流体控制器及流量控制装置 技术领域 本发明涉及具有阀及检测阀的开闭状态的限位开关、 例如在进行流量控制的装置 被优选使用的流体控制器及使用这种流体控制器的流量控制装置。
背景技术 作为本发明对象的流量控制装置， 在专利文献 1 中提出如下装置 ( 范围可变型流 量控制装置 ) ： 该装置具有 ： 形成有所需流体通路的主体， 安装于主体上的控制阀、 传感器 和切换阀， 设置于从控制阀流出的出口通路处的第一节流孔， 设置于从切换阀流出的出口 通路处的第二节流孔， 以及控制部 ； 在切换阀关闭的情况下， 进行第一节流孔处流量的控 制， 在切换阀打开的情况下， 进行第二节流孔处流量的控制。
专利文献 1 ： 日本特开 2007-4644 号公报
发明内容 发明要解决的课题
上述专利文献 1 的流量控制装置中的切换阀， 优选用限位开关检测其开闭状态。 由于在将限位开关内置于阀的情况下， 存在阀的构成会变得复杂且大型化， 且限位开关的 位置调整会变得困难的问题， 所以优选将限位开关设置于阀的外侧， 但是这种情况下， 需要 用于配置限位开关的空间， 组合有阀和限位开关的流体控制器的小型化成为课题。
本发明的目的在于， 提供一种能够实现组合有阀和限位开关的流体控制器的小型 化的流体控制器。
解决课题的方法
本发明的流体控制器， 具有进行流体通路开闭的阀和检测阀的动作的限位开关， 其特征在于， 阀具有移动部件， 该移动部件从壳体的开口突出一部分， 随着阀的开闭而直线 移动并抵接于限位开关， 限位开关面对移动部件地以能够调整位置的方式安装。
限位开关可以直接使用市场出售的部件， 由此， 可以用简单的构成检测阀的开闭 状态。 而且， 在配置限位开关时， 作为阀的构成要素的移动部件具有从壳体的开口突出的突 出部， 限位开关面对该移动部件地以能够调整位置的方式安装， 由此， 可以容易减少使用空 间地配置限位开关， 从而使组合有阀和限位开关的流体控制器小型化。
阀没有特别限定， 通常具有 ： 设有流体通路的主体 ； 设于主体上方的壳体 ； 开闭流 体通路的阀体 ； 通过上升或下降使阀体向打开或关闭方向移动的阀杆 ； 驱动阀杆的执行机 构。
移动部件例如是设置于阀杆的上端部的活塞， 阀杆借助上下移动通过阀体开闭流 体通路。移动部件并不限定于此， 可以是阀杆的上端部本身抵接于限位开关而作为移动部 件使用， 也可以是在阀杆上安装与活塞不同的部件并使其抵接于限位开关来作为移动部件 使用。
该流体控制器例如可以优选作为流量控制装置中的切换阀使用， 但不限定于此，
可以用于在需要带有检测开闭状态的限位开关的阀的各种用途。
流体控制器优选为还具有限位开关定位机构。
优选是限位开关的定位机构具有 ： 第一螺栓， 其固定于阀的主体上 ； 第二螺栓， 其 固定于限位开关上 ； 以及连接两螺栓的连接螺柱， 其一端设有旋合于第一螺栓的内螺纹部， 另一端设有旋合于第二螺栓的内螺纹部， 第一螺栓与第二螺栓的螺距不同。
螺栓及连接螺柱的轴向与阀的阀杆的移动方向平行， 限位开关的定位机构接近阀 地配置。此外， 第一螺栓和第二螺栓具有同方向的螺纹 ( 例如都是右旋螺纹 )。根据该限位 开关定位机构， 防止第一螺栓和第二螺栓的共同旋转， 若使连接螺柱旋转， 则连接螺柱随着 与螺距大的螺栓的旋合向其方向移动， 但连接螺柱相对于螺距小的螺栓也向相同的方向移 动， 因此， 限位开关定位机构的两端间隔 ( 从第一螺栓的头到第二螺栓的头之间的距离 ) 的 变化量为， 第一螺栓和第二螺栓的螺距之差 × 连接螺柱的旋转数。这样， 在使连接螺柱旋 转的情况下， 限位开关的移动量为按照螺距之差的微小量， 可以高精度对限位开关定位。
为使螺距不同， 可以通过改变螺栓直径很容易地进行， 此外， 具有相同的螺栓直 径， 可以通过使一方为粗牙螺纹， 另一方为细牙螺纹的方式实现螺距的不同。 这种螺栓市场 有出售， 而且即使制作也很容易制作。而且， 不仅是一般使用的粗牙螺纹， 即使使用细牙螺 纹， 也可以使用按照标准的螺栓得到所要的螺距差。
例如， 第一螺栓具有 ： 连接侧外螺纹部， 其旋合于连接螺柱 ； 固定侧外螺纹部， 其 旋合于设置于阀的主体上的内螺纹部 ； 以及用于卡合工具的卡合部 ( 例如六角柱状的卡合 部 )， 第二螺栓具有 ： 连接侧外螺纹部， 其旋合于连接螺柱 ； 固定侧外螺纹部， 其旋合于设置 于限位开关 ( 或安装于限位开关上的连接金属零件 ) 上的内螺纹部 ； 以及用于卡合工具的 卡合部 ( 例如六角柱状的卡合部 )。这种情况下， 第一螺栓与第二螺栓的螺距不同的意思 是， 第一螺栓的连接侧外螺纹部与第二螺栓的连接侧外螺纹部的螺距不同。例如， 使第一 螺栓的连接侧外螺纹部与第二螺栓的连接侧外螺纹部中的任一方为 M4 的粗牙螺纹 ( 螺距 0.7)， 另一方为 M3 的细牙螺纹 ( 螺距 0.35)， 则使连接螺柱旋转一周的情况下限位开关的移 动量为 0.7-0.35 ＝ 0.35(mm)。
关于限位开关定位机构与阀的固定， 优选是通过在阀的主体上设有与第一螺栓的 固定侧外螺纹部相对应的内螺纹部， 将第一螺栓拧入阀的主体而进行固定第一。 而且， 限位 开关定位机构与限位开关的固定， 优选是通过连接金属零件进行， 这样的固定通过以下方 式进行 ： 例如， 在通过螺纹等固定于限位开关的连接金属零件上， 设有与第二螺栓的固定侧 外螺纹部相对应的内螺纹部， 第二螺栓拧入连接金属零件而进行固定。
各螺栓的固定侧外螺纹部可以与连接侧外螺纹部是相同的螺距， 也可以是不同的 螺距。各螺栓的固定侧外螺纹部是用于安装到阀的主体或限位开关的构成， 可以通过使各 螺栓的连接侧和固定侧双方都为外螺纹部来使安装的构成简单化。但是， 限位开关定位机 构的固定侧， 并不限定于各螺栓的外螺纹部， 也可以是内螺纹部， 而且， 也可以通过不借助 螺纹紧固的其他合适的构成， 将限位开关定位机构安装于阀的主体及限位开关上。
优选是限位开关定位机构还具有阻止连接螺柱和第一螺栓相对旋转的第一锁紧 螺母以及阻止连接螺柱和第二螺栓相对旋转的第二锁紧螺母。
由此， 防止通过限位开关定位机构高精度地进行对位后出现错位， 可靠性进一步 提高。本发明的流体控制器， 例如， 可以优选使用在流量范围可变型流量控制装置中的 切换阀。流量范围可变型流量控制装置具有 ： 主体， 其形成有所需的流体通路 ； 安装于主 体上的控制阀、 传感器及带有限位开关的切换阀 ； 第一节流孔， 其设置于从控制阀流出的出 口通路上 ； 第二节流孔， 其设置于从切换阀流出的出口通路上 ； 以及控制部， 其进行流量控 制， 在切换阀关闭的情况下， 进行第一节流孔处的流量控制， 在切换阀打开的情况下， 进行 第二节流孔处的流量控制， 在这种流量控制装置中， 优选是通过限位开关的信号确认切换 阀的开闭状态。 这里， 切换阀的开度小， 限位开关的对位需要慎重地操作， 而且， 一次对位后 的限位开关， 必须牢固地固定。因此， 在这样的流量范围可变型流量控制装置中， 配置于控 制阀和节流孔之间的带有限位开关的切换阀成为上述的流体控制器 ( ＝带有限位开关的 切换阀 )， 由此， 可以得到小型且有流量控制精度优良的流量控制装置。当然本发明的流体 控制器的用途并不限定于如上所述的流量控制装置。
发明的效果
根据本发明的流体控制器， 阀具有使一部分从壳体的开口突出并随着阀的开闭直 线移动而抵接于限位开关的移动部件， 限位开关面对移动部件地以可调整位置的方式安 装， 由此， 可以容易地且减少使用空间地配置限位开关， 从而能够使组合有阀和限位开关的 流体控制器小型化。 附图说明
[ 图 1] 图 1 是表示使用本发明的流体控制器的流量控制装置的一实施方式的主剖 [ 图 2] 图 2 是本发明的流体控制器的限位开关定位机构的方大主剖视图。 [ 图 3] 图 3 是本发明的流体控制器的限位开关定位机构的分解图。 [ 图 4] 图 4 是本发明的流体控制器的阀的放大主剖视图。 附图标记的说明视图。
具体实施方式
参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中， 上下、 左右是指图 1 的 上下、 左右。
图 1 表示使用本发明的流体控制器的流量控制装置的一部分。
流量控制装置 (1) 是压力式且流量范围可变型的装置， 其具有 ： 形成有所需的流 体通路 (2a)(2b)(2c)(2d)(2e) 的主体 (2) ； 安装于主体 (2) 的控制阀 (3) ； 压力传感器 (4) 及带有限位开关 (7) 的切换阀 (6) ； 控制部 ( 图示略 ) ； 设置于从控制阀 (3) 流出的出口通 路 (2b) 上的第一节流孔 (9) ； 设置于从切换阀 (6) 流出的出口通路 (2e) 上的第二节流孔 (10)。
控制阀 (3)、 压力传感器 (4) 及切换阀 (6) 从左开始按此顺序配置， 与此相对应， 在主体 (2) 上设置有 ： 向控制阀 (3) 流入的入口通路 (2a) ； 从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) ； 使从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 连通于压力传感器 (4) 的连通路 (2c) ； 使从控 制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 流入切换阀 (6) 的分支通路 (2d) ； 以及从切换阀 (6) 流出的 出口通路 (2e)。从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 与从切换阀 (6) 流出的出口通路 (2e) 呈并列状地配置， 在各出口通路 (2b)(2e) 的出口部设置有上述的节流孔 (9)(10)。 在主体 (2) 的左侧对接有通路块 (11)， 该通路块 (11) 上形成有与流入控制阀 (3) 的入口通路 (2a) 连通的入口通路 (11a) ； 在主体 (2) 的右侧对接有通路块 (12)， 该通路块 (11) 上形成有与从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 及从切换阀 (6) 流出的出口通路 (2e) 连通的出口通路 (12a)。
根据此流量控制装置 (1)， 在切换阀 (6) 关闭的情况下， 进行第一节流孔 (9) 处流 量的控制， 在切换阀 (6) 打开的情况下， 进行第二节流孔 (10) 处流量的控制 ； 通过压力传感 器 (4) 测定节流孔 (9)(10) 的上游侧的压力， 一边根据此压力运算通过节流孔 (9)(10) 的 流量， 一边调整控制阀 (3) 的开闭量， 由此， 通过节流孔 (9)(10) 的流量被控制。
2 个节流孔 (9)(10) 中， 设置于从切换阀 (6) 流出的出口通路 (2e) 上的 (10) 为
大流量用节流孔 ； 设置于从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 上的 (9) 为小流量用节流孔。 因此， 在切换阀 (6) 关闭的情况下， 流体只由从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 排出， 进行 小流量的控制 ； 在切换阀 (6) 打开的情况下， 流体由从控制阀 (3) 流出的出口通路 (2b) 及 从切换阀 (6) 流出的出口通路 (2e) 两处排出， 进行大流量的控制。
这样， 通过切换阀 (6) 的开闭这样简单的操作， 将借助大流量节流孔 ( 第二节流 孔 )(10) 和小流量节流孔 ( 第一节流孔 )(9) 的流量控制进行适当的组合， 由此， 可以在大 范围的流量区域范围内， 进行高精度的流量控制。
在上述的流量控制装置 (1) 中， 其特征在于带有限位开关 (7) 的切换阀 (6)， 控制 阀 (3)、 压力传感器 (4) 及 2 个节流孔 (9)(10) 为公知的构件， 设置用于切换 2 个节流孔 (9) (10) 的切换阀 (6) 这一点与以往也是同样的。
以下， 对带有限位开关 (7) 的切换阀 (6) 即本发明的流体控制器 (5) 进行说明。
流体控制器 (5) 具有切换阀 (6)、 检测切换阀 (6) 的开闭状态的限位开关 (7) 和限 位开关定位机构 (8)。
切换阀 (6) 是借助空气动作的常闭型阀， 根据来自控制部的信号电磁阀工作， 由 此进行开闭。该切换阀 (6) 的开闭状态通过限位开关 (7) 检测， 并被输入控制部。 切换阀 (6) 具有 ： 设置于主体 (2) 上方的壳体 (21) ； 设置于分支通路 (2d) 的周缘 的环状阀座 (22) ； 被按压于环状阀座 (22) 或从环状阀座 (22) 远离而开闭分支通路 (2d) 的 隔膜 ( 阀体 )(23) ； 将隔膜 (23) 向下方按压的隔膜压板 (24) ； 配置于壳体 (21) 内通过上升 或下降使隔膜 (23) 向打开或关闭方向移动的阀杆 (25) ； 设置于阀杆 (25) 上的上下 2 段的 活塞 ( 上侧的第一活塞 (26) 及下侧的第二活塞 (27)) ； 对阀杆 (25) 向下方施力的压缩螺 旋弹簧 ( 弹性部件 )(28) ； 驱动第一及第二活塞 (26)(27) 的活塞驱动机构 (29)。
限位开关 (7) 为市场出售的部件， 由主体 (31)、 检测部 (32) 及端子部 (33) 构成， 通常是关闭的 ； 成为检测对象的移动部件 ( 这里为上述的第一活塞 (26) 的上端部 ) 抵接于 检测部 (32) 而将其向上推压， 由此开关被打开。限位开关 (7) 面对从壳体 (21) 的开口中 露出的第一活塞 (26) 的上表面， 由此， 与阀杆 (25) 一体地移动的第一活塞 (26) 抵接于限 位开关 (7) 的情况下， 限位开关 (7) 变为打开状态。
限位开关定位机构 (8) 由以下部分构成 ： 安装于限位开关 (7) 上的连接金属零件 (41) ； 固定于主体 (2) 上的第一螺栓 (42) ； 固定于连接金属零件 (41) 上的第二螺栓 (43) ； 连结两螺栓 (42)(43) 的连接螺柱 (44) ； 阻止连接螺柱 (44) 和第一螺栓 (42) 的相对旋转 的第一锁紧螺母 (45) ； 阻止连接螺柱 (44) 和第二螺栓 (43) 的相对旋转的第二锁紧螺母 (46)。
如图 2 及图 3 中详细所示， 在连接螺柱 (44) 上， 分别在下端设有旋合与第一螺栓 (42) 旋合的内螺纹部 (44a)， 在上端设有旋合与第二螺栓 (43) 旋合的内螺纹部 (44b)。 第一 螺栓 (42) 具有 ： 旋合与连接螺柱 (44) 旋合的连接侧外螺纹部 (42a)， 旋合与设于主体 (2) 上的内螺纹部旋合的固定侧外螺纹部 (42b)， 用于卡合工具的六角柱状的卡合部 (42c) ； 第 二螺栓 (43) 具有 ： 旋合与连接螺柱 (44) 旋合的连接侧外螺纹部 (43a)， 旋合与设于限位开 关 (7) 的连接金属零件 (41) 上的内螺纹部旋合的固定侧外螺纹部 (43b)， 用于卡合工具的 六角柱状的卡合部 (43c)。
各螺栓 (42)(43) 及连接螺柱 (44) 的轴向与切换阀 (6) 的阀杆 (25) 的移动方向
平行 ( 即都是上下方向 )， 限位开关定位机构 (8) 以与切换阀 (6) 大致接触的方式设置。
第一螺栓 (42) 和第二螺栓 (43) 都是右旋螺纹， 但是其螺距不同。具体而言， 第一 螺栓 (42) 的连接侧外螺纹部 (42a) 及固定侧外螺纹部 (42b) 都是 M4×0.7 的粗牙螺纹 ； 而 第二螺栓 (43) 的连接侧外螺纹部 (43a) 是 M3×0.35 的细牙螺纹， 第二螺栓 (43) 的固定侧 外螺纹部 (43b) 是 M3×0.5 的粗牙螺纹。
而且， 限位开关 (7) 通过连接金属零件 (41) 固定于 M3( 螺距 0.35mm) 的第二螺栓 (43) 上， M3( 螺距 0.35mm) 的第二螺栓 (43) 和 M4( 螺距 0.7mm) 的第一螺栓 (42) 被拧进连 接螺柱 (44)。因此， 旋转连接螺柱 (44)， 则限位开关 (7) 由于 M3 和 M4 的螺栓螺距的不同 而向下行进， 由此， 可以进行限位开关 (7) 的对位。 该对位后， 通过拧紧锁紧螺母 (45)(46)， 第一螺栓 (42) 及第二螺栓 (43) 的旋转被防止， 防止此后的限位开关 (7) 的位置变化。
根据该限位开关定位机构 (8)， 将锁紧螺母 (45)(46) 松缓， 并防止第一螺栓 (42) 和第二螺栓 (43) 共同旋转， 当使连接螺柱 (44) 旋转时， 则连接螺柱 (44) 随着与大螺距螺 栓即第一螺栓 (42) 的旋合向第一螺栓的方向移动， 但是， 连接螺柱 (44) 相对于小螺距螺 栓即第二螺栓 (43) 也向同一方向移动， 因此， 限位开关定位机构 (8) 的两端间隔 ( 从第一 螺栓 (42) 的下端到第二螺栓 (43) 的上端之间的距离 ) 的变化量为， 第一螺栓 (42) 的连 接侧外螺纹部 (42a) 和第二螺栓 (43) 的连接侧外螺纹部 (43a) 的螺距之差 (0.7-0.35)× 连接螺柱 (44) 的旋转数。因此， 通过使连接螺柱 (44) 旋转， 限位开关 (7) 按照螺距之差 (0.7-0.35) 移动。 第一螺栓 (42) 的固定侧外螺纹部 (42b) 被旋合于主体 (2)， 由此， 限位开关定位机 构 (8) 被固定于主体 (2) 上。此外， 第二螺栓 (43) 的固定侧外螺纹部 (43b) 被旋合于连接 金属零件 (41)， 该连接金属零件 (41) 通过螺纹固定于限位开关 (7) 上， 由此， 限位开关定位 机构 (8) 被固定于限位开关 (7) 上。
在图 4 中， 表示了切换阀 (6) 的剖视图， 参照该图 4， 以下说明切换阀 (6) 的内部构 造。
壳体 (21) 由被旋合并固定于主体 (2) 的下部壳体 (51) 和通过连接器 (53) 与下 部壳体 (51) 结合的上部壳体 (52) 组成。连接器 (53) 呈具有贯通孔的环状， 阀杆 (25) 可 上下移动且液密地贯穿该贯通孔， 在连接器的外周形成有外螺纹。在下部壳体 (51) 的上端 部和上部壳体 (52) 的下端部， 形成有旋合与连接器 (53) 的外螺纹旋合的内螺纹部， 下部壳 体 (51) 从下侧与连接器 (53) 旋合， 上部壳体 (52) 从上侧旋合与连接器 (53) 旋合， 由此， 下 部壳体 (51) 和上部壳体 (52) 相互对接结合在一起。由此， 在连接器 (53) 的上方和下方， 分别形成第一活塞 (26) 和第二活塞 (27) 的移动空间。而且， 第一活塞 (26) 以其下表面与 连接器 (53) 的上表面相对的方式被可上下移动地配置于上部壳体 (52) 内 ； 第二活塞 (27) 以其上表面与连接器 (53) 的下表面相对的方式被可上下移动地配置于下部壳体 (51) 内。
阀杆 (25) 由 2 个部件 ( 轴杆 (54) 和阀杆活塞 (55)) 形成。轴杆 (54) 由在上部 设置有内螺纹部的轴部和设置于轴部的下端部的凸缘部构成， 凸缘部的下表面抵接于隔膜 压板 (24)。 阀杆活塞 (55) 由下端部与轴杆 (54) 的轴部旋合的轴部和在轴部的中间部一体 地形成的凸缘部构成。阀杆活塞 (55) 的凸缘部形成第二活塞 (27)， 将轴杆 (54) 和阀杆活 塞 (55) 的轴部组合而成的就是阀杆 (25)。
活塞驱动机构 (29) 是为了使阀杆 (25) 向上方移动而使驱动气体作用于各活塞
(26)(27) 的机构， 为此第一及第二驱动气体导入室 (56)(57) 形成于各活塞 (26)(27) 的下 方。第一驱动气体导入室 (56) 形成于第一活塞 (26) 和连接器 (53) 之间， 第二驱动气体导 入室 (57) 形成于第二活塞 (27) 和下部壳体 (51) 的朝内凸缘部之间。若将驱动气体 ( 压 缩空气 ) 导入第一及第二驱动气体导入室 (56)(57)， 则对第一活塞 (26) 和第二活塞 (27) 作用向上的力， 由此， 阀杆 (25) 向上方移动。由此， 在图 1 所示的流量控制装置 (1) 中， 分 支通路 (2d) 变为开放状态， 流体被送到出口通路 (2e)。
上部壳体 (52) 形成为朝向上方开口， 第一活塞 (26) 设置于阀杆 (25) 的上端部， 从而在阀杆 (25) 处于上方位置时使活塞上端部从上部壳体 (52) 的开口露出。具体而言， 在阀杆 (25)( 阀杆活塞 (55) 的轴部 ) 的上端部设置有外螺纹部， 并且在第一活塞 (26) 上 设有贯通孔 (26a)， 在贯通孔 (26a) 的下部设有旋合于阀杆 (25) 上端部的内螺纹部， 通过将 阀杆 (25) 的上端部插入第一活塞 (26) 的贯通孔 (26a) 下部并旋合， 将阀杆 (25) 和第一活 塞 (26) 结合。
第一活塞 (26) 的贯通孔 (26a) 的上部， 是可连接导入驱动气体的配管的驱动气体 导入部 (58)。而且， 在阀杆 (25) 内部形成有从驱动气体导入部 (58) 向下方延伸的轴向通 路 (59)、 从轴向通路 (59) 中间部通往第一驱动气体导入室 (56) 的径向通路 (60) 以及从轴 向通路 (59) 下端部通往第二驱动气体导入室 (57) 的径向通路 (61)。由此， 驱动气体导入 部 (58) 成为一体， 使驱动气体从该驱动气体导入部 (58) 流入各驱动气体导入室 (56)(57)。 根据该切换阀 (6)， 在驱动气体未被导入切换阀 (6) 的各驱动气体导入室 (56) (57) 的状态 ( 切换阀 (6) 关闭的状态 ) 下， 阀杆 (25) 在压缩螺旋弹簧 (28) 的弹性力的作 用下处于关闭位置 ( 下方位置 )， 与此相伴地， 第一活塞 (26) 也位于下方位置。因此， 限位 开关 (7) 变为关闭。 在驱动气体被导入各驱动气体导入室 (56)(57) 的状态 ( 切换阀 (6) 打 开的状态 ) 下， 阀杆 (25) 对抗压缩螺旋弹簧 (28) 的弹性力向上方移动， 与此相伴地， 第一 活塞 (26) 也向上方位置移动。结果， 第一活塞 (26) 的上端与限位开关 (7) 的检测部 (32) 抵接， 检测到切换阀 (6) 处于打开检测这一状况， 且其送到控制部。
根据该流量控制装置 (1)， 配置于控制阀 (3) 和节流孔 (9)(10) 之间的切换阀 (6) 带有上述的限位开关 (7)， 由此， 流量控制的精度优良， 而且， 作为用于设置限位开关 (7) 的 空间， 仅是追加上下延伸的限位开关定位机构 (8) 的空间就可以， 可以实现装置的小型化。 而且， 借助限位开关定位机构 (8)， 限位开关 (7) 按照螺距之差 (0.7-0.35) 移动， 因此， 可以 高精度地进行限位开关 (7) 的对位。此外， 在限位开关 (7) 的对位后， 借助锁紧螺母 (45) (46) 防止限位开关 (7) 的移动， 因此， 可长时间确保高精度的限位开关 (7) 的对位。
此外， 作为流量控制装置 (1)， 除使用上述压力传感器的压力式装置外， 还有使用 温度传感器的热式装置， 上述的流体控制器 (5) 也可以适用热式装置。
此外， 上述的流体控制器 (5) 也可用于流量控制装置以外的用途， 例如， 也可以作 为在半导体制造装置中使用的被称为集成化流体控制装置的流体控制装置的构成要素使 用。在这样的流体控制装置中， 逐步发展如下的集成化， 即多个流体控制器被串联状地排 列且不通过管或接口而连接， 将由此形成的多个排列呈并列状地设置于基座部件上 ； 流体 控制装置中， 例如作为下级层的多个块状接口部件通过外螺纹部件安装于基座部件上， 且 作为上级层的多个流体控制器跨过相邻的接口部件地安装。 在这样的集成化流体控制装置 中， 可以赋予其流体控制设备 ( 例如开闭阀 ) 的主体或通路块与上述流量控制装置 (1) 的
主体 (2) 同样的功能， 安装上述限位开关定位机构 (8) 变得很容易。
此外， 限位开关定位机构 (8) 的可移动范围， 根据切换阀 (6) 的尺寸及第一活塞 (26) 的移动量适当设定， 通过延长连接螺柱 (44) 的内螺纹部 (44a)(44b) 及第一和第二螺 栓 (42)(43) 的连接侧外螺纹部 (42a)(43a)， 可以扩大可移动范围。
工业上的可利用性
根据本发明， 限位在阀上附加检测开闭状态的限位开关， 并且可以使组合阀和限 位开关而成的流体控制器小型化， 因此， 例如， 可以优选作为流量控制装置的切换阀加以使 用， 也可用于其他各种用途。