多室型热处理装置及温度控制方法 技术领域 本发明涉及将处理对象物在加热室内加热处理、 接着移动到冷却室内、 在冷却室 内进行冷却处理的多室型热处理装置和其温度控制方法。
背景技术 所谓多室型热处理装置， 是具备将处理对象物加热处理的加热室、 和将在加热室 中加热处理后的处理对象物冷却处理的冷却室、 将处理对象物在加热室与冷却室之间输送 而热处理的热处理装置。
在该多室型热处理装置中， 在需要测量热处理中的处理对象物的温度的情况下， 以往如在专利文献 1 中公开那样， 在处理对象物上安装温度传感器， 将处理对象物与存储 借助该温度传感器的温度检测结果的数据记录器一起输送。
即， 在此情况下， 在加热室及冷却室内， 与处理对象物一起存在数据记录器。该数 据记录器由于被与处理对象物一起被加热处理， 所以收容在耐热性、 绝热性良好的盒中。 并 且， 将数据记录器在处理对象物的冷却处理完成后从冷却室内取出， 根据存储在数据记录
器中的温度测量结果掌握热处理中的处理对象物的温度。
但是， 专利文献 1 的方法具有加热室内及冷却室内的处理对象物的配置空间变 窄、 并且不能实时地测量处理对象物的温度的问题。
所以， 为了解决该问题， 本发明的发明者创想出专利文献 2、 3 的发明并已经提出 申请。
专利文献 2 的目的是缩小配置在热处理炉内的温度测量装置的专有空间、 将热处 理炉内的处理对象物的配置空间确保得较大并且实时地测量配置在热处理炉内的处理对 象物的温度。
因此， 该发明如图 1 所示， 是至少具备将处理对象物 X 加热处理的加热室 53、 和将 在加热室 53 中加热处理后的处理对象物 X 冷却处理的冷却室 52 的多室型热处理装置， 具 备固定在用来输送处理对象物 X 的托盘的规定部位上的传感器部 51、 与传感器部 51 电气地 连接并且配置在外部的测量部 ( 未图示 )、 通过在一端部上连接传感器部 51 并且在另一端 部上连接测量部而将传感器部 51 与测量部电气地连接的连接线 54、 和配置在冷却室 52 内 并且能够卷绕上述连接线 54 的卷轴部 ( 未图示 )。
专利文献 3 的目的是将加热室内及冷却室内的处理对象物的配置空间确保得较 大并且通过实时地测量处理对象物的温度来准确地进行冷却控制。
因此， 该发明如图 2 所示， 是至少具备将处理对象物 X 加热处理的加热室 53、 和将 在加热室中加热处理后的处理对象物 X 冷却处理的冷却室 52 的多室型热处理装置， 具备检 测冷却室 52 内的处理对象物的温度、 输出表示该温度的温度检测信号的温度传感器 51、 配 置在加热室及冷却室的外部、 并且基于从温度传感器 51 输入的温度检测信号表示的冷却 室内的处理对象物的温度控制冷却处理的冷却控制部 56、 和将上述温度传感器与上述冷却 控制部连接的连接线 54。专利文献 1 ： 特开平 9-280968 号公报
专利文献 2 ： 特开 2005-241132 号公报
专利文献 3 ： 特开 2007-46123 号公报
但是， 在上述专利文献 2、 3 中， 由于没有用来承受作用在连接线 54 上的张紧的固 定机构， 所以在卷绕张紧较强的情况下， 装填在加热室中的处理对象物有可能移动。因此， 不能应用到需要由卷轴部卷绕较长的距离的大型炉中。
此外， 在上述专利文献 2、 3 的多室型热处理装置的情况下， 在加热室中将处理对 象物加热处理的期间中， 有不能将冷却室的真空屏蔽门密闭的问题。
因此， 在处理对象物的加热处理中， 冷却室内的气体环境变得与加热室相同， 有在 加热处理后必须将处理对象物收容到冷却室内后将冷却室再次减压、 再调节气体环境的问 题。
此外， 在加热室中将处理对象物加热处理的期间中， 由于在由加热室的绝热门咬 住信号线的状态下将绝热门封闭， 所以有绝热门与信号线的间隙较大、 加热中的热泄露到 外部的问题。 发明内容
本发明是为了解决上述问题而创想出的。即， 本发明的目的是提供能够将处理对 象物在加热室内加热处理、 接着移动到冷却室内、 在冷却室内冷却处理、 能够实时地测量加 热处理中及冷却处理中的处理对象物的温度、 并且即使在卷绕张紧较强的情况下、 装填在 加热室中的处理对象物也没有移动的可能性的多室型热处理装置及温度控制方法。
此外， 本发明的另一目的是提供在加热室处理中抑制加热室的绝热门的放热、 并 且能够进行冷却室的真空屏蔽门的密封、 由此能够独立地控制加热室和冷却室的气体环境 的多室型热处理装置及温度控制方法。
根据本发明， 提供一种多室型热处理装置， 具备 ： 加热室， 内置具有能够使载置有 处理对象物的移送台水平地通过的第 1 开口、 在内部将处理对象物加热处理的加热容器 ； 绝热门， 将上述第 1 开口可开闭地封闭 ； 冷却室， 相邻于上述加热室， 具有载置有处理对象 物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第 2 开口， 在内部将处理对象物冷却 ； 真空屏 蔽门， 将上述第 2 开口可开闭地密闭 ； 移送装置， 在上述加热室与冷却室之间将载置有处理 对象物的上述移送台水平地移送 ；
其特征在于， 具备安装在处理对象物上的温度传感器、 和将该温度传感器的检测 信号传送到上述加热室及冷却室的外部的信号传送装置。
根据本发明的优选的实施方式， 具备配置在上述加热室及冷却室的外部、 根据从 信号传送装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度的温度测量装置。
此外， 上述信号传送装置具有 ：
柔性的张紧部件， 一端固定在上述移送台上， 穿过上述第 1 开口及第 2 开口延伸， 另一端在冷却室内被水平地卷绕 ；
信号线， 在一端上具有与上述温度传感器的输出线连接的连接器， 沿着上述张紧 部件延伸到另一端 ；
卷轴装置， 一边对上述张紧部件附加卷绕方向的张紧， 一边将张紧部件与信号线一起卷绕 ；
外部输出线， 经由上述卷轴装置与上述信号线的另一端连接， 将上述检测信号传 送到上述冷却室的外部。
上述张紧部件具有当将上述第 1 开口用绝热门封闭时、 被夹持在绝热门与加热容 器之间而将该部分密封的第 1 夹持部。
上述第 1 夹持部由将上述耐热绳部件与上述温度传感器的输出线扎束为对应于 绝热门与加热室的间隙的薄板状的具有耐受加热室内的温度的耐热性的第 1 耐热密封材 构成。
此外， 上述张紧部件具有在将上述第 2 开口用真空屏蔽门封闭时、 被夹持在真空 屏蔽门与冷却室之间、 将该部分密封的第 2 夹持部。
上述张紧部件由以下部分构成 ：
耐热绳部件， 一端固定在上述移送台上， 当移送台位于加热室内时另一端延伸到 冷却室内， 具有耐受加热室内及冷却室内的温度的耐热性 ；
柔性软管， 前端固定在该耐热绳部件的末端上， 末端卷绕在上述卷轴装置上， 具有 至少耐受冷却室内的温度的耐热性。 上述第 2 夹持部设在上述耐热绳的中间位置上， 由将连结上述耐热绳部件的导引 带板和上述信号线扎束而一体成形的具有耐受冷却室内的温度的耐热性的第 2 耐热密封 材构成， 并且具有真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。
此外， 根据另一优选的实施方式， 上述张紧部件由以下部分构成 ：
耐热绳部件， 一端固定在上述移送台上， 当移送台位于加热室内时另一端延伸到 第 1 开口与第 2 开口的中间位置， 具有耐受加热室内的温度的耐热性 ；
导引带板， 前端固定在该耐热绳部件的末端上， 末端卷绕在上述卷轴装置上， 具有 至少耐受冷却室内的温度的耐热性。
上述第 2 夹持部设在上述导引带板的中间位置上， 由将上述导引带板和上述信号 线扎束而一体成形的具有耐受冷却室内的温度的耐热性的第 2 耐热密封材构成， 并且具有 真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。
此外， 根据本发明， 提供一种多室型热处理装置的温度控制方法， 该多室型热处理 装置具备 ： 加热室， 内置具有能够使载置有处理对象物的移送台水平地通过的第 1 开口、 在 内部将处理对象物加热处理的加热容器 ； 绝热门， 将上述第 1 开口可开闭地封闭 ； 冷却室， 相邻于上述加热室， 具有载置有处理对象物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第 2 开口， 在内部将处理对象物冷却 ； 真空屏蔽门， 将上述第 2 开口可开闭地密闭 ； 移送装置， 在 上述加热室与冷却室之间将载置有处理对象物的上述移送台水平地移送 ；
其特征在于，
将安装在处理对象物上的温度传感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外 部；
在上述加热室及冷却室的外部， 根据从信号传送装置传送的温度传感器的检测信 号测量处理对象物的温度 ；
基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置。
根据上述本发明的装置及方法， 由于具备将处理对象物加热处理的加热室、 绝热
门、 将处理对象物冷却的冷却室、 真空屏蔽门、 以及在加热室与冷却室之间将载置有处理对 象物的移送台水平移送的移送装置， 所以能够将处理对象物在加热室内加热处理、 接着移 动到冷却室内、 在冷却室内冷却处理。
此外， 由于具备安装在处理对象物上的温度传感器、 和将温度传感器的检测信号 传送到加热室及冷却室的外部的信号传送装置， 所以能够将安装在处理对象物上的温度传 感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外部、 在加热室及冷却室的外部根据从信号传送 装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度、 实时地测量加热处理中及冷却 处理中的处理对象物的温度。
此外， 由于上述张紧部件由一端固定在上述移动台上的耐热绳部件、 和前端固定 在耐热绳部件的末端上且末端卷绕在卷轴装置上的柔性软管或导引带板构成，
还具有设在上述耐热绳部件的中间位置上的第 1 夹持部，
所以在将第 1 开口用绝热门封闭时， 第 1 夹持部被夹持在绝热门与加热容器之间， 所以将该部分绝热密封， 并且在处理对象物上没有作用张紧， 所以即使是卷绕张紧较强的 情况， 装填在加热室中的处理对象物也没有移动的可能性。
此外， 由于具有设在上述耐热绳部件或导引带板的中间位置上的第 2 夹持部， 所 以在将第 2 开口用真空屏蔽门封闭时， 通过第 2 夹持部被夹持在真空屏蔽门与冷却室之间 而将该部分密封， 在加热室处理中抑制加热室的绝热门的放热， 并且能够进行冷却室的真空屏蔽门 的密封， 由此能够独立地控制加热室与冷却室的气体环境。
因而， 在加热室及冷却室的外部， 能够根据从信号传送装置传送的温度传感器的 检测信号测量处理对象物的温度， 基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置。
附图说明
图 1 是专利文献 2 的多室型热处理装置的示意图。 图 2 是专利文献 3 的多室型热处理装置的示意图。 图 3 是表示本发明的多室型热处理装置的一实施方式的横剖视图。 图 4 是信号传送装置的第 1 实施方式的整体结构图。 图 5 是信号传送装置的第 2 实施方式的整体结构图。 图 6 是表示载置有处理对象物的移送台与第 1 夹持部的位置关系的图。 图 7 是表示关闭了绝热门的加热容器与第 1 夹持部的位置关系的图。 图 8A 是表示真空屏蔽门与冷却室的分隔壁之间的密封构造的第 1 图。 图 8B 是表示真空屏蔽门与冷却室的分隔壁之间的密封构造的第 2 图。 图 8C 是表示真空屏蔽门与冷却室的分隔壁之间的密封构造的第 3 图。 图 9A 是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第 1 示意图。 图 9B 是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第 2 示意图。 图 9C 是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第 3 示意图。 图 9D 是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第 4 示意图。具体实施方式
以下， 参照附图说明本发明的优选的实施例。 另外， 对于在各图中共通的部分赋予 相同的附图标记， 省略重复的说明。
图 3 是表示本发明的多室型热处理装置的一实施方式的横剖视图。
如该图所示， 本发明的多室型热处理装置 1 是具备将处理对象物 X 冷却的冷却室 2、 和将处理对象物 X 加热的加热室 3 的多室型热处理装置， 除了这些以外， 在冷却室 2 与加 热室 3 之间具有中间室 4。
冷却室 2 是大致中空圆筒形的气密容器， 设定姿势以使圆筒形的中心轴为水平。 在冷却室 2 的一侧 ( 图的右侧 ) 设置有沿冷却室 2 的轴向水平移动的离合器式的门 5。门 5 为了将处理对象物 X 收容到冷却室 2 中而使用。
此外， 在另一侧 ( 图的左侧 ) 的分隔壁 2a 的开口 7a( 第 2 开口 ) 上， 设置有上下 开闭的夹紧式的真空屏蔽门 6。多室型热处理装置 1 的内侧空间在门 5 关闭的状态下成为 与外部遮断的密闭状态。
在该冷却室 2 的内部， 设置有沿冷却室 2 的中心轴方向较长的大致长方体形的风 路室 7， 在风路室 7 的上方及下方分别设置有调节冷却室 2 内的冷却气体的流路方向的气体 流导引板 ( 未图示 )。此外， 风路室 7 外的冷却室 2 的内部被未图示的分隔板上下划分。 在风路室 7 的上壁部及下壁部上， 分别形成有使冷却气体整流通过的栅格状的整 流板 9a、 9b。 此外， 在风路室 7 的内部， 沿托盘 10 的移送方向旋转自如地具备用来将载置处 理对象物 X 的托盘 10 沿冷却室 2 的轴向移送的多个自由辊 12。此外， 托盘 10 例如形成为 栅格状， 以使冷却气体能够通过。
在该例中， 在冷却室 2 的侧面 ( 图中的风路室 7 的背面 ) 上， 具备未图示的热交换 器、 冷却风扇及风门。
热交换器通过将水与冷却气体热交换而将冷却气体冷却。 冷却风扇由未图示的冷 却风扇马达驱动， 调节通过热交换器内的冷却气体的风量。风门调节冷却气体对处理对象 物 X 的喷吹方向 ( 冷却风向 )。
通过上述热交换器、 冷却风扇及风门， 控制通过冷却室 2 的整流板 9a、 9b 而沿上下 方向流动的冷却气体的温度和流速， 能够调节处理对象物 X 的冷却速度。
另一方面， 加热室 3 被形状设定为水冷双层壁的大致圆筒形， 在内壁与外壁之间 夹设着水， 对置于冷却室 2 而配置。此外， 在连结在加热室 3 上的输送棒收纳室 21 的内部， 设置有用来在多室型热处理装置 1 的内部、 通过将载置有处理对象物 X 的托盘 10 水平输送 来输送处理对象物 X 的输送棒 22。
在该例中， 输送棒 22 的末端 ( 在图中是左端 ) 连结在链上， 通过链轮的旋转而移 动链， 使输送棒 22 水平移动， 将与其卡合的托盘 10 水平输送。
在加热室 3 的内部设置有形状设定为大致长方形的加热容器 23。在该加热容器 23 的一侧 ( 与冷却室 2 对置的一侧 ) 的开口 23a( 第 1 开口 ) 上设置有上下开闭的绝热门 24( 加热室门 )， 在另一侧设置有作为输送棒 22 的出入口的输送棒用门 25。该输送棒用门 25 由从加热室 3 的外壁突出而设置的升降机构 26 沿上下方向开闭。
在加热容器 23 的内部， 设置有用来将载置有处理对象物 X 的托盘 10 沿加热室 3 的轴向移送的多个自由辊 27， 该自由辊 27 配置在设置于风路室 7 内部的自由辊 12 的延长
线上 ( 通行线 )。
另外， 输送棒用门 25、 移送台 28 及托盘 10 与绝热门 24 同样绝热设计。此外， 在 加热容器 23 的内部， 在处理对象物 X 的上下设置有多个用来将处理对象物 X 加热的加热器 ( 未图示 )， 以使其将处理对象物 X 的整体均匀地加热。
另一方面， 中间室 4 形状设定为中空的大致方形状， 配置在冷却室 2 与加热室 3 之 间。在其上部， 设置有用来使真空屏蔽门 6 升降的升降装置 28 和用来使绝热门 24 升降的 升降装置 29。
此外， 在冷却室 2、 加热室 3 及中间室 4 的外部， 设置有减压装置 ( 未图示 )。该减压 装置是用来将冷却室 2 及加热室 3 的内部抽真空的装置， 分别连接在冷却室 2 及加热室 3 上。
此外， 在冷却室 2、 加热室 3 及中间室 4 的外部， 还设置有冷却气体供给装置 ( 未图 示 )。该冷却气体供给装置基于从冷却控制部输入的冷却气体控制信号以规定的压力将冷 却气体供给到冷却室 2 内。
另外， 在多室型热处理装置 1 的维护作业时， 有对作为冷却室 2 的外部的加热室 3 及中间室 4 供给冷却气体的情况， 所以冷却气体供给装置也连接在中间室上。
如上所述， 加热室 3 具有在内部将处理对象物 X 加热处理的功能， 在加热容器 23 的冷却室 2 侧具有载置有处理对象物 X 的移送台 10 能够水平通过的第 1 开口 23a。该第 1 开口 23a 构成为可通过绝热门 24 的升降而开闭。
此外， 冷却室 2 具有在内部将处理对象物 X 冷却的功能， 相邻于加热室 3， 具有载置 有处理对象物 X 的移送台 10 能够从加热室水平通过的第 2 开口 7a。该第 2 开口 7a 构成为 可通过真空屏蔽门 6 的升降而开闭。
进而， 通过输送棒 22、 链及链轮构成在加热室 3 与冷却室 2 之间将载置有处理对象 物 X 的移送台 10 水平移送的移送装置 20。另外， 移送装置 20 并不限定于该结构， 也可以是 其他构造， 例如也可以将输送棒 22 用所需长度的直线状的棒材构成、 用齿条 - 小齿轮等使 其水平移动， 也可以通过辊道炉床那样的结构从加热室移送到冷却室。
在图 3 中， 本发明的多室型热处理装置 1 还具备安装在处理对象物 X 上的温度传 感器 31、 信号传送装置 30 及温度测量装置 40。
信号传送装置 30 具有将温度传感器 31 的检测信号传送到加热室 3 及冷却室 2 的 外部的功能。此外， 温度测量装置 40 配置在加热室 3 及冷却室 2 的外部， 根据从信号传送 装置 30 传送的温度传感器 31 的检测信号测量处理对象物的温度。
图 4 是信号传送装置 30 的第 1 实施方式的整体结构图。
如该图所示， 信号传送装置 30 具备张紧部件 32、 信号线 34、 卷轴装置 36 及外部输 出线 38。
张紧部件 32 是绳状、 软管状或带板状的柔性部件， 一端 ( 图中左端 ) 固定在移送 台 10 上， 另一端在冷却室内被卷轴装置 36 水平地卷绕。 另外， 在该图中， 37 是带轮， 具有将 张紧部件 32 向卷轴装置 36 导引的功能。
此外， 张紧部件 32 当移送台 10 位于加热室 3 内时， 穿过加热室 3 的开口 ( 第 1 开 口 23a) 及冷却室的开口 ( 第 2 开口 7a) 被从卷轴装置 36 卷回， 大致水平地延伸。
信号线 34 是柔性的电信号线， 在一端上具有与温度传感器 31 的输出线连接的连 接器 33。此外， 该信号线 34 沿着张紧部件 32 延伸到另一端， 连接到设在卷轴装置 36 上的输出触点 ( 未图示 ) 上。
卷轴装置 36 一边对张紧部件 32 附加卷绕方向的张紧一边将张紧部件 32 与信号 线 34 一起卷绕。
外部输出线 38 经由卷轴装置 36 与信号线 34 的另一端连接， 将温度传感器 31 的 检测信号传送到冷却室 2 的外部。
在该例中， 信号线 34 穿过具有耐受冷却室内的温度的耐热性的柔性软管 35a 连接 在卷轴装置 36 的输出触点上。该软管 35a 使张紧不作用在信号线 34 上， 作为张紧部件 32 的一部分发挥功能。
在图 4 中， 张紧部件 32 由耐热绳部件 32a 和柔性软管 35a 构成。
耐热绳部件 32a 由具有耐受加热室内的温度 ( 例如 1200 ～ 1400℃ ) 的耐热性的 材料、 例如石墨绳构成。该耐热绳部件 32a 的一端固定在移送台 10 上。耐热绳部件 32a 的 长度设定为当移送台 10 位于加热室 3 内时、 另一端位于冷却室 2 内的长度。
柔性软管 35a 由具有至少耐受冷却室 2 内的温度 ( 例如 200 ～ 300℃ ) 的耐热性 的中空的弹性软管构成。该柔性软管 35a 的前端固定在耐热绳部件 32a 的末端 ( 在图中是 右端 ) 上， 后端侧末端卷绕在卷轴装置 36 上。 进而， 在张紧部件 32 上， 设有第 1 夹持部 42 和第 2 夹持部 44( 弹性部 )。
图 5 是信号传送装置 30 的第 2 实施方式的整体结构图。
在该例中， 软管 35a 被连结线 35b 把持在张紧部件 32 上， 不使张紧作用在信号线 34 上而与张紧部件 32 一起移动。
在图 5 中， 张紧部件 32 由耐热绳部件 32a 和导引带板 32b 构成。
耐热绳部件 32a 由具有耐受加热室内的温度 ( 例如 1200 ～ 1400℃ ) 的耐热性的 材料、 例如石墨绳构成。该耐热绳部件 32a 的一端固定在移送台 10 上。耐热绳部件 32a 的 长度设定为当移送台 10 位于加热室 3 内时、 另一端位于第 1 开口 23a 和第 2 开口 7a 的中 间位置的长度。
导引带板 32b 由具有至少耐受冷却室 2 内的温度 ( 例如 200 ～ 300℃ ) 的耐热性 的弹性带板 ( 例如不锈钢带板 ) 构成。该导引带板 32b 的前端固定在耐热绳部件 32a 的末 端 ( 在图中是右端 ) 上， 后端侧末端卷绕在卷轴装置 36 上。
其他结构与图 2 是同样的。
图 6 是表示载置有处理对象物 X 的移送台 10 与第 1 夹持部 42 的位置关系的图， 图 7 是表示关闭了绝热门 24 的加热容器 23 与第 1 夹持部 42 的位置关系的图。
如图 3 ～图 7 所示， 第 1 夹持部 42 设在耐热绳部件 32a 的中间位置上， 具有当将 加热室 3 的第 1 开口 23a 用绝热门 24 封闭时、 夹持在绝热门 24 与加热室 ( 加热容器 23) 之间、 将该部分某种程度地密封的功能。
第 1 夹持部 42 由具有耐受加热室 3 内的温度的耐热性的第 1 耐热密封材 ( 例如 石墨绳 ) 构成， 是将耐热绳部件 32a 和温度传感器 31 的输出线扎束为对应于绝热门 24 与 加热室 ( 加热容器 23) 的间隙的薄板状的结构。
通过该结构， 如图 6 所示， 在将载置有处理对象物 X 的移送台 10 收容在加热室 ( 加 热容器 23) 内的状态下， 由于张紧部件 32( 耐热绳部件 32a) 的一端固定在移送台 10 上、 张 紧部件 32 的另一端在冷却室内被水平地卷绕， 所以张紧部件 32 成为穿过第 1 开口 23a 及
第 2 开口 7a 大致水平地延伸的状态。
此外， 在此状态下， 连接器 33 处于比第 1 夹持部 42 靠卷绕侧， 温度传感器 31 的输 出线设定得比到连接器 33 的所需长度长足够多， 所以在温度传感器 31 的输出线上不作用 张紧。
接着， 如果在图 6 的状态下使绝热门 24 下降而将加热室 3 的第 1 开口 23a 用绝热 门 24 封闭， 则如图 7 所示， 第 1 夹持部 42 被夹持在绝热门 24 与加热室 ( 加热容器 23) 之 间而将该部分密封， 能够通过绝热门 24 将加热容器 23 内的高温向外部的传递遮断。
在此状态下， 也由于温度传感器 31 的输出线设定得比到连接器 33 的所需长度长 足够多， 所以在温度传感器 31 的输出线上不作用张紧。此外， 由于连接器 33 位于加热室 3 之外， 加热室 3 的高温被绝热门 24 遮断， 所以能够防止连接器 33 的过热。
图 8A ～图 8C 是表示载置有处理对象物 X 的移送台 10 位于加热室 3 内时的、 关闭 了真空屏蔽门 6 的冷却室 2 与第 2 夹持部 44 的位置关系的图。
如图 8A 及图 8B 所示， 第 2 夹持部 44 具有当用真空屏蔽门 6 将分隔壁 2a 的开口 ( 第 2 开口 7a) 封闭时、 被夹持在真空屏蔽门 6 与冷却室 2( 分隔壁 2a) 之间而将该部分密 封的功能。 如图 8A 所示， 真空屏蔽门 6 具有将真空屏蔽门 6 与冷却室 2( 分隔壁 2a) 之间气 密地密封的密封材 6a。密封材 6a 在该例中是管密封。该管密封 6a 能够通过气体压力从图 7A 的状态膨胀到图 7B 的状态、 将其间的间隙消除而某种程度气密地密封。另外， 密封材 6a 也可以是其他密封材、 例如 O 形环。
如图 8C 所示， 第 2 夹持部 44( 弹性部 ) 由具有耐受冷却室 2 内的温度的耐热性的 第 2 耐热密封材 ( 例如硅、 特氟隆 ( 注册商标 )) 构成。该第 2 夹持部 44 将导引带板 32b 与信号线 34 扎束而一体成形， 并且具有真空屏蔽门 6 的管密封 6a 能够追随的截面形状。
第 2 夹持部 44 的截面形状在该例中将紧贴在分隔壁 2a 上的面形成为平面、 将管 密封 6a 紧贴的面形成为圆弧面， 但本发明并不限定于此， 也可以是任意的形状。
另外， 在图 4 的例子中， 导引带板 32b 仅存在于第 2 夹持部 44 的内部， 在其前后连 结着耐热绳部件 32a。
此外， 在图 5 的例子中， 导引带板 32b 穿过第 2 夹持部 44 而连续。
通过该结构， 如图 7 所示， 第 1 夹持部 42 被夹持在绝热门 24 与加热室 ( 加热容器 23) 之间而将该部分某种程度地绝热密封， 成为由绝热壁 24 将加热室 3 的高温向外部的传 递遮断的状态。进而， 如图 8A 所示， 通过用真空屏蔽门 6 封闭、 将管密封 6a 通过气体压力 从图 8A 的状态膨胀到图 8B 的状态， 能够使其间的间隙无限地变小而将第 2 开口密封。
在此状态下， 封入在弹性部 44 中的导引带板 32b 和信号线 34 一体成形在第 2 夹 持部 44 上， 在其他部分中， 信号线 34 在松弛的状态下沿着耐热绳部件 32a 或导引带板 32b 固定， 所以在信号线 34 上不作用张紧。
图 9A ～图 9D 是表示上述本发明的多室型热处理装置 1 的使用方法的示意图。
图 9A 表示将载置有处理对象物 X 的移送台 10 收容在加热容器内的状态， 图 9B 表 示将绝热门 24 关闭的加热处理状态， 图 9C 进一步表示将真空屏蔽门 6 关闭的加热处理状 态， 图 9D 表示冷却室 2 内的冷却处理状态。
在图 9A 中， 在加热室 ( 加热容器 23) 内张紧部件 32 的一端固定在载置有处理对
象物 X 的移送台 10 上， 张紧部件 32 的另一端在冷却室内被水平地卷绕， 所以张紧部件 32 成为穿过第 1 开口 23a 及第 2 开口 7a 大致水平地延伸的状态。在此状态下， 上述连接器 33 处于比第 1 夹持部 42 靠卷绕侧， 温度传感器 31 的输出线设定得比到连接器 33 的所需长度 长足够多， 所以在温度传感器 31 的输出线上不作用张紧。
在图 9B 中， 如果使绝热门 24 下降而将加热室 3 的第 1 开口 23a 用绝热门 24 封闭， 则上述第 1 夹持部 42 被夹持在绝热门 24 与加热室 ( 加热容器 23) 之间而将该部分绝热， 能够用绝热门 24 将加热室 3 的高温向外部的传递遮断。
在图 9C 中， 通过将真空屏蔽门 6 封闭、 将管密封 6a 通过气体压力膨胀， 能够通过 第 2 夹持部 44 使真空屏蔽门 6 与分隔壁 2a 之间的间隙无限地变小而将第 2 开口 7a 密封。
在加热室 3 内的加热处理后， 如果将真空屏蔽门 6 和绝热门 24 开放， 则如图 9A 那 样， 张紧部件 32 成为穿过第 1 开口 23a 及第 2 开口 7a 大致水平地延伸的状态。
在此状态下， 如果通过上述移送装置 20 将载置有处理对象物 X 的移送台 10 从加 热室 3 水平地移动到冷却室 2 中， 则张紧部件 32 不会发生松弛而能够通过卷轴装置 36 卷 绕。
使用上述装置， 在本发明的多室型热处理装置的温度控制方法中， 将安装在处理 对象物 X 上的温度传感器 31 的检测信号传送到加热室 3 及冷却室 2 的外部， 在加热室 3 及 冷却室 2 的外部， 根据从信号传送装置 30 传送的温度传感器 31 的检测信号测量处理对象 物 X 的温度， 基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置 1。 上述温度测量装置 40 还具备作为基于在温度传感器 31 中取得的温度检测信号测 量处理对象物 X 的温度、 存储温度检测结果的数据记录器的功能。
在本发明中， 作为温度传感器 31 而使用了热电偶， 信号线 34 由成对的 ( 两种 ) 导 线构成。具体而言， 作为信号线 34， 使用例如由镍铬 - 镍铝、 镍铬 - 康铜、 铁 - 康铜、 铜-康 铜、 镍铬硅 - 镍硅、 铂·铑 (10％ )- 铂、 铂·铑 (13％ )- 铂、 铂·铑 (30％ )- 铂·铑 (6％ )、 镍铬 - 金·铁、 铱 - 铱·铑 (49％ )、 钨·铼 (5％ )- 钨·铼 (26％ )、 镍 - 镍·钼 (18％ )、 和 钯·铂·金 - 金·钯构成的材质。
软管 35a 例如由树脂等具有柔性的材料形成。通过将信号线 34 插通到这样的软 管 35a 的内部， 能够防止信号线 34 的损伤。
根据上述本发明的装置及方法， 由于具备将处理对象物 X 加热处理的加热室 3、 绝 热门 24、 将处理对象物 X 冷却的冷却室 2、 真空屏蔽门 6、 以及在加热室 3 与冷却室 2 之间水 平移送载置有处理对象物 X 的移送台 10 的移送装置 20， 所以能够将处理对象物 X 在加热室 3 内加热处理、 接着移动到冷却室 2 内、 在冷却室 2 内冷却处理。
此外， 由于具备安装在处理对象物 X 上的温度传感器 31、 和将温度传感器 31 的检 测信号传送到加热室 3 及冷却室 2 的外部的信号传送装置 30， 所以能够将安装在处理对象 物 X 上的温度传感器 31 的检测信号传送到加热室 3 及冷却室 2 的外部、 在加热室 3 及冷却 室 2 的外部根据从信号传送装置 30 传送的温度传感器 31 的检测信号测量处理对象物 X 的 温度、 实时地测量加热处理中及冷却处理中的处理对象物 X 的温度。
此外， 由于张紧部件 32 由一端固定在移送台 10 上的耐热绳部件 32a、 和前端固定 在耐热绳部件 32a 的末端上、 末端卷绕在线轴装置 36 上的柔性软管 35a 或导引带板 32b 构 成， 还具有设在耐热绳部件 32a 的中间位置上的第 1 夹持部 42， 所以在将第 1 开口用绝热
门 24 封闭时， 第 1 夹持部 42 被夹持在绝热门 24 与加热容器 23 之间， 所以将该部分绝热， 并且在处理对象物 X 上没有作用张紧， 所以即使在卷绕张紧较强的情况下， 装填在加热室 3 中的处理对象物 X 也不可能移动。
此外， 由于具有设在耐热绳部件 32a 或导引带板 32b 的中间位置上的第 2 夹持部 44， 所以在将第 2 开口用真空屏蔽门 6 封闭时， 第 2 夹持部 44 被夹持在真空屏蔽门 6 与冷 却室 2a 之间而将该部分密封， 由此在加热室处理中抑制加热室 3 的绝热门 24 的放热， 并且 能够进行冷却室 2 的真空屏蔽门 6 的密封， 由此能够独立地控制加热室 3 和冷却室 2 的气 体环境。
因而， 在加热室 3 及冷却室 2 的外部， 能够根据从信号传送装置 30 传送的温度传 感器 31 的检测信号测量处理对象物 X 的温度、 基于测量的处理对象物 X 的温度控制多室型 热处理装置 1。
另外， 本发明并不限定于上述实施方式， 当然在不脱离本发明的主旨的范围内能 够进行各种变更。