可提高模态性能的支架.pdf

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1、10申请公布号CN101963271A43申请公布日20110202CN101963271ACN101963271A21申请号201010297152422申请日20100929F16M11/2020060171申请人上海微电子装备有限公司地址201203上海市张东路1525号72发明人魏巍74专利代理机构上海思微知识产权代理事务所普通合伙31237代理人屈蘅李时云54发明名称可提高模态性能的支架57摘要本发明提出一种可提高模态性能的支架，支架包括左侧板、后侧板、右侧板、前侧板，依次相互连接且前侧板与后侧板平行且具有相对应的孔。支架还包括顶板、底板，相互平行，左侧板、后侧板、右侧板、前侧板、顶。

2、板和底板围合成为一个箱体形状。支架还包括双头螺栓或者弹簧，通过的相对应的孔贯穿前侧板与后侧板。两个螺母，分别在前侧板与后侧板的外侧锁附双头螺栓，通过调整螺母或弹簧，能够提高支架的模态性能。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图2页CN101963272A1/1页21一种可提高模态性能的支架，其特征是，包括左侧板、后侧板、右侧板、前侧板，依次相互连接且所述前侧板与后侧板平行且具有相对应的孔；所述左侧板、后侧板、右侧板、前侧板、顶板和底板围合成为一个箱体形状；双头螺栓，通过所述的相对应的孔贯穿所述前侧板与后侧板；以及两个螺母，分别在所述前侧板与后。

3、侧板的外侧锁附所述双头螺栓，通过调整所述螺母，调节所述支架的模态性能。2一种可提高模态性能的支架，其特征是，包括左侧板、后侧板、右侧板、前侧板，依次相互连接且所述前侧板与后侧板平行且具有相对应的孔；所述左侧板、后侧板、右侧板、前侧板、顶板和底板围合成为一个箱体形状；两个弹簧座，分别通过所述的相对应的孔；弹簧，连接所述两个弹簧座，所述弹簧座与弹簧贯穿所述前侧板与后侧板；以及两个螺母，分别在所述前侧板与后侧板的外侧锁附所述两个弹簧座，通过调整所述弹簧的预紧力或将所述弹簧更换不同刚度的其他弹簧，调节所述支架的模态性能。3根据权利要求1或2所述的可提高模态性能的支架，其特征是，还包括中隔板，抵接所述前。

4、侧板、后侧板。4根据权利要求1或2所述的可提高模态性能的支架，其特征是，还包括平垫片，位于所述两个螺母与所述前侧板、后侧板之间。权利要求书CN101963271ACN101963272A1/3页3可提高模态性能的支架技术领域0001本发明涉及一种固定装置，且特别涉及一种可提高模态性能的固定装置。背景技术0002在光学装置，尤其是光刻机的结构当中，激光干涉仪支架结构作为激光干涉仪的支撑结构，其振动性能受到关注。该支架结构的模态性能和结构的动态响应性能将直接影响激光干涉仪的动态稳定性继而影响激光干涉仪的测量精度。0003为了达到较好的模态性能要求，激光干涉仪支架通常采用板材组成的箱体式结构，这种结。

5、构的优点是在提供激光干涉仪支架支撑功能的前提下，通过减轻自身的质量来提高模态性能。0004由于结构振动性能设计多依赖于有限元仿真分析，仿真分析过程是建立在理想的数学模型基础上，但是实际的结构件制造过程中很多客观因素都是无法模拟和分析的，包括结构的材料均匀特性，结构的加工工艺特性，结构的装配工艺特性，都会使制造出的结构件的模态性能和设计仿真分析结果存在一定差距。0005若支架中不设置能够调节其模态性能的结构，在经过仿真分析、制造等过程之后，该支架的模态性能就已经固定，无法根据其工作环境在另行调节其模态性能。发明内容0006本发明提供了一种能够调节模态性能的激光干涉仪箱体式支架结构，该结构往往用于。

6、零件加工制造以后，如若在测试当中发现无法满足原先设计的模态要求，可以采取改变弹簧或螺栓预紧力的方式，提高支架的模态。0007为了达到上述目的，本发明提出一种可提高模态性能的支架，包括0008左侧板、后侧板、右侧板、前侧板，依次相互连接且前侧板与后侧板平行且具有相对应的孔；0009左侧板、后侧板、右侧板、前侧板、顶板和底板围合成为一个箱体形状；0010双头螺栓，通过的相对应的孔贯穿前侧板与后侧板；以及0011两个螺母，分别在前侧板与后侧板的外侧锁附双头螺栓，通过调整螺母，能够提高支架的模态性能。0012本发明还提出一种可提高模态性能的支架，包括0013左侧板、后侧板、右侧板、前侧板，依次相互连接。

7、且前侧板与后侧板平行且具有相对应的孔；0014左侧板、后侧板、右侧板、前侧板、顶板和底板围合成为一个箱体形状；0015两个弹簧座，分别通过的相对应的孔；0016弹簧，连接两个弹簧座，弹簧座与弹簧贯穿前侧板与后侧板；以及0017两个螺母，分别在前侧板与后侧板的外侧锁附两个弹簧座，通过调整弹簧的预紧力或将弹簧更换不同刚度的其他弹簧，能够提高支架的模态性能。说明书CN101963271ACN101963272A2/3页40018进一步说，可提高模态性能的支架，还包括中隔板，抵接前侧板、后侧板。0019进一步说，可提高模态性能的支架，还包括平垫片，位于两个螺母与前侧板、后侧板之间。0020本发明提供的。

8、可提高模态性能的支架，该结构对固有支架进行简单改造就可达到提高支架模态性能的目的。该支架的结构不同于以往的仅仅依靠制造前仿真分析优化得到的结构，而是在支架结构加工完成后，可以根据模态测试结果，在结构刚度薄弱处打通孔，增加相应的螺栓和弹簧结构，并且通过改变螺栓和弹簧提供的预紧力来提高相邻薄板结构的刚度，从而达到提高整体结构模态的目的。附图说明0021图1所示为本发明较佳实施例的可提高模态性能的支架的立体结构示意图。0022图2所示为图1中的AA截面图。具体实施方式0023为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。0024图1所示为本发明较佳实施例的可提高模态性能的支架的立。

9、体结构示意图。图2所示为图1中的AA截面图。请结合参考图1和图2。0025支架为箱体式支架，包括左侧板1、后侧板2、右侧板8、前侧板10依次相互连接，其中后侧板2与前侧板10相互平行。支架还包括顶板12和底板13相互平行，并且顶板12和底板13垂直于左侧板1、后侧板2、右侧板8、前侧板10，左侧板1、后侧板2、右侧板8、前侧板10、顶板12和底板13围合成为一个箱体形状，而激光干涉仪图未示能够放置于其上。0026其中左侧板1、后侧板2、右侧板8、前侧板10、顶板12和底板13均为薄板结构。0027在图1和图2中左侧板1和右侧板8是相互平行的，在其他实施例中，左侧板1和右侧板8则不一定需要平行，。

10、可以根据需求设置。0028为了增加支架的模态性能，支架还包括中隔板7，中隔板7抵接后侧板2与前侧板10。0029支架还包括右支柱9、左支柱11和后支柱6。右支柱9位于左侧板11与前侧板10的交接处，左支柱11位于前侧板10与右侧板8的交接处，后支柱6位于后侧板2的中间位置。通过右支柱9、左支柱11和后支柱6，支架能够被放置在平面上。0030值得注意的是，支架的前侧板10与后侧板2上分别具有相对应的孔，双头螺栓3依次通过前侧板10与后侧板2的孔，贯穿前侧板10与后侧板2。两个螺母4分别在前侧板10与后侧板2的外侧锁附在双头螺栓3上。双头螺栓3固定贯穿于支架。通过调整螺母4能够调整双头螺栓3的预紧。

11、力，从而整个支架的模态性能能够得到调整。0031两个螺母4与前侧板10、后侧板2之间的位置还可以设置平垫片5，起到增大承力面积、锁紧的作用。0032支架的前侧板10与后侧板2上还可以设置另外的分别具有相对应的孔，两个弹簧座16分别通过前侧板10与后侧板2的孔，两个弹簧座16之间利用弹簧17相互连接。两个螺母4分别在前侧板10与后侧板2的外侧锁附在两个弹簧座16上。两个弹簧座16与说明书CN101963271ACN101963272A3/3页5弹簧17固定贯穿于支架。通过调整螺母4能够调整弹簧17的预紧力，从而整个支架的模态性能能够得到调整。也可以通过将弹簧更换不同刚度的其他弹簧，来调整整个支架。

12、的模态性能。0033两个螺母4与前侧板10、后侧板2接触的位置还可以设置平垫片5，起到增大承力面积、锁紧的作用。0034虽然在较佳实施例中双头螺栓3的数量为一个，弹簧17的数量为一个，然而在其他实施例中，可以根据需要设置一个以上双头螺栓3或弹簧17。当然，也并不限定支架必须同时使用双头螺栓3和弹簧17，可以根据需要仅设置双头螺栓3或弹簧17。0035本发明提供了一种可提高模态性能的支架，该结构对固有支架进行简单改造就可达到提高支架模态性能的目的。该支架的结构不同于以往的仅仅依靠制造前仿真分析优化得到的结构，而是在支架结构加工完成后，可以根据模态测试结果，在结构刚度薄弱处打通孔，增加相应的螺栓或弹簧结构，并且通过改变螺栓或弹簧提供的预紧力来提高相邻薄板结构的刚度，从而达到提高整体结构模态的目的。0036虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。说明书CN101963271ACN101963272A1/2页6图1说明书附图CN101963271ACN101963272A2/2页7图2说明书附图CN101963271A。