过在深度方向上扫描样品来照射光的深度扫描法包 括:通过利用数值孔径(NA)控制单元同时改变焦距和孔径尺寸来保持预定的数值孔径 (NA)。 0021 根据本发明的另一方面,一种可变光学探测器包括:光透射单元;准直器,将透射 穿过光透射单元的光准直为平行光;NA控制单元,将光聚焦在要被检查的样品上;以及扫 描器,改变透射穿过光透射单元的光的路径,使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光 来扫描。 0022 光透射单元可以包括光纤。 0023 扫描器可以包括致动器,该。
23、致动器设置在光纤的一端上并引起光纤的变形以改变 光的路径,或者扫描器可以包括微机电系统(MEMS)扫描器,该MEMS扫描器通过驱动反射镜 表面来改变光的路径。 0024 根据本发明的另一方面,一种图像诊断系统包括:光源单元;可变光学探测器,用 说 明 书CN 102998790 A 3/11页 8 于将从光源发射的光扫描在要被检查的组织上;以及检测器,由从该组织反射的光来检测 组织的图像。 0025 根据本发明的另一方面,一种通过利用图像诊断系统来检测图像的方法包括:利 用预定的数值孔径(NA)值来控制NA控制单元,使得光聚焦在距离组织表面的第一深度上; 扫描第一深度的预定区域并检测图像;控制。
24、聚焦控制单元使得聚焦控制单元的焦距增大并 且光聚焦在距离组织表面的第二深度上,并控制孔径调节单元的孔径尺寸使得预定的NA 值被保持;以及扫描第二深度的预定区域并检测图像。 0026 根据本发明的另一方面,一种图像诊断系统包括:光源单元,发射光;孔径调节单 元,调节从光源单元发射的光所透射穿过的孔径;聚焦控制单元,设置在距离孔径调节单元 的预定位置,将经过孔径的光聚焦在样品上,并具有可调节的焦距;以及检测器,由从样品 反射的光来检测样品的图像,其中数值孔径(NA)通过控制孔径调节单元和聚焦控制单元来 控制,获得样品的深度图像而没有改变样品与聚焦控制单元之间的距离。 0027 孔径调节单元可以包括。
25、孔径尺寸被机械地调节的机械光阑、孔径尺寸利用液压调 节的液体光阑、或者孔径尺寸利用微电流体法调节的液体光阑。 0028 聚焦控制单元可以包括液体透镜,该液体透镜将流体表面定义为透镜表面并通过 使流体流动来调节透镜表面的形状,从而改变液体透镜的焦距。 0029 流体流动可以由于电润湿或以加压的方式而发生。 0030 聚焦控制单元可以包括液晶透镜,该液晶透镜中的液晶被施加电场梯度以引起折 射率梯度从而调节液体透镜的焦距。 0031 图像诊断系统还可以包括扫描器,该扫描器将从光源单元发射的光扫描在样品的 预定水平区域中。 0032 根据本发明的另一方面,一种图像诊断方法包括:从光源单元发射光;控制数。
26、值 孔径(NA)并将光聚焦在样品的预定位置上;以及检测从样品反射的光。 0033 该图像诊断方法还可以包括分开从光源单元朝向样品发射的光的路径与从样品 反射的光的路径。 0034 该图像诊断方法还可以包括将从光源单元发射的光调制为预定的相干光。将从光 源单元发射的光调制为预定的相干光可以包括:将从光源单元反射以朝向参考反射镜照射 的光中的一些分开以及利用从参考反射镜反射的光来形成干涉光。 0035 该图像诊断方法还可以包括对由检测器检测的信号进行信号处理以产生图像信 号。 附图说明 0036 从以下结合附图对实施例的描述,这些和/或其他的方面将变得明显并更易于理 解,在附图中: 0037 图1。
27、A和图1B示出根据本发明示范性实施例的具有不同NA值的数值孔径(NA)控 制单元的示意结构; 0038 图2是用于解释水平分辨率与聚焦深度(DOF)之间的关系根据由聚焦光学构件定 义的NA的概念图; 0039 图3示出根据本发明示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单元中 说 明 书CN 102998790 A 4/11页 9 的孔径调节单元; 0040 图4示出根据本发明另一示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单 元中的孔径调节单元; 0041 图5示出根据本发明示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单元中 的聚焦控制单元; 0042 图6示出根据本发明另一示。
28、范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单 元中的聚焦控制单元; 0043 图7示出根据本发明另一示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单 元中的聚焦控制单元; 0044 图8A至图8C示出根据本发明示范性实施例的利用图1A和图1B所示的NA控制 单元的深度扫描方法,通过该方法,在样品中的不同深度处保持相同的水平分辨率; 0045 图9示出根据本发明示范性实施例的可变光学探测器的示意结构; 0046 图10示出根据本发明另一示范性实施例的可变光学探测器的示意结构; 0047 图11示出根据本发明另一示范性实施例的可变光学探测器的示意结构; 0048 图12示出根据本发明另一示范。
29、性实施例的可变光学探测器的示意结构; 0049 图13A和图13B是根据本发明示范性实施例的图像诊断系统的示意结构的方框 图; 0050 图14示出用于解释根据本发明示范性实施例的图13A和图13B所示的图像诊断 系统的各种操作模式的设计窗口;以及 0051 图15是示出根据本发明示范性实施例的利用图13A和图13B所示的图像诊断系 统来检测图像的方法的流程图。 具体实施方式 0052 现在将详细参照实施例,实施例的示例在附图中示出,其中相似的附图标记始终 指代相似的元件。就此而言,本发明的实施例可以具有不同的形式,而不应被解释为限于这 里给出的描述。因而,以下通过参照附图仅描述实施例来解释本。
30、说明书的多个方面。在附 图中,为了清晰和方便,元件的尺寸可以被夸大。如这里所用的,术语“和/或”包括一个或 多个所列相关项目的任何及所有组合。诸如“中的至少一个”的术语,当用于一列元件时, 修改了元件的整个列表,单不修改该列表的单个元件。 0053 图1A和图1B示出根据本发明示范性实施例的具有不同NA值的数值孔径(NA)控 制单元1000的示意结构。 0054 参照图1A和图1B,NA控制单元1000包括:孔径调节单元VA,其中调节光所透射 穿过的孔径;以及聚焦控制单元VF,聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的焦距。 0055 孔径调节单元VA调节光所透射穿过的孔径,从而调节从其透射穿过的入射。
31、光束 的直径。例如,当孔径调节到D1时,如图1A所示,穿过孔径调节单元VA的平行光束的直径 为D1,当孔径被调节为D2时,如图1B所示,穿过孔径调节单元VA的平行光束的直径为D2。 孔径调节单元VA可以是孔径尺寸被机械地调节的机械光阑、或者孔径尺寸利用液压诸如 泵等调节的液体光阑。此外,孔径尺寸利用微电流体(micro-electr ical fluid)法调节的 液体光阑可以用作孔径调节单元VA。以下将描述液体光阑的详细结构。 说 明 书CN 102998790 A 5/11页 10 0056 聚焦控制单元VF设置在关于孔径调节单元VA的预定位置处并聚焦穿过孔径的 光。聚焦控制单元VF包括透。
32、镜表面以改变光的形状,聚焦控制单元VF改变透镜表面以调 节聚焦控制单元VF的焦距。例如,如图1A所示,透镜表面的曲率可以被调节使得焦距控制 单元VF具有焦距f1,或者如图1B所示,透镜表面的曲率被进一步减小使得聚焦控制单元 VF具有更长的焦距f2。聚焦控制单元VF可以是液晶透镜,其中液晶被施加电场梯度以引 起折射率的梯度从而调节液晶透镜的焦距。备选地,聚焦控制单元VF可以是液体透镜,该 液体透镜包括流体表面作为透镜表面并通过使液体流动来调节透镜表面的形状从而调节 液体透镜的焦距。根据如何使流体流动,液体透镜可以是压力型液体透镜或电润湿液体透 镜,以下将描述液体透镜的详细结构。 0057 如上所。
33、述,NA控制单元1000形成为使得孔径和焦距两者或者选择性地使孔径或 焦距可以被调节使得可以产生一光束,该光束具有适于检查该光束将要照射的物体的水平 分辨率和聚焦深度(DOF)。以下将描述水平分辨率与DOF之间的关系。 0058 图2是用于解释水平分辨率与聚焦深度(DOF)之间的关系根据由聚焦光学构件FE 定义的NA的概念图。 0059 当光束被聚焦时,它没有被聚焦到无限小的点,而是具有有限的尺寸x,x由 孔径D和焦距f定义,如公式1所示。 0060 0061 其中x与水平分辨率相关,当x减小时,水平分辨率增大。如公式1所示,x 与f/D成比例。同时,NA与D/f成比例,当需要相对高的水平分辨。
34、率时,x相对小,因此具 有相对大的NA的光学系统将被提供。 0062 DOF是光束的直径小于或等于x的范围并利用公式2定义: 0063 0064 DOF是束斑点尺寸沿深度方向相对均匀的范围,当获得深度图像信息例如人体组 织的断层扫描图像时,具有相对大的DOF也就是具有相对小的NA的光学系统将被提供。 0065 这样,水平分辨率和DOF具有折衷的关系,因而,将实现具有适于检查目的的NA的 光学系统。 0066 图1A和图1B所示的NA控制单元1000可以通过包括孔径调节单元VA和聚焦控 制单元VF来控制其NA。因此,NA控制单元1000可以实现为适于检查目的的光学系统。 0067 在下文将描述可。
35、以使用在NA控制单元1000中的孔径调节单元VA和聚焦控制单 元VF的各种示例。 0068 图3示出根据本发明示范性实施例的可用于图1所示的NA控制单元1000中的孔 径调节单元101。 0069 孔径调节单元101可以形成为使得流体由于电润湿而流动并且光透射穿过的孔 径A的尺寸根据该流体的流动来调节。孔径调节单元101包括:腔室,形成流体在其中流动 的空间;第一流体F1和第二流体F2,容纳在腔室中,不彼此混合,它们中的一个由具有光透 射性质的材料形成,另一个由具有光阻挡性质或光吸收性质的材料形成;以及电极部分,设 置在腔室里面,其中布置一个或多个电极,电压施加到该一个或多个电极从而在腔室中形。
36、 说 明 书CN 102998790 A 10 6/11页 11 成电场。光透射穿过的孔径A由于由电场引起的第一流体F1与第二流体F2之间的界面位 置的变化来调节。 0070 具体地,腔室的区域包括第一通道C1和第二通道C2,第二通道C2设置在第一通道 C1上方并连接到第一通道C1。孔径A的范围由第一流体F1与第二流体F2之间的界面位 置的变化来限定,该变化发生在第一通道C1和第二通道C2的每个中。第一通道C1可以通 过如下形成:第一基板110;第二基板150,与第一基板110间隔开并具有形成在第二基板 150的中央部分中的第一通孔TH1以及形成在第二基板150的周边部分中的第二通孔TH2; 。
37、以及第一间隔物130,设置来形成第一基板110与第二基板150之间的内部空间。此外,第 二通道C2可以通过如下形成:第二基板150;第三基板190,与第二基板150间隔开;以及 第二间隔物170,设置来形成第二基板150与第三基板190之间的内部空间。 0071 第一流体F1和第二流体F2中的一个可以是液体金属或极性液体,其中的另一个 可以是气体或非极性液体。 0072 电极部分包括:第一电极部分120,形成在第一基板110上并包括用绝缘材料I涂 覆的一个或多个电极E;以及第二电极部分180,形成在第三基板190上并包括用绝缘材料 I涂覆的一个或多个电极E。 0073 第一电极部分120可以包。
38、括多个电极E从而以数字的方式控制孔径A。 0074 接地电极部分R可以在腔室中的一个或多个位置保持与极性流体例如极性第一 流体F1接触,并可以设置在第一基板110上,如图3所示,但是不限于图3所示的位置。 0075 包括第一电极部分120和第二电极部分180的电极部分可以由透明导电材料形 成,例如,金属氧化物诸如铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)等、由金(Au)、银(Ag)等形 成的金属纳米颗粒扩散薄层、碳纳米结构诸如碳纳米管(CNT)、石墨烯等、或导电聚合物诸 如聚3,4-乙撑二氧噻吩(poly(3,4-ethylenedioxythiophene),PEDOT)、聚吡咯(PPy)、。
39、聚 (3-己基噻吩)(poly(3-hexylthiophene),P3HT)等。 0076 接地电极部分R根据其布置并不一定具有光透射性质,可以形成为由金(Au)、银 (Ag)、铝(Al)、铬(Cr)、钛(Ti)等形成的金属薄层。 0077 电润湿现象是当沉积在用绝缘体涂覆的电极上的电解质液滴的接触角由于施加 到电解质液滴的电压而变化时的现象。也就是,电解质液滴的接触角由于在流体、液滴和绝 缘体彼此接触的三相接触线(TCL)处的每个界面张力而变化。当利用电润湿现象时,流体 的流动可以利用低电压快速且有效地调节,并且流体可以被可逆地传输和调节。 0078 当适当的电压施加到第一电极部分120的。
40、一个电极E时,电机械力作用于被激活 的驱动电极E上的TCL上,也就是在第一流体F1、第二流体F2和绝缘材料I彼此接触处的 切线上,使得第一流体F1通过第一通道C1移动到腔室的中间部分,并且孔径A可以减小。 此外,当适当的电压施加到第二电极部分180时,第一流体F1通过第二通道C2移动到腔室 的中央部分,第一通道C1的TCL被向外推动到通道C1的角落,孔径A可以被扩大。当第一 电极部分120包括多个电极E时,孔径A的尺寸可以随着电极E被激活和驱动而以数字的 方式调节。 0079 图4示出根据本发明另一示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单 元1000的孔径调节单元102。 0080 。
41、图4所示的孔径调节单元102与图3所示的孔径调节单元101的不同之处在于, 说 明 书CN 102998790 A 11 7/11页 12 图4的孔径调节单元102还包括第三电极部分320和第四电极部分380,其设置在第二基板 150的相反两侧上并由涂覆有绝缘材料I的一个或多个电极E形成。第三电极部分320与 第一电极部分120一起用于增大在第一通道C1处产生的驱动力,第四电极部分380与第二 电极部分180一起用于增大在第二通道C2处产生的驱动力。第三电极部分320和第四电 极部分380的电极的数目不限于图4所示的电极的数目。此外,尽管第三电极部分320和 第四电极部分380分别设置在第二基。
42、板150的相反两侧上,但这仅是示范性的,第三电极部 分320或第四电极部分380可以仅设置在第二基板150的一侧上。 0081 图5示出根据本发明示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单元1000 中的聚焦控制单元201。 0082 聚焦控制单元201可以具有液体透镜,该液体透镜包括流体表面作为透镜表面并 通过使流体流动来调节透镜表面的形状从而调节液体透镜的焦距。图5的聚焦控制单元 201具有其中流体由于电润湿而流动的结构。 0083 参照图5,具体地,第一流体TF1和第二流体TF2被容纳在腔室中,第一流体TF1具 有光透射性质且是极性的,第二流体TF2具有光透射性质并且不与第一流体。
43、TF1混合。第 一流体TF1与第二流体TF2之间的边界表面包括形成透镜表面的第一表面LS以及引起透 镜表面的曲率变化的第二表面IS。此外,电极部分设置在腔室中,该电极部分形成电场从而 改变第二表面IS的位置。为了形成第一流体TF1与第二流体TF2之间的边界表面处的第 一表面LS(其形成透镜表面)和第二表面IS(其引起透镜表面的曲率的变化),第一中间板 250设置在腔室中。第一中间板250具有第一通孔TH1和第二通孔TH2,该第一通孔TH1限 定对应于透镜表面的透镜的直径,该第二通孔TH2形成第二流体TF2的路径。 0084 下基板210和上基板290可以分别关于第一中间板250的下部和上部设置。
44、,间隔 部分可以设置在下基板210与第一中间板250之间以及第一中间板250与上基板290之间 从而形成下基板210与上基板290之间的内部空间。间隔部分包括设置在下基板210与第 一中间板250之间的第一间隔物230以及设置在第一中间板250与上基板290之间的第二 间隔物270。 0085 下基板210、第一中间板250和上基板290可以由具有光透射性质的材料形成。 0086 第一流体TF1和第二流体TF2包括具有不同折射率的光透射流体。第一流体TF1 可以是极性液体,第二流体TF2可以是气体或非极性液体。 0087 如图5所示,电极部分包括:第一电极部分220,形成在下基板210的顶表面。
45、上并 包括其表面用绝缘材料I涂覆的电极E;以及第二电极部分280,形成在第一中间板250的 底表面上并包括其表面用绝缘材料I涂覆的电极E。然而,可以仅提供第一电极部分220和 第二电极部分280中的一个。 0088 此外,聚焦控制单元201还可以包括设置为接触第一流体TF1的接地电极R。接地 电极R设置在第一基板210上,但是可以设置在任意位置,只要在电压不施加到接地电极R 时接地电极R可以接触第一流体TF1。接地电极R可以被选择性地设置,当设置接地电极R 时,可以减小用于驱动聚焦控制单元201的电压。 0089 包括第一电极部分220和第二电极部分280的电极部分可以由透明导电材料形 成,例。
46、如金属氧化物诸如铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)等、由金(Au)、银(Ag)等形成 的金属纳米颗粒扩散薄层、碳纳米结构诸如碳纳米管(CNT)、石墨烯等、或导电聚合物诸如 说 明 书CN 102998790 A 12 8/11页 13 聚3,4-乙撑二氧噻吩(PEDOT)、聚吡咯(PPy)、聚(3-己基噻吩)(P3HT)等。接地电极R可 以由如上所述的透明导电材料形成,但是当接地电极R根据其布置不一定具有光透射性质 时,接地电极R可以形成为由金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、铬(Cr)、钛(Ti)等形成的金属薄层。 0090 在聚焦控制单元201中,施加到第二表面IS的压力由于电润湿。
47、驱动而变化,使得 第一表面LS也就是透镜表面的曲率被调节。在当前实施例中,第一电极部分220和第二电 极部分280的每个包括一个电极E,第二表面IS的位置通过调节施加到电极E的电压的大 小而改变。当电压不施加到电极E或者减小施加到电极E的电压的大小时,第二表面IS移 动到电极E之间的中央部分,第一表面LS可以变得更凸出。当施加到电极E的电压的大小 增加时,第二表面IS移动到电极E的相反两侧,因此第一表面LS的曲率可以被减小,当施 加到电极E的电压的大小增加得更多时,第一表面LS可以变得凹入。 0091 图6示出根据本发明另一示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单 元1000中的聚焦。
48、控制单元202。 0092 图6所示的聚焦控制单元202与图5所示的聚焦控制单元201的不同在于:第一 电极部分222和第二电极部分282的每个包括用绝缘材料I涂覆的多个电极E。通过选择 第一电极部分222和第二电极部分282的多个电极E中的一部分并施加电压到该部分电极 E,第一表面LS(其是透镜表面)的曲率可以以数字的方式调节。 0093 也就是,当从电极E当中选择一个并且适当的电压施加到所选的电极E时,电机械 力作用于所选电极E的TCL上,也就是作用于第二表面IS(其是第一流体F1与第二流体F2 之间的边界表面)和绝缘材料I彼此接触的切线上,因此确定第二表面IS的位置并限定第 一表面LS的。
49、曲率。当设置在最里面位置的电极E从电极E当中选出并且适当的电压施加 到所选的电极E时,第二表面IS的位置移动到电极E之间的中央部分并且第一表面LS的 曲率可以被增大。此外,当设置在最外面位置的电极E从电极E当中选出并且适当的电压 施加到所选的电极E时,第二表面IS的位置移动到电极E的相反两侧,并且第一表面LS的 曲率可以被减小或者具有凹入的形状。 0094 尽管在图6中设置了第一电极部分222、第二电极部分282和接地电极R的全部, 但是可以仅设置第一电极部分222和第二电极部分282中的一个,可以不提供接地电极R。 0095 图7示出根据本发明另一示范性实施例的可用于图1A和图1B所示的NA控制单 元1000中的聚焦控制单元203。 0096 根据当前实施例的聚焦控制单元203具有流体以被加压的方式流动从而改变透 镜表面的曲率的结构。聚焦控制单元203包括设置在腔室的内部空间380中。